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Fターム[4G062MM02]に分類される特許
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光学ガラス
リン酸塩光学ガラス
モールドプレス成形用光学ガラス
光学ガラス、プリフォーム及び光学素子
【課題】屈折率(nd)及びアッベ数(νd)が所望の範囲内にありながら、色収差の補正に好ましく用いられ、且つ光学機器の軽量化に寄与しうる光学ガラスと、これを用いたレンズプリフォームを提供する。
【解決手段】光学ガラスは、酸化物換算組成のガラス全質量に対して、質量%でB2O3成分を5.0〜55.0%、La2O3成分を10.0〜55.0%含有し、F成分をさらに含有し、Gd2O3成分の含有量が25.0%未満である。
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ノンドープ白色蛍光合成シリカガラス
【課題】炭素、Cu又は燐光物質をドープすることなく、紫外線を照射したときの蛍光が白色蛍光であるノンドープ白色蛍光合成シリカガラスを提供する。
【解決手段】OH基含有量が1ppm以下であり、塩素の含有量が30ppm以下で、1280℃での粘度(Logη)が12.2poise以上であり、Cuの含有量が1ppm以下、Cの含有量が100ppm以下であり、紫外線を照射することで可視光領域に1秒以上の遅延蛍光を発生する合成シリカガラスであって、紫外線を照射したときの蛍光が白色蛍光であるようにした。
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光学ガラス、光学素子及びプリフォーム
【課題】より幅広い温度範囲で、所望の結像特性等の光学特性を得ることができる光学ガラスと、これを用いたプリフォーム及び光学素子を提供する。
【解決手段】光学ガラスは、カチオン成分としてP5+、Al3+及びMg2+を含有し、アニオン成分としてO2−及びF−を含有するものであり、相対屈折率(589.29nm)の温度係数(20〜40℃)が−6.0×10−6(℃−1)以上である。プリフォーム及び光学素子は、このような光学ガラスからなる。
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3成分ドープのシリカ・チタニアの重要部分を有している、2成分系シリカ・チタニアガラス製品
【課題】従来の火炎加水分解法や、新たなスート押圧法、ゾル・ゲル法などの方法で作製することが困難な、ドープされたシリカ・チタニアガラスを使用した、EUVLの投影光学系の大型部品を提供する。
【解決手段】5℃から35℃の温度範囲に亘ってCTEが0±30ppb/℃以下である材料から成る素子ブランク10が、ドープされたシリカ・チタニアガラスから成る、インサート14を備える。シリカ・チタニアガラスに加えられたドーパントは、酸化アルミニウムと選択された遷移金属酸化物とから成る群から選択されたものであり、また素子ブランク10の材料は、ガラスとガラスセラミックとから成る群から選択される。このインサート14は、フリットを用いて、またはフリットを用いることなく、ブランク10に融合接合される。
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ガラス製光学素子
【課題】ガラス製光学素子において、表面の薄膜を形成する場合に薄膜密着性および薄膜の反射率特性に優れ、効率よく製造することができるようにする。
【解決手段】フッ素およびリンを含有するガラス材料を加工したレンズ本体1cを有するレンズ1であって、レンズ本体1cは、ガラス材料の組成と同じ組成を有する基体部1Bと、基体部1Bの少なくとも一部の表面に層状に形成され、フッ素元素の含有率が基体部1Bの組成におけるフッ素元素の含有比率を下回ることなく変化して最外面で最大となる勾配を有するフッ素濃度勾配層部1Fと、を備える構成とする。
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EUVリソグラフィ用の光学機構及び該光学機構を構成する方法
【課題】温度の影響による変形を低減する、EUVリソグラフィ用の光学機構、特に投影レンズと、光学素子を有する該光学機構を構成する方法とを提供する。
