【課題】本発明は、ガスボンベを使用せずに99.999%以上の超高純度窒素ガスを製造することを課題とする。
【解決手段】室内の空気をコンプレッサーにより５〜８気圧に圧縮した空気を、モイスチャートラップ及びオイルミストラップを通過させる第１の工程と、水分離膜内蔵管を通過させる第２の工程と、炭化水素除去管および酸素窒素分離膜内蔵管を少なくとも反復通過させる第３の工程とからなることを特徴とする高純度窒素ガスの精製方法であり、前記第３の工程後に微量不純物吸着管および微量酸素・水除去管を通過させる工程が含まれることが好ましく、前記第２の工程後で、第３の工程の前又は後に、有機物燃焼触媒管および吸湿剤管を通過させる工程が含まれることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】従来と比較して収率および能力が向上されて、更に小型化され、省電力化されたＰＳＡ式の窒素ガス製造方法、ガス分離方法、および窒素ガス製造装置を提供する。
【解決手段】ＰＳＡ方式によって原料ガスから窒素ガスを製造する方法であって、第１吸着剤が充填された２つの主吸着槽４，５を接続するラインに設けられた副吸着槽６に充填された第２吸着剤１５により、減圧均圧工程にある主吸着槽から導出された回収ガス中の酸素濃度を低減して、前記ガスを加圧均圧工程にある主吸着槽へ導入することを特徴とする窒素ガス製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、サイクルタイムのどの段階にあるかを考慮して圧縮機の運転台数を製品ガスの使用量に応じて制御することにより、製品ガス純度・圧力を維持しつつ、製品ガスの使用量に応じて圧縮機の運転台数を制御することにより省エネ運転を可能とする気体分離装置および方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、空気を圧縮する複数台の圧縮機と、前記圧縮機で圧縮された空気の一部を吸着する吸着槽と、前記圧縮機の運転を制御し、前記吸着槽に圧縮空気を供給して一の気体を吸着する吸着工程と、前記吸着槽から他の気体を製品ガスとして取出す取出工程を行う制御部とを備え、前記制御部は、吸着工程開始時において、全台数の圧縮機を運転させ、製品ガスの使用量が減少した場合に前記圧縮機の運転台数を減らすことを特徴とする気体分離装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】使用する窒素ガス流量がガス分離装置の定格流量よりも少ない場合に好適である、経済的に有利な混合ガスの分離方法を提供する。
【解決手段】吸着剤を充填した２基以上の吸着塔１２、１３の一方に窒素と酸素を主成分とする混合ガスを加圧下で供給し、各吸着塔１２、１３が吸着工程、均圧工程、排気工程、均圧工程を繰り返すことにより連続して窒素ガスを製品ガスとして分離する。製品窒素ガス流量を一定周期で測定し、測定した製品窒素ガス流量に対応する数値を設け、当該設けた数値を積算して吸着工程開始時からの積算値の合計が予め決められた一定値を超えると吸着工程を終了して均圧工程に切り替える。 （もっと読む）

【課題】 大気中のエアーを圧縮供給して窒素ガスを発生する窒素ガス発生装置の提供。
【解決手段】 エアー中に混在する不純物を取除く為のフイルターを設け、該フイルターから出たエアーを加熱するヒーター１を備え、そして該ヒーター１を通過することで所定の温度に加熱されたエアーが通る窒素分離器７を設けている。窒素分離器７は圧力容器内に多数本の中空糸膜９，９・・・を収束して収めた構造とし、窒素分離器の後方には濃度調整バルブを取付けている。 （もっと読む）

【課題】工場内設備である窒素ガス製造装置と排水処理システムをあわせて工場全体の効率的な設備運転が必要とされていた。
【解決手段】窒素ガス製造装置を用いる施設から排出される排水を嫌気槽中で処理し一次処理水を得る嫌気処理工程と、前記一次処理水を曝気が供給された好気槽中で処理し二次処理水を得る好気処理工程を有する排水処理方法であって、前記嫌気処理工程で発生した放出気体を前記窒素ガス製造装置の原料空気とする工程と、前記放出気体中の窒素濃度が所定値以上であった場合は、前記窒素ガス製造装置の製造した窒素ガスと混合する工程とを有することを特徴とする排水処理方法。 （もっと読む）

【課題】窒素ガスまたは希ガスからなる原料ガス中の炭化水素類、水素、一酸化炭素、二酸化炭素、酸素および水を除去して精製する際に、精製装置のコンパクト化が可能であり、高価な触媒の充填量を低減でき、精製コストを削減できるようにする。
【解決手段】原料ガスを触媒に接触させて二酸化炭素と水を生成する工程と、前記触媒に接触させた後の前記原料ガスを水分吸着剤に接触させることにより水を除去する工程と、前記水を除去した後の前記原料ガスをニッケル触媒に接触させることにより反応残渣の酸素を除去する工程と、前記酸素を除去した後の前記原料ガスを、ナトリウムが０．１〜１０ｗｔ％含有されたアルミナに接触させることにより二酸化炭素を除去する工程と、を具備してなることを特徴とするガスの精製方法を採用する。 （もっと読む）

【課題】複数の精製筒のうちの任意の精製筒の還元再生処理を実行することができる循環精製装置を提供する。
【解決手段】循環精製装置１１は、複数の循環回路Ｃ１〜Ｃ４それぞれに、ボックスＧから排出された不活性ガスを受け入れて、不活性ガスに含まれる不純物を除去し、その不活性ガスを精製する精製筒３１を備える。また、循環精製装置１１は、複数の循環回路Ｃ１〜Ｃ４の循環に係る制御を実行するコントローラ２３を備え、このコントローラ２３は、精製筒３１を還元再生させる還元再生処理を、複数の精製筒３１のうち任意の精製筒３１から実行可能にする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、吸着槽と製品ガス貯留タンクを有した気体分離装置の省スペース化を実現できる気体分離装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明における気体分離装置は、供給された気体から所定の気体を分離して製品ガスとして生成する吸着剤が充填された略円筒状の吸着槽と、前記製品ガスを貯留する略円筒状の製品ガス貯留タンクとを備え、前記吸着槽を前記製品ガス貯留タンクよりも上または下に配置することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】極低温蒸留によって窒素を製造する方法を提供する。
【解決手段】一酸化炭素を含んだ空気を極低温蒸留塔５へと送り、窒素の流れＤを、固定値Ｓ１未満のＣＯ含有率で、前記蒸留塔の塔頂から取り出し、外部源７からもたらされる窒素に富んだ極低温液の流れを前記塔の塔頂へと送り、前記空気のＣＯ含有率が事前に既定した閾値（Ｓ０）を上回っていない場合、前記塔へと送る極低温液の流量を値Ｖ未満とし、前記空気のＣＯ含有率が事前に既定した前記閾値（Ｓ０）を上回っている場合、前記塔へと送る極低温液の流量を値Ｖよりも大きくする。 （もっと読む）