レーザ発振装置及びワーク移動装置
【課題】 レーザ発振装置の製造原価上昇を招くことを抑制しつつ、反射鏡と出力鏡との平行度を微調整可能とする。
【解決手段】 ボルト１０９によって出力鏡サポート１０７が複数箇所にて第１ホルダ１０６側に押圧し、このボルト１０９による押圧力の大きさに応じてスペーサ１０８が圧縮変形させることにより、ベースプレート１０６と出力鏡サポート１０７との間の距離が変化する。これにより、スペーサ１０８の圧縮変形量は、押圧力の大きさに比べて非常に小さくなるので、反射鏡１０１と出力鏡１０４との平行度を容易に微調整することができる。
【解決手段】 ボルト１０９によって出力鏡サポート１０７が複数箇所にて第１ホルダ１０６側に押圧し、このボルト１０９による押圧力の大きさに応じてスペーサ１０８が圧縮変形させることにより、ベースプレート１０６と出力鏡サポート１０７との間の距離が変化する。これにより、スペーサ１０８の圧縮変形量は、押圧力の大きさに比べて非常に小さくなるので、反射鏡１０１と出力鏡１０４との平行度を容易に微調整することができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ発振装置に関するものであり、内燃機関の点火装置に適用して有効である。
【背景技術】
【０００２】
入力した光を増幅してレーザ光を出力するレーザ共振器は、周知のごとく、反射鏡、レーザ媒質、可飽和吸収体及び出力鏡等から構成されているとともに、これらの素子は、入力側から、反射鏡、レーザ媒質、可飽和吸収体、出力鏡の順に光軸方向に直列に配設されている。
【０００３】
そして、レーザ共振器では、レーザ媒質を挟んで入力側に配設された反射鏡と出力側に配設された出力鏡との間で光の反射を繰り返すことにより、レーザ媒質での誘導放出を連鎖的に発生し、入力した光を増幅してレーザ光として出力するので、レーザ共振器では、反射鏡と出力鏡との平行度を非常に高い精度（例えば、３秒以下）とする必要がある。
【０００４】
これに対して、例えば特許文献１に記載の発明では、出力鏡に相当する平行平面板が接着された球面状の球座ホルダを、球面状に形成された凹部内に摺動可能に設置し、ネジを用いて球座ホルダを回転変位させることで、平行度を調整可能としている。
【特許文献１】特開２００１−１９６６７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に記載の発明では、調整用のネジの先端を球座ホルダに直接的に接触させて球座ホルダを回転変位させるので、例えば平行度が３秒以下となるような微調整をすることは極めて困難である。
【０００６】
すなわち、例えば平行度が３秒以下となるように出力鏡の角度を微調整するには、例えば０．１〜０．５秒程度の単位で出力鏡を変位させる必要があるが、特許文献１に記載の発明と同様な構成にて出力鏡を０．１〜０．５秒程度の単位で変位可能とするには、ネジのピッチを非常に小さく（例えば、出力鏡の直径が５ｍｍの場合には、０．０７μｍ程度）する必要があるので、レーザ発振装置の製造原価上昇を招いてしまう。
【０００７】
なお、上記のような問題は、ワークを移動させるワーク移動装置にも生じる問題である。
そこで、本発明は、上記点に鑑み、レーザ発振装置の製造原価上昇を招くことを抑制しつつ、反射鏡と出力鏡との平行度を微調整可能とすることを第１の目的とし、極微少にワークを移動させることが可能なワーク移動装置を提供することを第２の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明では、レーザを出力するレーザ発振装置であって、反射鏡（１０１）、レーザ媒質（１０２）、可飽和吸収体（１０３）及び出力鏡（１０４）が光軸方向に直列に配設されたレーザ共振器（１００）と、反射鏡（１０１）の位置を決めるための第１ホルダ（１０６）と、出力鏡（１０４）の位置を決めるための第２ホルダ（１０７）と、第１ホルダ（１０６）と第２ホルダ（１０７）との間に配設され、第１ホルダ（１０６）及び第２ホルダ（１０７）のうちいずれか一方のホルダ（１０６）に対する他方のホルダ（１０７）の位置を決定するスペーサ（１０８）と、複数箇所にて他方のホルダ（１０７）を一方のホルダ（１０６）側に押圧する押圧手段（１０９）とを備えることを特徴とする。
【０００９】
これにより、請求項１に記載の発明では、押圧手段（１０９）による押圧力の大きさに応じてスペーサ（１０８）が圧縮変形することにより、第１ホルダ（１０６）と第２ホルダ（１０７）との間の距離が変化する。
【００１０】
そして、押圧手段（１０９）は、複数箇所にて他方のホルダ（１０７）を一方のホルダ（１０６）側に押圧するので、各押圧箇所の押圧力を調整することにより、一方のホルダ（１０６）に対する他方のホルダ（１０７）の角度、つまり、反射鏡（１０１）と出力鏡（１０４）との平行度を調整することができる。
【００１１】
このとき、スペーサ（１０８）の圧縮変形量はスペーサ（１０８）の剛性によって決定され、例えばスペーサ（１０８）を金属製とすると、通常、スペーサ（１０８）の圧縮変形量は、押圧力の大きさに比べて非常に小さくなるので、特許文献１に記載の発明に比べて、反射鏡（１０１）と出力鏡（１０４）との平行度を容易に微調整することができる。
【００１２】
つまり、特許文献１に記載の発明では、反射鏡（１０１）と出力鏡（１０４）との平行度を調整する際の最小変位量（以下、調整単位という。）は、前述したように調整用のネジのピッチ寸法により決定されるのに対して、請求項１に記載に発明では、スペーサ（１０８）の剛性によって調整単位が決定され、かつ、この調整単位は剛性が大きくなるほど小さくなる。
【００１３】
したがって、請求項１に記載に発明では、ピッチ寸法の小さいネジを製作する場合に比べて、格段に容易に調整単位を小さくすることができるので、レーザ発振装置の製造原価上昇を招くことを抑制しつつ、反射鏡と出力鏡との平行度を微調整することができる。
【００１４】
ところで、反射鏡（１０１）の位置は第１ホルダ（１０６）によって決定され、出力鏡（１０４）の位置は第２ホルダ（１０７）によって決定されるので、第１ホルダ（１０６）及び第２ホルダ（１０７）が押圧手段（１０９）の押圧力により歪むと、反射鏡（１０１）と出力鏡（１０４）との平行度を高い精度とすることができなくなるおそれがある。
【００１５】
そこで、請求項２に記載の発明では、スペーサ（１０８）の剛性を、第１ホルダ（１０６）の剛性及び第２ホルダ（１０７）の剛性より小さくすることにより、第１ホルダ（１０６）又は第２ホルダ（１０７）よりスペーサ（１０８）を歪み易くして第１ホルダ（１０６）及び第２ホルダ（１０７）が押圧手段（１０９）の押圧力により歪むことを抑制し、反射鏡（１０１）と出力鏡（１０４）との平行度を高い精度とすることを可能としている。
