【課題】投影光学系を容易に搬入・搬出できる露光装置とその製造方法並びに露光装置のメンテナンス方法を提供する。
【解決手段】露光装置の製造方法は、投影光学系を所定の位置に位置決めする位置決め工程と、位置決めが行われた投影光学系を支持する支持工程とを有する。位置決め工程は、位置決めの際に投影光学系を下方から上方に移動させる工程を含む。 （もっと読む）

【課題】 Ｓｎイオンから極端紫外光を得る極端紫外発光装置において、安全性に問題がなく、かつ、分解の問題がなくＳｎＨ₄ を用いることができるようにすること。
【解決手段】 極端紫外光発光装置１は、モノスタナン合成装置２を備える。モノスタナン合成装置２は、モノスタナン合成器４で、原料容器３の原料からＳｎＨ₄ を合成し、ＳｎＨ₄ ガスを液化スタナン容器５に供給する。このＳｎＨ₄ ガスは液化スタナン容器５で液化され貯蔵される。液化スタナン容器５に貯蔵されたＳｎＨ₄ は、プラズマ生成部６に供給され、レーザあるいは放電によりプラズマ化され、Ｓｎイオンから１３．５ｎｍの極端紫外光を得る。また、液化モノスタナン容器を複数設け、複数の液化スタナン容器において、供給と液化貯蔵を時間的に交互に繰り返すことにより、長時間連続でＳｎのイオンから極端紫外の発光が得られるようにしてもよい。 （もっと読む）