ワーク搬送装置とそれを備えた画像形成装置並びにワーク搬送方法
【課題】ワークの周縁部をステージ上に固定できる治具及びワークをステージ上へ効率よく供給できるようにしたワーク搬送装置と方法、並びにそのワーク搬送装置を備えた画像形成装置を提供する。
【解決手段】ワーク搬送装置３０は、搬入部３２に載置されたワーク２００を複数の吸着装置５４で吸着し、ステージ１１０へ搬送する第１吸着ユニット５０と、ステージ１１０上のワーク２００を複数の吸着装置５６で吸着し、搬出部３４へ搬送する第２吸着ユニット５２と、ステージ１１０上にセットされ、ワーク２００の周縁部を密閉するとともに、ワーク２００の周縁部を除く領域を露出させる開口部が形成された固定治具１０とを備える。
【解決手段】ワーク搬送装置３０は、搬入部３２に載置されたワーク２００を複数の吸着装置５４で吸着し、ステージ１１０へ搬送する第１吸着ユニット５０と、ステージ１１０上のワーク２００を複数の吸着装置５６で吸着し、搬出部３４へ搬送する第２吸着ユニット５２と、ステージ１１０上にセットされ、ワーク２００の周縁部を密閉するとともに、ワーク２００の周縁部を除く領域を露出させる開口部が形成された固定治具１０とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線基板等のワークを搬送するワーク搬送装置と方法に関し、更には、画像情報に基づいて変調された光ビームによりワークの描画領域を露光して画像を形成する画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えばプリント配線基板（以下「ワーク」又は「基板材料」という場合がある）等に配線パターンを形成する画像形成装置としてのレーザー露光装置が知られている。このレーザー露光装置には、画像露光の対象となるプリント配線基板を載置する（ロードする）ステージが備えられ、そのステージを所定の搬送経路に沿って移動させるようになっている。
【０００３】
具体的に説明すると、まず、プリント配線基板は、ステージの上面に位置決め載置され、ステージの上面に設けられた多数の孔部からエアーが吸引されることによって、そのステージ上に吸着・保持される。プリント配線基板がステージ上に吸着・保持されたら、そのステージは、所定の速度で副走査方向へ移動し、所定の測定位置において、そのプリント配線基板に設けられた位置合わせ孔（以下「アライメントマーク」という）がＣＣＤカメラによって撮像される。そして、その撮像によって得られたプリント配線基板の位置に合わせて、描画座標系中の描画対象領域を座標変換することにより、画像情報に対するアライメント処理が実行される。
【０００４】
アライメント処理の実行後、ステージ上のプリント配線基板は、所定の露光位置において、画像情報に基づいて変調され、ポリゴンミラーにより主走査方向へ偏向されたレーザービームによって、その上面に形成された感光性塗膜が走査、露光処理される。これにより、プリント配線基板上の所定の領域（描画領域）に、画像情報に基づく（配線パターンに対応する）画像（潜像）が形成される。
【０００５】
そして、画像（潜像）が形成されたプリント配線基板は、ステージが初期位置に復帰移動した後、そのステージ上から取り出され（アンロードされ）、プリント配線基板が取り除かれたステージは、次のプリント配線基板を露光する工程に移行するようになっている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−３３８４３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このようなレーザー露光装置において、比較的厚さの薄い（例えば、厚さが１ｍｍ未満の）プリント配線基板を露光処理する場合がある。この場合には、エアーによる吸引力が強いと、ステージ上に波打つように基板が吸着され、その周縁部が浮き上がってしまうという不具合が発生する。したがって、この場合には、例えば、プリント配線基板の周縁部を補助的に押さえる治具などが設けられる。
【０００７】
しかしながら、このような治具を備えていてもステージ上への基板搬入及びステージ上からの基板搬出を効率よく行えるようにする必要がある。つまり、このような治具が設けられていても、プリント配線基板の製造効率ができるだけ低下しないようにすることが望ましい。
【０００８】
そこで、本発明は、上記事情に鑑み、ワークの周縁部をステージ上に固定できる治具及びワークをステージ上へ効率よく供給できるようにしたワーク搬送装置と方法、更には、そのワーク搬送装置を備えた画像形成装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するために、本発明に係る請求項１に記載のワーク搬送装置は、搬入部に載置されたワークを複数の吸着装置で吸着し、ステージへ搬送する第１吸着ユニットと、前記ステージ上のワークを複数の吸着装置で吸着し、搬出部へ搬送する第２吸着ユニットと、前記ステージ上にセットされ、前記ワークの周縁部を密閉するとともに、該ワークの周縁部を除く領域を露出させる開口部が形成された固定治具と、を備え、前記第１吸着ユニット及び前記第２吸着ユニットが、前記固定治具を吸着するために縁端部側に配置された第１吸着装置と、前記開口部から露出している前記ワークを吸着するために中心部側に配置された第２吸着装置と、を有することを特徴としている。
【００１０】
請求項１に記載の発明によれば、ワークの周縁部の浮き上がりを押さえる固定治具を、第１吸着ユニット又は第２吸着ユニットにより効率よくステージ上へ供給することができる。
【００１１】
また、請求項２に記載のワーク搬送装置は、請求項１に記載のワーク搬送装置において、前記固定治具に、前記第１吸着装置による吸着位置がずれたことを検出できる検出手段を形成したことを特徴としている。
【００１２】
請求項２に記載の発明によれば、第１吸着装置により固定治具を吸着した際、その位置ずれを検出することができる。したがって、固定治具がずれたまま搬送されることによって起きるトラブルを防止することができる。
【００１３】
更に、請求項３に記載のワーク搬送装置は、請求項１又は請求項２に記載のワーク搬送装置において、少なくとも前記第１吸着装置に、緩衝機構を備えたことを特徴としている。
【００１４】
請求項３に記載の発明によれば、第１吸着装置により固定治具を吸着した状態で、第２吸着装置によりワークを吸着する際に、その固定治具の厚さ分の高さ位置の違いを吸収することができる。
【００１５】