【解決手段】反射面31a及び第1ゼロ交差温度TZC1でゼロ交差を有する温度依存性の熱膨張率を有するTiO2ドープ石英ガラスから構成された基板32を備える第2ミラー22と、反射面及び第1ゼロ交差温度とは異なる第2ゼロ交差温度でゼロ交差を有する温度依存性の熱膨張率を有するTiO2ドープ石英ガラスから構成された第2基板を備える第2光学素子とを備え、第1ゼロ交差温度における第1基板32の熱膨張率の勾配(ΔCTE1>)及び/又は第2ゼロ交差温度における第2基板の熱膨張率の勾配(ΔCTE2)は負の符号を有する光学機構に関する。
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光学ガラス、光学素子及びプリフォーム
【課題】屈折率(nd)及びアッベ数(νd)が所望の範囲内にありながら、耐失透性が高く、より安価である光学ガラスの提供。
【解決手段】酸化物換算組成のガラス全質量を基準として質量%換算で、B2O3を10.0〜35.0%、La2O3を20.0〜40.0%含有し、結晶析出温度(Tx)とガラス転移温度(Tg)との差分(ΔT)が140℃以上である光学ガラス。酸化物換算組成のガラス全質量を基準として、質量%換算で0〜5%のLi2Oを含有する前記記載の光学ガラス。
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光学ガラス、プリフォーム及び光学素子
【課題】可視領域に対する透明性が高く、且つガラスの作製時及び加工時に失透や曇りが生じ難く、研磨加工によるプリフォーム材や光学素子の作製を行い易い光学ガラスと、これを用いたプリフォームを提供する。
【解決手段】酸化物換算組成のガラス全質量に対する質量%でBi2O3成分を70.0%以上90.0%以下、B2O3成分を6.0%以上20.0%以下及びSiO2成分を0%超20%以下の成分をそれぞれ含有することを特徴とする光学ガラス。
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弗燐酸塩光学ガラスの製造方法
【課題】各種光学用レンズ、窓材、プリズムなどの色収差を補正するために用いられる弗燐酸塩光学ガラスの酸化物を低減でき、屈折率の安定した弗燐酸塩光学ガラスを提供する。
【解決手段】AlとFを含有しかつAl2O3等のアルミニウム酸化物の含有率が小さいMg、Ca、Sr、Baのフルオロアルミン酸塩化合物を単一または複数原料として使用し、溶融することで、酸化物含有量が少なく、屈折率の安定した弗燐酸塩光学ガラスを製造する。
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光学ガラス、プレス成形用ガラスゴブおよび光学素子とその製造方法ならびに光学素子ブランクの製造方法
【課題】安定供給が可能であって、優れたガラス安定性を有し、しかも着色が少ない高屈折率低分散光学ガラスを提供する。
【解決手段】質量%表示で、
SiO2およびB2O3を合計で5〜32%、
La2O3、Gd2O3およびY2O3を合計で45〜65%、
ZnOを0.5〜10%、
TiO2およびNb2O5を合計で1〜20%、
ZrO2を0〜15%、
Ta2O5 を0〜12%、
GeO2を0〜5%、
含み、
B2O3の含有量に対するSiO2の含有量の質量比(SiO2/B2O3)が0.3〜1.0、La2O3、Gd2O3およびY2O3の合計含有量に対するGd2O3およびY2O3の合計含有量の質量比(Gd2O3+Y2O3)/(La2O3+Gd2O3+Y2O3)が0.05〜0.6であり、
屈折率ndが1.90〜2.0、アッベ数νdが32〜38、かつ着色度λ70が430nm以下であることを特徴とする光学ガラス。
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TiO2を含有するシリカガラスおよびEUVリソグラフィ用光学部材
【課題】面粗さの小さい基板として適当なTiO2−SiO2ガラスの提供。
【解決手段】TiO2濃度が1〜12質量%のシリカガラスであり、かつ、TiO2濃度の最大値と最小値との差が、少なくとも一つの面内における30mm×30mmの範囲で0.06質量%以下であることを特徴とするTiO2を含有するシリカガラス。
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デューテロキシルドープ石英ガラス、このガラスを有する光学部材及びリソグラフィシステム並びにこのガラスの作成方法
【課題】低レベルの偏光誘起複屈折、低レベルの光誘起波面歪曲及び高レベルの初期内部透過率を有する、合成石英材料及びその作成方法を提供する。
