【課題】 半導体製造工程等から排出される粉化物を含む排ガスの浄化筒において、排ガスから有害成分を除去して浄化するとともに、粉化物を浄化筒内部で捕捉し、かつ短期間で圧力損失の問題を起こさない浄化筒を提供する。
【解決手段】 排ガスの導入口、浄化剤の充填部、粉化物捕捉具、及び浄化されたガスの排出口を備えた粉化物を含む排ガスの浄化筒であって、粉化物捕捉具が、外周縁が浄化筒の内壁面に密着し孔を有する円盤、及び該円盤の孔の縁部に上端部が密着するように収納した通気性の凹形状の容器を有し、該凹形状の容器のガス流路上流側の表面に粉化物捕捉材が設けられてなる粉化物を含む排ガスの浄化筒とする。 （もっと読む）

【課題】１つ以上の態様において、工業廃液、例えば、半導体及び液晶表示装置の製造プロセスで生成される廃液を処理するのに用いる熱反応器装置を提供する。
【解決手段】コントローラと、コントローラにより制御されるように用いられる反応チャンバ３２と、反応チャンバへの管と、反応チャンバ内の管の第１の端部に配置されたパイロット１６と、反応チャンバ外の管の第２の端部に配置され、コントローラに結合され、コントローラにパイロットが点灯したかどうかの指示を与えるように用いられるセンサと、管の開閉のために操作可能なアクチュエータとを含むシステムを有する。本発明の数多くのその他の態様が開示されている。 （もっと読む）

【課題】鉄スクラップやシュレッダーダスト、携帯電話等の電子製品の複数の金属種を含有する金属含有物を、溶融炉で高温処理した際に発生する排ガスを３００℃以上にコントロールして、金属のガスとして排出させ、多段冷却塔で金属種の沸点に応じて、冷却温度をコントロールしながら間接冷却することにより凝固させて分別して回収する。
【解決方法】溶融炉において、排ガス温度を３００℃以上にコントロールし、かつ排ガス中の残存酸素を１０％以下にした還元性の排ガス組成の排ガス中に含まれる複数の金属及び酸化金属及び塩化金属を回収するために、排ガスに含まれる金属及び酸化金属及び塩化金属を蒸着あるいは凝固あるいは沈殿させることを目的として、２段以上の複数段設けた冷却塔において、金属および酸化金属及び塩化金属の各々の凝固点、蒸着点、沈殿の差に応じて冷却温度をコントロールして排ガスとその金属及び酸化金属及び塩化金属を高温から冷却させ、複数の金属を分別回収する。 （もっと読む）

特徴は、ポートを通じるガスの流れを制御するよう動作可能な、流動液体を含むバルブを含む。特定の特徴は、ガスを反応させるよう動作可能なチャンバを含み、一部の特徴において、ガスは、流動液体から成る外皮内に実質的に閉じ込められる。特定の実施態様は、ポートを通じるガス流を制御する流動液体から成るバルブでチャンバ内へのガスの進入を制御する。相当な量の固形反応生成物を生むガスを反応させるよう動作可能な反応チャンバを含むシステムを含む、様々なガスアベートメントシステムが記載される。ガス流を制御するための方法が開示される。システム及び方法は、湿式スクラビングし、反応させ、選択的にガス流を更に湿式スクラビングするという順次的なステップを含む。
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【課題】可燃性ガスを大量に含んだ排ガスを除害処理したときでも逆火のおそれがなく、かつ、従来の入口スクラバに比べて排ガスの洗浄効果を高めることができる排ガス除害装置を提供する。
【解決手段】半導体製造装置から排出される、可燃性ガスを含む排ガスＦを洗浄する洗浄水Ｗを貯留する洗浄水タンク２０と、下流端２２ｂが洗浄水タンク２０に貯留された洗浄水Ｗ中に開口され、排ガスＦを洗浄水タンク２０の導入する排ガス導入ダクト２２とを有する排ガス洗浄器１２、および排ガス洗浄器１２で洗浄された排ガスＦを受け入れ、排ガスＦ中の熱分解性ガスを熱分解する熱分解炉１４で排ガス除害装置１０を構成することにより、上記課題を解決することができる。 （もっと読む）

【課題】 重金属類の溶出防止とダイオキシン類の低減を同時に効率的に処理できる焼却飛灰の新規な安定化処理方法と装置を提供する。
【解決手段】 焼却飛灰を安定化する処理方法において、該焼却飛灰２に、鉄及び／又は鉄含有量が９０重量%以上の鉄合金、又は、さらに遷移金属と、還元性硫黄化合物と水とを添加し、それらを混練４して得られる混練物を、温度６０〜１００℃、相対湿度７０％以上の環境にて大気と１０分以上接触５させながら養生する方法であり、前記焼却飛灰への鉄、鉄合金、遷移金属及び還元性硫黄化合物から選ばれる１種以上の添加は、該焼却飛灰を集塵する前の燃焼排ガス中に行うことができ、その際、該燃焼排ガス中への添加は、炭酸水素ナトリウム又は消石灰から選ばれるアルカリ剤、又は、炭化物、活性コークス又は活性炭のいずれかと混合して行うことができる。 （もっと読む）

