カセットアダプタ、及びカセットカバー
【課題】直径300mmの第1ウエハを収容可能な第1カセット用のロードポートに対してカセットアダプタを使用して、直径200mmの第2ウエハを収容可能な第2カセットをセットする際に、第2カセットの全体を覆うカセットカバーの提供。
【解決手段】正面、背面及び底面の3面が開口されていて、アダプタ本体及び第2カセットK2の全体を覆うことができると共に、正面開口を通してアダプタ本体を手前側に傾転させられるように、アダプタベースVに一体に取付けられ、ロードポートPのキャリアベース5の前進により、カセットカバーCで覆われた第2カセットK2が前進端位置である第2ウエハの搬入・搬出位置に達した状態で、カセットカバーCの前端周縁が、ロードポート本体1のウエハ移載窓1aの周縁に密着又は近接可能なように、カセットカバーCの前端には、左右の両方向に向けて閉塞用フランジ部46が一体に設けられた構成とする。
【解決手段】正面、背面及び底面の3面が開口されていて、アダプタ本体及び第2カセットK2の全体を覆うことができると共に、正面開口を通してアダプタ本体を手前側に傾転させられるように、アダプタベースVに一体に取付けられ、ロードポートPのキャリアベース5の前進により、カセットカバーCで覆われた第2カセットK2が前進端位置である第2ウエハの搬入・搬出位置に達した状態で、カセットカバーCの前端周縁が、ロードポート本体1のウエハ移載窓1aの周縁に密着又は近接可能なように、カセットカバーCの前端には、左右の両方向に向けて閉塞用フランジ部46が一体に設けられた構成とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、300mmの第1ウエハを収容可能な第1カセットをキャリアベースに設置して、処理装置に対して当該第1ウエハを搬入・搬出させるロードポートの前記キャリアベースにカセットアダプタを装着して、当該カセットアダプタに200mmの第2ウエハを収容可能な第2カセットを設置する際に、当該第2カセットの全体を覆うために前記カセットアダプタ、及びカセットカバーに関するものである。なお、本明細書において、「300mmのウエハ」及び「200mmのウエハ」とは、それぞれ直径300mm及び直径200mmの円形のウエハを指す。
【背景技術】
【0002】
300mmのウエハの処理を主体にした処理装置においては、当該処理装置に対してウエハの搬入・搬出を行うために、多数枚のウエハを収容した第1カセットを設置するためのロードポートが、前記処理装置の外側におけるウエハの搬入・搬出を行う各部分にそれぞれ取付けられている。
【0003】
このように、300mmのウエハの処理を主体にした処理装置において、200mmのウエハの処理を行う必要が生ずることがある。このような場合に、処理装置の外側に設置した各ロードポート自体を、200mmのウエハを収容する第2カセットに対応したロードポートに変更すれば問題はない。この方法では、300mmのウエハに比較して使用頻度の少ない200mmのウエハの処理のために、第2カセットに対応した専用のロードポートを多数製作・準備しておいて、ロードポート自体を取り替える必要がある。
【0004】
上記の方法では、使用頻度の少ない第2カセット専用のロードポートの製作のみならず、ロードポートの取り替えのための作業をも必要とし、極めて不経済であると共に、ロードポートの交換のために、ウエハの処理能率も低下する。
【0005】
そこで、本発明者は、300mmのウエハを収容可能な第1カセットに対応のロードポートに対して200mmのウエハを収容する第2カセットを設置可能にするためのカセットアダプタを使用する着想を得た。この着想の下では、300mmのウエハを収容する第1カセットのロードポートのキャリアベースに対して前記カセットアダプタがしっかりと固定される。そして、300mmの第1ウエハを収容可能な第1カセットは、キャリアベースに対してロックされる構造になっていて、処理装置に対して第1ウエハの搬入・搬出を行っている途中において、第1カセットに触れても、殆ど支障はない。
【0006】
しかし、第1カセット用のロードポートのキャリアベースにカセットアダプタを装着し、当該ロードポートを使用して、第2カセットに収容された第2ウエハの搬入・搬出を行う場合には、カセットアダプタに対して第2カセットはロックされていないので、処理装置に対して第2ウエハの搬入・搬出を行っている途中において、当該第2カセットに人手等が触れるのを防止するカセットカバーを使用する必要がある。なお、当業界では、300mmの第1ウエハを収容可能な第1カセットは、FOUP(Front Open Unified Pod)と称され、200mmの第2ウエハを収容可能な第2カセットは、オープンカセットと称されている。
【0007】
上記の目的を達成するための先行技術としては、特許文献1,2があるが、特許文献1は、オープンカセット専用のロードポートを対象にしていて、FOUPの扱いは不要であり、特許文献2では、オープンカセットのカバー装置の開示はあるが、当該カバー装置が可動部材を含んでいて、構造が複雑である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0008】
【特許文献1】特許第438505号公報
【特許文献2】特表2003−504887号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
本発明は、300mmの第1ウエハを収容可能な第1カセットをキャリアベースに設置して、処理装置に対して当該第1ウエハを搬入・搬出させるロードポートの前記キャリアベースにカセットアダプタを装着して、当該カセットアダプタに200mmの第2ウエハを収容可能な第2カセットを設置する際に、当該第2カセットが人手等の接触により移動されるのを防止すべく、当該第2カセットの全体を覆うために前記カセットアダプタに取付けられるカセットカバーの提供を課題としている。
【課題を解決するための手段】
【0010】
上記課題を解決するための請求項1の発明は、300mmの第1ウエハを収容可能な第1カセットをキャリアベースに設置して、処理装置に対して当該第1ウエハを搬入・搬出させるロードポートの前記キャリアベースに装着されて、200mmの第2ウエハを収容可能な第2カセットを設置可能とするためのカセットアダプタに前記第2カセットを覆うために取付けられるカセットカバーであって、前記カセットアダプタは、前記キャリアベースに固定されるアダプタベースと、二枚のプレート体が側面視でL字状となるように直交して一体化されて、当該アダプタベースに対して水平配置された回動軸を中心にして(90°−θ)の角度で回動可能に支持されるアダプタ本体とから成り、前記アダプタ本体は、前記回動軸心の側が低くなるように、水平面に対して僅かの角度(θ)だけ傾斜配置された状態で、前記ロードポートのカセットテーブルに対する第2カセットの設置及び取出しの双方が可能であるカセット受台と、傾斜姿勢から水平姿勢への移行により、前記カセット受台で支持されていた第2カセットの姿勢をほぼ反転させて、前記処理装置との間で第2ウエハの搬入・搬出が可能な姿勢で、当該第2カセットを載置可能なアダプタプレートとから成り、前記カセットカバーは、正面、背面及び底面の3面が開口されていて、前記アダプタ本体及び第2カセットのそれぞれ全体を覆うことができると共に、正面開口を通して前記アダプタ本体を手前側に傾転させられるように、前記アダプタベースに一体に取付けられ、前記キャリアベースの前進により、前記カセットカバーで覆われた第2カセットが前進端位置である第2ウエハの搬入・搬出位置に達した状態で、当該カセットカバーの前端周縁が、ロードポート本体に設けられたウエハ移載窓の周縁に密着又は近接可能なように、当該カセットカバーの前端には、左右の両方向に向けて閉塞用フランジ部が一体に設けられていることを特徴としている。
【0011】
請求項1の発明においては、300mmの第1ウエハを収容可能な第1カセット用のロードポートのキャリアベースに対して200mmの第2ウエハを収容可能な第2カセットを設置可能とすべく、当該キャリアベースに対してカセットアダプタが装着される。当該カセットアダプタを構成するアダプタベースが前記キャリアベースに固定されて、当該アダプタベースには、カセット受台とアダプタプレートとの二枚のプレート体が側面視でL字状となるように直交して一体化されたアダプタ本体が水平な回動軸を中心にして、(90°−θ)の角度で回動可能に支持されている。アダプタ本体を構成するカセット受台は、回動軸の側が低くなるように水平面に対して角度(θ)だけ傾斜した状態で、即ち、アダプタ本体の全体が処理装置と反対の手前側に傾転した状態で、ほぼ垂直姿勢で多数の第2ウエハが支持された第2カセットが前記カセット受台に、位置決めされてセットされる。この状態で、傾転姿勢のアダプタ本体を処理装置の側に向けて(90°−θ)だけ回動させて、当該アダプタ本体を構成するアダプタプレートを水平に配置させると、前記第2カセットは、当該第2カセットに支持された多数の第2ウエハが水平となって、前記アダプタプレートに位置決めされてセット(載置)される。この状態では、アダプタプレートの上にセットされた第2カセットは、当該アダプタプレートに位置決めされているのみであって、ロックされていないので、第2カセットに人手等が接触することにより、位置決めされた正規の位置に対して微動される恐れがある。
【0012】
請求項1の発明では、アダプタ本体を構成するアダプタプレートに第1カセットが位置決めされてセットされた状態で、当該第2カセットの全体を覆うことが可能であって、しかもアダプタ本体の前記傾転が可能なカセットカバーが前記アダプタプレートに取付けられている。カセットカバーは、処理装置に対する第2ウエハの搬入・搬出が可能とすべく背面が開口されていると共に、アダプタ本体を処理装置と反対側である手前側に傾転可能なように正面が開口されており、更に、アダプタプレートに対して取付け可能なように底面が開口されている。即ち、カセットカバーは、正面、背面及び底面の計3面が開口された構造となっている。
【0013】
このように、多数の第2ウエハを水平に支持している第2カセットが、アダプタ本体を構成するアダプタプレートの上面に位置決めされてセットされた状態、即ち、アダプタ本体が傾転姿勢から起立姿勢になった状態において、当該第2カセットは、その全体がカセットカバーにより覆われている。よって、アダプタプレートに対して位置決めされてセットされている第2カセットに対して人手等は、接触不能となって、アダプタプレートに対して第2カセットが微動されることはなく、処理装置に対する第2ウエハの搬入・搬出を適正に行える。
【0014】
一方、第2カセットは、第1カセットに比較して、収容するウエハのサイズの相違により、幅が狭くなっていると共に、高さも低くなっている。そこで、カセットカバーの背面開口の部分の高さは、ロードポート本体に設けられた方形状のウエハ移載窓の上辺の周縁を覆うことが可能なように、第2カセットの高さを超えて高くなっているが、カセットカバーの背面開口の部分の幅は、第2カセットの幅に対応していて、そのままでは、処理装置に対して第2ウエハを搬入・搬出させる際に、キャリアベースを前進させて、カセットカバーの前端面を、ロードポート本体の前記ウエハ移載窓の周縁に当接又は近接させた状態において、当該ウエハ移載窓の左右両端部が全高に亘って開口されてしまう。そこで、請求項1の発明では、カセットカバーの前端には、前記ウエハ移載窓の左右両端部の開口を覆うべく、左右の両方向に向けてフランジ部が一体に設けられていて、処理装置に対して第2ウエハの搬入・搬出時には、ロードポート本体のウエハ移載窓の全体を覆うことを可能にして、処理装置内のエアークリーン度の低下を防止している。
【0015】
また、請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記カセットカバーの正面開口の大部分は、起立姿勢となったアダプタ本体のカセット受台により覆われる構成であることを特徴としている。
【0016】
請求項2の発明によれば、処理装置に対して第2ウエハの搬入・搬出を行っている状態において、カセットカバーの正面開口の大部分は、起立姿勢となったアダプタ本体のカセット受台により覆われるので、当該カセットカバーの正面開口を覆う専用の部材を一切設けることなく、処理装置内のエアークリーン度の低下を防止できる。
【0017】
また、請求項3の発明は、請求項1又は2の発明において、前記カセットカバーは、透明体で構成されていることを特徴としている。
【0018】
請求項3の発明によれば、ロードポートのキャリアベースに装着されたカセットアダプタを構成するアダプタプレートに第2カセットがセットされた状態において、当該第2カセットを透視できるので、当該第2カセットに発生する恐れのある配置位置のずれ等の不具合が即座に分かる(発見できる)。
【0019】
また、請求項4の発明は、請求項1ないし3のいずれかの発明において、前記アダプタ本体のカセット受台は、透明体で構成されていることを特徴としている。