【解決手段】開示には約300nmより短波長におけるリソグラフィに用いるための光学素子に使用することができるODドープ合成石英ガラスが含まれる。ODドープ合成石英ガラスはOH濃度が同程度の無ODドープ石英ガラスよりもかなり小さい偏光誘起複屈折値を有することがわかった。ODドープ合成石英ガラス、そのようなガラスからなる光学部材及びそのような光学部材を備えるリソグラフィシステムも開示される。ガラスは、約193nmにおける偏光誘起複屈折値が極めて小さいことから、浸漬リソグラフィシステムに特に適する。
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光学ガラス
【課題】屈折率(nd)が1.78〜2.2、アッベ数(νd)が16〜40未満の範囲であり、ガラス転移点が低くて精密モールドプレス成形に適した新規の光学ガラスを提供すること。
【解決手段】酸化物基準のモル%でB2O3を25〜60%、TiO2とNb2O5の合計量を2〜45%、WO3を1〜25%含有し、屈折率ndが1.78〜2.2、アッベ数νdが16〜40未満である光学ガラス。さらに、La2O3を5〜35%、ZnOを1〜40%を含有する。また、ガラス転移点(Tg)が700℃以下である。これによって、ガラスの溶融性、安定性や耐失透性に優れ、また、高い屈折率と光の高分散性を有すると共に、精密プレス成形に優れた光学ガラスとなる。
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光学ガラス
【課題】酸化ビスマスを含有する光学ガラスにおいて、プリフォームの生産性、モールドプレス性が良好な光学ガラスを提供する。
【解決手段】質量%でBi2O3を10%以上90%未満含有し、屈折率[nd]が1.70以上、アッベ数[νd]が10以上の光学恒数を有し、液相温度における粘性が0.4Pa・s以上である光学ガラスである。さらに、ガラスの屈伏点[At]が600℃以下、液相温度が950℃以下であることが好ましい。
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光学ガラス、プリフォーム及び光学素子
【課題】屈折率(nd)及びアッベ数(νd)が所望の範囲内にあ、色収差の補正に好ましく用いられ、且つ耐失透性の高い光学ガラスと、これを用いたレンズプリフォームを提供する。
【解決手段】光学ガラスは、酸化物換算組成のガラス全質量に対して、質量%でB2O3成分を5.0〜55.0%、La2O3成分を10.0〜55.0%含有し、Al2O3成分及びF成分をさらに含有する。この光学ガラスは、1.57以上の屈折率(nd)と、50以上のアッベ数(νd)とを有する。
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光学ガラス、プリフォーム及び光学素子
【課題】屈折率(nd)及びアッベ数(νd)が所望の範囲内にありながら、色収差の補正に好ましく用いられ、且つ材料コストの低減された光学ガラスと、これを用いたプリフォーム及び光学素子を提供する。
【解決手段】光学ガラスは、酸化物換算組成のガラス全質量に対して、質量%でB2O3成分とF成分を含有し、Ln2O3成分(式中、LnはLa、Gd、Y、Yb、Luからなる群より選択される1種以上)の質量和が50.0%未満である。プリフォーム及び光学素子は、この光学ガラスからなる。
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光学ガラス、精密プレス成形用プリフォームおよびその製造方法、光学素子およびその製造方法
【課題】屈折率ndが1.70以上、アッベ数νdが50以上であって、低温軟化性を有するとともに優れたガラス安定性を示す光学ガラスの提供。
【解決手段】屈折率ndが1.72以上、アッベ数νdが50以上であって、モル%表示にて、B2O3 40〜75%、SiO2 0%を超え15%以下、Li2O 1〜10%、ZnO 0〜15%、La2O3 5〜22%、Gd2O3 3〜20%、Y2O3 0%以上1%未満、ZrO2 0〜10%、MgO 0〜5%、CaO 0〜5%、SrO 0〜5%、F 0〜5%を含み、Li2OおよびZnOの合計量が5〜15モル%であり、かつモル比(ZnO/Li2O)が0.4以上2.5以下である光学ガラス。
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