【課題】合成石英ガラスに対してＵＶレーザ光やＵＶ光の長期照射に対する耐性を備えるのに必要な水素を効率的に含浸させ、ガラス内の水素濃度分布の平準化を図る。
【解決手段】合成石英ガラスを、水素を含む雰囲気中で、第１温度で加熱する第１加熱工程と、前記合成石英ガラスを、水素を含まない雰囲気中で、前記第１温度以上の第２温度で加熱する第２加熱工程と、前記合成石英ガラスを、水素を含む雰囲気中で、前記第２温度以下の第３温度で加熱する第３加熱工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 シリカ−チタニアガラス製のＥＵＶＬ鏡（または、他の）基材のＴｚｃを、所望の特定の範囲に調節できるようにする。
【解決手段】 ＥＵＶＬ鏡基材のＴｚｃを、基材のＴｚｃを所望のＴｚｃ値にシフトさせる選択された最終アニールを行うことによって、特定の範囲になるように調節することができる方法が記載されている。また、セットを構成する個々の鏡が、異なる値のＴｚｃに指定され得ることから、この方法は異なるＴｚｃ値を有する部品を単一のガラスブールから製造するためのガラスサンプルまたはガラス片の製造に使用することができ、これにより、注文に応えるために要求される個々のブール数を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、赤外線を用いて透明及び／又は半透明なガラス及び／又はガラスセラミック製品を均一に加熱する方法に関する。
【解決手段】ガラス及び／又はガラスセラミック製品に、２０〜３０００℃、特に２０〜１７０５℃で、加熱処理を施す。本発明は、ガラス及び／又はガラスセラミック製品に直接的に作用する赤外線の成分と、このガラス及び／又はこのガラスセラミック製品に間接的に作用する赤外線の成分とを用いて加熱がなされることを特徴とする。ガラス及び／又はガラスセラミック製品に間接的に作用する成分は、全放射出力の５０％以上に及ぶ。 （もっと読む）

【課題】複数のガラス体を融着させることにより大質量ガラス体を作製することを可能とするＥＵＶリソグラフィ用ガラスの成型方法の提供。
【解決手段】２以上のガラス体を１０Ｔｏｒｒ以下の雰囲気で徐冷点〜軟化点のいずれかの温度に昇温し融着した後、１００Ｔｏｒｒを越える雰囲気で軟化点〜軟化点＋２５０℃にて成型することを特徴とするＥＵＶリソグラフィ用ガラスの成型方法。 （もっと読む）

【課題】生産性を落さずに火炎研磨後のガラス母材の振れ回りを減少させることができるガラス母材の火炎研磨方法を提供する。
【解決手段】本発明のガラス母材の火炎研磨方法は、回転する光ファイバ用ガラス母材１の表面を光ファイバ用ガラス母材１の軸方向に相対的に移動する酸水素火炎１３を用いて火炎研磨する。そして、光ファイバ用ガラス母材１の回転数を、芯出し時は毎分４０回転で回転させ、その後の火炎研磨時は毎分２０回転まで減速して回転させる。 （もっと読む）

【課題】 硝材の歩留まりを向上させてコスト低減を図ることができ、また、屈折率のばらつきΔｎが小さい大口径の硝材の製造が容易な硝材の製造方法を得る。
【解決手段】 石英ガラス棒１を石英パイプ３に挿入し高温下で前記石英パイプ３を収縮させることにより両部材が互いに密着状態になされた硝材母材５を形成し、該硝材母材５をアニール後、前記硝材母材５の石英パイプ３部分を削除する。 （もっと読む）

【課題】その目的は、半導体基板を反応容器内に搬入して熱処理する熱処理装置の構成部品である石英製品をベーク用の容器内にてベークし、石英製品に含まれる金属を除去するにあたって、複数の石英製品を容易に一括してベークすることができるベーク用の治具を提供すること。
【解決手段】下端に炉口が形成される非金属製の筒状の縦型容器内に石英製品を搬入し、当該石英製品をベーク処理するときに用いられる治具であって、治具要素部材を着脱自在に複数段積み重ねて構成され、この治具要素部材に石英製品を載置し、この一つの治具要素部材の上に他の治具要素部材を積み重ね、当該他方の治具要素部材に石英製品を載置し、こうして順次治具要素部材と石英製品とを積み重ねていくものである。 （もっと読む）

【課題】ガラス材料薄板からなる基板の両面に、基板表面の垂直方向の同軸方向に少なくとも一対の隆起部を備えたガラス基板とその製造方法を提供することを主な目的とする。
【解決手段】熱処理により体積が増加するガラス材料の薄板からなり、その表裏両面に垂直な方向に同軸上に少なくとも一対の凸部を備えたことを特徴とするガラス基板。 （もっと読む）

【課題】
半導体製造工程を経た石英ガラス製治具から、表面付着不純物と内部拡散不純物を完全除去した後、加工修理を施し、さらに加工工程での汚染も除去して、石英ガラス製治具及びドープ石英ガラス製治具を再生する技術を提供する。
【解決手段】
使用後の石英ガラス製治具を、ハロゲン元素を含有するガス雰囲気で所定温度以上の温度域で純化処理する純化処理工程を含み、当該純化処理工程において前記石英ガラス製治具から不純物を除去するようにした。 （もっと読む）

【課題】 酸素用ポートを複数有するマルチノズル型バーナを用いて、良好な水素の燃焼効率を実現して加熱時間の短縮を図るとともに、酸素及び水素の使用量を少なくすることのできるガラス母材の加熱方法を提供する。
【解決手段】 本発明のガラス母材の加熱方法は、酸素用ポート３ａを複数有するマルチノズル型バーナ１を使用してガラス母材Ｇを加熱して火炎研磨する際に、酸素用ポート３ａの出口断面積の合計に対する水素用ポート２ａの出口断面積の合計の比が、２〜２４の範囲内である。 （もっと読む）