【0020】
請求項4の発明によれば、正面側からカセット受台を透視して、ロボットハンドの動きを視認できるので、当該ロボットハンド或いは第2カセットに異常が発生した場合には、当該異常を目視で発見できる。
【0021】
また、請求項5の発明は、請求項1ないし4のいずれかの発明において、傾転姿勢の前記アダプタ本体が(90°−θ)だけ回動されて、水平配置されたアダプタプレートの上に第2カセットが位置決め状態で載置されて、当該第2カセットの全体がカセットカバーで覆われた状態において、前記第2カセットにおける垂直配置されたウエハ挿脱開口は、前記カセットカバーの背面開口とほぼ一致するように構成されていることを特徴としている。
【0022】
請求項5の発明によれば、第2カセットに対して第2ウエハが収容された状態では、当該第2ウエハは、第2カセットの挿脱開口よりも僅かに引っ込んだ状態で配置される。このため、キャリアベースが前進して、第2カセットが第2ウエハの搬入・搬出位置まで前進された状態で、第2カセットに収容された第2ウエハの「飛び出し」を検出する際において、検出可能な突出長を小さくすることができて、当該検出の精度を高めることができる。
【0023】
請求項6の発明は、300mmの第1ウエハを収容可能な第1カセットをキャリアベースに設置して、処理装置に対して当該第1ウエハを搬入・搬出させるロードポートの前記キャリアベースに装着されて、200mmの第2ウエハを収容可能な第2カセットを設置可能とするためのカセットアダプタであって、請求項1ないし5のいずれかに記載のカセットカバーを備えていることを特徴としていて、請求項1ないし5のいずれかの発明に記載の上記作用効果が奏される。
【発明の効果】
【0024】
本発明によれば、ロードポートのキャリアベースに装着されたカセットアダプタを構成するアダプタプレートに、当該アダプタプレートにセットされた第2カセットの全体を覆うカセットカバーが取付けられているので、アダプタプレートに対して位置決めされてセットされている第2カセットに対して人手等は、接触不能となって、アダプタプレートに対して第2カセットが微動されることはなく、処理装置に対する第2ウエハの搬入・搬出を適正に行える。また、カセットカバーの前端には、前記ウエハ移載窓の左右両端部の開口を覆うべく、左右の両方向に向けてフランジ部が一体に設けられていて、処理装置に対して第2ウエハの搬入・搬出時には、ロードポート本体のウエハ移載窓の全体を覆うことを可能にして、処理装置内のエアークリーン度の低下を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【0025】
【図1】ロードポートPのカセットテーブル4のキャリアベース5に対するカセットアダプタAの固定位置の関係を示す斜視図である。
【図2】キャリアベース5にカセットアダプタAが固定された状態の斜視図である。
【図3】カセットアダプタAの斜視図である。
【図4】カセットアダプタAとカセットカバーCとの分離状態の斜視図である。
【図5】異なる方向から見たカセットアダプタAとカセットカバーCとの分離状態の斜視図である。
【図6】アダプタ本体Dを手前側に倒して、カセット受台Bで第2カセットK2 を受ける状態の斜視図である。
【図7】同様の側面図である。
【図8】カセット受台Bで第2カセットK2 を受けた状態で、アダプタ本体Dを(90°−θ)だけ回動させて、アダプタベースV上にアダプタ本体Dを配置した状態の側面断面図である。
【図9】同様の状態において、キャリアベース5に対してアダプタ本体Dがロックされた状態を主体に示す側面断面図である。
【図10】(a)は、ロック時及び非ロック時におけるロック用エアシリンダ14のロック爪12と、アダプタプレートEの裏面に取付けられた被ロック部材35との関係を示す平面図であり、(b)は、同じく側面断面図である。
【図11】第2カセットK2 が第2ウエハW2 の搬入・搬出位置まで前進した状態の側面図である。
【図12】同様の状態で、ロードポートPのウエハ移載窓1aがカセットカバーCの先端面、及び左右一対の閉塞用フランジ部46で閉塞された状態を示す斜視図である。
【図13】同様の状態を正面から見た模式図である。
【図14】第2カセットK2 を下側から見た斜視図である。
【図15】アダプタ本体Dに設けられた第1及び第2の各位置決め機構F1 ,F2 と、第2カセットK2 の被位置決め部となる各リブの関係を示す図である。
【図16】(a),(b)は、それぞれロードポートPのキャリアベース5にセットされた第1カセットK1 の異なる部分の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0026】
以下、最良の実施例を挙げて、本発明を更に詳細に説明する。最初に、図1、図2及び図16を参照して、300mmの第1ウエハを収容する第1カセットK1 をセットして、処理装置100に対して当該300mmのウエハの搬入・搬出を行うロードポートPに関して、本発明の理解に必要な部分についてのみ説明し、その後に、本発明に係るカセットカバーCを備えたカセットアダプタAについて説明する。ロードポートPは、処理装置100の特定位置の外壁面に接した状態で垂直に配置されるロードポート本体1と、当該ロードポート本体1の背面側に配置されて、第1カセットK1 の蓋体(図示せず)を着脱するために、当該蓋体を保持する蓋体保持板2を備えた蓋体着脱装置3と、前記ロードポート本体1の手前側に水平に設けられて、第1カセットK1 をセットするためのカセットテーブル4とを備えている。前記蓋体保持板2の手前側には、第1カセットK1 の蓋体(図示せず)のロック及びその解除をロック爪、並びに当該蓋体保持板2の吸着を行う吸盤が設けられているが、これらは、いずれも図示されていない。ロードポート本体1におけるカセットテーブル4よりも上方の部分には、処理装置100に対するウエハの搬入・搬出を行う方形状のウエハ移載窓1aが設けられている。当該カセットテーブル4には、処理装置100に対するウエハを搬入・搬出方向である第1水平方向Xと、当該第1水平方向Xと直交する水平方向である第2水平方向Yとの双方に対する位置決めを行った状態で、前記第1カセットK1 をセットするためのキャリアベース5が前記第1水平方向Xに沿って前進・後退可能に配置されている。キャリアベース5は、キャリアカバー6で全体が覆われていて、第1カセットK1 の裏面に形成された3個の位置決め孔7に対応する位置にそれぞれ位置決め突起8が設けられている。前記位置決め孔7は、第1カセットK1 の裏面に下方に突出して一体に形成された各凸部9の下面に形成されている。また、計3個の各位置決め突起8の近傍には、キャリアベース5に位置決め状態で第1カセットK1 をセット(着座)することにより、当該カセットK1 の裏面に設けられた各凸部9により下方に押圧されて下動することにより、前記キャリアベース5に対して当該第1カセットK1 がセット(着座)されたことを検出する計3つの第1〜第3の各着座センサS1 〜S3 がそれぞれキャリアベース5の上面から突出して設けられている。
【0027】
また、第1カセットK1 の裏面における前面(蓋体の側)に近い部分には、側面視で逆L字状をした被ロック部11が一体に設けられている。一方、キャリアベース5の側には、第1カセットK1 の被ロック部11に係合可能なロック爪12が先端に取付けられたロッド13を有するロック用エアシリンダ14が垂直線に対して傾斜して配置され、当該ロック爪12は、キャリアベース5に設けられた貫通孔17を通って当該キャリアベース5の上面から上方に突出して配置されている。ロック用エアシリンダ14を上記のように傾斜配置したのは、第1カセットK1 の底面と干渉することなく、当該ロック用エアシリンダ14のロッド13の必要可動長を確保するためである。ロック用エアシリンダ14のロッド13は、進退と90°の範囲内での回動とを行うことにより、当該ロック用エアシリンダ14のロッド13の先端のロック爪12と、第1カセットK1 の被ロック部11とが解除可能に係合して、キャリアベース5に位置決めされてセット(着座)された第1カセットK1 は、当該キャリアベース5に対する浮き上がりを防止された状態でロックされる。この状態で、駆動手段(図示せず)によりキャリアベース5がウエハ移載窓1aの側に向けて前進すると、当該キャリアベース5にセットされた第1カセットK1 の前面の開口の周縁に設けられたフランジ15(図13参照)が、ロードポート本体1のウエハ移載窓1aの周縁に密着して、前記蓋体着脱装置3の蓋体保持板2による処理装置100の側からのロードポート本体1のウエハ移載窓1aの閉塞状態が解除されても、ウエハ移載窓1aの部分の気密は保持されて、エアークリーン度の高い処理装置100内の気密が保持される。また、キャリアベース5には、計3個の位置決め突起8を利用して、当該キャリアベース5の上面に第1カセットK1 をセットする際に、第1カセットK1 の位置が正規の位置より大きくずれている場合には、当該第1カセットK1 の底面と干渉してその旨を知らしめれるための計3本のノックアウトピン(図示せず)を螺合させるねじ孔16が形成されている。
【0028】
次に、図1ないし図10を参照して、本発明に係るカセットアダプタAについて説明する。図1は、ロードポートPのカセットテーブル4のキャリアベース5に対するカセットアダプタAの固定位置の関係を示す斜視図であり、図2は、キャリアベース5にカセットアダプタAが固定された状態の斜視図であり、図3は、カセットアダプタAの斜視図であり、図4は、カセットアダプタAとカセットカバーCとの分離状態の斜視図であり、図5は、異なる方向から見たカセットアダプタAとカセットカバーCとの分離状態の斜視図であり、図6は、アダプタ本体Dを手前側に倒して、カセット受台Bで第2カセットK2 を受ける状態の斜視図であり、図7は、同様の側面図であり、図8は、カセット受台Bで第2カセットK2 を受けた状態で、アダプタ本体Dを(90°−θ)だけ回動させて、アダプタベースV上にアダプタ本体Dを配置した状態の側面断面図であり、図9は、同様の状態において、キャリアベース5に対してアダプタ本体Dがロックされた状態を主体に示す側面断面図であり、図10(a)は、ロック時及び非ロック時におけるロック用エアシリンダ14のロック爪12と、アダプタプレートEの裏面に取付けられた被ロック部材35との関係を示す平面図であり、同(b)は、同じく側面断面図である。なお、以下の説明において、アダプタ本体Dを構成するカセット受台B及びアダプタプレートEには、種々の部材がボルトを介して固定されているが、当該ボルトによる固定自体には何の特徴もないので、図面を簡略化して本発明に必要な部分の理解を容易にするために、本発明において必要なボルトを除いて、全図においてボルトの図示を略す。
【0029】
図4ないし図7に示されるように、カセットアダプタAは、前記キャリアベース5に固定されるプレート状のアダプタベースVと、二枚のプレート体が側面視でL字状となるように直交して一体化されて、当該アダプタベースVに対して回動軸21を中心にして、(90°−θ)の角度内において手動により回動されるアダプタ本体Dとから成る。前記アダプタベースVにおける第1水平方向Xに沿った後端部であって、その両端部には、ディスクダンパー22を支持するための左右一対のダンパー支持ブラケット23が固定され、各ダンパー支持ブラケット23の外側には、前記回動軸21を支持するための軸支持ブラケット24がそれぞれ固定されている。回動軸21の両端部は、ダンパー支持ブラケット23及びディスクダンパー22をそれぞれ貫通して軸支持ブラケット24に支持され、当該回動軸21における左右の各ダンパー支持ブラケット23の間には、プレート取付けブラケット25が外側に一体に嵌め込まれていて、当該回動軸21とプレート取付けブラケット25とは、一体となって回動する構造となっている。
【0030】
アダプタ本体Dは、前記回動軸21の側が僅かに低くなるように、角度(θ)(図7参照)だけ傾斜した状態で、200mmのウエハを収容可能な第2カセットK2 の設置、及び取出しを行うためのカセット受台Bと、傾斜姿勢から水平姿勢への移行により、前記カセット受台Bで支持されていた第2カセットK2 の姿勢をほぼ90°変更して、前記処理装置100との間でウエハの搬入・搬出が可能な姿勢に変更して、載置し直すためのアダプタプレートEとから成って、当該カセット受台B及びアダプタプレートEが互いに直交するようにして、前記プレート取付けブラケット25に一体に取付けられている。カセット受台Bの背面には、二枚のプレート体が側面視でL字状となるように直交して一体化された前記アダプタ本体Dを手動操作により回動させる際に、作業者の一方の手で掴むことの可能なグリップ20が設けられている。
【0031】
