【課題】構造の簡素化と流通させる液体の清浄度向上との両立を図り、液体の供給停止後に生じる使用部における液垂れを抑制することができる新たな構造を備えた液体供給装置を提供する。
【解決手段】液体の供給部１０と、液体の使用部２０と、供給部から使用部へ液体を流通させる供給配管部３０とを有する液体供給装置１Ａであって、供給配管部は、供給部側から供給される液体を流通させる主配管部３１と、主配管部に接続されるアスピレータ５０と、アスピレータにより分岐され使用部側に液体を供給する使用側配管部３２及び副配管部３３と、副配管部に接続され開閉機能を有する弁１６とを備えており、アスピレータの主流路側に主配管部及び副配管部が接続され、アスピレータの吸引流路側に使用側配管部が接続される。 （もっと読む）

【課題】より高精度な混合比率を得ることができる連続計量混合システムを提供する。
【解決手段】各々、異なる被計量物を連続して排出し、各被計量物の目標混合比率に応じて設定される各被計量物の単位時間当たりの設定排出量に基づいて各被計量物の排出量を制御するように構成されるとともに、各々から排出する被計量物が液体または粉体であって少なくとも１つの被計量物が液体である、複数の連続計量供給装置２，３，４と、全ての連続計量供給装置２，３，４から排出される被計量物を混合しながら連続して排出する混合装置５と、混合装置５から排出される混合物を後段装置へ供給するための輸送ライン７と、輸送ライン７の中途に挿入された貯槽８と、貯槽８内の混合物を吸い出すポンプ１０と、ポンプ１０で吸い出した混合物を貯槽８よりも混合装置５寄りの輸送ライン７へ戻すための戻りライン９とを備えている。 （もっと読む）

【課題】流量調節部材の粉体流通部に粉体が付着、堆積することがなく、粉体の流量を安定させて、粉体を所定量ずつ連続して供給できるようにするとともに、供給する粉体への気体の同伴による混入を防止することができる粉体定量供給装置を提供すること。
【解決手段】粉体供給口１１及び粉体排出口１２を備えたケーシング１０と、複数の粉体収容室２０を周方向に等間隔に備えた計量回転体２と、計量回転体２を回転駆動する駆動機構Ｍとからなり、粉体供給口１１から計量回転体２の粉体収容室２０に供給された粉体が放出される前記ケーシング１０内の位置に、粉体排出口１２から作用する吸引力によって、粉体供給口１１よりも低圧に維持される膨張室１３を形成し、計量回転体２の回転に伴って、各粉体収容室２０が、膨張室開放状態、第１密閉状態、粉体供給口開放状態、第２密閉状態の順で、その状態が繰り返して変化するように構成する。 （もっと読む）

【課題】所定量の薬液を安定して供給可能な薬液供給システムを提供する。
【解決手段】冷凍機１と冷却塔２との間を循環する冷却水に薬液を供給するための薬液供給システムであって、冷却水が循環する配管３内に設けられ、冷却水の水流によって回転させられるプロペラ１２と、プロペラ１２の内部に設けられ、薬液が流れる流路１２ｃと、流路１２ｃ内の薬液が吐出される吐出口２２とを有し、プロペラ１２が回転することによって流路１２ｃ内の薬液に生じる遠心力によって、吐出口２２から配管３内に薬液を吐出させる。 （もっと読む）

【課題】薬液から発生した気体の気体溜まりが形成されるのを防止する。
【解決手段】発泡性の薬液を他の液体が流れる主通路（３２）まで供給する薬液供給装置（１０）が、薬液を貯蔵する薬液貯蔵タンク（２１）と、薬液貯蔵タンクと主通路とを接続する供給通路（２３）と、供給通路に設けられたポンプ（２５）と、ポンプよりも下流の供給通路からポンプよりも上流の供給通路まで供給通路内の薬液を循環させる循環通路（２４）と、薬液を循環させられる供給通路の一部分および循環通路のうちの少なくとも一方の内部を大気に開放させる大気開放部（２２）とを具備する。大気開放部は、上方が開放している希釈液タンクであるのが好ましい。また、供給通路の少なくとも一部は、薬液貯蔵タンクから主通路に向かう方向において水平面に対して斜め上方に傾斜しているのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】従来よりも供給不良が発生し難い液体の供給機構を提供しようとするもの。
【解決手段】液体７の貯留槽６を有し、前記液体７の供給時には加圧状態とすると共に、供給量に応じた加圧条件に設定するようにした。液体の供給時には加圧状態とするようにしたので、液体に対して従来のダイヤフラムポンプのような吸引圧（負圧）ではなく押圧力がかかり、液体はガスの発生等が押さえ込まれる状態にある。前記液体の供給時以外も貯留槽内の液体を所定の加圧状態としていることとしてもよい。 （もっと読む）

【課題】純度や清浄度を高度に維持・管理された流体を各ユースポイントに安定して供給することができる流体供給システム、とくに超臨界流体供給システムを提供する。
【解決手段】流体の常時循環系と、該流体を臨界圧力以上にすることが可能な加圧手段および／または臨界温度以上にすることが可能な加熱手段と、常時循環系から必要に応じてユースポイントに流体を供給する供給系と、を有することを特徴とする流体供給システム。 （もっと読む）

【課題】 開度調整手段等の流れの障害となる部材を流路内に配置することなく、流量を調整することができる流量調整方法および装置を提供する。
【解決手段】 異物を含む供給流体を流量調整管５へ通液し、流量調整管５において送液部６から分岐する供給部７へ供給流体を分流し、流量調整管５の水平軸に対する傾斜角度および水平軸廻りの回転角度の少なくとも一方の角度を変更して供給部７へ分流する供給流体の流量を調整する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、機能水を用いて基板を洗浄する装置に機能水を供給するシステムを提供する。
【解決手段】本発明のシステムにおいて、機能水生成器から生成された機能水が機能水供給管を通じて分配器に供給される。以後、機能水は、装置が工程進行中である際には装置に供給され、装置が工程進行しない際には機能水回収管を通じて機能水生成器に回収される。機能水供給管にはバッファタンクが設けられ、バッファタンクに連結された循環ラインで機能水の濃度が測定される。機能水の濃度が設定範囲を逸脱すると、搬送管を通じて機能水は機能水生成器に搬送される。 （もっと読む）

【課題】処理装置における閉塞を防止する。
【解決手段】反応器３の漏斗状排出部６から排出される含液固形物を、管７を介して固液分離装置８に対して送り、固液分離を行うにあたり、固液分離により生成する液分の一部を返送路９を介して漏斗状排出部６内に供給するように構成する。 （もっと読む）

本発明は、供給装置３４によって液体の流れに化学物質を供給するための方法および装置に関するものであり、この供給装置３４は、ノズル・ケーシング８０と、このノズル・ケーシング８０に関連して配置された装置８４、８８、１４４とを含む。また装置８４、８８、１４４は、化学物質を供給するための手段１６２と、ノズル・ケーシングに関連して配置された分離空間１５４に混合液を供給するための手段１４２とを有する。本発明による方法および装置は、極めて少量の化学物質を正確な量で、大量のプロセス液の流れに供給しなければならないアプリケーションにとりわけ適している。
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