【課題】
より微細な加工を実現するとともに加工精度を高くし、加えて電解加工用ノズル目詰まりを生じさせない電解加工用ノズル、電解加工装置および電解加工方法を提供する。
【解決手段】
電解加工用ノズル５１（１，２，３，４）は、出射口ＯＵＴに至る流路断面が長方形であって、流路Ｐの幅が出射口ＯＵＴに向けて先開きである。
電解加工装置５は、電解液供給源５２から電解加工用ノズル５１に電解液ＬＱを供給し、電源５３により電解加工用ノズル５２から出射されるフィルム状電解液ＦＬＱと導電性の加工対象Ｏとの間に電圧を加える。 （もっと読む）

【課題】
前記加工対象に出射するフィルム状電解液の面角度を９０度変化させること、またはフィルム状電解液の幅と肉厚を変化させることで加工の自由度を高くすることができる電解加工用ノズル、電解加工装置および電解加工方法を提供する。
【解決手段】
電解加工用ノズル５１は、出射口に至る流路断面が長方形であって、流路Ｐの幅が出射口ＯＵＴに向けて先窄みである。
電解加工装置５は、上記の電解加工用ノズル５１と、電解加工用ノズル５１に電解液ＬＱを供給する電解液供給源５２と、電解加工用ノズル５１から出射されるフィルム状電解液ＦＬＱと導電性加工対象Ｏとの間に電圧を加える電源５３とを備える。 （もっと読む）

【課題】化学的に安定であり溶解が溶解ではない白金を、電解法により効率的に溶解させる方法を提供する。
【解決手段】本発明は、電解液中で白金を陽極として電解することで白金を溶出させ電解溶出方法であって、前記電解液は、８〜１１．５規定の塩酸溶液であり、電解条件として、液温６０〜８０℃、電流密度６０〜１００Ａ／ｄｍ^２の電流を印加して前記白金電極を溶出させる方法である。また、電解液は、更に、錯化剤としてモノエタノールアミンを含むものが好ましい。 （もっと読む）

【課題】既知の技術の限界を克服する金属の部品を加工する方法を提供。
【解決手段】金属ハウジング１４を製造する方法が、金属ハウジング１４を貫通する第１の通路１０を設けるステップと、金属ハウジング１４を貫通する第２の通路１２を設けるステップとを含み、第２の通路１２が交差部の領域２０を備え、その交差部２０が第１の通路１０と交差して第１の通路１０内への開口２２を画定する。さらに第１および／または第２の通路１０、１２の内部通路を浸炭熱処理工程にかけるステップ、表面仕上げを改善するために第１および／または第２の通路１０、１２の浸炭された内部表面へのハードステージの電解加工工程ステップを含む。別の態様は、電解加工電極などの工具によって金属ハウジング１４を貫通する第２の通路１２を設けるステップを含む。活性な領域は、開口２２に対して概して円錐形のテーパ２９を有する交差部の領域２０をもたらすように形作られる。 （もっと読む）

【課題】レーザ照射による熱的影響層や溶融凝固物が発生せず、高アスペクト比のパターン孔を形成する電解・レーザ複合加工方法及び装置を提供する。
【解決手段】金属加工物の外表面全体に絶縁被膜を形成し、次に、絶縁被膜に、レーザ照射してパターン孔を形成する部分の絶縁被膜を除去し、次に、電解加工により金属を除去しパターン孔を形成し、前記電解加工を続けているうちにパターン孔内面全体に不動態膜が生成され、それが絶縁被膜として作用するようになったら、パターン孔底面の絶縁被膜をレーザ照射により除去し、次に、パターン孔底面の絶縁被膜が除去された部分から、電解加工により金属を除去し、以下、パターン孔が貫通又は所与の深さに達するまで、電解加工、レーザ照射を繰り返す電解・レーザ複合加工方法及び装置。 （もっと読む）

【課題】加工用電極から発生する気泡が原因でインゴット部材と加工用電極との間の電解液が不足することを防止しつつ、インゴット部材を切断すること。
【解決手段】インゴット処理装置はインゴット部材を処理する。インゴット処理装置は、電解液Ｅが貯留された処理槽２０と、処理槽２０上でインゴット部材を支持するインゴット受け部３０と、インゴット受け部３０を下方へ移動することによって、インゴット部材を処理槽２０内の電解液Ｅに浸漬させるインゴット移動部３５と、電流が流されることによって前記インゴット部材を電解液Ｅ内で溶解して切断し、複数のスライス部材を生成する加工用電極１０と.加工用電極１０を上下方向に往復動させる電極移動部４５と、を備えている。インゴット処理装置は、インゴット部材を加工用電極１０によって切断している際に、加工用電極１０を電解液Ｅの液面に対して相対的に往復動させるように前記電極移動部４５を制御する制御部６２も備えている。 （もっと読む）

【課題】転写面に色ムラを生じさせることのない、表面に陽極酸化アルミナが形成された鋳型の提供、および該鋳型を用いた成形体の製造方法の提供。
【解決手段】圧延痕のないアルミニウム原型の鏡面表面に、隣り合う凹部同士または凸部同士の少なくともいずれか一方の距離が可視光の波長以下の微細凹凸構造を有するアルミナが、陽極酸化により形成され、かつ、結晶粒界による凹凸の高さが６００ｎｍ以上であることを特徴とする鋳型。 （もっと読む）

【課題】電解加工の研磨精度並びに研磨レートの向上を図る。
【解決手段】電解加工装置11の加工ヘッド部13にカーボンファイバーなどの導電性材料の線状電極15を設ける。定盤12上にウェーハWをセットして回転駆動し、注液ノズル16からウェーハの表面へ電解液Sを供給する。回転するウェーハ上の電解液の動圧により線状電極の先端が浮上して微小なギャップが形成される。ギャップが微小なことから、被加工対象膜の凸部分に強い電解強度が作用し、高い研磨レートで凸部分が選択的に除去される。電解液に固体微粒子、好ましくは誘電体微粒子を含有させることによって、さらに加工性能が向上する。 （もっと読む）

【課題】電解研磨装置および電解研磨方法において、簡単な構成により、電解研磨による加工面の品質を安定して確保すると共に、装置の保守や点検に係る手間やコストの低減を図る。
【解決手段】電解研磨装置１は、電解槽２に満たされた電解液３中に被加工物４を通すことにより被加工物４を電解研磨する装置であり、電解槽２の外側に設けられて電解液３の循環路を形成する循環パイプ５と、電解槽２中の電解液３を循環パイプ５を通して強制的に循環させるポンプＰと、を備え、電解液３は、電解槽２における電解液３の循環方向ｃが、被加工物４の供給方向ｘに直交する方向とされている。被加工物４に対する電解液３の循環方向ｃが、被加工物４の供給方向ｘに直交する方向ｙとされているので、新鮮な、劣化していない電解液３を被加工物４の処理表面に供給でき、電解研磨による加工面の品質を安定して確保できる。 （もっと読む）

【課題】基板処理工程の一部を、純水、好ましくは超純水等を用いた電解加工に置き換え、更に高効率で平坦性の高い加工を行うことができるようにする。
【解決手段】イオン交換体４８ｄまたは４８ｅを用いた電解加工で基板表面の導電性配線材料の除去加工を行い、しかる後、イオン交換体４８ｄまたは４８ｅとは異なるイオン交換体４８ｆを用いた電解加工、または電解液を用いた電解加工で基板表面のバリア層の除去加工を行う。 （もっと読む）