また、前記カセット受台BとアダプタプレートEの各内面には、それぞれ異なる姿勢で第2カセットK2 を位置決めした状態で支持可能とするための第1及び第2の各位置決め機構F1 ,F2 が取付けられており、当該第1及び第2の各位置決め機構F1 ,F2 は、第2カセットK2 の形状に依拠している。従って、図3、図11及び図12を参照して、第1及び第2の各位置決め機構F1 ,F2 との関係において、第2カセットK2 の形状について簡単に説明する。図11は、第2カセットK2 を下側から見た斜視図であり、図12は、アダプタ本体Dに設けられた第1及び第2の各位置決め機構F1 ,F2 と、第2カセットK2 の被位置決め部となる各リブの関係を示す図である。200mmのウエハを収容する第2カセットK2 は、一対の対向側壁部110が上板部111、下板部112及び下側連結板部113とで連結されて、各対向側壁部110の内側面にウエハの周縁部を挿入して支持するためのウエハ挿入溝114が上下方向に一定ピッチをおいて多数設けられ、前記下側連結板部113の下面に一対の対向側壁部110の対向方向に沿って位置決め突条115が設けられている。当該位置決め突条115の両端の形成端には、当該位置決め突条115と直交し、しかも当該突条115よりも僅かに突出するようにして、一対のセンサ作動リブ116が互いに平行に形成されている。一方、挿入されたウエハを垂直にして支持可能なように、ウエハ挿脱開口117と反対の側には、一対のセンサ作動リブ116が前記一対のセンサ作動リブ116と直交し、しかも互いに平行に形成されている。また、上板部111には、当該第2キャリアK2 を手で持ち上げるための把手119(図6参照)が設けられている。
【0032】
そして、回動軸21の側が僅かに低くなるように傾斜配置されたカセット受台B及び水平配置されたアダプタプレートEの双方に対して前記第2カセットK2 を位置決めしてセットできるように、カセット受台B及びアダプタプレートEには、それぞれ第1及び第2の各位置決め機構F1 ,F2 が設けられている。カセット受台Bに設けられた第1位置決め機構F1 は、第2カセットK2 の一対の起立板部118の各位置を外側から規制するための細長ブロック状の一対の第1位置決め部材26と、第2カセットK2 の一対のセンサ作動リブ116がアダプタプレートEの上面に当接した状態で、前記一対の起立板部118におけるアダプタプレートEから離れた側の端面を規制するための細長ブロック状の第2位置決め部材27とから成る。一方、アダプタプレートEに対して第2カセットK2 を位置決めするための第2位置決め機構F2 は、上記のようにして、カセット受台Bに対して第1位置決め機構F1 により第2カセットK2 が位置決めされた状態において、当該第2カセットK2 の位置決め突条115が挿入される位置決め挿入溝28を形成するための細長ブロック状の一対の第3位置決め部材29により構成される。これにより、回動軸21の側が僅かに低くなるように配置されたカセット受台Bに対して、収容されたウエハがほぼ垂直姿勢となったままで第2カセットK2 をカセット受台Bに載せて、そのままアダプタプレートEの側に僅かにスライドさせると、第2カセットK2 の一対の起立板部118がカセット受台Bの一対の第1位置決め部材26と第2位置決め部材27の間に入り込むと共に、第2カセットK2 の位置決め突条115が一対の第3位置決め部材29の間の位置決め挿入溝28に挿入されて、第2カセットK2 は、カセット受台B及びアダプタプレートEの双方に対して位置決めされる。このため、カセット受台Bの第2カセットK2 に載せられた状態で、アダプタ本体Dを(90°−θ)だけ回動させて、アダプタプレートEを水平にした状態においても、ほぼ90°反転された第2カセットK2 は、当該アダプタプレートEに対して第1及び第2の各水平方向X,Yの双方向に位置決めされた状態を保持する。なお、図3、図12等において、31は、一対の第3位置決め部材29のそれぞれ外側に平行に配置されていて、当該第3位置決め部材29よりも大きな厚さを有していて、第2位置決め機構F2 に対する第2カセットK2 の位置決めの案内、及び位置決めされた状態において第2カセットK2 が第1水平方向Xに移動するのを防止する案内・規制部材を示す。
【0033】
また、第2カセットK2 においても、アダプタプレートEに対して当該第2カセットK2 が正しい平行姿勢でセット(着座)されたことを検出する必要があり、図3及び図4に示されるように、アダプタプレートEに対して第2カセットK2 が第2位置決め機構F2 により位置決めされてセットされた状態で、当該第2カセットK2 の下板部112の裏面を当接させて前記水平姿勢を検出する第4及び第5の各着座センサS4 ,S5 が当該アダプタプレートEの一方の対角線方向に沿って出入り可能に配置されている。第4及び第5の各着座センサS4 ,S5 は、アダプタプレートEに第2カセットK2 を位置決めしてセットすることにより、センサ作動リブ116により作動される。なお、図4において、32は、第4及び第5の各着座センサS4 ,S5 を出入り可能に支持するためのセンサホルダーを示す。
【0034】
また、第4及び第5の各着座センサS4 ,S5 のいずれもが作動して、アダプタ本体Dを構成するアダプタプレートEに対して第2カセットK2 が正しく水平に設置されても、当該アダプタプレートEが水平に設置されていない場合には、結果として、アダプタプレートEに載せられた第2カセットK2 は、水平に設置されていないことになって、処理前に、当該第2カセットK2 からウエハを取り出したり、処理後においてウエハを当該第2カセットK2 に収容するのに支障を来す。このため、図4及び図8に示されるように、アダプタプレートEの裏面における自由端側の両コーナー部に近い部分に、前記アダプタプレートEが水平の状態でアダプタベースVに当接する左右一対のストッパボルト33がそれぞれ設けられていると共に、アダプタベースVが水平の状態で、当該アダプタベースVの下方に配置された前記第1着座センサS1 を作動させるためのセンサ作動ボルト34が、前記アダプタプレートEの裏面における第1着座センサS1 の配置位置に対応した位置に取付けられている。この構成により、アダプタプレートEに対して第2カセットK2 が正しく水平に設置されたこと、及び当該アダプタプレートEが水平に設置されたことの双方を検出可能となる。また、アダプタプレートEが水平に配置された状態において、当該アダプタプレートEの裏面における第1カセットK1 に設けられた被ロック部11に対応する位置には、同じく上下方向に長いL字形をした被ロック部材35が取付けられており、図9及び図10に示されるように、当該被ロック部材35の先端の被ロック部35aとロック用エアシリンダ14のロッド13の先端のロック爪12と係合して、キャリアベース5に対してアダプタ本体Dがロックされる構成になっている。なお、図4及び図8において、36は、ロック用エアシリンダ14のロッド13の先端のロック爪12及び前記被ロック部材35とアダプタベースVとの干渉を回避するための逃げ孔を示し、37は、キャリアベース5に設けられた第1〜第3の各着座センサS1 〜S3 と、アダプタベースVとの干渉を避けるために、当該アダプタベースVに設けられた逃げ孔を示す。
【0035】
また、アダプタベースVには、第1カセットK1 のロードポートPのキャリアベース5に設けられた計3個の位置決め突起8をそれぞれ嵌合させて、当該キャリアベース5に対してアダプタベースVを位置決めしてセットするための計3つのセット孔38が形成されている。
【0036】
次に、図2ないし図5を参照して、アダプタ本体DのアダプタプレートEにセットされた状態で、当該アダプタ本体D及び第2カセットK2 の双方を収容するために、アダプタベースVに取付けられるカセットカバーCについて説明する。第1カセットK2 は、アダプタ本体DのアダプタプレートEに対しては第1及び第2の各水平方向X,Yに位置決めされた状態で載せられているのみであって、ロックされていない。そこで、処理装置100に対する第2ウエハW2 の搬入及び搬出時、即ち、処理装置100内に配置されたウエハ移載用のロボットの作動中、及びその前後において、アダプタプレートEに位置決め状態で載せられている第2カセットK2 を周囲から触れられないように保護するために、当該第2カセットK2 の全体がカセットカバーCで覆われる。カセットカバーCは、内部が透視可能なように透明樹脂で形成されて、第2カセットK2 を操作する作業者からみて正面(手前側面)、背面(奥側面)、及び底面の計3面が開口されて、それぞれ正面開口41、背面開口42及び底面開口43となっていて、全体が略立方体状となっている。更に具体的には、カセットカバーCの天板部45は、アダプタ本体Dが傾転可能なように、正面側が高くなって、背面側が低くなっているが、背面側の高さは、ロードポート本体1におけるウエハ移載窓1aの上縁に臨む部分に当接又は近接可能なように、第2カセットK2 の収容に必要な高さよりも高くなっている。一方、カセットカバーCの幅は、第2カセットK2 を収容に必要な幅であるために、当該カセットカバーCの前端面がロードポート本体1におけるウエハ移載窓1aの周縁に当接又は近接した状態では、第1カセットK1 の大きさに対応している当該ウエハ移載窓1aの左右方向の両端部は、開口されたままである。このため、カセットカバーCの各側板部44の先端面には、天板部45の先端面と同一面となるように、それぞれ閉塞用フランジ部46が外側方に一体に設けられていて、第2カセットK2 が前進端まで前進されて、第2ウエハの搬入・搬出位置に位置した状態において、ロードポートPのウエハ移載窓1aの周縁に当接して、当該ウエハ移載窓1aを閉塞可能なようになっている。この閉塞用フランジ部46は、フランジ板部46aの周縁部に枠体部46bが嵌め込まれ、ウエハ移載窓1aの両側縁部では、左右の各枠体部46bが当接又は近接する構成となっている。また、各側板部44の下端部であって、手前側の略半分の部分には、アダプタベースVに固定されたディスクダンパー22、ダンパー支持及び軸支持の各ブラケット23,24を覆うための突出カバー部47が側方に突出して設けられている。天板部45は、起立したカセット受台Bを収容可能なように、手前側が高くなるような段差状に形成されている。前記カセットカバーCは、各側板部44の下端に外側に水平に受けられた取付けフランジ部44a及び前記突出カバー部47の側板部47aが、それぞれアダプタベースVの上面周縁部、及び側端面にそれぞれ複数本のビス48を介して着脱可能に取付けられる。
【0037】
また、図6及び図7に示されるように、第2ウエハW2 がほぼ垂直に収容された第2カセットK2 をカセット受台Bにセットする場合には、当該カセット受台Bは、回動軸21の側が僅かに低くなるように、傾斜配置させるために、アダプタベースVにおける前記回動軸21が配置される部分には、当該回動軸21の外側に嵌合されたプレート取付けブラケット25を当接させるための左右一対の当接体39が取付けられている。カセット受台Bの傾斜角度(θ)は、5〜10°である。なお、図3ないし図5において、S6 は、第2カセットK2 内から第2ウエハW2 の搬出(取出し)の開始時において、当該第2カセットK2 から一定量を超えて突出している第2ウエハW2 を検出するための一対一組のウエハ飛出検出センサの一方を示し、アダプタプレートEの先端部中央の裏面にブラケットを介して突出状態で取付けられている。また、ロードポート本体1の表側(カセットテーブル4が配置された側)であって、第2ウエハW2 の搬入・搬出位置に達したアダプタ本体DのアダプタプレートEの先端のウエハ飛出検出センサS6 の直上に対応する位置には、前記センサS6 と組となる別のウエハ飛出検出センサS7 が配置されている。
【0038】
そして、第1カセットK1 のロードポートPのキャリアベース5に対してカセットアダプタAを取付けるには、図1に示されるように、当該キャリアベース5に形成されたロックアウトピン(図示)の複数本のねじ孔16と、同数の固定ボルト52を用いて、カセットカバーCが取付けられていない状態のアダプタベースVを前記キャリアベース5に固定する。アダプタベースVにおける前記複数本のねじ孔16に対応する部分には、それぞれボルト挿通孔53(図1及び図9参照)が貫通されていて、キャリアベース5の直上にカセットアダプタAのアダプタベースVを配置して下降させて、当該アダプタベースVの複数のセット孔38に対してキャリアベース5に設けられた各位置決め突起8を嵌合させ、この状態において、アダプタベースVのボルト挿通孔53に挿通された各固定ボルト52をキャリアベース5の各ねじ孔16に螺合させると、当該キャリアベース5に対してアダプタベースVが第1及び第2の各水平方向X,Yにそれぞれ位置決めされた状態で、当該キャリアベース5に対してアダプタベースVが固定される(図9参照)。これにより、第1カセットK1 のロードポートPのキャリアベース5にカセットアダプタAを構成するアダプタ本体Dが回動軸21を回動中心として、(90°−θ)の角度で回動可能に装着される。この状態で、複数本のビス48を用いて、アダプタベースVにカセットカバーCを取付けると、カセット受台Bが垂直となった姿勢で、アダプタ本体Dの全体がカセットカバーCにより覆われる(図2参照)。