そして、本発明に係る請求項４に記載の画像形成装置は、請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載のワーク搬送装置と、前記ステージを所定の搬送経路に沿って移動させる移動機構と、前記移動機構によって移動させるステージ上のワークのアライメントマークを検出する測定部と、前記ステージ上のワークの前記周縁部を除く領域を、前記測定部の検出結果によりアライメント処理された画像情報に基づいて変調された光ビームにより露光し、該領域に画像を形成する露光部と、を有することを特徴としている。
【００１６】
請求項４に記載の発明によれば、上記のようなワーク搬送装置を備えているので、ステージに対するワーク及び固定治具の供給を効率よく行うことができる。また、その固定治具により、ワークが確実にステージ上に固定されるので、そのワークに対して正確に画像を形成することができる。
【００１７】
また、請求項５に記載のワーク搬送装置は、請求項４に記載の画像形成装置において、前記固定治具を吸着するモードと吸着しないモードへ切り替える切替手段を有することを特徴としている。
【００１８】
請求項５に記載の発明によれば、固定治具を必要とするワークと、固定治具を必要としないワークの両方に対して露光処理を実行することができる。
【００１９】
更に、本発明に係る請求項６に記載のワーク搬送方法は、搬入部に載置されたワークを複数の吸着装置で吸着し、ステージへ搬送する第１吸着ユニットと、前記ステージ上のワークを複数の吸着装置で吸着し、搬出部へ搬送する第２吸着ユニットと、前記ステージ上にセットされ、前記ワークの周縁部を密閉するとともに、該ワークの周縁部を除く領域を露出させる開口部が形成された固定治具と、を備えたワーク搬送方法であって、前記第１吸着ユニット又は前記第２吸着ユニットの縁端部側に配置された第１吸着装置で、前記固定治具を吸着し、前記第１吸着ユニット又は前記第２吸着ユニットの中心部側に配置された第２吸着装置で、前記開口部から露出している前記ワークを吸着し、該ワーク及び前記固定治具を前記ステージへ載置又は前記ステージから除去することを特徴としている。
【００２０】
請求項６に記載の発明によれば、ワークの周縁部の浮き上がりを押さえる固定治具を、第１吸着ユニット又は第２吸着ユニットにより効率よくステージ上へ供給することができる。
【００２１】
また、請求項７に記載のワーク搬送方法は、請求項６に記載のワーク搬送方法において、前記第２吸着ユニットの第１吸着装置によってステージ上の固定治具を吸着するとともに、前記第１吸着ユニットの第２吸着装置によって搬入部上のワークを吸着し、その後、第１吸着ユニット及び第２吸着ユニットが搬出部側へ移動して、前記第１吸着ユニットの第２吸着装置が吸着を解除することにより、前記ワークをステージ上に載置し、次いで、第１吸着ユニット及び第２吸着ユニットが搬入部側へ移動して、前記第２吸着ユニットの第１吸着装置が吸着を解除することにより、前記固定治具をステージ上に載置し、該固定治具によって前記ワークの周縁部を密閉することを特徴としている。
【００２２】
そして、請求項８に記載のワーク搬送方法は、請求項６に記載のワーク搬送方法において、前記第１吸着ユニットの第１吸着装置によってステージ上の固定治具を吸着した後、第１吸着ユニット及び第２吸着ユニットが搬入部側へ移動し、前記第１吸着ユニットの第２吸着装置によって搬入部上のワークを吸着し、その後、第１吸着ユニット及び第２吸着ユニットが搬出部側へ移動して、前記第１吸着ユニットの第２吸着装置が吸着を解除することにより、前記ワークをステージ上に載置するとともに、前記第１吸着ユニットの第１吸着装置が吸着を解除することにより、前記固定治具をステージ上に載置し、該固定治具によって前記ワークの周縁部を密閉することを特徴としている。
【００２３】
請求項７又は請求項８に記載の発明によれば、第１吸着ユニット又は第２吸着ユニットにより、固定治具を効率よくステージ上へ供給することができる。
【００２４】
また、請求項９に記載のワーク搬送方法は、請求項６乃至請求項８の何れか１項に記載のワーク搬送方法において、前記固定治具が、ワークの位置決め部材により前記ステージ上に位置決め載置され、その後、前記第１吸着ユニット又は前記第２吸着ユニットの第１吸着装置によって吸着されることを特徴としている。
【００２５】
請求項９に記載の発明によれば、ワークの位置決め部材を固定治具の位置決め部材として兼用できる。したがって、固定治具の位置決めが容易にできる。また、別途固定治具用の位置決め部材を用意する必要がないので、コストの増加を防止することができる。
【発明の効果】
【００２６】
以上のように、本発明によれば、ワークの周縁部をステージ上に固定できる治具及びワークをステージ上へ効率よく供給できるようにしたワーク搬送装置と方法、更には、そのワーク搬送装置を備えた画像形成装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の最良な実施の形態について、図面に示す実施例を基に詳細に説明する。図１は本発明に係る画像形成装置としての一例を示すレーザー露光装置の概略斜視図である。また、図２は基板（ワーク）搬送装置とレーザー露光装置を示す概略斜視図であり、図３は同じく概略平面図である。そして、図４は固定治具の概略斜視図と概略断面図であり、図５はステージと基板材料と固定治具の概略斜視図、図６は同じく概略側断面図である。なお、図１において、矢印Ｍを幅方向、矢印Ｓを搬送方向とし、矢印Ｓと反対の方向を走査方向とする。
【００２８】
［レーザー露光装置の構成］
まず最初に、レーザー露光装置１００について説明する。図１で示すように、このレーザー露光装置１００は、６本の脚部１０４に支持された矩形厚板状の設置台１０２を備えている。設置台１０２の上面には、長手方向（搬送方向）に沿って２本のガイドレール１０６が配設されており、これら２本のガイドレール１０６上には、ガイド部１０８を介して矩形平板状のステージ１１０が設けられている。
【００２９】
ステージ１１０は、長手方向がガイドレール１０６の延設方向（搬送方向）を向くように配置され、ガイドレール１０６及びガイド部１０８によって設置台１０２上を任意の移動機構によって往復移動可能に支持されている。すなわち、例えばモーター１１４及びボールねじ１１２等の移動機構によって、ガイドレール１０６に沿って所定の速度で往復移動するように構成されている。
【００３０】