【００１６】
なお、請求項３に記載の発明では、反射鏡（１０１）と出力鏡（１０４）との間に配設され、反射鏡（１０１）を第１ホルダ（１０６）に押し付けるとともに、出力鏡（１０４）を第２ホルダ（１０７）に押し付ける第１弾性手段（１１０）を備えることを特徴とするものである。
【００１７】
また、請求項４に記載の発明では、スペーサ（１０８）は円筒状に形成された金属にて構成されており、さらに、押圧手段は、スペーサ（１０８）を貫通して第１ホルダ（１０６）と第２ホルダ（１０７）とを締結する複数本のボルト（１０９）にて構成されていることを特徴とするものである。
【００１８】
また、請求項５に記載の発明では、押圧手段を構成する複数本のボルト（１０９）は、多角形の頂点に相当する部位に位置するように、互いに同間隔で配設されていることを特徴とするものである。
【００１９】
請求項６に記載の発明では、ボルト（１０９）による締結力の向きと反対向きの弾性力をボルト（１０９）に作用させる第２弾性手段（１０９Ａ）を備えることを特徴とするものである。
【００２０】
請求項７に記載の発明では、レーザ共振器（１００）の外周を囲むようにしてレーザ共振器（１００）が光軸方向と直交する方向にずれることを防止する共振器サポート（１１１）と、共振器サポート（１１１）を第１ホルダ（１０６）及び第２ホルダ（１０７）のうちいずれか一方のホルダ（１０６）に押し付けて固定する第３弾性手段（１１１Ａ）とを備えることを特徴とするものである。
【００２１】
また、請求項８に記載の発明では、ワークが載置されるとともに、その載置されたワークを移動させるワーク移動装置であって、ベース部材（２０１）に対して変位可能に設けられ、ワークが載置される移動テーブル（２０２）と、ベース部材（２０１）と移動テーブル（２０２）とにより挟まれ、ベース部材（２０１）に対する移動テーブル（２０２）の位置を決定するスペーサ（２０４）と、移動テーブル（２０２）をベース部材（２０１）側に押圧する押圧手段（２０５）とを備えることを特徴とする。
【００２２】
これにより、請求項８に記載の発明では、押圧手段（２０５）によって移動テーブル（２０２）がベース部材（２０１）側に押圧されているので、請求項１に記載の発明と同様に、押圧手段（２０５）による押圧力の大きさに応じてスペーサ（２０４）が圧縮変形することにより、ベース部材（２０１）と移動テーブル（２０２）との間の距離が変化する。
【００２３】
したがって、請求項８に記載の発明では、ピッチ寸法の小さいネジを製作する場合に比べて、格段に容易に調整単位を小さくすることができるので、極微少にワークを移動させることが可能なワーク移動装置を得ることができる。
【００２４】
因みに、上記各手段等の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段等との対応関係を示す一例であり、本発明は上記各手段等の括弧内の符号に示された具体的手段に限定されるものではない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
本実施形態は、本発明に係るレーザ発振装置を内燃機関の点火装置に適用したものであり、以下に本発明の実施形態を図面と共に説明する。
（第１実施形態）
１．図面の説明
図１は本実施形態に係る点火装置１の概略構成図であり、図２はレーザ発振装置１０の構造を示す断面図であり、図３はレーザ発振装置１０の構造を示す斜視図である。
【００２６】
２．点火装置の構造
本実施形態に係る点火装置１は、内燃機関の燃焼室内にレーザ光を集光・照射することにより、燃焼室内の混合気を着火・燃焼させるもので、現状のスパークプラグに相当するものである。
【００２７】
なお、点火装置１は、図１に示すように、従来のスパークプラグと同様な外観形状を有するとともに、燃焼室が形成されるシリンダヘッド等に装着される。
そして、点火装置１は、レーザ光を誘導放出するレーザ発振装置１０、レーザ発振装置１０に励起光を導入する光ファイバ２００、レーザ発振装置１０から出力されたレーザ光を集光レンズ３０１に導くライトガイド３００、及びこれらを保護するように収納するハウジング４０１〜４０３等から構成されている。
【００２８】
また、レーザ発振装置１０は、図２に示すように、反射鏡１０１、レーザ媒質１０２、可飽和吸収体１０３及び出力鏡１０４等が光軸方向（図２の左右方向）に直列に配設されたレーザ共振器１００等を有して構成されている。
【００２９】
ここで、反射鏡１０１は、光ファイバ２００を介して導かれた励起光（本実施形態では、半導体レーザから出射されたレーザ光）を透過させてレーザ媒質１０２に入射させるとともに、レーザ媒質１０２にて誘導放出されたレーザ光を全反射させるものである。
【００３０】
因みに、本実施形態に係る反射鏡１０１は、レーザ媒質１０２のうち光ファイバ２００側の端面にＴｉＯ２又はＳｉＯ２を蒸着させることにより形成されている。
なお、集光レンズ２０１は、光ファイバ２００を介して導かれた励起光を、レーザ媒質１０２に集光させる石英製のレンズであり、集光レンズサポート２０２は、集光レンズ２０１を保持する銅製の保持手段であり、励起光学系ホルダ２０３は、集光レンズ２０１及び集光レンズサポート２０２等を、後述するベースプレート１０６に固定するためのステンレス製の固定手段である。
【００３１】
また、レーザ媒質１０２は、レーザ光の誘導放出を行うＮｄ：ＹＡＧ製の発光素子であり、出力鏡１０４は、レーザ媒質１０２にて誘導放出されたレーザ光の一部をライトガイド３００側に出射させ、他のレーザ光を反射鏡１０１に向けて反射させるものである。因みに、出力鏡１０４は、石英にＴｉＯ２又はＳｉＯ２を蒸着させることにより形成されている。
【００３２】
そして、レーザ共振器１００では、反射鏡１０１と出力鏡１０４との間でレーザ光の反射を繰り返して共振させることにより、レーザ媒質１０２での誘導放出を爆発連鎖的に誘導し、入力された励起光を増幅してレーザ光として出力する。
【００３３】
また、可飽和吸収体１０３は、レーザ媒質１０２から誘導放出されるレーザ光のエネルギ（出力レベル）が所定値を超えたときにのみレーザ光を出力鏡１０４側に出射するＣｒ：ＹＡＧ製のスイッチング素子である。
【００３４】
アパーチャ１０５は、可飽和吸収体１０３から出射されたレーザ光の面積を制限することによりレーザ光の輪郭を補正するものであり、このアパーチャ１０５は、不透明ガラス又は金属板にレーザ光が通過可能な透光部又は孔を設けることにより構成されている。