【0039】
次に、図6ないし図10を参照して、第2ウエハW2 が収容された第2カセットK2 を傾斜配置されたカセット受台Bにセットした後に、アダプタ本体Dを(90°−θ)だけ回動させて、全体がカセットカバーCで覆われた状態において、当該アダプタ本体DのアダプタプレートEを、ロードポートPのキャリアベース5にロックさせるまでの作用について順次説明する。第1カセットK1 のロードポートPのキャリアベース5にカセットアダプタAを装着して、第2カセットK2 をセット可能にするためのカセットアダプタAを使用するには、ロードポートPのキャリアベース5に設けられた第1〜第3の各着座センサS1 〜S3 のうち、第1着座センサS1 のみを有効にして、残りの第2及び第3の着座センサS2 ,S3 を無効にしておくと共に、カセットアダプタAのアダプタプレートEに取付けられた第4及び第5の各着座センサS4 ,S5 を有効にしておく。
【0040】
まず、図6及び図7に示されるようにして、アダプタ本体Dを手動により手前側に倒すと、プレート取付けブラケット25の両端ブラケットが、アダプタベースVに取付けられた左右一対の当接体39に当接して、当該アダプタ本体Dのカセット受台Bは、回動軸21の側が低くなるようにして、水平面に対して角度(θ)だけ傾斜して配置される。このように、手動によりアダプタ本体Dを回動させる際は、回動軸21の両端部に配置された各ディスクダンパー22が回動抵抗となるため、自重により速い速度で回動するのが防止されて、ゆっくりと回動するために、アダプタ本体Dが回動停止する際に、第2カセットK2 に支持されている第2ウエハW2 がウエハ挿入溝114から突出するのが防止される。この状態で、収容された第2ウエハW2 がほぼ垂直にして、第2カセットK2 の左右一対の起立板部118を、第1位置決め機構F1 を構成する左右一対の第1位置決め部材26と、別の第2位置決め部材27との間に挿入すると、カセット受台Bが傾斜配置されているために、当該第2カセットK2 は、起立姿勢のアダプタプレートEの側に押し付けられて、下側連結板部113の裏面に設けられた位置決め突条115は、第2位置決め機構F2 を構成する2本の第3位置決め部材29の間に形成された位置決め挿入溝28に挿入される。これにより、アダプタ本体Dを(90°−θ)だけ回動させて、図8及び図9に示されるように、ほぼ反転された当該第2カセットK2 がアダプタプレートEの上に載せられた状態において、当該第2カセットK2 は、第1及び第2の各水平方向X,Yに対して位置決めされる。
【0041】
アダプタ本体Dの(90°−θ)の回動により、傾斜配置されたカセット受台Bから水平配置されたアダプタプレートEに移載せられた第2カセットK2 の各センサ作動リブ116により、当該アダプタプレートEに設けられた第4及び第5の各着座センサS4 ,S5 の双方が「ON」となると、当該アダプタプレートEに対して第2カセットK2 が正しい姿勢でセット(着座)されたことが検出される。また、アダプタ本体Dの(90°−θ)の回動により、アダプタプレートEの裏面に設けられた左右一対のストッパボルト33がアダプタベースVに当接して、当該アダプタプレートEが水平に配置されると、当該アダプタプレートEの裏面に取付けられたセンサ作動ボルト34が、当該アダプタプレートEの逃げ孔37を通ってキャリアベース5に取付けられた第1着座センサS1 を「ON」にすると、当該アダプタプレートEが水平に配置されたことが検出される。
【0042】
上記のようにして、アダプタプレートEに対して第2カセットK2 が正しい姿勢で着座されたこと、及び当該アダプタプレートEが水平に配置されたことの双方が確認された後に、ロック用エアシリンダ14のロッド13を突出端まで突出させて、図10(a)に示されるように、当該ロッド13の先端のロック爪12が第2水平方向Yに沿って配置された状態で、当該ロッド13を90°だけ回転させた後に引っ込めると、図9及び図10(b)に示されるように、アダプタベースVの逃げ孔37に入り込んでいるアダプタプレートEの裏面の被ロック部材35の被ロック部35aは、前記ロック爪12によりロックされる。これにより、アダプタ本体Dは、ロードポートPのキャリアベース5に対してロックされて、回動できなくなる。このように、第1カセットK1 のロードポートPのキャリアベース5に設けられたロック部材であるロック用エアシリンダ14を利用して、第2カセットK2 を操作させるためのカセットアダプタAを前記キャリアベース5に対してロック可能となる。
【0043】
次に、図11ないし図13を参照して、ロードポートPのウエハ移載窓1aがカセットカバーCにより閉塞されることを説明する。図11は、第2カセットK2 が第2ウエハW2 の搬入・搬出位置まで前進した状態の側面図であり、図12は、同様の状態で、ロードポートPのウエハ移載窓1aがカセットカバーCの先端面、及び左右一対の閉塞用フランジ部46で閉塞された状態を示す斜視図であり、図13は、同様の状態を正面から見た模式図である。図11ないし図13に示されるように、処理装置100の内部のロボットのハンドにより第2カセットK2 内の第2ウエハW2 の搬出及び搬入が可能な位置まで、キャリアベース5を前進させると、第2カセットK2 の全体を覆っているカセットカバーCの前端の左右一対の閉塞用フランジ部を含めて当該カセットカバーCの前端面が、ロードポートPのウエハ移載窓1aの周縁に当接又は近接した後に、当該ウエハ移載窓1aを処理装置100の側から覆っている蓋体保持板2を取り外して、第2ウエハW2 の移載が可能な状態にしても、当該ウエハ移載窓1aの部分の気密が保持されて、処理装置100内のエアクリーン度が維持される。
【0044】
また、第2カセットK2 は、第1及び第2の各水平方向X,Yの双方に位置決めされた状態で、水平配置されたアダプタプレートEにセットされているのみであって、固定されてはいないが、当該第2カセットK2 の全体がカセットカバーCにより覆われ、しかも当該カセットカバーCの手前側開口41は、起立姿勢のカセット受台Bにより覆われているので、誤って人手が第2カセットK2 に触れて、当該第2カセットK2 がセット位置からずらされる恐れはない。また、カセット受台Bが透明体で構成されているため、カセットカバーCの正面開口41の側から、当該カセット受台Bを透視してロボットハンドによる第2ウエハの搬入・搬出の状態が目視できるため、第2ウエハの搬入・搬出に係る何らかの不具合が発生した場合には、即座に視認できる(発見できる)。
【0045】
また、図12及び図13に示されるように、キャリアベース5の前進により、第2カセットK2 が第2ウエハW2 の搬入・搬出を行う前進端に達して、カセットカバーCの前端面、及び左右一対の閉塞用フランジ部46がロードポート本体1におけるウエハ移載窓1aの周縁に当接又は近接した後に、当該ウエハ移載窓1aをロードポート本体1の背面側から閉塞していた蓋体保持板2が下降して、当該ウエハ移載窓1aが開口された状態では、処理装置100とカセットカバーCの内部とは連通状態となるが、当該カセットカバーCの正面開口41の大部分は、カセット受台Bにより閉塞されると共に、当該カセットカバーCがアダプタプレートEに取付けられる構造からして、当該カセットカバーCの底面開口43は、当該アダプタプレートEにより覆われる。従って、第2ウエハW2 の搬入・搬出時において、ウエハ移載窓1aが開口されても、処理装置100と連通している部分は、カセットカバーCの内部までであって、処理装置100の外部とは遮断状態となっている。よって、第2ウエハW2 の搬入・搬出時において、処理装置100内のエアクリーン度が低下することはない。
【0046】
更に、第2カセットK2 が第2ウエハW2 の搬入・搬出位置まで前進した状態において、第2カセットK2 に収容されている多数枚の第2ウエハW2 のうち処理装置100の側に突出している第2ウエハW2 が存在すると、カセットアダプタAの側のウエハ飛出検出センサS6 と、ロードポート本体1の正面側に取付けられたウエハ飛出検出センサS7 とによって、飛び出した第2ウエハW2 が検出される。特に、ロードポート本体1の側に取付けられるウエハ飛出検出センサS7 は、当該ロードポート本体1の正面側であるので、背面側に取付けられている場合と比較して、第2ウエハW2 の飛出し長を短くしても検出可能となるので、第2ウエハW2 の飛出検出の精度が高められる。
【0047】
なお、処理を終えた第2ウエハW2 は、第2カセットK2 の各ウエハ挿入溝114に戻された後に、アダプタ本体DがカセットカバーCの外部に向けて(90°−θ)だけ回動させ(図6及び図7参照)、この状態で、アダプタ本体Dから第2カセットK2 を取り出して、次の工程に搬送する。
【符号の説明】
【0048】
A:カセットアダプタ
B:カセット受台
C:カセットカバー
D:アダプタ本体
E:アダプタプレート
K1 :第1カセット
K2 :第2カセット
S1 〜S3 :第1カセットのロードポートの着座センサ
S4 ,S5 :第2カセットのカセットアダプタの着座センサ
W2 :第2ウエハ
X:第1水平方向
Y:第2水平方向
θ:カセット受台の傾斜配置角度
5:キャリアベース
12:ロック爪
13:ロック用エアシリンダのロッド
14:ロック用エアシリンダ
33:ストッパボルト
34:センサ作動ボルト
35:被ロック部材
35a:被ロック部
41:カセットカバーの正面開口
42:カセットカバーの背面開口
43:カセットカバーの底面開口
46:閉塞用フランジ部
【技術分野】
【0001】
本発明は、300mmの第1ウエハを収容可能な第1カセットをキャリアベースに設置して、処理装置に対して当該第1ウエハを搬入・搬出させるロードポートの前記キャリアベースにカセットアダプタを装着して、当該カセットアダプタに200mmの第2ウエハを収容可能な第2カセットを設置する際に、当該第2カセットの全体を覆うために前記カセットアダプタ、及びカセットカバーに関するものである。なお、本明細書において、「300mmのウエハ」及び「200mmのウエハ」とは、それぞれ直径300mm及び直径200mmの円形のウエハを指す。
【背景技術】
【0002】
300mmのウエハの処理を主体にした処理装置においては、当該処理装置に対してウエハの搬入・搬出を行うために、多数枚のウエハを収容した第1カセットを設置するためのロードポートが、前記処理装置の外側におけるウエハの搬入・搬出を行う各部分にそれぞれ取付けられている。
【0003】
このように、300mmのウエハの処理を主体にした処理装置において、200mmのウエハの処理を行う必要が生ずることがある。このような場合に、処理装置の外側に設置した各ロードポート自体を、200mmのウエハを収容する第2カセットに対応したロードポートに変更すれば問題はない。この方法では、300mmのウエハに比較して使用頻度の少ない200mmのウエハの処理のために、第2カセットに対応した専用のロードポートを多数製作・準備しておいて、ロードポート自体を取り替える必要がある。
【0004】
上記の方法では、使用頻度の少ない第2カセット専用のロードポートの製作のみならず、ロードポートの取り替えのための作業をも必要とし、極めて不経済であると共に、ロードポートの交換のために、ウエハの処理能率も低下する。
【0005】
そこで、本発明者は、300mmのウエハを収容可能な第1カセットに対応のロードポートに対して200mmのウエハを収容する第2カセットを設置可能にするためのカセットアダプタを使用する着想を得た。この着想の下では、300mmのウエハを収容する第1カセットのロードポートのキャリアベースに対して前記カセットアダプタがしっかりと固定される。そして、300mmの第1ウエハを収容可能な第1カセットは、キャリアベースに対してロックされる構造になっていて、処理装置に対して第1ウエハの搬入・搬出を行っている途中において、第1カセットに触れても、殆ど支障はない。
【0006】
しかし、第1カセット用のロードポートのキャリアベースにカセットアダプタを装着し、当該ロードポートを使用して、第2カセットに収容された第2ウエハの搬入・搬出を行う場合には、カセットアダプタに対して第2カセットはロックされていないので、処理装置に対して第2ウエハの搬入・搬出を行っている途中において、当該第2カセットに人手等が触れるのを防止するカセットカバーを使用する必要がある。なお、当業界では、300mmの第1ウエハを収容可能な第1カセットは、FOUP(Front Open Unified Pod)と称され、200mmの第2ウエハを収容可能な第2カセットは、オープンカセットと称されている。
【0007】
上記の目的を達成するための先行技術としては、特許文献1,2があるが、特許文献1は、オープンカセット専用のロードポートを対象にしていて、FOUPの扱いは不要であり、特許文献2では、オープンカセットのカバー装置の開示はあるが、当該カバー装置が可動部材を含んでいて、構造が複雑である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0008】
