【課題】超音波流量計による流量の計測精度を向上し、流量計測値が含む誤差を明確に示して熱出力演算における見込誤差をより小さくすることができ、発電プラントの運転効率を向上することを可能とする超音波流量計及び超音波流量計の較正方法を提供する。
【解決手段】配管スプール内に配置した複数対の超音波センサ間に形成された測線上の超音波伝播時間差を求めて配管スプール内の給水流量を計測する多測線伝播時間差方方式の超音波流量計の較正方法において、実機配管形状における実機誤差因子の影響を流体・構造・超音波伝播連携解析により計算する解析工程と、解析結果から実機誤差因子の流量計精度への影響の有無を評価する影響評価工程と、解析結果から実機誤差因子の試験範囲を設定する試験範囲設定工程と、解析結果に基づき実流量試験を行う実流量試験工程と、実流量試験結果から各実機誤差因子の影響を評価する試験結果評価工程と、試験結果評価に基づき流量計の較正係数と保証精度を決定する較正係数決定工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】コストアップを抑えつつ、削減熱量を算出するための流量をより精度良く計測することが可能な流量校正方法、流量校正装置、及び削減熱量算出装置を提供する。
【解決手段】削減熱量算出装置５は、流量センサ５３から得られた出力と流量値との相関データを記憶した相関データ記憶部５４ｅと、流量センサ５３から出力が得られた場合に、相関データ記憶部５４ｅ手段により記憶された相関データに基づいて、流量値を算出する流量算出部５４ｆとを備えている。流量校正方法は、定格最小流量Ｆ１、定格最大流量Ｆ２、及び変化点流量Ｆ３の３つの既知の流量値を有する流体を流量センサ５３に対して流して、得られた出力を記憶し、記憶した出力が相関データ記憶部５４ｅにより記憶された相関データ上で３つの既知の流量値と合致するように、当該相関データを校正する。 （もっと読む）

【課題】圧力調整弁の二次側圧力の変動を低減して、流量制御機器から排出するガス流量を高精度に検定でき、測定用タンク内の圧力降下率を一定に維持する。
【解決手段】プロセスガス供給源からのガスを第１ライン遮断弁２２と第２ライン遮断弁２３と流量制御機器２４とを経由しプロセスチャンバに供給する複数のプロセスガスライン２と、共用ガス供給源からのガスを第２ライン遮断弁２３と流量制御機器２４とを経由し排出すべく、分岐接続された共用ガスライン１とを有し、共用ガスライン１には、共用遮断弁１２と測定用タンク１３と第１圧力センサ１４１と圧力調整弁１５とを備え、第１ライン遮断弁２２及び共用遮断弁１２を弁閉したとき、測定用タンク１３内におけるガスの圧力降下を第１圧力センサ１４１により測定し流量制御機器２４の流量検定を行うガス流量検定システムにおいて、圧力調整弁１５は、該圧力調整弁１５の二次側圧力を制御する。 （もっと読む）

【課題】チャンバ内の上昇する圧力の影響を実質的に受けない上昇率流量検出器の提供。
【解決手段】流体送達被試験デバイス（ＤＵＴ）１１０からの流体の流れを収容するように構成されるチャンバ１３０と、チャンバ内の気体温度を与える少なくとも１つの温度センサ１８０と、チャンバ内の気体圧力を与える少なくとも１つの圧力変換器１７０と、ＤＵＴからチャンバへの流体の流路に沿ってチャンバの上流に位置決めされる臨界ノズル１４０とを備える。臨界ノズル及び流量検証過程は、ノズルを通る流体の流量を臨界流条件に保持するように構成され、それによって、特定の流量検証時間中に、ノズルを通る流量が実質的に一定であり、且つノズルの下流のチャンバ内のいかなる圧力の変動にも実質的に影響を及ぼされないようになる。 （もっと読む）