【００３５】
また、ベースプレート１０６は、反射鏡１０１の位置を決めるための第１ホルダであり、出力鏡サポート１０７は、出力鏡１０４の位置を決めるため第２ホルダである。なお、反射鏡１０１は、ベースプレート１０６の基準面１０６Ａに接触することにより、その位置が決定され、同様に、出力鏡１０４は、出力鏡サポート１０７の基準面１０７Ａに接触することにより、その位置が決定される。
【００３６】
また、ベースプレート１０６と出力鏡サポート１０７との間には、ベースプレート１０６に対する出力鏡サポート１０７の位置を決定するスペーサ１０８が設けられており、出力鏡サポート１０７は、複数本（本実施形態では、３本）のボルト１０９にてベースプレート１０６側に押圧されている。
【００３７】
そして、スペーサ１０８の剛性をベースプレート１０６の剛性及び出力鏡サポート１０７の剛性より小さくすべく、本実施形態では、ベースプレート１０６及び出力鏡サポート１０７をステンレス等の金属製とし、スペーサ１０８をアルミニウム等の金属製としている。
【００３８】
また、ボルト１０９は、円筒状に形成されたスペーサ１０８内を出力鏡サポート１０７側から貫通してベースプレート１０６に締結されているとともに、図３に示すように、正三角形の頂点に３本のボルト１０９が位置するように、互いに同間隔に配設された状態で出力鏡サポート１０７をベースプレート１０６側に押圧している。
【００３９】
なお、バネ１０９Ａは、ボルト１０９による締結力の向き（本実施形態では、出力鏡サポート１０７側からベースプレート１０６側に向かう向き）と反対向きの弾性力をボルト１０９に作用させる弾性手段であり、このバネ１０９Ａによりボルト１０９のガタツキ等が防止される。
【００４０】
また、反射鏡１０１側のアパーチャ１０５と出力鏡１０４側のアパーチャ１０５との間には、図２に示すように、反射鏡１０１をベースプレート１０６の基準面１０６Ａに押し付けるとともに、出力鏡１０４を出力鏡サポート１０７の基準面１０７Ａに押し付けるバネ１１０が配設されている。
【００４１】
そして、レーザ共振器１００の外周側には、レーザ共振器１００を外周側から囲むようにしてレーザ共振器１００が光軸方向と直交する方向にずれることを防止する共振器サポート１１１が設けられており、この共振器サポート１１１は、バネ１１１Ａにより第１ホルダ１０６側に押し付けられて固定されている。
【００４２】
３．本実施形態に係る点火装置（特に、レーザ発振装置）の特徴
本実施形態では、押圧手段をなすボルト１０９によって出力鏡サポート１０７が複数箇所にて第１ホルダ１０６側に押圧されているので、ボルト１０９による押圧力の大きさに応じてスペーサ１０８が圧縮変形することにより、ベースプレート１０６と出力鏡サポート１０７との間の距離が変化する。
【００４３】
そして、ボルト１０９は、複数箇所にて出力鏡サポート１０７をベースプレート１０６側に押圧するので、各押圧箇所の押圧力を調整することにより、ベースプレート１０６に対する出力鏡サポート１０７の角度、つまり、反射鏡１０１と出力鏡１０４との平行度を調整することができる。
【００４４】
このとき、スペーサ１０８の圧縮変形量はスペーサ１０８の剛性によって決定され、アルミニウム製のスペーサ１０８では、その圧縮変形量は、通常、押圧力の大きさに比べて非常に小さくなるので、特許文献１に記載の発明に比べて、反射鏡１０１と出力鏡１０４との平行度を容易に微調整することができる。
【００４５】
つまり、特許文献１に記載の発明では、反射鏡１０１と出力鏡１０４との平行度を調整する際の最小変位量（調整単位）は、前述したように調整用のネジのピッチ寸法により決定されるのに対して、本実施形態では、スペーサ１０８の剛性によって調整単位が決定され、かつ、この調整単位は、スペーサ１０８の剛性が大きくなるほど小さくなる。
【００４６】
したがって、本実施形態では、ピッチ寸法の小さいネジを製作する場合に比べて、格段に容易に調整単位を小さくすることができるので、レーザ発振装置の製造原価上昇を招くことを抑制しつつ、反射鏡と出力鏡との平行度を微調整することができる。
【００４７】
ところで、反射鏡１０１の位置はベースプレート１０６によって決定され、出力鏡１０４の位置は出力鏡サポート１０７によって決定されるので、ベースプレート１０６及び出力鏡サポート１０７がボルト１０９の押圧力により歪むと、反射鏡１０１と出力鏡１０４との平行度を高い精度とすることができなくなるおそれがある。
【００４８】
そこで、本実施形態では、スペーサ１０８の剛性を、ベースプレート１０６の剛性及び出力鏡サポート１０７の剛性より小さくすることにより、スペーサ１０８がベースプレート１０６又は出力鏡サポート１０７より歪み易くし、ベースプレート１０６及び出力鏡サポート１０７がボルト１０９の押圧力により歪むことを抑制して反射鏡１０１と出力鏡１０４との平行度を高い精度とすることを可能としている。
【００４９】
４．発明特定事項と実施形態との対応関係
本実施形態では、ベースプレート１０６が特許請求の範囲に記載された第１ホルダに相当し、出力鏡サポート１０７が特許請求の範囲に記載された第２ホルダに相当し、ボルト１０９が特許請求の範囲に記載された押圧手段に相当し、バネ１１０が特許請求の範囲に記載された第１弾性手段に相当し、バネ１０９Ａが特許請求の範囲に記載された第２弾性手段に相当し、バネ１１１Ａが特許請求の範囲に記載された第３弾性手段に相当する。
【００５０】
（第２実施形態）
本実施形態は、ワークを移動させるワーク移動装置に関するものであり、図４は、本実施形態に係るワーク移動装置２００の概念図である。
【００５１】
１．ワーク移動装置の構成（図４参照）
ベース部材２０１は、光学部品、電子部品等に直接的又は間接的に固定されるホルダであり、移動テーブル２０２は、ワークが上面部に載置されるとともに、ベース部材２０１に対して変位可能に設けられたものである。
【００５２】
なお、本実形態では、変位方向に移動テーブル２０２を貫通するガイドピン２０３により、移動テーブル２０２の変位（移動）が案内されており、移動テーブル２０２はガイドピン２０３の長手方向にのみ変位することができる。
【００５３】
また、ベース部材２０１は、ガイドピン２０３の長手方向一端側を保持する第１保持部２０１Ａ、ガイドピン２０３の長手方向他端側を保持する第２保持部２０１Ｂ、及び両保持部２０１Ａ、２０１Ｂが一体化されたベースプレート部２０１Ｃ等から構成されている。
【００５４】