流体流から微量汚染物質を吸着するフロースルーモノリス吸着剤（４０８、４１０、４１４）の使用管理方法であって、この方法は、列の上流入口端からこの列の下流出口端へと流体流を通すことができるように初期列の状態で設置されている、微量汚染物質を吸着して有している２以上のフロースルーモノリス吸着剤（４０８、４１０）を提供するステップ、フロースルーモノリス吸着剤の入口端部分（４０８）を、列の入口端位置から取り除くステップ、フロースルーモノリス吸着剤の下流部分（４１０）を、列の下流位置から列の入口端位置へと移動させるステップ、および、交換用フロースルーモノリス吸着剤（４１４）部分を、列の下流位置に取り付けるステップ、を含む。
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流体流から元素状微量汚染物質を除去する方法であって、この方法は、元素状微量汚染物質を含む流体流を、酸化触媒を含むフロースルーモノリスに通して、この元素状微量汚染物質を酸化する工程、および、この酸化された微量汚染物質を含む流体流を、酸化触媒を含まない吸着剤と接触させて、酸化された微量汚染物質を吸着する工程、を含む。
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【課題】排煙から集塵された煤塵中の重金属類を固定化するために、燐酸系重金属固定化剤が用いられており、燐酸系重金属固定化剤はジチオカルバミン酸系重金属固定化剤のように有害ガスが発生する虞がないとともにカルシウム化合物と併用した場合ジチオカルバミン酸系重金属固定化剤と同等以上に優れた金属固定化効果が得られる利点があるが、燐酸系重金属固定化剤がカルシウム化合物と反応して消費され、必要以上に多量の重金属固定化剤を添加しなければならず、効率良い廃棄物処理が行えなかった。
【解決手段】本発明は排煙に、カルシウム化合物及び燐酸塩類を接触させて排煙中の酸性ガス、重金属類を処理することを特徴するものであり、酸性ガスと重金属類を含む排煙に燐酸塩類を添加することにより、排煙中にカルシウム化合物が含まれていても効果的に酸性ガスと重金属類とを処理することができる。 （もっと読む）

【課題】排ガスの処理速度の低下を抑え、吸着剤の寿命を従来よりも長くしてその本来の処理能力に近づけることができる排ガス処理装置を提供する。
【解決手段】排ガス中の有毒ガス成分を除去して排ガスを無害化する排ガス処理装置５０である。この装置５０は、有毒ガス成分を吸着する吸着剤Ｃ１〜Ｃｍ及び吸着剤Ｃ１〜Ｃｍを保持するメッシュ部Ｄ１〜Ｄｍをそれぞれ備えた複数の吸着剤収容部Ａ１〜Ａｍと、排ガスを複数の吸着剤収容部Ａ１〜Ａｍにそれぞれ独立して導入する排ガス導入部２０と、吸着剤収容部Ａ１〜Ａｍを通過した排ガスを外部に向けて排出するガス排出部３０とを備えている。 （もっと読む）

本発明は、次の連続した工程：ａ）予備処理工程；ｂ）圧縮工程；ｃ）精製CO₂富化ガス流れを液体、ガスまたは超臨界の状態で回収する工程；を含むCO₂、並びに水、SOxおよびNOxから選択される少なくとも１つの不純物を含む供給ガス流れの精製方法に関する。本発明は、精製工程が水の少なくとも部分的な除去を与える吸着特性を有するNOxおよび／またはSox−中性吸着材の少なくとも第１床が用いて、工程ａ）とｂ）の間でなされることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、CO₂および少なくとも１つの不純物を含む供給流れの精製方法に関し、次の連続する工程：ａ）予熱する工程；ｂ）圧縮工程；ｃ）前記圧縮ガス流に含まれ、窒素、酸素、アルゴンおよび希ガスから選ばれる少なくとも１つの不純物の除去を冷却サイクル、すなわち温度＜５℃、好ましくはゼロを下回る、中で分離器と組み合わされる交換器を用いることを含む工程；ｄ）CO₂富化精製ガス流れが液体、ガスまたは超臨界の形態で回収する工程を含む。本発明は、精製工程が窒素酸化物および水から選択される少なくとも１つの不純物を少なくとも部分的に除去するために工程ａ）とｃ）の間で遂行される。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程で発生する金属水素化物含有排ガスの除害処理において、高い除害能力を示す除害剤と除害方法とを提供する。
【解決手段】金属水素化物含有排ガスの除害剤及び除害方法に関し、金属酸化物、金属水酸化物、金属炭酸塩、又は金属塩基性炭酸塩の何れか一種又は二種以上のこれら化合物の混合物を成型し、その成型体にアンモニアを吸収させたものを除害剤とし、該除害剤に金属水素化物を含む排ガスを通し除害する。 （もっと読む）