ステージ１１０の上面には、露光対象物となる矩形平板状の基板材料２００が、図８（Ａ）で示すような位置決め部材２６により、所定の位置に位置決めされた状態で載置される。また、このステージ１１０の上面には、図５で示すように、複数の孔部１１０Ａが穿設されている。
【００３１】
そして、図６で示すように、ステージ１１０の内部が負圧供給源（図示省略）によって負圧とされることにより、孔部１１０Ａからエアーが吸引され、その吸引力によって基板材料２００がステージ１１０の上面に吸着・保持されるようになっている。なお、ステージ１１０上には、孔部１１０Ａの外方側に矩形枠状に溝部１１０Ｂが形成されており、この溝部１１０Ｂ内に形成された複数の小孔からもエアーが吸引されるようになっている。
【００３２】
また、基板材料２００の厚さが、例えば１ｍｍ未満であり、エアーの吸引力によって波打つようにステージ１１０上に吸着されて、その周縁部が浮き上がってしまう場合には、図５乃至図７で示すように、上面（非接触面）が黒色とされた固定治具１０（後述）をステージ１１０上にセットして、基板材料２００の周縁部における浮き上がりを防止し、基板材料２００がステージ１１０の上面に確実に固定されるように補助する。なお、このとき、固定治具１０は、孔部１１０Ａ及び溝部（小孔）１１０Ｂによって、ステージ１１０上に吸着・保持される。
【００３３】
また、基板材料２００には、その被露光面上の描画領域における露光位置の基準を示すアライメントマーク（図示省略）が複数設けられている。このアライメントマークは、例えば円形の貫通孔によって構成され、基板材料２００の周縁部を除く四隅近傍にそれぞれ１個ずつ計４個配設される。
【００３４】
設置台１０２の中央部には、ステージ１１０の移動経路を跨ぐように略「コ」字状のゲート１１６が設けられている。ゲート１１６は、両端部がそれぞれ設置台１０２に固定されており、ゲート１１６を挟んで、一方の側には基板材料２００を露光する露光ヘッド（露光部）１２０が設けられ、他方の側には基板材料２００に設けられたアライメントマークを撮影する複数（例えば４台）のＣＣＤカメラ（測定部）１１８が設けられている。
【００３５】
したがって、基板材料２００がステージ１１０の移動に伴ってＣＣＤカメラ１１８の下方を通過する際に、そのＣＣＤカメラ１１８によるアライメントマークの測定が行われる。すなわち、各ＣＣＤカメラ１１８は、基板材料２００のアライメントマークが所定の撮影位置に至ったタイミングで、ストロボ光源を発光させ、基板材料２００へ照射したストロボ光の基板材料２００上面での反射光を、レンズを介してカメラ本体に入力させることにより、そのアライメントマークを撮影する。
【００３６】
また、ステージ１１０を移動させるための移動機構（モーター１１４及びボールねじ１１２）、ＣＣＤカメラ１１８、露光ヘッド１２０等は、これらを制御するコントローラー１３０に接続されている。このコントローラー１３０により、ステージ１１０は所定の速度で移動するように制御され、ＣＣＤカメラ１１８は所定のタイミングで基板材料２００のアライメントマークを撮影するように制御され、露光ヘッド１２０は所定のタイミングで基板材料２００を露光するように制御される。
【００３７】
露光ヘッド１２０は、ｍ行ｎ列（例えば２行４列）の略マトリックス状に配列されている。そして、図１０（Ｂ）で示すように、露光ヘッド１２０による露光エリア１２２は、例えば搬送方向（走査方向）を短辺とする矩形状に構成されている。したがって、基板材料２００には、その搬送方向への移動動作に伴って、露光ヘッド１２０毎に帯状の露光済み領域２０２が走査方向に形成される（図１０（Ａ）参照）。
【００３８】
また、帯状の露光済み領域２０２が搬送方向（走査方向）と直交する幅方向に隙間無く並ぶように、ライン状に配列された各行の露光ヘッド１２０の各々は、配列方向に所定間隔（露光エリア１２２の長辺の自然数倍）ずらして配置されている。このため、例えば第１行目の露光エリア１２２間で露光できない部分は、第２行目の露光エリア１２２により露光することができる。
【００３９】
各露光ヘッド１２０は、それぞれ入射されたレーザービームを画像データに応じて各画素毎に変調する空間光変調素子としてのデジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）（図示省略）を備えている。このＤＭＤは、データ処理部とミラー駆動制御部を備えた上記コントローラー１３０に接続されている。
【００４０】
コントローラー１３０のデータ処理部では、入力された画像データに基づいて、各露光ヘッド１２０毎にＤＭＤの制御すべき領域内の各マイクロミラーを駆動制御する制御信号を生成する。また、ミラー駆動制御部では、データ処理部で生成した制御信号に基づいて、各露光ヘッド１２０毎にＤＭＤにおける各マイクロミラーの反射面の角度を制御する。
【００４１】
各露光ヘッド１２０におけるＤＭＤの光入射側には、マルチビームをレーザー光として出射する照明装置１２６から引き出されたバンドル状の光ファイバー１２４が接続されている。照明装置１２６は、その内部に複数の半導体レーザーチップから出射されたレーザー光を合波して光ファイバーに入力する合波モジュールが複数個設置されている。各合波モジュールから延びる光ファイバーは、合波したレーザー光を伝搬する合波光ファイバーであって、複数の光ファイバーが１つに束ねられてバンドル状の光ファイバー１２４として形成されている。
【００４２】
［レーザー露光装置の作用］
次に、以上のような構成のレーザー露光装置１００の作用について説明する。なお、レーザー露光装置１００により画像露光を行う基板材料（ワーク）２００としては、プリント配線基板や液晶表示素子等のパターンを形成（画像露光）する材料としての基板や、ガラスプレート等の表面に感光性エポキシ樹脂等のフォトレジストを塗布、又はドライフィルムの場合はラミネートしたものなどが挙げられる。
【００４３】
まず、図２、図３で示す基板搬送装置３０（後述）によって、基板材料２００がステージ１１０の上面に位置決め載置されると、その基板材料２００は、孔部１１０Ａからのエアーの吸引によりステージ１１０の上面に吸着・保持される。
【００４４】
このとき、基板材料２００が、例えば１ｍｍ未満の薄い基板で、エアーの吸引力によりその周縁部が浮き上がってしまう場合には、後述する固定治具１０をステージ１１０上にセットして、その固定治具１０により基板材料２００の周縁部を押さえる。このとき、固定治具１０は孔部１１０Ａ及び溝部（小孔）１１０Ｂからのエアーの吸引力により、ステージ１１０上に吸着・保持される。
【００４５】