そして、移動テーブル２０２の下端側に設けられたスペーサ係合部２０２Ａと第１保持部２０１Ａとの間には、ベース部材２０１に対する移動テーブル２０２の位置を決定するスペーサ２０４がスペーサ係合部２０２Ａと第１保持部２０１Ａとにより挟持されている。
【００５５】
また、ボルト２０５は、移動テーブル２０２をベース部材２０１側に押圧する押圧手段であり、このボルト２０５は、バネ２０５Ａを介して間接的に移動テーブル２０２をベース部材２０１側に押圧する。
【００５６】
因みに、バネガイド２０５Ｂは、バネ２０５Ａが座屈することなく圧縮変形するように、バネ２０５Ａの変形を案内するものであり、ハンドル２０５Ｃは、ボルト２０５を回すための手動操作部である。
【００５７】
２．本実施形態に係るワーク移動装置の特徴
本実施形態では、押圧手段をなすボルト２０５によって移動テーブル２０２が第１保持部２０１Ａ側に押圧されているので、ボルト２０５による押圧力の大きさに応じてスペーサ２０４が圧縮変形することにより、第１保持部２０１Ａと移動テーブル２０２との間の距離が変化する。
【００５８】
このとき、スペーサ２０４の圧縮変形量はスペーサ２０４の剛性によって決定され、例えばスペーサ２０４を金属製（本実施形態では、アルミニウム製）とすると、通常、スペーサ２０４の圧縮変形量は、押圧力の大きさに比べて非常に小さくなる。
【００５９】
したがって、移動テーブル２０２を非常に微少に移動させながら移動テーブル２０２を位置決めすることができるので、極微少にワークを移動させることが可能なワーク移動装置２００を得ることができる。
【００６０】
なお、上記効果を確実に得るには、第１実施形態と同様な趣旨から、ベース部材２０１及び移動テーブル２０２の剛性をスペーサ２０４に比べて大きくすることが望ましい。
（その他の実施形態）
上述の実施形態では、スペーサ１０８、２０４を、ベースプレート１０６及び出力鏡サポート１０７やベース部材２０１及び移動テーブル２０２等に比べてヤング率の小さい材料とすることで、スペーサ１０８、２０４の剛性を、ベースプレート１０６等の剛性より小さくしたが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば同一材料として、厚みや形状を最適化することにより、スペーサ１０８、２０４の剛性を、ベースプレート１０６等の剛性より小さくしてもよい。
【００６１】
また、第１実施形態では、３箇所にて出力鏡サポート１０７をベースプレート１０６側に押圧したが、本発明はこれに限定されるものではなく、２箇所又は４箇所以上にて出力鏡サポート１０７をベースプレート１０６側に押圧する、又はベースプレート１０６を出力鏡サポート１０７側に押圧する等してもよい。
【００６２】
なお、２箇所にて押圧する場合には、例えば第１実施形態にて示された３箇所の押圧部位のうち、２箇所をボルト１０９等の押圧手段で押圧するといった構成とすることが望ましい。
【００６３】
また、第１実施形態では、本発明に係るレーザ発振装置を内燃機関の点火装置に適用したが、本発明の適用はこれに限定されるものではない。
また、本発明は、特許請求の範囲に記載された発明の趣旨に合致するものであればよく、上述の実施形態に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の実施形態に係る点火装置１の概略構成図である。
【図２】本発明の実施形態に係るレーザ共振器１００の構造を示す断面図である。
【図３】本発明の実施形態に係るレーザ共振器１００の構造を示す斜視図である。
【図４】本発明の実施形態に係るワーク移動装置２００の概念図である。
【符号の説明】
【００６５】
１…点火装置、１０…レーザ発振装置、１００…レーザ共振器、
１０１…反射鏡、１０２…レーザ媒質、１０３…可飽和吸収体、１０４…出力鏡、
１０５…アパーチャ、１０６…ベースプレート、１０６Ａ…基準面、
１０７…出力鏡サポート、１０７Ａ…基準面、１０８…スペーサ、１０９…ボルト、
１０９Ａ…バネ、１１０…バネ、１１１…共振器サポート、１１１Ａ…バネ。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ発振装置に関するものであり、内燃機関の点火装置に適用して有効である。
【背景技術】
【０００２】
入力した光を増幅してレーザ光を出力するレーザ共振器は、周知のごとく、反射鏡、レーザ媒質、可飽和吸収体及び出力鏡等から構成されているとともに、これらの素子は、入力側から、反射鏡、レーザ媒質、可飽和吸収体、出力鏡の順に光軸方向に直列に配設されている。
【０００３】
そして、レーザ共振器では、レーザ媒質を挟んで入力側に配設された反射鏡と出力側に配設された出力鏡との間で光の反射を繰り返すことにより、レーザ媒質での誘導放出を連鎖的に発生し、入力した光を増幅してレーザ光として出力するので、レーザ共振器では、反射鏡と出力鏡との平行度を非常に高い精度（例えば、３秒以下）とする必要がある。
【０００４】
これに対して、例えば特許文献１に記載の発明では、出力鏡に相当する平行平面板が接着された球面状の球座ホルダを、球面状に形成された凹部内に摺動可能に設置し、ネジを用いて球座ホルダを回転変位させることで、平行度を調整可能としている。
【特許文献１】特開２００１−１９６６７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に記載の発明では、調整用のネジの先端を球座ホルダに直接的に接触させて球座ホルダを回転変位させるので、例えば平行度が３秒以下となるような微調整をすることは極めて困難である。
【０００６】
すなわち、例えば平行度が３秒以下となるように出力鏡の角度を微調整するには、例えば０．１〜０．５秒程度の単位で出力鏡を変位させる必要があるが、特許文献１に記載の発明と同様な構成にて出力鏡を０．１〜０．５秒程度の単位で変位可能とするには、ネジのピッチを非常に小さく（例えば、出力鏡の直径が５ｍｍの場合には、０．０７μｍ程度）する必要があるので、レーザ発振装置の製造原価上昇を招いてしまう。
【０００７】
なお、上記のような問題は、ワークを移動させるワーク移動装置にも生じる問題である。