【課題】 高価な薬剤や複雑な処理を必要とせずに、簡便で効率的に処理を行うことができ、さらに処理済みの廃棄物の発生量を低減するとともにランニングコストの低減が可能な飛灰の処理方法および処理装置を提供すること。
【解決手段】 飛灰を搬入する供給部１および搬入部２、飛灰の加熱焼成処理を行う加熱装置３ａ、処理された焼成物を搬出する搬出装置５からなり、加熱装置３ａに酸素含有流体を導入し、酸化雰囲気において加熱焼成処理を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

流体流れ、例えば、石炭ガス化プロセスにおいて生成された炭素燃焼排ガス流れまたは合成ガス流れ等から、有毒物質を削減するために適合された吸着体、およびかかる吸着剤の製造方法。吸着体は、複数の細孔を画定する活性炭マトリックス、硫黄および流体流れからの有毒物質の削減を促進するために適合された添加剤を含む。吸着剤は、例えば、ヒ素、カドミウム、水銀およびセレンを、ガス流れから削減するのに有用である。
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【課題】廃棄物中に含まれる重金属類を処理するために用いられている廃棄物処理剤は、酸性物質を多く含む廃棄物を処理したり、高温下で処理すると、分解して有毒なガスを発生したり、処理剤が不安定となったりして十分な処理効果が得られにくい等の問題があった。本発明は、酸性物質を多量に含む廃棄物に添加しても安定で、重金属に対する高い処理能力を発揮するとともに、塩化水素等の有害な酸性物質も効果的に処理することができる酸性廃棄物処理剤を提供する。
【解決手段】本発明の酸性廃棄物処理剤は、含窒素複素環化合物の窒素にジチオ酸基が結合した金属捕集剤の水溶液によって、酸化カルシウムを消化して得られることを特徴とする。本発明処理剤は、酸化カルシウム１００重量部当たり、金属捕集剤を０．１〜１５０重量部の割合で反応させたものが好ましい。 （もっと読む）

【課題】多額の初期投資及び大規模な追加設備を必要とせずに有害微量元素の含有率が高い安価な石炭種を使用するために集塵装置の集塵効率を向上する方法を提供する。
【解決手段】排ガス中の有害微量元素を捕捉する方法は、石炭を燃焼させる微粉炭燃焼部１６と、微粉炭燃焼部１６の下流に設けられ石炭灰のうちフライアッシュを集塵する集塵装置１８２と、を備えた微粉炭燃焼施設１において、石炭灰を微粉炭燃焼部１６に供給する石炭供給工程Ｓ１０から集塵装置１８２によってフライアッシュが集塵される排水・排ガス処理工程までの間の系内に移送する。 （もっと読む）

【課題】多額の初期投資及び大規模な追加設備を必要とせずに有害微量元素の含有率が高い安価な石炭種を使用するために集塵装置の集塵効率を向上する方法を提供する。
【解決手段】集塵装置１８２の集塵効率を向上する方法は、石炭を燃焼させる微粉炭燃焼部１６と、微粉炭燃焼部１６の下流に設けられ石炭灰のうちフライアッシュを集塵する集塵装置１８２と、を備えた微粉炭燃焼施設１において、石炭に、微粉炭燃焼施設１とは異なる他の微粉炭燃焼施設１００において燃料である石炭を燃焼させたときに生じる石炭灰を添加する。 （もっと読む）

【課題】十分な量の除害剤が充填可能な除害塔を有するとともに、処理ガス中の有害ガス成分の到達を迅速に検知し、除害剤の破過のタイミングを的確に検知することのできる検知窓構造を備える除害装置を提供する。
【解決手段】有害ガスを除害する除害剤４１が充填される除害塔４０と、有害ガスとの接触によって変色する検知剤３０が充填される検知剤容器２３および検知剤３０の前記変色を観察するための覗窓２２を備え該除害塔４０に着脱可能に装着される検知窓構造２０と、を有する除害装置１０であって、
前記検知窓構造２０は、除害塔４０を流通する有害ガスを検知剤容器２３に導入するガス導入口２６が、前記覗窓２２の接ガス面２７に隣接して形成されるとともに、前記覗窓２２の接ガス面２７が除害塔４０の内壁面位置と一致するか、または除害塔４０の中心側に設けられていることを特徴とする除害装置１０。 （もっと読む）

【課題】除害塔に充填した除害剤を無駄なく使用することができ、除害剤の破過が迅速に検知可能であって、かつ除害処理の連続的な実施が可能であるとともに、安価で装置の小型化を図ることのできる有害ガスの除害方法およびこれを実現する除害装置を提供する。
【解決手段】有害ガスとの接触によって変色する検知剤３０が装填される検知剤容器２３と、検知剤３０の前記変色を観察するための覗窓２２とを備える検知窓２０が設けられ、前記有害ガスを吸着して除害する除害剤４１が充填される少なくとも二式以上の除害塔４０ａ，４０ｂが直列配置され、導入された有害ガスを前記二式以上の除害塔を通過させて除害する除害装置１０であって、前記検知窓２０が、それぞれの除害塔に対し、前記通過する有害ガスの流れ方向の上流側に設けられていることを特徴とする除害装置１０。 （もっと読む）