【課題】光学特性の精度良い検査が可能な露光装置の検査方法を提供する。
【解決手段】マスクパターンは、第１の方向Ｙに延在するＬＳパターンの第１のパターン１１と、第１のパターンよりも周期が大きなＬＳパターンとして形成され第１の方向Ｙに延在する第２のパターン１２と、第２の方向Ｘに延在するＬＳパターンの第３のパターン１３と、第３のパターンよりも周期が大きなＬＳパターンとして形成され第２の方向Ｘに延在する第４のパターン１４とを含み、第１のパターン及び第２のパターンに対しては第１の斜め方向から照明光を斜入射させ、第３のパターン及び第４のパターンに対しては第２の斜め方向から照明光を斜入射させ、受像体に転写された第１のパターンと第２のパターンとの相対距離および第３のパターンと第４のパターンとの相対距離を測定し、この相対距離に基づいて露光装置の光学特性を求める。 （もっと読む）

【課題】投影光学系を容易に搬入・搬出できる露光装置とその製造方法並びに露光装置のメンテナンス方法を提供する。
【解決手段】露光装置の製造方法は、投影光学系を所定の位置に位置決めする位置決め工程と、位置決めが行われた投影光学系を支持する支持工程とを有する。位置決め工程は、位置決めの際に投影光学系を下方から上方に移動させる工程を含む。 （もっと読む）

【課題】寸法誤差が変化する反射型マスクの許容仕様を緩和しつつ、ウエハに転写したパターンの品質を確保できる反射型露光方法を提供する。
【解決手段】反射型露光方法は、反射型マスクに設けられるトレンチマスクまたはホールマスクにおいて、特定のパターン、例えば、最も寸法の小さいパターンを選択するステップと、当該パターンについてのマスク寸法を計測するステップとを含む。さらに、計測されたマスク寸法のばらつきから求まるマスク寸法誤差のウエハ寸法の影響が所定の値になるように照明光学系の開口数を求めるステップと、求めた照明光学系の開口数にあうように照明光学系のコヒーレンシーを変更するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】 偏光状態を変化させることなく光の強度を変化させることが可能な回折型可変アッテネータを提供する。
【解決手段】 ビームアッテネータ１は、基部２と、基部２の表面に配置された複数の三角形状凸部３とを備える。複数の三角形状凸部３は、基部２の一方端５から延びる方向軸としてのＸ軸に沿って配置される。複数の三角形状凸部３は、入射光を回折する回折格子として作用する。基部２の表面からの三角形状凸部３の高さＴは、Ｘ軸に沿って段階的に大きくなっている。 （もっと読む）