【課題】蒸着材料の熱膨張における体積変化を行う通路を確保し、蒸着容器割れや破損を防止することにより、蒸着容器交換頻度を減らし、蒸着コストを低減する薄膜の製造装置および薄膜の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の薄膜の製造装置は、基板４の表面に、真空蒸着を用いて成膜を行う薄膜製造装置１００であって、蒸着原料と、前記蒸着原料を収容する容器１６と、前記容器に１６収容された前記蒸着原料を加熱する加熱手段１７と、前記加熱手段１７が前記蒸着原料を加熱して溶解時に、前記蒸着原料の溶解面より下方と前記溶解面の上方とを連通する管５０と、を有する薄膜製造装置である。 （もっと読む）

【課題】容器内におけるスカルの発生を抑え、効率良く金属を溶解可能な溶解用容器及びこれを用いた溶解装置を提供する。
【解決手段】本発明は、真空中で電子ビームを照射して精製原料を溶解するための溶解用容器であって、水冷可能な銅からなり所定形状の収容部を有する容器本体５を備え、容器本体５の収容部の隅部分に曲面部が形成されている。本発明では、容器本体５の平面図における隅部分の曲面部の曲率半径Ｒ_fと、容器本体５の断面図における隅部分の曲面部の曲率半径Ｒ_sが、共に同一の範囲内となるように構成することもできる。容器本体５の平面図における隅部分の曲面部の曲率半径Ｒ_fと、容器本体５の断面図における隅部分の曲面部の曲率半径Ｒ_sが、共に１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下となるように構成することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】メンテナンスを容易にして稼働率の向上が図られる金属の精製装置と、それを用いた金属の精製方法とを提供する。
【解決手段】金属の精製装置は、溶解炉１と溶融金属被析出体９３を備えて構成され、溶融金属被析出体９３は、中空回転軸部９０、中空回転冷却体部９１および接続部材９２により構成される。中空回転軸部９０は、天井壁１ａに設けられた貫通孔６に挿通されている。その貫通孔６と中空回転軸３の外周面との間にはパッキング９が配設されている。中空回転軸部９０は、その外径が少なくとも貫通孔６に中空回転軸部９０が挿通されている部分からアダプター３０に接続される下端部にわたってパッキング９の内径を超えないように形成されている。 （もっと読む）

【課題】るつぼを繰り返し使用できて精錬コストを下げることができるだけでなく、凝固した材料の取り出しも容易になるるつぼ装置及びそれを用いた凝固方法を提供する。
【解決手段】るつぼ装置２０は、筒状で上端と下端が開口したるつぼ本体２１と、このるつぼ本体２１の下端を閉止する別体の底板２２とから構成される。底板２２上にるつぼ本体２１を載置することによって、溶融した材料を受け入れる収容空間を形成する。凝固した材料を取り出す場合には、るつぼ本体２１を上昇させて底板２２から分離させた後、凝固した材料をるつぼ本体２１の下端側から押してるつぼ本体２１から取り出す。 （もっと読む）

【課題】鋳型の高さを有効に利用してシリコン鋳塊の鋳造が可能であり、鋳型内で融解したシリコン融液に原料を追加供給する際、鋳型の離型材が剥離損傷し、鋳塊のクラック及び離型材の混入により歩留りを低下させるという問題点を解消した鋳造方法及び鋳造装置を提供することを目的とする。
【解決手段】鋳型１内に保持したシリコン融液５を冷却凝固させるシリコン鋳造方法であって、前記シリコン融液５は、前記鋳型１内に保持したシリコン原料５を加熱溶融させつつ、追加のシリコン原料７を供給して形成され、前記追加のシリコン原料７を供給するタイミングは、前記鋳型内にシリコン融液５と未溶融シリコン５ａが混在した状態のときとしたシリコン鋳造方法。 （もっと読む）