開口を有するラプチャーディスク支持部材（３２，９０）は、ラプチャーディスク組立品（７０）の使用に提供される。支持部材開口（５６）と相補的な１つ以上のエンボス加工された部分（８０）を含むラプチャーディスク（３０，３０ａ）も開示されている。圧力解放組立品（１２）は、特に、衛生的な圧力解放用途への使用に適している。
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【課題】弁体に対して過剰な面圧が作用することを防止しながら、リークの発生を防止することができる圧力調整弁の弁構造を提供する点にある。
【解決手段】流体供給路１６の上流側と下流側とを連通する連通ポート２５と、ダイヤフラム１９の変位により連通ポート２５を開閉する弁体２６と、ダイヤフラム１９を変位方向の一方側に付勢する第１付勢バネ２７とを備え、弁体２６にて連通ポート２５を閉じる側へのダイヤフラム１９の変位量を規制するストッパ部２９に当接自在な当接部３０が設けられ、弁体２６は、第１付勢バネ２７よりも付勢力の小さい第２付勢バネ３７により連通ポート２５に対して接近する側に付勢された状態で連通ポート２５に対する接近離間方向に移動自在に当接部３０に設けられている。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラム近傍に静電気が蓄積してこの静電気による火花放電によって当該ダイヤフラムに絶縁破壊が生じることを抑止することができるダイヤフラム弁およびこのダイヤフラム弁を備えた基板処理装置を提供する。
【解決手段】ダイヤフラム弁３０は、バルブ本体３０ａの弁室３６内に設けられたダイヤフラム４０を有している。このダイヤフラム弁３０には、一端が弁室３６内に位置するとともに他端がバルブ本体３０ａの外部まで延びるよう当該バルブ本体３０ａを貫通して導電性部材５０が設置されている。導電性部材５０には当該導電性部材５０に発生する静電気を取り除くためのアース線５１が接続されている。 （もっと読む）

【課題】一次圧の変化に伴う二次圧の変化を小さく抑えるうえ、各部材の加工や組み立ての簡易化ができるようにする。
【解決手段】減圧弁室(９)と二次圧力室(36)との間の隔壁(9a)に流路(13)を形成し、流路(13)の周囲に減圧弁座(12)を形成する。流路(13)へ挿通した小径ロッド(20)を介して、減圧部材(18)をピストン部材(３)と同行移動可能に連結する。ピストン部材(３)の背面に大径ロッド(28)を形成する。大径ロッド(28)と対面するシリンダ室(10)の内面からロッド支持部材(31)を突設する。ロッド支持部材(31)に大径ロッド(28)を保密摺動自在に嵌合し、大径ロッド(28)とロッド支持部材(31)との間に背圧力室(33)を形成する。背圧力室(33)のシール径は、減圧弁座(12)と略同じシール径とする。減圧弁室(９)と背圧力室(33)とを互いに連通する軸線方向流路(24)を貫通状に設ける。 （もっと読む）

【課題】 バネ室はクリアランスを介して呼吸するが、バネ室の呼吸を容易にするためにクリアランスを大きくすると、アーマチャの磁気吸引力が低下する。
【解決手段】 プッシュロッド２６の上部に、アーマチャ４４の上側と下側とを連通する呼吸通路５１を形成する。この呼吸通路５１の通路面積を大きくしても、クリアランスＡを狭く保つことができる。呼吸通路５１により、バネ室４３の容積変動が容易となるため、アーマチャ４４の磁気吸引力の低下を招くことなく、アーマチャ４４およびプッシュロッド２６の応答性を向上することができる。また、呼吸のための通路面積が大きくなるため、呼吸によって流れる燃料の流速が遅くなり、エロージョンの発生を抑えることができる。さらに、プッシュロッド２６に呼吸通路５１を設けるだけで済み、コスト上昇を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】 減圧弁の閉鎖機能の低下があっても、ピニオンギヤの飛び出し事故等を確実に防止することができ、しかも、初期の微少な空気漏れの段階で検出することができる空気漏れ検知逃がし弁を提供すること。
【解決手段】 漏れた圧縮空気は、空気漏れ検知逃がし弁１０の入口ｂから排出口ａに排出される。この排出口ａから排出された圧縮空気は、検知筒１１に浮揚力として作用して、樹脂製の軽い検知筒１１を浮き上がらせて、検知筒１１の下端ｅと空気配管４０の外面との間から排出される。したがって、圧縮空気の漏れがあっても、エアースタータの駆動が防止されて、ピニオンギヤの飛び出しによるピニオンギヤ等の破損事故が防止される。検知筒１１の圧縮空気の漏れによる浮き上がりにより、微少な圧縮空気の漏れの段階で確実かつ簡単に圧縮空気が漏れていること、および、その程度が明確に分かる。 （もっと読む）