【特許文献1】特許第438505号公報
【特許文献2】特表2003−504887号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
本発明は、300mmの第1ウエハを収容可能な第1カセットをキャリアベースに設置して、処理装置に対して当該第1ウエハを搬入・搬出させるロードポートの前記キャリアベースにカセットアダプタを装着して、当該カセットアダプタに200mmの第2ウエハを収容可能な第2カセットを設置する際に、当該第2カセットが人手等の接触により移動されるのを防止すべく、当該第2カセットの全体を覆うために前記カセットアダプタに取付けられるカセットカバーの提供を課題としている。
【課題を解決するための手段】
【0010】
上記課題を解決するための請求項1の発明は、300mmの第1ウエハを収容可能な第1カセットをキャリアベースに設置して、処理装置に対して当該第1ウエハを搬入・搬出させるロードポートの前記キャリアベースに装着されて、200mmの第2ウエハを収容可能な第2カセットを設置可能とするためのカセットアダプタに前記第2カセットを覆うために取付けられるカセットカバーであって、前記カセットアダプタは、前記キャリアベースに固定されるアダプタベースと、二枚のプレート体が側面視でL字状となるように直交して一体化されて、当該アダプタベースに対して水平配置された回動軸を中心にして(90°−θ)の角度で回動可能に支持されるアダプタ本体とから成り、前記アダプタ本体は、前記回動軸心の側が低くなるように、水平面に対して僅かの角度(θ)だけ傾斜配置された状態で、前記ロードポートのカセットテーブルに対する第2カセットの設置及び取出しの双方が可能であるカセット受台と、傾斜姿勢から水平姿勢への移行により、前記カセット受台で支持されていた第2カセットの姿勢をほぼ反転させて、前記処理装置との間で第2ウエハの搬入・搬出が可能な姿勢で、当該第2カセットを載置可能なアダプタプレートとから成り、前記カセットカバーは、正面、背面及び底面の3面が開口されていて、前記アダプタ本体及び第2カセットのそれぞれ全体を覆うことができると共に、正面開口を通して前記アダプタ本体を手前側に傾転させられるように、前記アダプタベースに一体に取付けられ、前記キャリアベースの前進により、前記カセットカバーで覆われた第2カセットが前進端位置である第2ウエハの搬入・搬出位置に達した状態で、当該カセットカバーの前端周縁が、ロードポート本体に設けられたウエハ移載窓の周縁に密着又は近接可能なように、当該カセットカバーの前端には、左右の両方向に向けて閉塞用フランジ部が一体に設けられていることを特徴としている。
【0011】
請求項1の発明においては、300mmの第1ウエハを収容可能な第1カセット用のロードポートのキャリアベースに対して200mmの第2ウエハを収容可能な第2カセットを設置可能とすべく、当該キャリアベースに対してカセットアダプタが装着される。当該カセットアダプタを構成するアダプタベースが前記キャリアベースに固定されて、当該アダプタベースには、カセット受台とアダプタプレートとの二枚のプレート体が側面視でL字状となるように直交して一体化されたアダプタ本体が水平な回動軸を中心にして、(90°−θ)の角度で回動可能に支持されている。アダプタ本体を構成するカセット受台は、回動軸の側が低くなるように水平面に対して角度(θ)だけ傾斜した状態で、即ち、アダプタ本体の全体が処理装置と反対の手前側に傾転した状態で、ほぼ垂直姿勢で多数の第2ウエハが支持された第2カセットが前記カセット受台に、位置決めされてセットされる。この状態で、傾転姿勢のアダプタ本体を処理装置の側に向けて(90°−θ)だけ回動させて、当該アダプタ本体を構成するアダプタプレートを水平に配置させると、前記第2カセットは、当該第2カセットに支持された多数の第2ウエハが水平となって、前記アダプタプレートに位置決めされてセット(載置)される。この状態では、アダプタプレートの上にセットされた第2カセットは、当該アダプタプレートに位置決めされているのみであって、ロックされていないので、第2カセットに人手等が接触することにより、位置決めされた正規の位置に対して微動される恐れがある。
【0012】
請求項1の発明では、アダプタ本体を構成するアダプタプレートに第1カセットが位置決めされてセットされた状態で、当該第2カセットの全体を覆うことが可能であって、しかもアダプタ本体の前記傾転が可能なカセットカバーが前記アダプタプレートに取付けられている。カセットカバーは、処理装置に対する第2ウエハの搬入・搬出が可能とすべく背面が開口されていると共に、アダプタ本体を処理装置と反対側である手前側に傾転可能なように正面が開口されており、更に、アダプタプレートに対して取付け可能なように底面が開口されている。即ち、カセットカバーは、正面、背面及び底面の計3面が開口された構造となっている。
【0013】
このように、多数の第2ウエハを水平に支持している第2カセットが、アダプタ本体を構成するアダプタプレートの上面に位置決めされてセットされた状態、即ち、アダプタ本体が傾転姿勢から起立姿勢になった状態において、当該第2カセットは、その全体がカセットカバーにより覆われている。よって、アダプタプレートに対して位置決めされてセットされている第2カセットに対して人手等は、接触不能となって、アダプタプレートに対して第2カセットが微動されることはなく、処理装置に対する第2ウエハの搬入・搬出を適正に行える。
【0014】
一方、第2カセットは、第1カセットに比較して、収容するウエハのサイズの相違により、幅が狭くなっていると共に、高さも低くなっている。そこで、カセットカバーの背面開口の部分の高さは、ロードポート本体に設けられた方形状のウエハ移載窓の上辺の周縁を覆うことが可能なように、第2カセットの高さを超えて高くなっているが、カセットカバーの背面開口の部分の幅は、第2カセットの幅に対応していて、そのままでは、処理装置に対して第2ウエハを搬入・搬出させる際に、キャリアベースを前進させて、カセットカバーの前端面を、ロードポート本体の前記ウエハ移載窓の周縁に当接又は近接させた状態において、当該ウエハ移載窓の左右両端部が全高に亘って開口されてしまう。そこで、請求項1の発明では、カセットカバーの前端には、前記ウエハ移載窓の左右両端部の開口を覆うべく、左右の両方向に向けてフランジ部が一体に設けられていて、処理装置に対して第2ウエハの搬入・搬出時には、ロードポート本体のウエハ移載窓の全体を覆うことを可能にして、処理装置内のエアークリーン度の低下を防止している。
【0015】
また、請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記カセットカバーの正面開口の大部分は、起立姿勢となったアダプタ本体のカセット受台により覆われる構成であることを特徴としている。
【0016】
請求項2の発明によれば、処理装置に対して第2ウエハの搬入・搬出を行っている状態において、カセットカバーの正面開口の大部分は、起立姿勢となったアダプタ本体のカセット受台により覆われるので、当該カセットカバーの正面開口を覆う専用の部材を一切設けることなく、処理装置内のエアークリーン度の低下を防止できる。
【0017】
また、請求項3の発明は、請求項1又は2の発明において、前記カセットカバーは、透明体で構成されていることを特徴としている。
【0018】
請求項3の発明によれば、ロードポートのキャリアベースに装着されたカセットアダプタを構成するアダプタプレートに第2カセットがセットされた状態において、当該第2カセットを透視できるので、当該第2カセットに発生する恐れのある配置位置のずれ等の不具合が即座に分かる(発見できる)。
【0019】
また、請求項4の発明は、請求項1ないし3のいずれかの発明において、前記アダプタ本体のカセット受台は、透明体で構成されていることを特徴としている。
【0020】
請求項4の発明によれば、正面側からカセット受台を透視して、ロボットハンドの動きを視認できるので、当該ロボットハンド或いは第2カセットに異常が発生した場合には、当該異常を目視で発見できる。
【0021】
また、請求項5の発明は、請求項1ないし4のいずれかの発明において、傾転姿勢の前記アダプタ本体が(90°−θ)だけ回動されて、水平配置されたアダプタプレートの上に第2カセットが位置決め状態で載置されて、当該第2カセットの全体がカセットカバーで覆われた状態において、前記第2カセットにおける垂直配置されたウエハ挿脱開口は、前記カセットカバーの背面開口とほぼ一致するように構成されていることを特徴としている。
【0022】
請求項5の発明によれば、第2カセットに対して第2ウエハが収容された状態では、当該第2ウエハは、第2カセットの挿脱開口よりも僅かに引っ込んだ状態で配置される。このため、キャリアベースが前進して、第2カセットが第2ウエハの搬入・搬出位置まで前進された状態で、第2カセットに収容された第2ウエハの「飛び出し」を検出する際において、検出可能な突出長を小さくすることができて、当該検出の精度を高めることができる。
【0023】
請求項6の発明は、300mmの第1ウエハを収容可能な第1カセットをキャリアベースに設置して、処理装置に対して当該第1ウエハを搬入・搬出させるロードポートの前記キャリアベースに装着されて、200mmの第2ウエハを収容可能な第2カセットを設置可能とするためのカセットアダプタであって、請求項1ないし5のいずれかに記載のカセットカバーを備えていることを特徴としていて、請求項1ないし5のいずれかの発明に記載の上記作用効果が奏される。
【発明の効果】
【0024】
本発明によれば、ロードポートのキャリアベースに装着されたカセットアダプタを構成するアダプタプレートに、当該アダプタプレートにセットされた第2カセットの全体を覆うカセットカバーが取付けられているので、アダプタプレートに対して位置決めされてセットされている第2カセットに対して人手等は、接触不能となって、アダプタプレートに対して第2カセットが微動されることはなく、処理装置に対する第2ウエハの搬入・搬出を適正に行える。また、カセットカバーの前端には、前記ウエハ移載窓の左右両端部の開口を覆うべく、左右の両方向に向けてフランジ部が一体に設けられていて、処理装置に対して第2ウエハの搬入・搬出時には、ロードポート本体のウエハ移載窓の全体を覆うことを可能にして、処理装置内のエアークリーン度の低下を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【0025】
【図1】ロードポートPのカセットテーブル4のキャリアベース5に対するカセットアダプタAの固定位置の関係を示す斜視図である。
【図2】キャリアベース5にカセットアダプタAが固定された状態の斜視図である。
【図3】カセットアダプタAの斜視図である。
【図4】カセットアダプタAとカセットカバーCとの分離状態の斜視図である。
【図5】異なる方向から見たカセットアダプタAとカセットカバーCとの分離状態の斜視図である。
【図6】アダプタ本体Dを手前側に倒して、カセット受台Bで第2カセットK2 を受ける状態の斜視図である。
【図7】同様の側面図である。
【図8】カセット受台Bで第2カセットK2 を受けた状態で、アダプタ本体Dを(90°−θ)だけ回動させて、アダプタベースV上にアダプタ本体Dを配置した状態の側面断面図である。
【図9】同様の状態において、キャリアベース5に対してアダプタ本体Dがロックされた状態を主体に示す側面断面図である。
【図10】(a)は、ロック時及び非ロック時におけるロック用エアシリンダ14のロック爪12と、アダプタプレートEの裏面に取付けられた被ロック部材35との関係を示す平面図であり、(b)は、同じく側面断面図である。
【図11】第2カセットK2 が第2ウエハW2 の搬入・搬出位置まで前進した状態の側面図である。
【図12】同様の状態で、ロードポートPのウエハ移載窓1aがカセットカバーCの先端面、及び左右一対の閉塞用フランジ部46で閉塞された状態を示す斜視図である。
【図13】同様の状態を正面から見た模式図である。
【図14】第2カセットK2 を下側から見た斜視図である。
【図15】アダプタ本体Dに設けられた第1及び第2の各位置決め機構F1 ,F2 と、第2カセットK2 の被位置決め部となる各リブの関係を示す図である。
【図16】(a),(b)は、それぞれロードポートPのキャリアベース5にセットされた第1カセットK1 の異なる部分の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0026】
