【課題】 半導体検査装置で大きさの異なる試料を検査する場合に、試料外縁付近を検査するときに試料近傍の等電位面の分布が乱れるため一次電子線が曲がってしまい、いわゆる位置ずれが発生する。
【解決手段】 試料の外側で且つ試料下面よりも低い位置に電位補正電極を設け、そこに試料よりも低い電位を印加する。また、検査位置と試料外縁との距離、試料の厚さ、および一次電子線の照射条件に応じて電位補正電極に印加する電圧を制御する。 （もっと読む）

【課題】電子線を走査して試料を観察するにあたって、高い分解能を有するとともに、電子線の走査に要する時間を短くできる試料観察装置を提供する。
【解決手段】ステージに載置された試料ＳＭに電子線ＩＢを照射して、試料ＳＭからの電子線を検出することにより試料を観察する電子線検査装置に於いて、１つの電子筒体５０は、試料ＳＭに照射される複数の電子線ＩＢ及び試料ＳＭからの電子線が通る電子線路を形成する複数の電子線照射検出系により構成される。ここで、複数の電子線照射検出系を同時に用いることで、検査の高速化を実現する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、異なる帯電が混在するが故に、正確な検査，測定が困難になる可能性がある点に鑑み、異なる帯電現象が含まれていたとしても、高精度な検査，測定を可能ならしめる方法、及び装置の提供にある。
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、帯電条件の変化を示すフィッティング関数に基づいて、荷電粒子線照射によって得られるパターン寸法を補正する方法、及び装置を提案する。このような構成によれば、特性の異なる帯電現象が混在するような場合であっても、走査荷電粒子線装置による正確な検査，測定を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】高密度の荷電粒子小ビームを用い、高精度で荷電粒子小ビームを操作することのできる粒子光学システムを提供する。
【解決手段】粒子光学装置であって、荷電粒子ビームを発生させる少なくとも１つの荷電粒子源３０１と、複数の開孔を有し、その下流側で荷電粒子ビーム３０９から複数の荷電粒子小ビーム３が形成され、その集束領域に荷電粒子小ビームのそれぞれが焦点３２３を有する少なくとも１つの多孔プレート３１３と、荷電粒子小ビームの焦点が形成される多孔プレートの集束領域で視野レンズの効果を有する焦点レンズ装置３０７と、粒子光学装置の物体面内に位置決め可能な物体上に多孔プレートの集束領域をおおむね結像させるための対物レンズ１０２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 試料内複数点の測定時に生じる像ドリフトを低減する。
【解決手段】 測長画像の取得後に測長画像取得より低倍走査での電子ビーム照射により除電を行う。その際に、走査領域が２０μｍ角以上、２００μｍ角以下の倍率に設定される。 （もっと読む）

【課題】低プローブ電流であっても、反射電子と二次電子とを弁別検出できる低加速の走査電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】
電子銃２９と、アパ−チャ２６と、試料台３と、電子線３１を試料２上に収束するための電子光学系４−１と、偏向手段１０と、二次電子検出器８、反射電子検出器９と、電子銃２９と試料２の間となる位置に筒状の電子輸送手段５を備え、反射電子検出器９は電子輸送手段５の内部であって、二次電子検出器８及び偏向手段１０よりも電子銃２９に対して遠方側に設置され、反射電子検出器９の感受面９−１は電子輸送手段５と同電位となるように電気的に配線されている。 （もっと読む）