こうして、基板材料２００（及び固定治具１０）をステージ１１０の上面に吸着・保持（固定）したら、ステージ１１０が搬送方向へ移動し始め、基板材料２００がＣＣＤカメラ１１８によるアライメント検出工程及び露光ヘッド１２０による露光工程へと搬送される。すなわち、オペレーターがコントローラー１３０の指示入力手段から露光開始の入力操作を行うことにより、レーザー露光装置１００の露光動作が開始される。
【００４６】
まず、コントローラー１３０により移動機構（モーター１１４及びボールねじ１１２）が制御され、基板材料２００（及び固定治具１０）を上面に吸着・保持したステージ１１０が、ガイドレール１０６に沿って搬送方向に一定速度で移動を開始する。このステージ１１０の移動開始に同期して、又は基板材料２００の先端が各ＣＣＤカメラ１１８の真下に達する少し手前のタイミングで、各ＣＣＤカメラ１１８はコントローラー１３０により制御されて作動を開始する。
【００４７】
すなわち、例えば基板材料２００の移動方向下流側（前端側）の角部近傍に設けられた２個のアライメントマークが、各ＣＣＤカメラ１１８におけるレンズの光軸上（ＣＣＤカメラ１１８の真下）に達すると、各ＣＣＤカメラ１１８は、所定のタイミングでストロボ光源を発光し、各アライメントマークを撮影する。そして、撮影された画像データ（基準位置データ）は、コントローラー１３０のデータ処理部へ出力される。
【００４８】
データ処理部は、入力された各アライメントマークの画像データ（基準位置データ）から判明する画像内におけるアライメントマークの位置及びアライメントマーク間のピッチ等と、そのアライメントマークを撮影したときのステージ１１０の位置及びＣＣＤカメラ１１８の位置から、演算処理によって、ステージ１１０上における基板材料２００の位置ずれ、移動方向に対する傾き、寸法精度誤差等を把握し、基板材料２００の被露光面に対する適正な露光位置を算出する。
【００４９】
ここで、露光パターンに応じた画像データは、コントローラー１３０内のメモリーに一旦記憶されている。したがって、露光ヘッド１２０による画像露光時に、そのメモリーに記憶されている露光パターンの画像データに基づいて生成する制御信号を、上記した適正な露光位置に合わせ込んで画像露光する補正制御（アライメント）を実行する。なお、この画像データは、画像を構成する各画素の濃度を２値（ドットの記録の有無）で表したデータである。
【００５０】
こうして、各ＣＣＤカメラ１１８によるアライメントマークの測定（撮影）が完了すると、ステージ１１０は移動機構（モーター１１４及びボールねじ１１２）の駆動により、ガイドレール１０６に沿って露光位置へ移動する。そして、基板材料２００はステージ１１０の移動に伴い、露光ヘッド１２０の下方を搬送方向下流側へ移動し、被露光面の描画領域が露光開始位置に達すると、各露光ヘッド１２０はレーザービームを照射して基板材料２００の被露光面（描画領域）に対する画像露光を開始する。
【００５１】
すなわち、コントローラー１３０のメモリーに記憶された画像データが複数ライン分ずつ順次読み出され、データ処理部で読み出された画像データに基づいて各露光ヘッド１２０毎に制御信号が生成される。この制御信号には、補正制御（アライメント）により、アライメント測定した基板材料２００に対する露光位置ずれの補正が加えられている。そして、ミラー駆動制御部は、生成及び補正された制御信号に基づいて各露光ヘッド１２０毎にＤＭＤのマイクロミラーの各々をオン・オフ制御する。
【００５２】
照明装置１２６の光ファイバー１２４から出射されたレーザー光がＤＭＤに照射されると、ＤＭＤのマイクロミラーがオン状態のときに反射されたレーザー光が、レンズ系により基板材料２００の被露光面上に結像される。つまり、照明装置１２６から出射されたレーザー光が画素毎にオン・オフされて、基板材料２００がＤＭＤの使用画素数と略同数の画素単位で露光される。なお、このとき、固定治具１０が設けられていても、その上面は黒色とされているので、照射されたレーザー光の反射が防止される。
【００５３】
そして、基板材料２００がステージ１１０と共に一定速度で移動されることにより、基板材料２００が露光ヘッド１２０によってステージ１１０の移動方向（搬送方向）と反対の方向、即ち走査方向に露光され、各露光ヘッド１２０毎に帯状の露光済み領域２０２が形成される（図１０（Ａ）参照）。露光ヘッド１２０による基板材料２００への画像露光が完了すると、ステージ１１０は移動機構（モーター１１４及びボールねじ１１２）により、搬送方向と逆の方向（走査方向）へ移動し、基板材料２００が載置された初期位置に復帰する。
【００５４】
ステージ１１０が初期位置へ復帰移動すると、エアーの吸引による吸着（及び固定治具１０による固定状態）が解除され、図２、図３で示す基板搬送装置３０（後述）によってステージ１１０の上面から基板材料２００が取り除かれる。そして、ステージ１１０の上面から取り除かれた基板材料２００は、図示しない機外の搬送コンベアへ搬送され、次工程へ搬送される。
【００５５】
［固定治具の構成］
次に、以上のようなレーザー露光装置１００等の画像形成装置において使用される固定治具１０について詳細に説明する。この固定治具１０は、図４（Ａ）で示すように、中央に開口部１２が穿設された額縁状に形成され、基板材料２００の周縁部を除く描画領域が、その開口部１２から露出可能になっている。
【００５６】
固定治具１０の開口部１２を除く部位は基板材料２００の周縁部（所望とする描画領域外）を押さえる押さえ部１４とされており、この押さえ部１４は、材質の異なる部材が複数積層されて構成されている。すなわち、図４（Ｂ）で示すように、この押さえ部１４は、基板材料２００との非接触面側（上面側）から順に、剛性部材１６、弾性部材１８、易剥離部材２０が貼着されて構成されている。
【００５７】
剛性部材１６の一例としてはアルミニウム等の金属が挙げられる。また、弾性部材１８の一例としては硬度の比較的低いゴム等が挙げられる。更に、易剥離部材２０の一例としてはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等のプラスチックが挙げられる。なお、この易剥離部材２０は、剛性部材１６及び弾性部材１８に比べて厚さが非常に薄いので、図４（Ｂ）以外では、図示を省略している。
【００５８】
また、図８（Ａ）で示したように、位置決め部材２６は、ステージ１１０の中心に向く側が左右対称の階段状に切り欠かれており、それぞれ基板材料２００のサイズ変動に対応できるようになっている。すなわち、この切欠部２８は、最も内方側の切欠部２８Ａで最も小さい基板材料２００を位置決めできるようになっており、それよりも外方側の切欠部２８Ｂ、２８Ｃで、それよりも順に大きい基板材料２００をそれぞれ位置決めできるようになっている。