以下、最良の実施例を挙げて、本発明を更に詳細に説明する。最初に、図1、図2及び図16を参照して、300mmの第1ウエハを収容する第1カセットK1 をセットして、処理装置100に対して当該300mmのウエハの搬入・搬出を行うロードポートPに関して、本発明の理解に必要な部分についてのみ説明し、その後に、本発明に係るカセットカバーCを備えたカセットアダプタAについて説明する。ロードポートPは、処理装置100の特定位置の外壁面に接した状態で垂直に配置されるロードポート本体1と、当該ロードポート本体1の背面側に配置されて、第1カセットK1 の蓋体(図示せず)を着脱するために、当該蓋体を保持する蓋体保持板2を備えた蓋体着脱装置3と、前記ロードポート本体1の手前側に水平に設けられて、第1カセットK1 をセットするためのカセットテーブル4とを備えている。前記蓋体保持板2の手前側には、第1カセットK1 の蓋体(図示せず)のロック及びその解除をロック爪、並びに当該蓋体保持板2の吸着を行う吸盤が設けられているが、これらは、いずれも図示されていない。ロードポート本体1におけるカセットテーブル4よりも上方の部分には、処理装置100に対するウエハの搬入・搬出を行う方形状のウエハ移載窓1aが設けられている。当該カセットテーブル4には、処理装置100に対するウエハを搬入・搬出方向である第1水平方向Xと、当該第1水平方向Xと直交する水平方向である第2水平方向Yとの双方に対する位置決めを行った状態で、前記第1カセットK1 をセットするためのキャリアベース5が前記第1水平方向Xに沿って前進・後退可能に配置されている。キャリアベース5は、キャリアカバー6で全体が覆われていて、第1カセットK1 の裏面に形成された3個の位置決め孔7に対応する位置にそれぞれ位置決め突起8が設けられている。前記位置決め孔7は、第1カセットK1 の裏面に下方に突出して一体に形成された各凸部9の下面に形成されている。また、計3個の各位置決め突起8の近傍には、キャリアベース5に位置決め状態で第1カセットK1 をセット(着座)することにより、当該カセットK1 の裏面に設けられた各凸部9により下方に押圧されて下動することにより、前記キャリアベース5に対して当該第1カセットK1 がセット(着座)されたことを検出する計3つの第1〜第3の各着座センサS1 〜S3 がそれぞれキャリアベース5の上面から突出して設けられている。
【0027】
また、第1カセットK1 の裏面における前面(蓋体の側)に近い部分には、側面視で逆L字状をした被ロック部11が一体に設けられている。一方、キャリアベース5の側には、第1カセットK1 の被ロック部11に係合可能なロック爪12が先端に取付けられたロッド13を有するロック用エアシリンダ14が垂直線に対して傾斜して配置され、当該ロック爪12は、キャリアベース5に設けられた貫通孔17を通って当該キャリアベース5の上面から上方に突出して配置されている。ロック用エアシリンダ14を上記のように傾斜配置したのは、第1カセットK1 の底面と干渉することなく、当該ロック用エアシリンダ14のロッド13の必要可動長を確保するためである。ロック用エアシリンダ14のロッド13は、進退と90°の範囲内での回動とを行うことにより、当該ロック用エアシリンダ14のロッド13の先端のロック爪12と、第1カセットK1 の被ロック部11とが解除可能に係合して、キャリアベース5に位置決めされてセット(着座)された第1カセットK1 は、当該キャリアベース5に対する浮き上がりを防止された状態でロックされる。この状態で、駆動手段(図示せず)によりキャリアベース5がウエハ移載窓1aの側に向けて前進すると、当該キャリアベース5にセットされた第1カセットK1 の前面の開口の周縁に設けられたフランジ15(図13参照)が、ロードポート本体1のウエハ移載窓1aの周縁に密着して、前記蓋体着脱装置3の蓋体保持板2による処理装置100の側からのロードポート本体1のウエハ移載窓1aの閉塞状態が解除されても、ウエハ移載窓1aの部分の気密は保持されて、エアークリーン度の高い処理装置100内の気密が保持される。また、キャリアベース5には、計3個の位置決め突起8を利用して、当該キャリアベース5の上面に第1カセットK1 をセットする際に、第1カセットK1 の位置が正規の位置より大きくずれている場合には、当該第1カセットK1 の底面と干渉してその旨を知らしめれるための計3本のノックアウトピン(図示せず)を螺合させるねじ孔16が形成されている。
【0028】
次に、図1ないし図10を参照して、本発明に係るカセットアダプタAについて説明する。図1は、ロードポートPのカセットテーブル4のキャリアベース5に対するカセットアダプタAの固定位置の関係を示す斜視図であり、図2は、キャリアベース5にカセットアダプタAが固定された状態の斜視図であり、図3は、カセットアダプタAの斜視図であり、図4は、カセットアダプタAとカセットカバーCとの分離状態の斜視図であり、図5は、異なる方向から見たカセットアダプタAとカセットカバーCとの分離状態の斜視図であり、図6は、アダプタ本体Dを手前側に倒して、カセット受台Bで第2カセットK2 を受ける状態の斜視図であり、図7は、同様の側面図であり、図8は、カセット受台Bで第2カセットK2 を受けた状態で、アダプタ本体Dを(90°−θ)だけ回動させて、アダプタベースV上にアダプタ本体Dを配置した状態の側面断面図であり、図9は、同様の状態において、キャリアベース5に対してアダプタ本体Dがロックされた状態を主体に示す側面断面図であり、図10(a)は、ロック時及び非ロック時におけるロック用エアシリンダ14のロック爪12と、アダプタプレートEの裏面に取付けられた被ロック部材35との関係を示す平面図であり、同(b)は、同じく側面断面図である。なお、以下の説明において、アダプタ本体Dを構成するカセット受台B及びアダプタプレートEには、種々の部材がボルトを介して固定されているが、当該ボルトによる固定自体には何の特徴もないので、図面を簡略化して本発明に必要な部分の理解を容易にするために、本発明において必要なボルトを除いて、全図においてボルトの図示を略す。
【0029】
図4ないし図7に示されるように、カセットアダプタAは、前記キャリアベース5に固定されるプレート状のアダプタベースVと、二枚のプレート体が側面視でL字状となるように直交して一体化されて、当該アダプタベースVに対して回動軸21を中心にして、(90°−θ)の角度内において手動により回動されるアダプタ本体Dとから成る。前記アダプタベースVにおける第1水平方向Xに沿った後端部であって、その両端部には、ディスクダンパー22を支持するための左右一対のダンパー支持ブラケット23が固定され、各ダンパー支持ブラケット23の外側には、前記回動軸21を支持するための軸支持ブラケット24がそれぞれ固定されている。回動軸21の両端部は、ダンパー支持ブラケット23及びディスクダンパー22をそれぞれ貫通して軸支持ブラケット24に支持され、当該回動軸21における左右の各ダンパー支持ブラケット23の間には、プレート取付けブラケット25が外側に一体に嵌め込まれていて、当該回動軸21とプレート取付けブラケット25とは、一体となって回動する構造となっている。
【0030】
アダプタ本体Dは、前記回動軸21の側が僅かに低くなるように、角度(θ)(図7参照)だけ傾斜した状態で、200mmのウエハを収容可能な第2カセットK2 の設置、及び取出しを行うためのカセット受台Bと、傾斜姿勢から水平姿勢への移行により、前記カセット受台Bで支持されていた第2カセットK2 の姿勢をほぼ90°変更して、前記処理装置100との間でウエハの搬入・搬出が可能な姿勢に変更して、載置し直すためのアダプタプレートEとから成って、当該カセット受台B及びアダプタプレートEが互いに直交するようにして、前記プレート取付けブラケット25に一体に取付けられている。カセット受台Bの背面には、二枚のプレート体が側面視でL字状となるように直交して一体化された前記アダプタ本体Dを手動操作により回動させる際に、作業者の一方の手で掴むことの可能なグリップ20が設けられている。
【0031】
また、前記カセット受台BとアダプタプレートEの各内面には、それぞれ異なる姿勢で第2カセットK2 を位置決めした状態で支持可能とするための第1及び第2の各位置決め機構F1 ,F2 が取付けられており、当該第1及び第2の各位置決め機構F1 ,F2 は、第2カセットK2 の形状に依拠している。従って、図3、図11及び図12を参照して、第1及び第2の各位置決め機構F1 ,F2 との関係において、第2カセットK2 の形状について簡単に説明する。図11は、第2カセットK2 を下側から見た斜視図であり、図12は、アダプタ本体Dに設けられた第1及び第2の各位置決め機構F1 ,F2 と、第2カセットK2 の被位置決め部となる各リブの関係を示す図である。200mmのウエハを収容する第2カセットK2 は、一対の対向側壁部110が上板部111、下板部112及び下側連結板部113とで連結されて、各対向側壁部110の内側面にウエハの周縁部を挿入して支持するためのウエハ挿入溝114が上下方向に一定ピッチをおいて多数設けられ、前記下側連結板部113の下面に一対の対向側壁部110の対向方向に沿って位置決め突条115が設けられている。当該位置決め突条115の両端の形成端には、当該位置決め突条115と直交し、しかも当該突条115よりも僅かに突出するようにして、一対のセンサ作動リブ116が互いに平行に形成されている。一方、挿入されたウエハを垂直にして支持可能なように、ウエハ挿脱開口117と反対の側には、一対のセンサ作動リブ116が前記一対のセンサ作動リブ116と直交し、しかも互いに平行に形成されている。また、上板部111には、当該第2キャリアK2 を手で持ち上げるための把手119(図6参照)が設けられている。
【0032】
そして、回動軸21の側が僅かに低くなるように傾斜配置されたカセット受台B及び水平配置されたアダプタプレートEの双方に対して前記第2カセットK2 を位置決めしてセットできるように、カセット受台B及びアダプタプレートEには、それぞれ第1及び第2の各位置決め機構F1 ,F2 が設けられている。カセット受台Bに設けられた第1位置決め機構F1 は、第2カセットK2 の一対の起立板部118の各位置を外側から規制するための細長ブロック状の一対の第1位置決め部材26と、第2カセットK2 の一対のセンサ作動リブ116がアダプタプレートEの上面に当接した状態で、前記一対の起立板部118におけるアダプタプレートEから離れた側の端面を規制するための細長ブロック状の第2位置決め部材27とから成る。一方、アダプタプレートEに対して第2カセットK2 を位置決めするための第2位置決め機構F2 は、上記のようにして、カセット受台Bに対して第1位置決め機構F1 により第2カセットK2 が位置決めされた状態において、当該第2カセットK2 の位置決め突条115が挿入される位置決め挿入溝28を形成するための細長ブロック状の一対の第3位置決め部材29により構成される。これにより、回動軸21の側が僅かに低くなるように配置されたカセット受台Bに対して、収容されたウエハがほぼ垂直姿勢となったままで第2カセットK2 をカセット受台Bに載せて、そのままアダプタプレートEの側に僅かにスライドさせると、第2カセットK2 の一対の起立板部118がカセット受台Bの一対の第1位置決め部材26と第2位置決め部材27の間に入り込むと共に、第2カセットK2 の位置決め突条115が一対の第3位置決め部材29の間の位置決め挿入溝28に挿入されて、第2カセットK2 は、カセット受台B及びアダプタプレートEの双方に対して位置決めされる。このため、カセット受台Bの第2カセットK2 に載せられた状態で、アダプタ本体Dを(90°−θ)だけ回動させて、アダプタプレートEを水平にした状態においても、ほぼ90°反転された第2カセットK2 は、当該アダプタプレートEに対して第1及び第2の各水平方向X,Yの双方向に位置決めされた状態を保持する。なお、図3、図12等において、31は、一対の第3位置決め部材29のそれぞれ外側に平行に配置されていて、当該第3位置決め部材29よりも大きな厚さを有していて、第2位置決め機構F2 に対する第2カセットK2 の位置決めの案内、及び位置決めされた状態において第2カセットK2 が第1水平方向Xに移動するのを防止する案内・規制部材を示す。
【0033】
また、第2カセットK2 においても、アダプタプレートEに対して当該第2カセットK2 が正しい平行姿勢でセット(着座)されたことを検出する必要があり、図3及び図4に示されるように、アダプタプレートEに対して第2カセットK2 が第2位置決め機構F2 により位置決めされてセットされた状態で、当該第2カセットK2 の下板部112の裏面を当接させて前記水平姿勢を検出する第4及び第5の各着座センサS4 ,S5 が当該アダプタプレートEの一方の対角線方向に沿って出入り可能に配置されている。第4及び第5の各着座センサS4 ,S5 は、アダプタプレートEに第2カセットK2 を位置決めしてセットすることにより、センサ作動リブ116により作動される。なお、図4において、32は、第4及び第5の各着座センサS4 ,S5 を出入り可能に支持するためのセンサホルダーを示す。
【0034】