そこで、本発明は、上記点に鑑み、レーザ発振装置の製造原価上昇を招くことを抑制しつつ、反射鏡と出力鏡との平行度を微調整可能とすることを第１の目的とし、極微少にワークを移動させることが可能なワーク移動装置を提供することを第２の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明では、レーザを出力するレーザ発振装置であって、反射鏡（１０１）、レーザ媒質（１０２）、可飽和吸収体（１０３）及び出力鏡（１０４）が光軸方向に直列に配設されたレーザ共振器（１００）と、反射鏡（１０１）の位置を決めるための第１ホルダ（１０６）と、出力鏡（１０４）の位置を決めるための第２ホルダ（１０７）と、第１ホルダ（１０６）と第２ホルダ（１０７）との間に配設され、第１ホルダ（１０６）及び第２ホルダ（１０７）のうちいずれか一方のホルダ（１０６）に対する他方のホルダ（１０７）の位置を決定するスペーサ（１０８）と、複数箇所にて他方のホルダ（１０７）を一方のホルダ（１０６）側に押圧する押圧手段（１０９）とを備えることを特徴とする。
【０００９】
これにより、請求項１に記載の発明では、押圧手段（１０９）による押圧力の大きさに応じてスペーサ（１０８）が圧縮変形することにより、第１ホルダ（１０６）と第２ホルダ（１０７）との間の距離が変化する。
【００１０】
そして、押圧手段（１０９）は、複数箇所にて他方のホルダ（１０７）を一方のホルダ（１０６）側に押圧するので、各押圧箇所の押圧力を調整することにより、一方のホルダ（１０６）に対する他方のホルダ（１０７）の角度、つまり、反射鏡（１０１）と出力鏡（１０４）との平行度を調整することができる。
【００１１】
このとき、スペーサ（１０８）の圧縮変形量はスペーサ（１０８）の剛性によって決定され、例えばスペーサ（１０８）を金属製とすると、通常、スペーサ（１０８）の圧縮変形量は、押圧力の大きさに比べて非常に小さくなるので、特許文献１に記載の発明に比べて、反射鏡（１０１）と出力鏡（１０４）との平行度を容易に微調整することができる。
【００１２】
つまり、特許文献１に記載の発明では、反射鏡（１０１）と出力鏡（１０４）との平行度を調整する際の最小変位量（以下、調整単位という。）は、前述したように調整用のネジのピッチ寸法により決定されるのに対して、請求項１に記載に発明では、スペーサ（１０８）の剛性によって調整単位が決定され、かつ、この調整単位は剛性が大きくなるほど小さくなる。
【００１３】
したがって、請求項１に記載に発明では、ピッチ寸法の小さいネジを製作する場合に比べて、格段に容易に調整単位を小さくすることができるので、レーザ発振装置の製造原価上昇を招くことを抑制しつつ、反射鏡と出力鏡との平行度を微調整することができる。
【００１４】
ところで、反射鏡（１０１）の位置は第１ホルダ（１０６）によって決定され、出力鏡（１０４）の位置は第２ホルダ（１０７）によって決定されるので、第１ホルダ（１０６）及び第２ホルダ（１０７）が押圧手段（１０９）の押圧力により歪むと、反射鏡（１０１）と出力鏡（１０４）との平行度を高い精度とすることができなくなるおそれがある。
【００１５】
そこで、請求項２に記載の発明では、スペーサ（１０８）の剛性を、第１ホルダ（１０６）の剛性及び第２ホルダ（１０７）の剛性より小さくすることにより、第１ホルダ（１０６）又は第２ホルダ（１０７）よりスペーサ（１０８）を歪み易くして第１ホルダ（１０６）及び第２ホルダ（１０７）が押圧手段（１０９）の押圧力により歪むことを抑制し、反射鏡（１０１）と出力鏡（１０４）との平行度を高い精度とすることを可能としている。
【００１６】
なお、請求項３に記載の発明では、反射鏡（１０１）と出力鏡（１０４）との間に配設され、反射鏡（１０１）を第１ホルダ（１０６）に押し付けるとともに、出力鏡（１０４）を第２ホルダ（１０７）に押し付ける第１弾性手段（１１０）を備えることを特徴とするものである。
【００１７】
また、請求項４に記載の発明では、スペーサ（１０８）は円筒状に形成された金属にて構成されており、さらに、押圧手段は、スペーサ（１０８）を貫通して第１ホルダ（１０６）と第２ホルダ（１０７）とを締結する複数本のボルト（１０９）にて構成されていることを特徴とするものである。
【００１８】
また、請求項５に記載の発明では、押圧手段を構成する複数本のボルト（１０９）は、多角形の頂点に相当する部位に位置するように、互いに同間隔で配設されていることを特徴とするものである。
【００１９】
請求項６に記載の発明では、ボルト（１０９）による締結力の向きと反対向きの弾性力をボルト（１０９）に作用させる第２弾性手段（１０９Ａ）を備えることを特徴とするものである。
【００２０】
請求項７に記載の発明では、レーザ共振器（１００）の外周を囲むようにしてレーザ共振器（１００）が光軸方向と直交する方向にずれることを防止する共振器サポート（１１１）と、共振器サポート（１１１）を第１ホルダ（１０６）及び第２ホルダ（１０７）のうちいずれか一方のホルダ（１０６）に押し付けて固定する第３弾性手段（１１１Ａ）とを備えることを特徴とするものである。
【００２１】
また、請求項８に記載の発明では、ワークが載置されるとともに、その載置されたワークを移動させるワーク移動装置であって、ベース部材（２０１）に対して変位可能に設けられ、ワークが載置される移動テーブル（２０２）と、ベース部材（２０１）と移動テーブル（２０２）とにより挟まれ、ベース部材（２０１）に対する移動テーブル（２０２）の位置を決定するスペーサ（２０４）と、移動テーブル（２０２）をベース部材（２０１）側に押圧する押圧手段（２０５）とを備えることを特徴とする。
【００２２】
これにより、請求項８に記載の発明では、押圧手段（２０５）によって移動テーブル（２０２）がベース部材（２０１）側に押圧されているので、請求項１に記載の発明と同様に、押圧手段（２０５）による押圧力の大きさに応じてスペーサ（２０４）が圧縮変形することにより、ベース部材（２０１）と移動テーブル（２０２）との間の距離が変化する。
【００２３】
したがって、請求項８に記載の発明では、ピッチ寸法の小さいネジを製作する場合に比べて、格段に容易に調整単位を小さくすることができるので、極微少にワークを移動させることが可能なワーク移動装置を得ることができる。
【００２４】
因みに、上記各手段等の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段等との対応関係を示す一例であり、本発明は上記各手段等の括弧内の符号に示された具体的手段に限定されるものではない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
本実施形態は、本発明に係るレーザ発振装置を内燃機関の点火装置に適用したものであり、以下に本発明の実施形態を図面と共に説明する。
（第１実施形態）
１．図面の説明
図１は本実施形態に係る点火装置１の概略構成図であり、図２はレーザ発振装置１０の構造を示す断面図であり、図３はレーザ発振装置１０の構造を示す斜視図である。
【００２６】
２．点火装置の構造