【００５９】
なお、固定治具１０の外形サイズは、ステージ１１０に形成された溝部（小孔）１１０Ｂで吸着できるサイズとされている。換言すれば、ステージ１１０上に載置される最大基板材料２００の外形サイズと同一とされている。したがって、固定治具１０をステージ１１０上に位置決め載置する際には、位置決め部材２６をステージ１１０の搬送方向端部側の所定位置へ移動させ、切欠部２８Ｃに固定治具１０の搬送方向側の短辺を突き当てて（合致させて）位置決めすればよく、これによって、その固定治具１０をステージ１１０上に容易に位置決め載置（セット）することができる。
【００６０】
また、図示しないが、固定治具１０は、基板材料２００のサイズ変動に対応して、開口部１２の大きさが異なるものが使用される。つまり、開口部１２の大きさが異なる固定治具１０が複数用意されて、基板材料２００のサイズ変動に対応できるようになっている。したがって、固定治具１０を使用して露光処理をする場合には、ステージ１１０上に載置可能な最大サイズの基板材料２００よりも小さいサイズの基板材料２００のみが対象となる。
【００６１】
また、上記したように、押さえ部１４（剛性部材１６）の上面（非接触面）は黒色とされることが好ましい。このような構成にすると、開口部１２から露出している基板材料２００の被露光面（描画領域）に対して、露光ヘッド１２０から照射されるレーザー光の反射を防止することができる。また、基板材料２００の周縁部に接触しない上面側（非接触面側）が、剛性部材１６とされていると、固定治具１０のハンドリング性（取扱性）が良好となる。つまり、ステージ１１０上へ固定治具１０を位置決め載置（セット）する作業が容易にできる。
【００６２】
何れにしても、基板材料２００及び固定治具１０をステージ１１０上に位置決め載置したら、又は位置決め載置しつつ、図６で示すように、ステージ１１０の内部が負圧とされて多数の孔部１１０Ａ及び溝部（小孔）１１０Ｂからエアーが吸引されることにより、基板材料２００及び固定治具１０がステージ１１０上に吸着・保持される。
【００６３】
そして、これにより、基板材料２００の周縁部を押さえる押さえ部１４の弾性部材１８が、図６、図７で示すように撓み変形して、その周縁部を好適に密閉する（密閉度が向上される）。したがって、基板材料２００が、例えば１ｍｍ未満の薄い基板で、エアーの吸引力により、その周縁部が浮き上がってしまうような場合でも、その周縁部（描画領域外）を固定治具１０により確実に押さえる（固定する）ことができる。よって、基板材料２００に正確に画像を形成することができる。
【００６４】
なお、固定治具１０を位置決めした後、位置決め部材２６はステージ１１０上から取り除かれる。また、このように基板材料２００を位置決めする位置決め部材２６によって固定治具１０を位置決め載置することができるので、別途固定治具１０を位置決めするための位置決め部材が必要とされない。したがって、コスト的にも好ましいものとなっている（コストの増加が防止されている）。
【００６５】
更に、基板材料２００に対する画像形成後、固定治具１０をステージ１１０上から取り外すときには、易剥離部材２０によって、基板材料２００から容易に剥離することができる。したがって、基板材料２００が固定治具１０にくっついて一緒に外されてしまうような不具合も発生しない。
【００６６】
［基板搬送装置の構成］
次に、以上のような固定治具１０を備えたレーザー露光装置１００へ基板材料２００を搬入し、かつレーザー露光装置１００から露光済みの基板材料２００を搬出する基板搬送装置３０について説明する。
【００６７】
図２、図３で示すように、レーザー露光装置１００のステージ１１０が移動する搬送方向と直交する左右両側で、かつステージ１１０の移動方向（搬送方向）始端側（ロード・アンロード位置）には、それぞれローダー（搬入部）３２とアンローダー（搬出部）３４が、そのステージ１１０に隣接して配置されている。今、図２、図３において、基板材料２００が右（矢印Ｒで示す）から搬入され、左（矢印Ｌで示す）から搬出されると仮定すると、右側がローダー３２となり、左側がアンローダー３４となる。
【００６８】
ローダー３２には、一対のローラー３６に巻回された無端ベルト３８が配設されており、機外から搬送されて来た基板材料２００をその無端ベルト３８上に受け止めるようになっている。なお、無端ベルト３８上に搬入された基板材料２００は、その無端ベルト３８上で、図示しない位置決め手段により位置決めされる構成である。
【００６９】
また、アンローダー３４にも、一対のローラー３７に巻回された無端ベルト３９が配設されており、その無端ベルト３９上に載置された露光済みの基板材料２００をアンローダー３４から機外の搬送コンベア（図示省略）へ搬送するようになっている。なお、ローダー３２及びアンローダー３４は、図示のものに限定されるものではなく、例えば無端ベルト３８、３９の代わりに、複数のローラーを並設して構成してもよい。
【００７０】
ローダー３２、ステージ１１０、アンローダー３４の上方には、ステージ１１０の移動方向（搬送方向）と直交する方向（幅方向）に、一対のガイドレール４６がフレーム４４を介して架設されており、そのガイドレール４６に、第１走行体４０と第２走行体４２が、それぞれ移動可能に支持されている。
【００７１】
また、ガイドレール４６の隣には、ボールねじ４８が、そのガイドレール４６と平行に架設されている。すなわち、ボールねじ４８の一端には、そのボールねじ４８を正逆方向に回転駆動する駆動モーター４７が取り付けられており、その駆動モーター４７がフレーム４４に支持されている。そして、ボールねじ４８の他端が、ベアリング等の軸受け（図示省略）を備えた支持ステー４９に支持されている。
【００７２】
また、第１走行体４０の搬送方向側には、ねじ孔（図示省略）を有するガイド部材４１が延設されており、このガイド部材４１のねじ孔（図示省略）にボールねじ４８が螺合している。したがって、第１走行体４０は、駆動モーター４７によってボールねじ４８が正逆方向に回転することにより、ガイド部材４１を介してガイドレール４６に沿って幅方向に往復移動可能となる構成である。
【００７３】
なお、ボールねじ４８は、ステージ１１０上まで延設されていれば充分である。すなわち、第２走行体４２は、後述する連結手段６０によって第１走行体４０と連結することにより一体で移動するため、第１走行体４０を移動させる距離だけ、ボールねじ４８が延伸されていれば足りる。また、第１走行体４０及び第２走行体４２を移動させる手段は、このような構成に限定されるものでないことは言うまでもない。