また、第4及び第5の各着座センサS4 ,S5 のいずれもが作動して、アダプタ本体Dを構成するアダプタプレートEに対して第2カセットK2 が正しく水平に設置されても、当該アダプタプレートEが水平に設置されていない場合には、結果として、アダプタプレートEに載せられた第2カセットK2 は、水平に設置されていないことになって、処理前に、当該第2カセットK2 からウエハを取り出したり、処理後においてウエハを当該第2カセットK2 に収容するのに支障を来す。このため、図4及び図8に示されるように、アダプタプレートEの裏面における自由端側の両コーナー部に近い部分に、前記アダプタプレートEが水平の状態でアダプタベースVに当接する左右一対のストッパボルト33がそれぞれ設けられていると共に、アダプタベースVが水平の状態で、当該アダプタベースVの下方に配置された前記第1着座センサS1 を作動させるためのセンサ作動ボルト34が、前記アダプタプレートEの裏面における第1着座センサS1 の配置位置に対応した位置に取付けられている。この構成により、アダプタプレートEに対して第2カセットK2 が正しく水平に設置されたこと、及び当該アダプタプレートEが水平に設置されたことの双方を検出可能となる。また、アダプタプレートEが水平に配置された状態において、当該アダプタプレートEの裏面における第1カセットK1 に設けられた被ロック部11に対応する位置には、同じく上下方向に長いL字形をした被ロック部材35が取付けられており、図9及び図10に示されるように、当該被ロック部材35の先端の被ロック部35aとロック用エアシリンダ14のロッド13の先端のロック爪12と係合して、キャリアベース5に対してアダプタ本体Dがロックされる構成になっている。なお、図4及び図8において、36は、ロック用エアシリンダ14のロッド13の先端のロック爪12及び前記被ロック部材35とアダプタベースVとの干渉を回避するための逃げ孔を示し、37は、キャリアベース5に設けられた第1〜第3の各着座センサS1 〜S3 と、アダプタベースVとの干渉を避けるために、当該アダプタベースVに設けられた逃げ孔を示す。
【0035】
また、アダプタベースVには、第1カセットK1 のロードポートPのキャリアベース5に設けられた計3個の位置決め突起8をそれぞれ嵌合させて、当該キャリアベース5に対してアダプタベースVを位置決めしてセットするための計3つのセット孔38が形成されている。
【0036】
次に、図2ないし図5を参照して、アダプタ本体DのアダプタプレートEにセットされた状態で、当該アダプタ本体D及び第2カセットK2 の双方を収容するために、アダプタベースVに取付けられるカセットカバーCについて説明する。第1カセットK2 は、アダプタ本体DのアダプタプレートEに対しては第1及び第2の各水平方向X,Yに位置決めされた状態で載せられているのみであって、ロックされていない。そこで、処理装置100に対する第2ウエハW2 の搬入及び搬出時、即ち、処理装置100内に配置されたウエハ移載用のロボットの作動中、及びその前後において、アダプタプレートEに位置決め状態で載せられている第2カセットK2 を周囲から触れられないように保護するために、当該第2カセットK2 の全体がカセットカバーCで覆われる。カセットカバーCは、内部が透視可能なように透明樹脂で形成されて、第2カセットK2 を操作する作業者からみて正面(手前側面)、背面(奥側面)、及び底面の計3面が開口されて、それぞれ正面開口41、背面開口42及び底面開口43となっていて、全体が略立方体状となっている。更に具体的には、カセットカバーCの天板部45は、アダプタ本体Dが傾転可能なように、正面側が高くなって、背面側が低くなっているが、背面側の高さは、ロードポート本体1におけるウエハ移載窓1aの上縁に臨む部分に当接又は近接可能なように、第2カセットK2 の収容に必要な高さよりも高くなっている。一方、カセットカバーCの幅は、第2カセットK2 を収容に必要な幅であるために、当該カセットカバーCの前端面がロードポート本体1におけるウエハ移載窓1aの周縁に当接又は近接した状態では、第1カセットK1 の大きさに対応している当該ウエハ移載窓1aの左右方向の両端部は、開口されたままである。このため、カセットカバーCの各側板部44の先端面には、天板部45の先端面と同一面となるように、それぞれ閉塞用フランジ部46が外側方に一体に設けられていて、第2カセットK2 が前進端まで前進されて、第2ウエハの搬入・搬出位置に位置した状態において、ロードポートPのウエハ移載窓1aの周縁に当接して、当該ウエハ移載窓1aを閉塞可能なようになっている。この閉塞用フランジ部46は、フランジ板部46aの周縁部に枠体部46bが嵌め込まれ、ウエハ移載窓1aの両側縁部では、左右の各枠体部46bが当接又は近接する構成となっている。また、各側板部44の下端部であって、手前側の略半分の部分には、アダプタベースVに固定されたディスクダンパー22、ダンパー支持及び軸支持の各ブラケット23,24を覆うための突出カバー部47が側方に突出して設けられている。天板部45は、起立したカセット受台Bを収容可能なように、手前側が高くなるような段差状に形成されている。前記カセットカバーCは、各側板部44の下端に外側に水平に受けられた取付けフランジ部44a及び前記突出カバー部47の側板部47aが、それぞれアダプタベースVの上面周縁部、及び側端面にそれぞれ複数本のビス48を介して着脱可能に取付けられる。
【0037】
また、図6及び図7に示されるように、第2ウエハW2 がほぼ垂直に収容された第2カセットK2 をカセット受台Bにセットする場合には、当該カセット受台Bは、回動軸21の側が僅かに低くなるように、傾斜配置させるために、アダプタベースVにおける前記回動軸21が配置される部分には、当該回動軸21の外側に嵌合されたプレート取付けブラケット25を当接させるための左右一対の当接体39が取付けられている。カセット受台Bの傾斜角度(θ)は、5〜10°である。なお、図3ないし図5において、S6 は、第2カセットK2 内から第2ウエハW2 の搬出(取出し)の開始時において、当該第2カセットK2 から一定量を超えて突出している第2ウエハW2 を検出するための一対一組のウエハ飛出検出センサの一方を示し、アダプタプレートEの先端部中央の裏面にブラケットを介して突出状態で取付けられている。また、ロードポート本体1の表側(カセットテーブル4が配置された側)であって、第2ウエハW2 の搬入・搬出位置に達したアダプタ本体DのアダプタプレートEの先端のウエハ飛出検出センサS6 の直上に対応する位置には、前記センサS6 と組となる別のウエハ飛出検出センサS7 が配置されている。
【0038】
そして、第1カセットK1 のロードポートPのキャリアベース5に対してカセットアダプタAを取付けるには、図1に示されるように、当該キャリアベース5に形成されたロックアウトピン(図示)の複数本のねじ孔16と、同数の固定ボルト52を用いて、カセットカバーCが取付けられていない状態のアダプタベースVを前記キャリアベース5に固定する。アダプタベースVにおける前記複数本のねじ孔16に対応する部分には、それぞれボルト挿通孔53(図1及び図9参照)が貫通されていて、キャリアベース5の直上にカセットアダプタAのアダプタベースVを配置して下降させて、当該アダプタベースVの複数のセット孔38に対してキャリアベース5に設けられた各位置決め突起8を嵌合させ、この状態において、アダプタベースVのボルト挿通孔53に挿通された各固定ボルト52をキャリアベース5の各ねじ孔16に螺合させると、当該キャリアベース5に対してアダプタベースVが第1及び第2の各水平方向X,Yにそれぞれ位置決めされた状態で、当該キャリアベース5に対してアダプタベースVが固定される(図9参照)。これにより、第1カセットK1 のロードポートPのキャリアベース5にカセットアダプタAを構成するアダプタ本体Dが回動軸21を回動中心として、(90°−θ)の角度で回動可能に装着される。この状態で、複数本のビス48を用いて、アダプタベースVにカセットカバーCを取付けると、カセット受台Bが垂直となった姿勢で、アダプタ本体Dの全体がカセットカバーCにより覆われる(図2参照)。
【0039】
次に、図6ないし図10を参照して、第2ウエハW2 が収容された第2カセットK2 を傾斜配置されたカセット受台Bにセットした後に、アダプタ本体Dを(90°−θ)だけ回動させて、全体がカセットカバーCで覆われた状態において、当該アダプタ本体DのアダプタプレートEを、ロードポートPのキャリアベース5にロックさせるまでの作用について順次説明する。第1カセットK1 のロードポートPのキャリアベース5にカセットアダプタAを装着して、第2カセットK2 をセット可能にするためのカセットアダプタAを使用するには、ロードポートPのキャリアベース5に設けられた第1〜第3の各着座センサS1 〜S3 のうち、第1着座センサS1 のみを有効にして、残りの第2及び第3の着座センサS2 ,S3 を無効にしておくと共に、カセットアダプタAのアダプタプレートEに取付けられた第4及び第5の各着座センサS4 ,S5 を有効にしておく。
【0040】
まず、図6及び図7に示されるようにして、アダプタ本体Dを手動により手前側に倒すと、プレート取付けブラケット25の両端ブラケットが、アダプタベースVに取付けられた左右一対の当接体39に当接して、当該アダプタ本体Dのカセット受台Bは、回動軸21の側が低くなるようにして、水平面に対して角度(θ)だけ傾斜して配置される。このように、手動によりアダプタ本体Dを回動させる際は、回動軸21の両端部に配置された各ディスクダンパー22が回動抵抗となるため、自重により速い速度で回動するのが防止されて、ゆっくりと回動するために、アダプタ本体Dが回動停止する際に、第2カセットK2 に支持されている第2ウエハW2 がウエハ挿入溝114から突出するのが防止される。この状態で、収容された第2ウエハW2 がほぼ垂直にして、第2カセットK2 の左右一対の起立板部118を、第1位置決め機構F1 を構成する左右一対の第1位置決め部材26と、別の第2位置決め部材27との間に挿入すると、カセット受台Bが傾斜配置されているために、当該第2カセットK2 は、起立姿勢のアダプタプレートEの側に押し付けられて、下側連結板部113の裏面に設けられた位置決め突条115は、第2位置決め機構F2 を構成する2本の第3位置決め部材29の間に形成された位置決め挿入溝28に挿入される。これにより、アダプタ本体Dを(90°−θ)だけ回動させて、図8及び図9に示されるように、ほぼ反転された当該第2カセットK2 がアダプタプレートEの上に載せられた状態において、当該第2カセットK2 は、第1及び第2の各水平方向X,Yに対して位置決めされる。
【0041】
アダプタ本体Dの(90°−θ)の回動により、傾斜配置されたカセット受台Bから水平配置されたアダプタプレートEに移載せられた第2カセットK2 の各センサ作動リブ116により、当該アダプタプレートEに設けられた第4及び第5の各着座センサS4 ,S5 の双方が「ON」となると、当該アダプタプレートEに対して第2カセットK2 が正しい姿勢でセット(着座)されたことが検出される。また、アダプタ本体Dの(90°−θ)の回動により、アダプタプレートEの裏面に設けられた左右一対のストッパボルト33がアダプタベースVに当接して、当該アダプタプレートEが水平に配置されると、当該アダプタプレートEの裏面に取付けられたセンサ作動ボルト34が、当該アダプタプレートEの逃げ孔37を通ってキャリアベース5に取付けられた第1着座センサS1 を「ON」にすると、当該アダプタプレートEが水平に配置されたことが検出される。
【0042】
上記のようにして、アダプタプレートEに対して第2カセットK2 が正しい姿勢で着座されたこと、及び当該アダプタプレートEが水平に配置されたことの双方が確認された後に、ロック用エアシリンダ14のロッド13を突出端まで突出させて、図10(a)に示されるように、当該ロッド13の先端のロック爪12が第2水平方向Yに沿って配置された状態で、当該ロッド13を90°だけ回転させた後に引っ込めると、図9及び図10(b)に示されるように、アダプタベースVの逃げ孔37に入り込んでいるアダプタプレートEの裏面の被ロック部材35の被ロック部35aは、前記ロック爪12によりロックされる。これにより、アダプタ本体Dは、ロードポートPのキャリアベース5に対してロックされて、回動できなくなる。このように、第1カセットK1 のロードポートPのキャリアベース5に設けられたロック部材であるロック用エアシリンダ14を利用して、第2カセットK2 を操作させるためのカセットアダプタAを前記キャリアベース5に対してロック可能となる。
【0043】