本実施形態に係る点火装置１は、内燃機関の燃焼室内にレーザ光を集光・照射することにより、燃焼室内の混合気を着火・燃焼させるもので、現状のスパークプラグに相当するものである。
【００２７】
なお、点火装置１は、図１に示すように、従来のスパークプラグと同様な外観形状を有するとともに、燃焼室が形成されるシリンダヘッド等に装着される。
そして、点火装置１は、レーザ光を誘導放出するレーザ発振装置１０、レーザ発振装置１０に励起光を導入する光ファイバ２００、レーザ発振装置１０から出力されたレーザ光を集光レンズ３０１に導くライトガイド３００、及びこれらを保護するように収納するハウジング４０１〜４０３等から構成されている。
【００２８】
また、レーザ発振装置１０は、図２に示すように、反射鏡１０１、レーザ媒質１０２、可飽和吸収体１０３及び出力鏡１０４等が光軸方向（図２の左右方向）に直列に配設されたレーザ共振器１００等を有して構成されている。
【００２９】
ここで、反射鏡１０１は、光ファイバ２００を介して導かれた励起光（本実施形態では、半導体レーザから出射されたレーザ光）を透過させてレーザ媒質１０２に入射させるとともに、レーザ媒質１０２にて誘導放出されたレーザ光を全反射させるものである。
【００３０】
因みに、本実施形態に係る反射鏡１０１は、レーザ媒質１０２のうち光ファイバ２００側の端面にＴｉＯ２又はＳｉＯ２を蒸着させることにより形成されている。
なお、集光レンズ２０１は、光ファイバ２００を介して導かれた励起光を、レーザ媒質１０２に集光させる石英製のレンズであり、集光レンズサポート２０２は、集光レンズ２０１を保持する銅製の保持手段であり、励起光学系ホルダ２０３は、集光レンズ２０１及び集光レンズサポート２０２等を、後述するベースプレート１０６に固定するためのステンレス製の固定手段である。
【００３１】
また、レーザ媒質１０２は、レーザ光の誘導放出を行うＮｄ：ＹＡＧ製の発光素子であり、出力鏡１０４は、レーザ媒質１０２にて誘導放出されたレーザ光の一部をライトガイド３００側に出射させ、他のレーザ光を反射鏡１０１に向けて反射させるものである。因みに、出力鏡１０４は、石英にＴｉＯ２又はＳｉＯ２を蒸着させることにより形成されている。
【００３２】
そして、レーザ共振器１００では、反射鏡１０１と出力鏡１０４との間でレーザ光の反射を繰り返して共振させることにより、レーザ媒質１０２での誘導放出を爆発連鎖的に誘導し、入力された励起光を増幅してレーザ光として出力する。
【００３３】
また、可飽和吸収体１０３は、レーザ媒質１０２から誘導放出されるレーザ光のエネルギ（出力レベル）が所定値を超えたときにのみレーザ光を出力鏡１０４側に出射するＣｒ：ＹＡＧ製のスイッチング素子である。
【００３４】
アパーチャ１０５は、可飽和吸収体１０３から出射されたレーザ光の面積を制限することによりレーザ光の輪郭を補正するものであり、このアパーチャ１０５は、不透明ガラス又は金属板にレーザ光が通過可能な透光部又は孔を設けることにより構成されている。
【００３５】
また、ベースプレート１０６は、反射鏡１０１の位置を決めるための第１ホルダであり、出力鏡サポート１０７は、出力鏡１０４の位置を決めるため第２ホルダである。なお、反射鏡１０１は、ベースプレート１０６の基準面１０６Ａに接触することにより、その位置が決定され、同様に、出力鏡１０４は、出力鏡サポート１０７の基準面１０７Ａに接触することにより、その位置が決定される。
【００３６】
また、ベースプレート１０６と出力鏡サポート１０７との間には、ベースプレート１０６に対する出力鏡サポート１０７の位置を決定するスペーサ１０８が設けられており、出力鏡サポート１０７は、複数本（本実施形態では、３本）のボルト１０９にてベースプレート１０６側に押圧されている。
【００３７】
そして、スペーサ１０８の剛性をベースプレート１０６の剛性及び出力鏡サポート１０７の剛性より小さくすべく、本実施形態では、ベースプレート１０６及び出力鏡サポート１０７をステンレス等の金属製とし、スペーサ１０８をアルミニウム等の金属製としている。
【００３８】
また、ボルト１０９は、円筒状に形成されたスペーサ１０８内を出力鏡サポート１０７側から貫通してベースプレート１０６に締結されているとともに、図３に示すように、正三角形の頂点に３本のボルト１０９が位置するように、互いに同間隔に配設された状態で出力鏡サポート１０７をベースプレート１０６側に押圧している。
【００３９】
なお、バネ１０９Ａは、ボルト１０９による締結力の向き（本実施形態では、出力鏡サポート１０７側からベースプレート１０６側に向かう向き）と反対向きの弾性力をボルト１０９に作用させる弾性手段であり、このバネ１０９Ａによりボルト１０９のガタツキ等が防止される。
【００４０】
また、反射鏡１０１側のアパーチャ１０５と出力鏡１０４側のアパーチャ１０５との間には、図２に示すように、反射鏡１０１をベースプレート１０６の基準面１０６Ａに押し付けるとともに、出力鏡１０４を出力鏡サポート１０７の基準面１０７Ａに押し付けるバネ１１０が配設されている。
【００４１】
そして、レーザ共振器１００の外周側には、レーザ共振器１００を外周側から囲むようにしてレーザ共振器１００が光軸方向と直交する方向にずれることを防止する共振器サポート１１１が設けられており、この共振器サポート１１１は、バネ１１１Ａにより第１ホルダ１０６側に押し付けられて固定されている。
【００４２】
３．本実施形態に係る点火装置（特に、レーザ発振装置）の特徴
本実施形態では、押圧手段をなすボルト１０９によって出力鏡サポート１０７が複数箇所にて第１ホルダ１０６側に押圧されているので、ボルト１０９による押圧力の大きさに応じてスペーサ１０８が圧縮変形することにより、ベースプレート１０６と出力鏡サポート１０７との間の距離が変化する。
【００４３】
そして、ボルト１０９は、複数箇所にて出力鏡サポート１０７をベースプレート１０６側に押圧するので、各押圧箇所の押圧力を調整することにより、ベースプレート１０６に対する出力鏡サポート１０７の角度、つまり、反射鏡１０１と出力鏡１０４との平行度を調整することができる。
【００４４】
このとき、スペーサ１０８の圧縮変形量はスペーサ１０８の剛性によって決定され、アルミニウム製のスペーサ１０８では、その圧縮変形量は、通常、押圧力の大きさに比べて非常に小さくなるので、特許文献１に記載の発明に比べて、反射鏡１０１と出力鏡１０４との平行度を容易に微調整することができる。
【００４５】
つまり、特許文献１に記載の発明では、反射鏡１０１と出力鏡１０４との平行度を調整する際の最小変位量（調整単位）は、前述したように調整用のネジのピッチ寸法により決定されるのに対して、本実施形態では、スペーサ１０８の剛性によって調整単位が決定され、かつ、この調整単位は、スペーサ１０８の剛性が大きくなるほど小さくなる。