【００７４】
第１走行体４０には、第１吸着ユニット５０が昇降自在に取り付けられており、第２走行体４２には、第２吸着ユニット５２が昇降自在に取り付けられている。各吸着ユニット５０、５２は、それぞれの取付板５１、５３に複数の吸着装置５４、５６が同一高さになるように垂設されて構成されており、各吸着装置５４、５６の上部には、エアー吸引用のチューブ５５、５７（図１１参照）が接続されている。
【００７５】
各吸着装置５４、５６の先端（下端）に設けられた合成樹脂製の吸盤８４、８６（図９参照）は、側面視で同一高さになっており、底面視でその中央には、チューブ５５、５７と連通する開口（図示省略）が穿設されている。したがって、チューブ５５、５７を介して吸盤８４、８６の先端からエアーが吸引されることにより、基板材料２００及び固定治具１０の吸着が可能となる構成である。
【００７６】
また、取付板５１、５３は、図示しないＬＭガイドと駆動モーターからなる昇降機構５８、５９によって昇降移動可能となっている。したがって、基板材料２００の厚さの変化にも、柔軟に対応可能である。なお、この昇降機構５８、５９は独立して駆動できるように構成されている。
【００７７】
また、図２、図３、図１１、図１２で示すように、第１走行体４０と第２走行体４２は、連結手段６０によって着脱自在に連結されるようになっている。すなわち、第１走行体４０の上面には、被連結部材６２が第２走行体４２側に張り出すように設けられ、第２走行体４２の上面には、連結部材６４が第１走行体４０側に張り出すように設けられている。
【００７８】
連結部材６４の先端には、上方へ回動可能に枢支される回動部６６が設けられ、連結部材６４の下面には、回動部６６の下方への回動を阻止する支持プレート（図示省略）が第２走行体４２から延設されている。回動部６６の上面には、正面視略「コ」字状をなす把手７０が突設されており、回動部６６の先端には平面視略Ｔ字状をなす係合部７２が延設されている。この係合部７２が、被連結部材６２の先端に形成された平面視略Ｔ字状をなす溝部７４（図１２参照）に嵌合するようになっている。
【００７９】
また、被連結部材６２の下面には、溝部７４内に嵌入した係合部７２が下方に脱落するのを防止する支持プレート（図示省略）が第１走行体４０から延設されている。そして、この支持プレートには、図示しないセンサーが設けられており、係合部７２が溝部７４に嵌合したこと、及び係合部７２が溝部７４から外れたことを検出できるようになっている。
【００８０】
また、被連結部材６２の上面には、略円柱状の操作部６８に固定されて、水平方向に回動可能とされた略楕円形板状のストッパー７６が設けられている。このストッパー７６は、操作部６８を回動させることにより、他端が溝部７４に嵌合された係合部７２の上面へ張り出すように構成されており、不用意に係合部７２が上方に回動して溝部７４から外れるのを防止するようになっている。なお、このストッパー７６に対しても図示しないセンサーが配設されており、ストッパー７６の回動位置が判別されるようになっている。
【００８１】
［吸着装置の構成］
次に、第１吸着ユニット５０及び第２吸着ユニット５２に設けられている吸着装置５４、５６について説明する。なお、説明の便宜上、吸着装置５４について説明するが、吸着装置５６についても同様である。図８（Ｂ）で示すように、吸着装置５４は、取付板５１に複数個取り付けられている。
【００８２】
具体的には、吸着装置５４は、固定治具１０を吸着できるように、取付板５１の縁端部側に８個、対向する辺においては等間隔になるように取り付けられ、かつ、固定治具１０の開口部１２を通って（固定治具１０の開口部１２から露出している）基板材料２００を吸着できるように、取付板５１の中心部側に４個、略等間隔になるように取り付けられている。
【００８３】
なお、以下において、これら吸着装置５４を区別して説明する際には、取付板５１の縁端部側に取り付けられている吸着装置５４を「第１吸着装置５４Ａ」とし、取付板５１の中心部側に取り付けられている吸着装置５４を「第２吸着装置５４Ｂ」とする。したがって、取付板５３の縁端部側に取り付けられている吸着装置５６は「第１吸着装置５６Ａ」となり、取付板５３の中心部側に取り付けられている吸着装置５６は「第２吸着装置５６Ｂ」となる。
【００８４】
図９で示すように、吸着装置５４は、エアー吸引用の貫通孔（図示省略）が穿設されているパイプ８０を有し、そのパイプ８０の下端近傍の外周面にはフランジ８２が一体的に突設されている。そして、そのフランジ８２よりも下側のパイプ下端には、合成樹脂製の吸盤８４が取り付けられており、その吸盤８４の中央には、パイプ８０の貫通孔と連通する開口（図示省略）が穿設されている。
【００８５】
パイプ８０の上端には、チューブ５５を接続するための連結部材８８が設けられており、連結部材８８の内部には、パイプ８０の貫通孔と連通する導通孔（図示省略）が形成されている。また、チューブ５５の端部には、内部に導通孔が形成された接続部材７８が取り付けられており、この接続部材７８が連結部材８８と連通接続されるようになっている。これにより、吸盤８４に形成された開口からのエアーの吸引が可能となる構成である。
【００８６】
また、パイプ８０にはストッパー部材９０が挿嵌されている（ストッパー部材９０にパイプ８０が挿通されている）。このストッパー部材９０は、パイプ８０の外径と略等しい内径を有する筒部９２と、筒部９２の上端に一体的に形成され、筒部９２の外径よりも大径とされた円板状の回動操作部９３と、筒部９２の下端に固着され、取付板５１の取付孔（図示省略）に挿通係止される矩形板状の係止プレート９６とで構成されている。
【００８７】
更に、このストッパー部材９０の筒部９２には押さえ部材９４が挿嵌されている（押さえ部材９４に筒部９２が挿通されている）。この押さえ部材９４は、取付板５１の取付孔に挿通不能となるような大きさの円板状に形成されており、その中心に穿設された貫通孔（図示省略）の直径（内径）は、筒部９２の外径と略同一とされている。
【００８８】
そして更に、回動操作部９３と押さえ部材９４との間の筒部９２には、押さえ部材９４を常時係止プレート９６側へ付勢する第１コイルばね９５が挿嵌されており、係止プレート９６とフランジ８２との間のパイプ８０には、ストッパー部材９０（係止プレート９６）を常時連結部材８８側（上方）へ付勢する第２コイルばね９８が挿嵌されている。