【課題】近年、走査電子顕微鏡などの荷電粒子線装置はユーザの裾野が広がっている。そのユーザの誰もが手動調整技術を習得することが求められているが、観察のためのパラメータ全てを適切な値に調整することは非常に困難である。このため初心者にとっては装置の性能を十分に発揮させることが難しかった。本発明は誰もが容易に手動調整技術を習得するためのパラメータ調整練習機能を備えた荷電粒子線装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】上記課題を解決するため、フォーカス調整および非点調整の練習手段を設ける。ユーザの操作に応じて対物レンズのフォーカス条件とＸ方向非点補正器とＹ方向非点補正器の制御条件を設定し、設定されたフォーカス条件とＸ方向非点補正条件とＹ方向非点補正条件の組に応じて、当該制御条件に対応した練習用画像を記憶装置から読み出し、画面に表示することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
荷電粒子ビームを用いた計測装置ないし検査装置において、検査の高感度と高安定性とを両立する。
【解決手段】
帯電制御電極A４２０の被計測試料ないし検査試料側に帯電制御電極B４２１を設置し，試料の帯電状態に応じて、帯電制御電極Bの帯電制御電極制御部４２３から一定の電圧を与えることにより、検査前に形成した試料表面の帯電状態と電位障壁の変動を抑制する。帯電制御電極制御部６６によりリターディング電位が印加され、試料と同電位に調整される帯電制御電極A４２０の更に下部に帯電制御電極B４２１が設けられることにより、一次電子ビーム19が照射されるウェハ９などの試料から放出された二次電子４０９の試料への戻り量を調整することが可能になり，高感度な検査条件を検査中安定的に維持することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】安全性（感電防止機構）を備えつつ操作性が考慮された高電圧印加試料ホルダーを装着可能な電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】本発明は、試料を装填する試料台に電圧を印加する機能を備えた試料ホルダーと、前記試料台に印加される電圧を供給する電圧源と、一端が前記試料ホルダーに接続される電圧ケーブルとを備え、更に、前記電圧ケーブルの他端が接続される中継器が、電子顕微鏡の鏡筒を支持する架台上に設置されたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡による試料の構造や特性を観察する方法において、２次電子信号で得られる試料情報の選択性と画質を向上させる。
【解決手段】電子線を用いて試料の構造観察や材料特性を評価するにあたって、断続的に電子線を照射し、断続的な電子線照射下で得られる２次電子の過渡応答の中で、必要な試料情報を反映した２次電子信号を検出時間により選択することで、不要な情報の重畳を防ぎ、高画質な観察を実現する。 （もっと読む）

【課題】一次電子ビームのエネルギー幅を低減し、低電圧ＳＥＭの解像度を改善するモノクロメーターを実現する。
【解決手段】光軸Ｚに添って、標準エネルギー及びエネルギー偏差を有する荷電粒子ビームを偏向させるための第１の分散ユニット２００、第２の分散ユニット４００、それらの中間面３１０に配置されたエネルギー制限アパーチャ３００及び荷電粒子ビームの焦点を調整するためのビーム調整素子１００を備えるモノクロメーター５００を形成し、荷電粒子ビームの仮想的なクロスオーバーＳ６を第１の分散ユニット２００とエネルギー制限アパーチャ３００との間に形成する。 （もっと読む）

【課題】マルチビームを用いた荷電粒子線装置においてビーム間の結像誤差を補正する簡便な方法を実現する。
【解決手段】複数の一次電子ビームレットの焦点を形成する粒子光学部品６０５に於いて、第１の多孔プレート６１３と第２の多孔プレート６１４の複数の対応する開孔が互いに整列配置されており、第１の開孔６１５の位置における第１の幅Ｗ１を第２の開孔６１５’の位置における第２の幅Ｗ２よりも少なくとも５％大きく形成する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、検出器等以外の方向に向かう荷電粒子を高効率に検出可能とする荷電粒子線の照射方法及び荷電粒子線装置の提供を目的とする。
【解決手段】
上記目的を達成するために、試料から放出される荷電粒子の軌道を集束する集束素子を、当該集束素子による集束作用が、試料に向かう荷電粒子線に影響を与えない（或いは影響を抑制可能な）位置に配置した荷電粒子線装置、及び荷電粒子線の照射方法を提案する。集束作用は、試料から放出された電子に選択的に影響し、試料に向かう荷電粒子線への影響を抑制されるため、試料から放出され、検出器等以外の方向に向かう荷電粒子を集束し、検出器等に導くことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】コントラストを向上させた荷電ビーム装置を提供する。
【解決手段】試料を検査する荷電粒子ビーム装置は、一次荷電粒子ビーム（７）を発生させる荷電粒子ビーム源（５）と、一次荷電粒子ビームを試料（３）上に差し向ける対物レンズ装置（40，45）と、試料から飛び出た二次荷電粒子を加速する減速界型装置と、中央開口（16）を備えていて、二次粒子を検出する少なくとも２つの方位検出器セグメントを含む第１の検出器装置（15，150）とを有し、対物レンズ装置は、試料からの飛び出し角度の異なる粒子が対物レンズと検出器装置との間で試料から実質的に同一距離のところにクロスオーバを呈するよう構成され、対物レンズとクロスオーバ（90）との間に設けられたアパーチュア（100）が検出器装置（15）の中央開口よりも小さい開口を有する。 （もっと読む）