【００４６】
したがって、本実施形態では、ピッチ寸法の小さいネジを製作する場合に比べて、格段に容易に調整単位を小さくすることができるので、レーザ発振装置の製造原価上昇を招くことを抑制しつつ、反射鏡と出力鏡との平行度を微調整することができる。
【００４７】
ところで、反射鏡１０１の位置はベースプレート１０６によって決定され、出力鏡１０４の位置は出力鏡サポート１０７によって決定されるので、ベースプレート１０６及び出力鏡サポート１０７がボルト１０９の押圧力により歪むと、反射鏡１０１と出力鏡１０４との平行度を高い精度とすることができなくなるおそれがある。
【００４８】
そこで、本実施形態では、スペーサ１０８の剛性を、ベースプレート１０６の剛性及び出力鏡サポート１０７の剛性より小さくすることにより、スペーサ１０８がベースプレート１０６又は出力鏡サポート１０７より歪み易くし、ベースプレート１０６及び出力鏡サポート１０７がボルト１０９の押圧力により歪むことを抑制して反射鏡１０１と出力鏡１０４との平行度を高い精度とすることを可能としている。
【００４９】
４．発明特定事項と実施形態との対応関係
本実施形態では、ベースプレート１０６が特許請求の範囲に記載された第１ホルダに相当し、出力鏡サポート１０７が特許請求の範囲に記載された第２ホルダに相当し、ボルト１０９が特許請求の範囲に記載された押圧手段に相当し、バネ１１０が特許請求の範囲に記載された第１弾性手段に相当し、バネ１０９Ａが特許請求の範囲に記載された第２弾性手段に相当し、バネ１１１Ａが特許請求の範囲に記載された第３弾性手段に相当する。
【００５０】
（第２実施形態）
本実施形態は、ワークを移動させるワーク移動装置に関するものであり、図４は、本実施形態に係るワーク移動装置２００の概念図である。
【００５１】
１．ワーク移動装置の構成（図４参照）
ベース部材２０１は、光学部品、電子部品等に直接的又は間接的に固定されるホルダであり、移動テーブル２０２は、ワークが上面部に載置されるとともに、ベース部材２０１に対して変位可能に設けられたものである。
【００５２】
なお、本実形態では、変位方向に移動テーブル２０２を貫通するガイドピン２０３により、移動テーブル２０２の変位（移動）が案内されており、移動テーブル２０２はガイドピン２０３の長手方向にのみ変位することができる。
【００５３】
また、ベース部材２０１は、ガイドピン２０３の長手方向一端側を保持する第１保持部２０１Ａ、ガイドピン２０３の長手方向他端側を保持する第２保持部２０１Ｂ、及び両保持部２０１Ａ、２０１Ｂが一体化されたベースプレート部２０１Ｃ等から構成されている。
【００５４】
そして、移動テーブル２０２の下端側に設けられたスペーサ係合部２０２Ａと第１保持部２０１Ａとの間には、ベース部材２０１に対する移動テーブル２０２の位置を決定するスペーサ２０４がスペーサ係合部２０２Ａと第１保持部２０１Ａとにより挟持されている。
【００５５】
また、ボルト２０５は、移動テーブル２０２をベース部材２０１側に押圧する押圧手段であり、このボルト２０５は、バネ２０５Ａを介して間接的に移動テーブル２０２をベース部材２０１側に押圧する。
【００５６】
因みに、バネガイド２０５Ｂは、バネ２０５Ａが座屈することなく圧縮変形するように、バネ２０５Ａの変形を案内するものであり、ハンドル２０５Ｃは、ボルト２０５を回すための手動操作部である。
【００５７】
２．本実施形態に係るワーク移動装置の特徴
本実施形態では、押圧手段をなすボルト２０５によって移動テーブル２０２が第１保持部２０１Ａ側に押圧されているので、ボルト２０５による押圧力の大きさに応じてスペーサ２０４が圧縮変形することにより、第１保持部２０１Ａと移動テーブル２０２との間の距離が変化する。
【００５８】
このとき、スペーサ２０４の圧縮変形量はスペーサ２０４の剛性によって決定され、例えばスペーサ２０４を金属製（本実施形態では、アルミニウム製）とすると、通常、スペーサ２０４の圧縮変形量は、押圧力の大きさに比べて非常に小さくなる。
【００５９】
したがって、移動テーブル２０２を非常に微少に移動させながら移動テーブル２０２を位置決めすることができるので、極微少にワークを移動させることが可能なワーク移動装置２００を得ることができる。
【００６０】
なお、上記効果を確実に得るには、第１実施形態と同様な趣旨から、ベース部材２０１及び移動テーブル２０２の剛性をスペーサ２０４に比べて大きくすることが望ましい。
（その他の実施形態）
上述の実施形態では、スペーサ１０８、２０４を、ベースプレート１０６及び出力鏡サポート１０７やベース部材２０１及び移動テーブル２０２等に比べてヤング率の小さい材料とすることで、スペーサ１０８、２０４の剛性を、ベースプレート１０６等の剛性より小さくしたが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば同一材料として、厚みや形状を最適化することにより、スペーサ１０８、２０４の剛性を、ベースプレート１０６等の剛性より小さくしてもよい。
【００６１】
また、第１実施形態では、３箇所にて出力鏡サポート１０７をベースプレート１０６側に押圧したが、本発明はこれに限定されるものではなく、２箇所又は４箇所以上にて出力鏡サポート１０７をベースプレート１０６側に押圧する、又はベースプレート１０６を出力鏡サポート１０７側に押圧する等してもよい。
【００６２】
なお、２箇所にて押圧する場合には、例えば第１実施形態にて示された３箇所の押圧部位のうち、２箇所をボルト１０９等の押圧手段で押圧するといった構成とすることが望ましい。
【００６３】
また、第１実施形態では、本発明に係るレーザ発振装置を内燃機関の点火装置に適用したが、本発明の適用はこれに限定されるものではない。
また、本発明は、特許請求の範囲に記載された発明の趣旨に合致するものであればよく、上述の実施形態に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の実施形態に係る点火装置１の概略構成図である。
【図２】本発明の実施形態に係るレーザ共振器１００の構造を示す断面図である。
【図３】本発明の実施形態に係るレーザ共振器１００の構造を示す斜視図である。
【図４】本発明の実施形態に係るワーク移動装置２００の概念図である。
【符号の説明】
【００６５】
１…点火装置、１０…レーザ発振装置、１００…レーザ共振器、
１０１…反射鏡、１０２…レーザ媒質、１０３…可飽和吸収体、１０４…出力鏡、
