【課題】可動端子と信号線路との安定した接触を実現しつつ、カンチレバーと接地線路の接触を回避する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係るスイッチ装置１は、ベース基板１０と、可動部１１と、信号線路１２と、一対の接地線路１３１，１３２とを具備する。可動部１１は、第１及び第２のカンチレバー１１１，１１２と、可動端子１１３と、第１及び第２の圧電駆動部１１４，１１５とを有する。信号線路１２は、第１の距離Ｈ１をおいて可動部１１３と対向し、上記第１の圧電駆動部による上記第１のカンチレバーの変形時に上記可動端子と接触可能な固定端子１２０を有する。一対の接地線路１３１，１３２は、第１の距離Ｈ１よりも大きい第２の距離Ｈ２をおいて可動部１１に対向する線路部１３０を有し、信号線路１２を挟むように配置される。 （もっと読む）

【課題】電子デバイスとその製造方法において、電子デバイスの特性を向上させることを目的とする。
【解決手段】基材３１と、基材３１に形成されたスリット３４ａにより輪郭の一部が画定されて上方に弾性変形可能な梁３４ｘと、梁３４ｘの上面に設けられた導体パターン４０と、導体パターン４０の上方に設けられ、該導体パターン４０と当接するコンタクト電極４７と、導体パターン４０と、前述の輪郭の外側における基材３１とを繋ぐ弾性変形可能なブリッジ電極４５とを有する電子デバイス。 （もっと読む）

【課題】矩形の圧電膜を伸縮させると、矩形の対角線長が辺長よりも長くなるので、圧電アクチュエータの圧電膜の角に対応する部分が大きく曲がる現象が生じる。そのため、圧電アクチュエータの角部分が、圧電アクチュエータの可動接点よりも先に対向する部材に接触し、圧電アクチュエータの可動接点と固定接点との接続が安定しなかった。
【解決手段】固定接点および可動接点を電気的に接続するスイッチ装置であって、可動接点が設けられた可動端と、可動端より離れた位置に設けられた固定端を有し、可動接点を固定接点に対して接触または離間させる圧電アクチュエータとを備え、圧電アクチュエータの可動端側の幅は、固定端側の幅より小さいスイッチ装置。 （もっと読む）

【課題】可動接点を有するアクチュエータを収容して、可動接点と電気的に接続または切断される固定接点を精度よく形成されるスイッチ装置のパッケージ。
【解決手段】上面と下面との気密性を保ちつつ上面と下面とを電気的に接続するビアが設けられる第１基板と、第１基板の上面に設けられ、アクチュエータを収容する貫通孔が形成される第２基板と、第２基板の上面に設けられ、可動接点を有するアクチュエータを支持する第３基板と、を備えるスイッチ装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】長寿命化したバイモルフ型圧電式アクチュエータの製造方法、スイッチ装置、伝送切替装置、および試験装置を提供する。
【解決手段】基板上に第１圧電素子層を形成する第１圧電素子層形成段階と、第１圧電素子層上に絶縁体の支持層を形成する支持層形成段階と、支持層上に第２圧電素子層を形成する第２圧電素子層形成段階と、基板の一部を除去して、第１圧電素子層、前記支持層、および前記第２圧電素子層を有するアクチュエータを形成する除去段階と、を備える。 （もっと読む）

【課題】長寿命化した圧電式アクチュエータを備えるスイッチ装置。
【解決手段】第１接点が設けられた基体と、第２接点を移動させて第１接点と接触または離間させるアクチュエータと、を備え、アクチュエータは、支持層と、支持層の上面に形成される第１圧電膜と、支持層を介して第１圧電膜に対向して、支持層の第１圧電膜が形成される面とは反対側の面に設けられ、駆動電圧に応じて伸縮してアクチュエータのそり量を変化させる第２圧電膜と、第１圧電膜および第２圧電膜のそれぞれの上面と下面とに、それぞれの駆動電圧を印加する電極層と、第２圧電膜と第２圧電膜の支持層側とは反対側の電極層との間に形成された導電性酸化物を含む第２導電性酸化物膜と、を有するスイッチ装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】剛性を高めつつ、物理的な破壊を防いだアクチュエータを提供する。
【解決手段】スイッチ装置は、第１接点１２２が設けられた基体１１０と、第２接点１３４を移動させて第１接点１２２と接触または離間させるアクチュエータと、を備え、アクチュエータは、支持層１５０と、支持層１５０上に形成され、第１駆動電圧に応じて伸縮する第１圧電膜１３６と、第１圧電膜１３６上に絶縁材料で形成され、第１圧電膜１３６の端部の少なくとも一部において支持層１５０と接して端部を覆う第１保護膜１５２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】圧電膜の変位を大きくして動作させるスイッチ装置を提供する。
【解決手段】スイッチ装置１００は、第１接点１２２が設けられた接点部１２０と、第２接点１３４を有し、第２接点１３４を移動させて第１接点１２２と接触または離間させるアクチュエータと、第１駆動電圧を制御する制御部２００と、を備え、アクチュエータは、第１駆動電圧に応じて伸縮する第１圧電膜１３６と、第１圧電膜１３６上に設けられる支持層と１５０、を有し、制御部２００は、第１圧電膜１３６に第１の抗電界以下の電界を印加する電圧から、第１圧電膜１３６に第１の抗電界以上の電界を印加する電圧まで変化させて第１圧電膜１３６を縮ませ、第１圧電膜１３６に第２の抗電界未満の電界を印加する電圧を出力して第１圧電膜１３６を伸ばす。 （もっと読む）

【課題】接点同士が凝着しないように剛性をもたせたアクチュエータ
【解決手段】第１接点が設けられた接点部と、第２接点を移動させて第１接点と接触または離間させるアクチュエータと、を備え、アクチュエータは、積層された第１圧電膜および第２圧電膜と、第１圧電膜における第２圧電膜とは反対の面側に設けられた第１絶縁層と、第２圧電膜における第１圧電膜とは反対の面側に設けられた第２絶縁層と、を有するスイッチ装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を設けたアクチュエータの接点同士の凝着を防止するスイッチ装置を提供する。
【解決手段】スイッチ装置１００は、第１接点１２２が設けられた接点部と、第１駆動電圧に応じて伸縮する第１圧電膜１３６、および第１圧電膜１３６と並行して設けられて第２駆動電圧に応じて伸縮する第２圧電膜１３８を有し、第１圧電膜１３６および第２圧電膜１３８の伸縮に伴い第２接点１３２を移動させて第１接点１２２と接触または離間させるアクチュエータと、第１駆動電圧および第２駆動電圧を制御する制御部２００と、を備え、制御部２００は、第１接点１２２および第２接点１３２を接触状態から切断状態へと切り替える場合に、第１駆動電圧を遮断すると共に、第２圧電膜１３８を伸ばす第２駆動電圧を第２圧電膜１３８に印加してアクチュエータの戻りを付勢する。 （もっと読む）