【課題】 収差係数の絶対値を高速に求めることができ、高精度の調整が高速にできる、
収差補正器を備えた収束荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】 物点に対して偏向コイル3により入射ビームを傾斜させ，1枚の画像からビ
ーム傾斜時のデフォーカス量と非点量を高速に測定し，得られた結果を最小二乗フィッテ
ィングすることで，ビーム傾斜前の収差係数の絶対値を求め、収差補正器の調整をする。 （もっと読む）

【目的】本発明は、走査型電子顕微鏡に関し、複数の近接した電子ビームを使って同時並列に画像を得るが、その際に、それぞれの電子ビーム走査によって発生する２次電子を分離して検出することを目的とする。
【構成】試料を搭載して平面内で試料を移動可能な移動機構と、複数の１次電子ビームをそれぞれ細く絞って移動機構に搭載した試料上にそれぞれ独立に照射する複数の微小対物レンズと、複数の微小対物レンズに対応付けて設け、それぞれ１次電子ビームを移動機構に搭載した試料上で走査するように偏向するそれぞれの偏向器と、複数の微小対物レンズに対応付けて設け、それぞれの試料から放出された２次電子が微小対物レンズの磁場で軸上に収束されて１次電子ビームの試料上への照射方向と逆の軸上の方向に設けた、それぞれ独立に２次電子を検出・増倍するそれぞれの検出器とを備える。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線装置に新たに別の装置を搭載することなく、試料の荷電粒子線の照射領域に生じる帯電を高速に除電する方法を提供する。
【解決手段】試料の測定のために荷電粒子線を照射したのち、次の測定を行う前の段階において、リターディング電圧または／及び加速電圧を調整し、リターディング電圧の値と加速電圧の値の差が、測定時よりも小さくすることで除電を行うよう制御する。
【効果】荷電粒子線装置に別の装置を搭載することなく、試料の荷電粒子線の照射領域に生じる帯電を除電できるため、スループットを低下させることなく除電が可能となる。 （もっと読む）

【課題】気体電界イオン源を用いて試料表面でスポットサイズ１０ｎｍ以下のイオンビームを有する汎用性、長器信頼性に優れたイオン顕微鏡を実現する。
【解決手段】イオン源の導電性電極先端１８６の材料と形状を最適化して表面に三量体の原子層を形成し、極低温状体で動作させることにより気体ヘリウムとのイオン化効率を向上する。試料からオージェ電子、二次イオン、二次中性粒子、一次中性粒子、散乱イオン及び光子等の追加の粒子を検出することにより試料についての情報を決定するように構成する。 （もっと読む）

【課題】容易に荷電粒子ビームの軸合わせができる荷電粒子ビームの軸合わせ方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビームの軸合わせ方法は、試料上における荷電粒子ビームの入射方向での焦点位置、第１アライメントコイルの励磁電流、および第２アライメントコイルの励磁電流を制御して、少なくとも第１〜第６画像データを取得する画像データ取得工程（Ｓ１０）と、少なくとも前記第１〜第６画像データから、荷電粒子ビームの軸合わせのための第１アライメントコイルの励磁電流値および第２アライメントコイルの励磁電流値を算出する演算工程（Ｓ１１〜Ｓ１３）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 観察対象物に加工を施すことなく現状状態そのままでの観察を可能とする走査型電子顕微鏡の提供。
【解決手段】 鏡筒の開口先端部に観察対象物と接触させるシール部材を設け、真空ポンプにより鏡筒内が真空に引かれた場合にシール部材を介して当該鏡筒に観察対象物を吸着させ、鏡筒を観察対象物に直接接触させた状態で密着固定するようにした。すなわち、試料室がないかわりに吸着により観察対象物と鏡筒とが相対的に移動しないように密着固定させる。こうすると、試料室がないにも関わらず、鏡筒内を真空状態に確保することができ、また振動により鏡筒と観察対象物とは相対的に移動しないことから観察時の悪影響が生じない。こうして鏡筒を観察対象物に対し直接マウントすることで、従来では試料室に入りきらない観察対象物であっても加工を施すことなく現状状態そのままで観察を行うことができるようになる。 （もっと読む）