【００８９】
以上のような構成の吸着装置５４によれば、第２コイルばね９８により、吸盤８４の高さ方向の移動を許容できる。つまり、この吸着装置５４は、高さ方向の緩衝機構を備えている。したがって、縁端部側に配設された第１吸着装置５４Ａの吸盤８４が固定治具１０を吸着していても、中心部側に配設された第２吸着装置５４Ｂの吸盤８４により基板材料２００を吸着する際には、第１吸着装置５４Ａの吸盤８４が第２コイルばね９８の付勢力に抗して上方に移動し（固定治具１０の厚さ分の高さ位置の違いを吸収し）、第２吸着装置５４Ｂの吸盤８４による基板材料２００の吸着を許容する構成である。
【００９０】
［固定治具、基板搬送装置及び吸着装置の作用］
次に、以上のような構成の固定治具１０、基板搬送装置３０及び吸着装置５４、５６の一連の作用について説明する。まず、最初に、第１走行体４０と第２走行体４２との連結を解除する。すなわち、被連結部材６２側において、操作部６８を回してストッパー７６を係合部７２の上面から退避させ、連結部材６４側の把手７０を把持して回動部６６を上方に回動し、係合部７２を溝部７４内から取り外す。この状態は、センサーの検出結果がコントローラー１３０の表示部１２８に表示されることによって確認できる。
【００９１】
こうして、連結部材６４と被連結部材６２との連結が解除されたら、第１吸着ユニット５０（第１走行体４０）をローダー３２側へ、第２吸着ユニット５２（第２走行体４２）をアンローダー３４側へ移動させる。つまり、第１吸着ユニット５０（第１走行体４０）は、駆動モーター４７によってボールねじ４８を回転させることにより移動させ、第２吸着ユニット５２（第２走行体４２）は、手動により移動させる。
【００９２】
第２走行体４２は、第１走行体４０との連結が解除されると、ガイドレール４６に沿ってフリーに移動できるため、人手で簡単に移動させることができる。この状態を図１１、図１２で示す。なお、第１吸着ユニット５０（第１走行体４０）が既にローダー３２の上方に位置している場合には、第２吸着ユニット５２（第２走行体４２）のみを移動させることは言うまでもない。
【００９３】
こうして、第１吸着ユニット５０及び第２吸着ユニット５２を移動させたら、手動により、固定治具１０をステージ１１０上に位置決め載置する。すなわち、図８（Ａ）で示すように、基板材料２００用の位置決め部材２６に形成された切欠部２８（最大サイズ用の切欠部２８Ｃ）を利用して固定治具１０をステージ１１０上へ位置決め載置する。このとき、ステージ１１０の上方には、第１吸着ユニット５０及び第２吸着ユニット５２が存在しておらず、固定治具１０の上面側（非接触面側）は剛性部材１６とされているので、固定治具１０をセットする作業が人手で容易にできる。
【００９４】
ステージ１１０上に固定治具１０をセットしたら、第１走行体４０と第２走行体４２とを連結する。すなわち、把手７０を把持して回動部６６を下方へ向けて回動し、係合部７２を溝部７４内に嵌入させる。そして、操作部６８を回してストッパー７６を係合部７２の上面に介在させる。なお、連結手段６０が確実に連結されたか否かも、各センサーの検出結果がコントローラー１３０の表示部１２８に表示されることによって把握できるので、連結不良が生じた状態での誤操作を回避することができる。
【００９５】
こうして、第１走行体４０と第２走行体が連結されたら、コントローラー１３０によって第１走行体４０の移動及び各吸着ユニット５０、５２の吸着動作を制御する。ここで、固定治具１０をステージ１１０上に載置又はステージ１１０上から除去する場合、第１吸着ユニット５０により吸着・搬送する場合と、第２吸着ユニット５２により吸着・搬送する場合の２通り考えられる。そこで、まず最初に、第２吸着ユニット５２によって固定治具１０を吸着・搬送する場合について、図１３乃至図１６を基に説明する。
【００９６】
ローダー３２の無端ベルト３８上に最初の基板材料２００が搬入され、図示しない位置決め手段によって位置決めされたら、第１吸着ユニット５０の取付板５１が昇降機構５８によって下降し、その取付板５１に設けられている中心部側の第２吸着装置５４Ｂの吸盤８４が、先端開口からエアーが吸引されることにより基板材料２００を吸着する。そして、それと同時に、第２吸着ユニット５２の取付板５３が昇降機構５９によって下降し、その取付板５３に設けられている縁端部側の第１吸着装置５６Ａの吸盤８６が、先端開口からエアーが吸引されることにより固定治具１０の上面を吸着する。
【００９７】
第２吸着装置５４Ｂが基板材料２００を吸着・保持したら、取付板５１が昇降機構５８によって上昇し、かつ、第１吸着装置５６Ａが固定治具１０を吸着・保持したら、取付板５３が昇降機構５９によって上昇する。この状態を図１３（Ａ）で示す。そして、その後、駆動モーター４７によってボールねじ４８が回転することにより、第１走行体４０がガイドレール４６に沿ってステージ１１０側（アンローダー３４側）へ移動する。このとき、第２走行体４２は第１走行体４０と連結手段６０によって連結されているので、第２走行体４２も第１走行体４０と一体になってアンローダー３４側へ移動する。
【００９８】
第１吸着ユニット５０がステージ１１０の上方に移動して停止すると（ボールねじ４８の回転が停止すると）、その取付板５１が昇降機構５８によって下降し、ステージ１１０上に基板材料２００を載置する。そして、第２吸着装置５４Ｂの吸盤８４において、エアーの吸引を停止し、基板材料２００に対する吸着を解除する。この状態を図１３（Ｂ）で示す。
【００９９】
こうして、ステージ１１０上に基板材料２００が載置されたら、第１吸着ユニット５０の取付板５１は所定の高さまで昇降機構５８によって上昇し、その後、第１走行体４０がローダー３２側へ（初期位置へ）復帰移動する。このとき、第２吸着ユニット５２は、固定治具１０を吸着したまま、ガイドレール４６に沿ってステージ１１０の上方へ移動する。
【０１００】
第２吸着ユニット５２がステージ１１０の上方へ移動して停止すると（ボールねじ４８の回転が停止すると）、その取付板５３が昇降機構５９によって下降し、ステージ１１０上に載置されている基板材料２００の上方から固定治具１０を載置する。そして、第１吸着装置５６Ａの吸盤８６において、エアーの吸引を停止し、固定治具１０に対する吸着を解除する。この状態を図１４（Ａ）で示す。
【０１０１】
また、このとき、ステージ１１０上に形成された孔部１１０Ａ及び溝部（小孔）１１０Ｂからエアーが吸引されることにより、基板材料２００及び固定治具１０がステージ１１０上に吸着・保持される。そして、これにより、基板材料２００の周縁部が固定治具１０の押さえ部１４により密閉される（図６、図７参照）。なお、固定治具１０を解放した取付板５１は昇降機構５８により所定の高さまで上昇する。