次に、図11ないし図13を参照して、ロードポートPのウエハ移載窓1aがカセットカバーCにより閉塞されることを説明する。図11は、第2カセットK2 が第2ウエハW2 の搬入・搬出位置まで前進した状態の側面図であり、図12は、同様の状態で、ロードポートPのウエハ移載窓1aがカセットカバーCの先端面、及び左右一対の閉塞用フランジ部46で閉塞された状態を示す斜視図であり、図13は、同様の状態を正面から見た模式図である。図11ないし図13に示されるように、処理装置100の内部のロボットのハンドにより第2カセットK2 内の第2ウエハW2 の搬出及び搬入が可能な位置まで、キャリアベース5を前進させると、第2カセットK2 の全体を覆っているカセットカバーCの前端の左右一対の閉塞用フランジ部を含めて当該カセットカバーCの前端面が、ロードポートPのウエハ移載窓1aの周縁に当接又は近接した後に、当該ウエハ移載窓1aを処理装置100の側から覆っている蓋体保持板2を取り外して、第2ウエハW2 の移載が可能な状態にしても、当該ウエハ移載窓1aの部分の気密が保持されて、処理装置100内のエアクリーン度が維持される。
【0044】
また、第2カセットK2 は、第1及び第2の各水平方向X,Yの双方に位置決めされた状態で、水平配置されたアダプタプレートEにセットされているのみであって、固定されてはいないが、当該第2カセットK2 の全体がカセットカバーCにより覆われ、しかも当該カセットカバーCの手前側開口41は、起立姿勢のカセット受台Bにより覆われているので、誤って人手が第2カセットK2 に触れて、当該第2カセットK2 がセット位置からずらされる恐れはない。また、カセット受台Bが透明体で構成されているため、カセットカバーCの正面開口41の側から、当該カセット受台Bを透視してロボットハンドによる第2ウエハの搬入・搬出の状態が目視できるため、第2ウエハの搬入・搬出に係る何らかの不具合が発生した場合には、即座に視認できる(発見できる)。
【0045】
また、図12及び図13に示されるように、キャリアベース5の前進により、第2カセットK2 が第2ウエハW2 の搬入・搬出を行う前進端に達して、カセットカバーCの前端面、及び左右一対の閉塞用フランジ部46がロードポート本体1におけるウエハ移載窓1aの周縁に当接又は近接した後に、当該ウエハ移載窓1aをロードポート本体1の背面側から閉塞していた蓋体保持板2が下降して、当該ウエハ移載窓1aが開口された状態では、処理装置100とカセットカバーCの内部とは連通状態となるが、当該カセットカバーCの正面開口41の大部分は、カセット受台Bにより閉塞されると共に、当該カセットカバーCがアダプタプレートEに取付けられる構造からして、当該カセットカバーCの底面開口43は、当該アダプタプレートEにより覆われる。従って、第2ウエハW2 の搬入・搬出時において、ウエハ移載窓1aが開口されても、処理装置100と連通している部分は、カセットカバーCの内部までであって、処理装置100の外部とは遮断状態となっている。よって、第2ウエハW2 の搬入・搬出時において、処理装置100内のエアクリーン度が低下することはない。
【0046】
更に、第2カセットK2 が第2ウエハW2 の搬入・搬出位置まで前進した状態において、第2カセットK2 に収容されている多数枚の第2ウエハW2 のうち処理装置100の側に突出している第2ウエハW2 が存在すると、カセットアダプタAの側のウエハ飛出検出センサS6 と、ロードポート本体1の正面側に取付けられたウエハ飛出検出センサS7 とによって、飛び出した第2ウエハW2 が検出される。特に、ロードポート本体1の側に取付けられるウエハ飛出検出センサS7 は、当該ロードポート本体1の正面側であるので、背面側に取付けられている場合と比較して、第2ウエハW2 の飛出し長を短くしても検出可能となるので、第2ウエハW2 の飛出検出の精度が高められる。
【0047】
なお、処理を終えた第2ウエハW2 は、第2カセットK2 の各ウエハ挿入溝114に戻された後に、アダプタ本体DがカセットカバーCの外部に向けて(90°−θ)だけ回動させ(図6及び図7参照)、この状態で、アダプタ本体Dから第2カセットK2 を取り出して、次の工程に搬送する。
【符号の説明】
【0048】
A:カセットアダプタ
B:カセット受台
C:カセットカバー
D:アダプタ本体
E:アダプタプレート
K1 :第1カセット
K2 :第2カセット
S1 〜S3 :第1カセットのロードポートの着座センサ
S4 ,S5 :第2カセットのカセットアダプタの着座センサ
W2 :第2ウエハ
X:第1水平方向
Y:第2水平方向
θ:カセット受台の傾斜配置角度
5:キャリアベース
12:ロック爪
13:ロック用エアシリンダのロッド
14:ロック用エアシリンダ
33:ストッパボルト
34:センサ作動ボルト
35:被ロック部材
35a:被ロック部
41:カセットカバーの正面開口
42:カセットカバーの背面開口
43:カセットカバーの底面開口
46:閉塞用フランジ部
【特許請求の範囲】
【請求項1】
直径300mmの円形の第1ウエハを収容可能な第1カセットをキャリアベースに設置して、処理装置に対して当該第1ウエハを搬入・搬出させるロードポートの前記キャリアベースに装着されて、直径200mmの円形の第2ウエハを収容可能な第2カセットを設置可能とするためのカセットアダプタに前記第2カセットを覆うために取付けられるカセットカバーであって、
前記カセットアダプタは、前記キャリアベースに固定されるアダプタベースと、二枚のプレート体が側面視でL字状となるように直交して一体化されて、当該アダプタベースに対して水平配置された回動軸を中心にして(90°−θ)の角度で回動可能に支持されるアダプタ本体とから成り、
前記アダプタ本体は、前記回動軸心の側が低くなるように、水平面に対して僅かの角度(θ)だけ傾斜配置された状態で、前記ロードポートのカセットテーブルに対する第2カセットの設置及び取出しの双方が可能であるカセット受台と、傾斜姿勢から水平姿勢への移行により、前記カセット受台で支持されていた第2カセットの姿勢をほぼ反転させて、前記処理装置との間で第2ウエハの搬入・搬出が可能な姿勢で、当該第2カセットを載置可能なアダプタプレートとから成り、
前記カセットカバーは、正面、背面及び底面の3面が開口されていて、前記アダプタ本体及び第2カセットのそれぞれ全体を覆うことができると共に、正面開口を通して前記アダプタ本体を手前側に傾転させられるように、前記アダプタベースに一体に取付けられ、
前記キャリアベースの前進により、前記カセットカバーで覆われた第2カセットが前進端位置である第2ウエハの搬入・搬出位置に達した状態で、当該カセットカバーの前端周縁が、ロードポート本体に設けられたウエハ移載窓の周縁に密着又は近接可能なように、当該カセットカバーの前端には、左右の両方向に向けて閉塞用フランジ部が一体に設けられていることを特徴とするカセットアダプタに取付けられるカセットカバー。
【請求項2】
前記カセットカバーの正面開口の大部分は、起立姿勢となったアダプタ本体のカセット受台により覆われる構成であることを特徴とする請求項1に記載のカセットアダプタに取付けられるカセットカバー。
【請求項3】
前記カセットカバーは、透明体で構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のカセットアダプタに取付けられるカセットカバー。
【請求項4】
前記アダプタ本体のカセット受台は、透明体で構成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のカセットアダプタに取付けられるカセットカバー。
【請求項5】
傾転姿勢の前記アダプタ本体が(90°−θ)だけ回動されて、水平配置されたアダプタプレートの上に第2カセットが位置決め状態で載置されて、当該第2カセットの全体がカセットカバーで覆われた状態において、前記第2カセットにおける垂直配置されたウエハ挿脱開口は、前記カセットカバーの背面開口とほぼ一致するように構成されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のカセットアダプタに取付けられるカセットカバー。
【請求項6】
直径300mmの円形の第1ウエハを収容可能な第1カセットをキャリアベースに設置して、処理装置に対して当該第1ウエハを搬入・搬出させるロードポートの前記キャリアベースに装着されて、直径200mmの円形の第2ウエハを収容可能な第2カセットを設置可能とするためのカセットアダプタであって、
請求項1ないし5のいずれかに記載のカセットカバーを備えていることを特徴とするカセットアダプタ。
【請求項1】
直径300mmの円形の第1ウエハを収容可能な第1カセットをキャリアベースに設置して、処理装置に対して当該第1ウエハを搬入・搬出させるロードポートの前記キャリアベースに装着されて、直径200mmの円形の第2ウエハを収容可能な第2カセットを設置可能とするためのカセットアダプタに前記第2カセットを覆うために取付けられるカセットカバーであって、
前記カセットアダプタは、前記キャリアベースに固定されるアダプタベースと、二枚のプレート体が側面視でL字状となるように直交して一体化されて、当該アダプタベースに対して水平配置された回動軸を中心にして(90°−θ)の角度で回動可能に支持されるアダプタ本体とから成り、
前記アダプタ本体は、前記回動軸心の側が低くなるように、水平面に対して僅かの角度(θ)だけ傾斜配置された状態で、前記ロードポートのカセットテーブルに対する第2カセットの設置及び取出しの双方が可能であるカセット受台と、傾斜姿勢から水平姿勢への移行により、前記カセット受台で支持されていた第2カセットの姿勢をほぼ反転させて、前記処理装置との間で第2ウエハの搬入・搬出が可能な姿勢で、当該第2カセットを載置可能なアダプタプレートとから成り、
前記カセットカバーは、正面、背面及び底面の3面が開口されていて、前記アダプタ本体及び第2カセットのそれぞれ全体を覆うことができると共に、正面開口を通して前記アダプタ本体を手前側に傾転させられるように、前記アダプタベースに一体に取付けられ、
前記キャリアベースの前進により、前記カセットカバーで覆われた第2カセットが前進端位置である第2ウエハの搬入・搬出位置に達した状態で、当該カセットカバーの前端周縁が、ロードポート本体に設けられたウエハ移載窓の周縁に密着又は近接可能なように、当該カセットカバーの前端には、左右の両方向に向けて閉塞用フランジ部が一体に設けられていることを特徴とするカセットアダプタに取付けられるカセットカバー。
【請求項2】
前記カセットカバーの正面開口の大部分は、起立姿勢となったアダプタ本体のカセット受台により覆われる構成であることを特徴とする請求項1に記載のカセットアダプタに取付けられるカセットカバー。
【請求項3】
前記カセットカバーは、透明体で構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のカセットアダプタに取付けられるカセットカバー。
【請求項4】
前記アダプタ本体のカセット受台は、透明体で構成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のカセットアダプタに取付けられるカセットカバー。
【請求項5】
傾転姿勢の前記アダプタ本体が(90°−θ)だけ回動されて、水平配置されたアダプタプレートの上に第2カセットが位置決め状態で載置されて、当該第2カセットの全体がカセットカバーで覆われた状態において、前記第2カセットにおける垂直配置されたウエハ挿脱開口は、前記カセットカバーの背面開口とほぼ一致するように構成されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のカセットアダプタに取付けられるカセットカバー。
【請求項6】
直径300mmの円形の第1ウエハを収容可能な第1カセットをキャリアベースに設置して、処理装置に対して当該第1ウエハを搬入・搬出させるロードポートの前記キャリアベースに装着されて、直径200mmの円形の第2ウエハを収容可能な第2カセットを設置可能とするためのカセットアダプタであって、
請求項1ないし5のいずれかに記載のカセットカバーを備えていることを特徴とするカセットアダプタ。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【公開番号】特開2012−64829(P2012−64829A)
【公開日】平成24年3月29日(2012.3.29)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2010−208849(P2010−208849)
【出願日】平成22年9月17日(2010.9.17)
【出願人】(000002059)シンフォニアテクノロジー株式会社 (1,111)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成24年3月29日(2012.3.29)
【国際特許分類】
【出願日】平成22年9月17日(2010.9.17)
【出願人】(000002059)シンフォニアテクノロジー株式会社 (1,111)
【Fターム(参考)】
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