１０５…アパーチャ、１０６…ベースプレート、１０６Ａ…基準面、
１０７…出力鏡サポート、１０７Ａ…基準面、１０８…スペーサ、１０９…ボルト、
１０９Ａ…バネ、１１０…バネ、１１１…共振器サポート、１１１Ａ…バネ。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザを出力するレーザ発振装置であって、
反射鏡、レーザ媒質、可飽和吸収体及び出力鏡が光軸方向に直列に配設されたレーザ共振器と、
前記反射鏡の位置を決めるための第１ホルダと、
前記出力鏡の位置を決めるための第２ホルダと、
前記第１ホルダと前記第２ホルダとの間に配設され、前記第１ホルダ及び前記第２ホルダのうちいずれか一方のホルダに対する他方のホルダの位置を決定するスペーサと、
複数箇所にて前記他方のホルダを前記一方のホルダ側に押圧する押圧手段と
を備えることを特徴とするレーザ発振装置。
【請求項２】
前記スペーサの剛性は、前記第１ホルダの剛性及び前記第２ホルダの剛性より小さいことを特徴とする請求項１に記載のレーザ発振装置。
【請求項３】
前記反射鏡と前記出力鏡との間に配設され、前記反射鏡を前記第１ホルダに押し付けるとともに、前記出力鏡を前記第２ホルダに押し付ける第１弾性手段を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のレーザ発振装置。
【請求項４】
前記スペーサは円筒状に形成された金属にて構成されており、
さらに、前記押圧手段は、前記スペーサを貫通して前記第１ホルダと前記第２ホルダとを締結する複数本のボルトにて構成されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載のレーザ発振装置。
【請求項５】
前記押圧手段を構成する複数本のボルトは、多角形の頂点に相当する部位に位置するように、互いに同間隔で配設されていることを特徴とする請求項４に記載のレーザ発振装置。
【請求項６】
前記ボルトによる締結力の向きと反対向きの弾性力を前記ボルトに作用させる第２弾性手段を備えることを特徴とする請求項５に記載のレーザ発振装置。
【請求項７】
前記レーザ共振器の外周を囲むようにして前記レーザ共振器が光軸方向と直交する方向にずれることを防止する共振器サポートと、
前記共振器サポートを前記第１ホルダ及び前記第２ホルダのうちいずれか一方のホルダに押し付けて固定する第３弾性手段とを備えることを特徴とする請求項６に記載のレーザ発振装置。
【請求項８】
ワークが載置されるとともに、その載置されたワークを移動させるワーク移動装置であって、
ベース部材に対して変位可能に設けられ、ワークが載置される移動テーブルと、
前記ベース部材と前記移動テーブルとにより挟まれ、前記ベース部材に対する前記移動テーブルの位置を決定するスペーサと、
前記移動テーブルを前記ベース部材側に押圧する押圧手段と
を備えることを特徴とするワーク移動装置。
【請求項１】
レーザを出力するレーザ発振装置であって、
反射鏡、レーザ媒質、可飽和吸収体及び出力鏡が光軸方向に直列に配設されたレーザ共振器と、
前記反射鏡の位置を決めるための第１ホルダと、
前記出力鏡の位置を決めるための第２ホルダと、
前記第１ホルダと前記第２ホルダとの間に配設され、前記第１ホルダ及び前記第２ホルダのうちいずれか一方のホルダに対する他方のホルダの位置を決定するスペーサと、
複数箇所にて前記他方のホルダを前記一方のホルダ側に押圧する押圧手段と
を備えることを特徴とするレーザ発振装置。
【請求項２】
前記スペーサの剛性は、前記第１ホルダの剛性及び前記第２ホルダの剛性より小さいことを特徴とする請求項１に記載のレーザ発振装置。
【請求項３】
前記反射鏡と前記出力鏡との間に配設され、前記反射鏡を前記第１ホルダに押し付けるとともに、前記出力鏡を前記第２ホルダに押し付ける第１弾性手段を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のレーザ発振装置。
【請求項４】
前記スペーサは円筒状に形成された金属にて構成されており、
さらに、前記押圧手段は、前記スペーサを貫通して前記第１ホルダと前記第２ホルダとを締結する複数本のボルトにて構成されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載のレーザ発振装置。
【請求項５】
前記押圧手段を構成する複数本のボルトは、多角形の頂点に相当する部位に位置するように、互いに同間隔で配設されていることを特徴とする請求項４に記載のレーザ発振装置。
【請求項６】
前記ボルトによる締結力の向きと反対向きの弾性力を前記ボルトに作用させる第２弾性手段を備えることを特徴とする請求項５に記載のレーザ発振装置。
【請求項７】
前記レーザ共振器の外周を囲むようにして前記レーザ共振器が光軸方向と直交する方向にずれることを防止する共振器サポートと、
前記共振器サポートを前記第１ホルダ及び前記第２ホルダのうちいずれか一方のホルダに押し付けて固定する第３弾性手段とを備えることを特徴とする請求項６に記載のレーザ発振装置。
【請求項８】
ワークが載置されるとともに、その載置されたワークを移動させるワーク移動装置であって、
ベース部材に対して変位可能に設けられ、ワークが載置される移動テーブルと、
前記ベース部材と前記移動テーブルとにより挟まれ、前記ベース部材に対する前記移動テーブルの位置を決定するスペーサと、
前記移動テーブルを前記ベース部材側に押圧する押圧手段と
を備えることを特徴とするワーク移動装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２０１０−２１２８４（Ｐ２０１０−２１２８４Ａ）
【公開日】平成２２年１月２８日（２０１０．１．２８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１７９３９５（Ｐ２００８−１７９３９５）
【出願日】平成２０年７月９日（２００８．７．９）
【出願人】（０００００４６９５）株式会社日本自動車部品総合研究所 (1,981)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１月２８日（２０１０．１．２８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年７月９日（２００８．７．９）
【出願人】（０００００４６９５）株式会社日本自動車部品総合研究所 (1,981)
【Ｆターム（参考）】
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