【課題】媒体の低い値及び非常に大きな範囲の質量流量が比較的高い正確度で測定できる方法及び流量計を提供する。
【解決手段】この流量計１は、流量を測定すべき媒体を輸送するための流管２１，２２を備えている。この流管は、供給端部４及びその下流に配設された吐出し端部６を有している。流量計１には、流管の第一の位置で媒体の流量を測定するための第一の流量センサー１１が設けられている。流量計１には、流管の第二の位置で媒体の流量を測定するための第二の流量センサー１２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】フローセンサに疎水性を有する物質が付着した場合を識別することのできる渦流量計および検査方法を提供する。
【解決手段】流体の温度を検出する周囲温度センサ１７と流体を加熱するヒータ１４とを有する熱式フローセンサ１０と、ヒータ１４の温度が周囲温度センサ１７により検出された流体の温度よりも所定の温度高くなるように、ヒータ１４に電気エネルギーを供給する駆動回路５と、電気エネルギーに対応する所定の物理量を検出する所定物理量検出部と、流体の流量に基づいて、前述の所定の物理量のしきい値を設定するしきい値設定部と、所定物理量検出部により検出された所定の物理量としきい値設定部により設定されたしきい値とに基づいて、熱式フローセンサ１０に疎水性を有する物質が付着しているか否かを判定する付着判定部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】タンク内の水位を検知する水位検知装置において、別の検知装置を新たに追加することなく、水位検知装置の故障を診断できる機能を備えたものを提供する。
【解決手段】液体を貯留する水タンク７と、光を放射する発光素子１０ａと光量を検出する受光素子１０ｂの組合せで構成され該受光手段１０ｂの検出結果から水タンク７内の水８の有無を検知する水位センサ１０と、該発光素子１０ａが放射する光を該受光素子１０ｂへ到達させる第一光路部と、該発光素子１０ａが放射する光の一部を該受光素子１０ｂへ到達させる第二光路部と、前記受光素子１０ｂが検出する光量に基づいて水タンク７に貯留されている水８の水位を検知すると共に前記発光素子１０ａまたは前記受光素子１０ｂの故障を検知する判定部１１を備えることにより、簡単な構成にて、水位検知装置の故障診断機能を実現できるものである。 （もっと読む）

【課題】細管ノズルから流出した液体の揮発を軽減する液体サンプル容器を提供すること。
【解決手段】液体サンプル容器１０は、容器部５１０の入口に固定された筒状部５０１と、筒状部５０１の内側に固定され、液体が一方向に流れるように形成された当て板５０２とを備える。そして、細管ノズル２０１から流出した液体は、当て板５０２を一方向に流れ、当て板５０２の先から滴下し、筒状部５０１の下端５０１１と容器部５１０の底５１０１との間の所定の隙間から容器部５１０に溜まる。 （もっと読む）

【課題】小流量域での流量を測定する流量計を正確に校正することができる流量計校正装置を提供すること。
【解決手段】流量計校正装置１０において、ダイバータ１００は、管路５０５を流れた液体が流出するノズル２００と、秤量容器３００との間に設置され、円板状の面１０１に所定形状の開口部１０２を有し、ノズル２００から流出したノズルからの流れ９０と円板状の面１０１との角度が、所定の角度に設置されている。そして、制御部４１０は、アクチュエータ１０３を介して円板状の面１０１を回転させて開口部１０２を移動させ、秤量容器３００へのノズルからの流れ９０の流入を制御する。さらに、ノズル２００の先に、流量が一定の値より小さい場合に連続で流れる層流９５を形成する細管ノズル２０１を備え、円板状の面１０１に当たった液体が流れて開口部１０２から秤量容器３００に流入しないように、開口部１０２に遮蔽板を備える。 （もっと読む）

【課題】ノズルから流出して秤量容器に流入する、小流量域での液体の揮発量を精度よく測定する揮発量測定装置及び方法を提供すること。
【解決手段】揮発量測定装置１０は、ノズル２００の先に、流量が一定の値より小さい場合に連続で流れる層流９５を形成する細管ノズル２０１と、細管ノズル２０１の先端と秤量容器３００の底との相対的な距離を変更する移動装置３０１と、移動装置３０１によって距離の変更を制御する制御部４１０と、を備える。そして、揮発量測定装置１０は、秤量容器３００に流入する液体の重量を秤量計４００によって測定した第１の測定による重量と、細管ノズル２０１の先端と秤量容器３００の底との相対的な距離を変更した第２の測定による重量と、の差を算出する。 （もっと読む）