【０１０２】
また、ステージ１１０上に載置された基板材料２００の周縁部を固定治具１０によって密閉したら、そのステージ１１０は搬送方向へ移動し、ＣＣＤカメラ１１８によるアライメント処理及び露光ヘッド１２０による露光処理が実行される。すなわち、上記したように、基板材料２００のアライメントマークがＣＣＤカメラ１１８によって検出され、画像情報に基づく画像が露光ヘッド１２０によって露光され、プリント配線基板の配線パターン等の潜像（画像）が基板材料２００の描画領域に形成される。
【０１０３】
基板材料２００に対する露光処理が完了すると、ステージ１１０は基板材料２００が載置された初期位置（ロード・アンロード位置）へ復帰移動する。また、このとき既に、ローダー３２の無端ベルト３８上には、次の基板材料２００が載置されている。この状態を図１４（Ｂ）で示す。ステージ１１０が初期位置（ロード・アンロード位置）へ復帰移動すると、ステージ１１０上の固定治具１０及び基板材料２００が、それぞれ第２吸着ユニット５２の第１吸着装置５６Ａ及び第２吸着装置５６Ｂによって吸着される。
【０１０４】
すなわち、第２吸着ユニット５２の取付板５３が昇降機構５９によって下降し、それに設けられている縁端部側の第１吸着装置５６Ａの吸盤８６が、先端開口からエアーが吸引されることにより、ステージ１１０上の固定治具１０を吸着し、続いて中心部側の第２吸着装置５６Ｂの吸盤８６が、先端開口からエアーが吸引されることにより、ステージ１１０上の露光済みの基板材料２００を吸着する。
【０１０５】
このとき、第１吸着装置５６Ａの吸盤８６は、第２コイルばね９８によって高さ方向へ移動するので、開口部１２から露出している基板材料２００を第２吸着装置５６Ｂによって確実に吸着することができる。こうして、第１吸着装置５６Ａによって固定治具１０を吸着し、第２吸着装置５６Ｂによって基板材料２００を吸着したら、取付板５３は、昇降機構５９により、所定高さまで上昇する。
【０１０６】
なお、昇降機構５９の上昇に伴い、ステージ１１０の孔部１１０Ａ及び溝部（小孔）１１０Ｂから上方に向かってエアーを吹き出させ、固定治具１０をステージ１１０上から除去しやすくするような構成としてもよい。また、これと同時に、第１吸着ユニット５０の取付板５１が昇降機構５８によって下降し、それに設けられている中心部側の第２吸着装置５４Ｂの吸盤８４が、先端開口からエアーが吸引されることにより、ローダー３２上の新しい未露光の基板材料２００を吸着して、所定高さ上昇している。この状態を図１５（Ａ）で示す。
【０１０７】
第２吸着ユニット５２が露光済みの基板材料２００及び固定治具１０を吸着・保持し、第１吸着ユニット５０が新しい未露光の基板材料２００を吸着・保持すると、第１走行体４０が、駆動モーター４７によってボールねじ４８が回転することにより、ステージ１１０側（アンローダー３４側）へ移動する。このとき、第２走行体４２は第１走行体４０と連結手段６０によって連結されているので、第２走行体４２も第１走行体４０と一体になってアンローダー３４側へ移動する。
【０１０８】
第１走行体４０がステージ１１０の上方に移動して停止すると（ボールねじ４８の回転が停止すると）、上記したように、第１吸着ユニット５０の取付板５１が昇降機構５８によって下降し、基板材料２００をステージ１１０上に載置する。そして、第２吸着装置５４Ｂの吸盤８４において、エアーの吸引を停止して、基板材料２００に対する吸着を解除し、再度所定高さ上昇する。
【０１０９】
一方、第２走行体４２、即ち第２吸着ユニット５２がアンローダー３４の上方に移動すると、昇降機構５９によって取付板５３が下降し、基板材料２００を無端ベルト３９上に載置する。つまり、中心部側の第２吸着装置５６Ｂの吸盤８６においてのみ、エアーの吸引を停止して、基板材料２００に対する吸着を解除する。
【０１１０】
そして、基板材料２００を解放した第２吸着ユニット５２の取付板５３は、固定治具１０を吸着・保持したまま所定高さ上昇する。この状態を図１５（Ｂ）で示す。なお、アンローダー３４の無端ベルト３９上に載置された基板材料２００は、図示しない機外の搬送コンベアへ搬送され、次工程へ搬送される。
【０１１１】
一方、固定治具１０を吸着・保持した状態の第２吸着ユニット５２は、駆動モーター４７によってボールねじ４８が回転することにより、再度ステージ１１０の上方へ移動する。この状態を図１６（Ａ）で示す。その後、その取付板５３が昇降機構５９によって下降し、ステージ１１０上に載置されている基板材料２００の上方から固定治具１０を載置する。そして、第１吸着装置５６Ａの吸盤８６において、エアーの吸引を停止し、固定治具１０に対する吸着を解除する。この状態を図１６（Ｂ）で示す。
【０１１２】
なお、このとき、ステージ１１０上に形成された孔部１１０Ａ及び溝部（小孔）１１０Ｂからエアーが吸引されることにより、基板材料２００及び固定治具１０がステージ１１０上に吸着・保持される。これにより、基板材料２００の周縁部が固定治具１０の押さえ部１４により密閉される（図６、図７参照）。こうして、固定治具１０がステージ１１０上にセットされたら、ステージ１１０が搬送方向に移動することにより、上記と同様にアライメント処理及び露光処理が実行され、以降、上記と同様な作業を繰り返すことにより、基板材料２００が順次処理される。
【０１１３】
次に、第１吸着ユニット５０によって固定治具１０を吸着・搬送する場合について図１７乃至図２０を基に説明する。まず、駆動モーター４７によってボールねじ４８が回転することにより、第１走行体４０がステージ１１０側（アンローダー３４側）へ移動し、第１吸着ユニット５０がステージ１１０の上方へ移動する。
【０１１４】
そして、第１吸着ユニット５０の取付板５１が昇降機構５８によって下降し、その取付板５１に設けられている縁端部側の第１吸着装置５４Ａの吸盤８４が、先端開口からエアーが吸引されることにより固定治具１０を吸着し、再度所定高さまで上昇する。この状態を図１７（Ａ）で示す。
【０１１５】
その後、第１走行体４０がローダー３２側へ移動し、固定治具１０をローダー３２の上方に配置するが、このとき既に、ローダー３２の無端ベルト３８上には、最初の基板材料２００が搬入され、図示しない位置決め手段によって位置決めされている。したがって、第１吸着ユニット５０の取付板５１が昇降機構５８によって下降し、その取付板５１に設けられている中心部側の第２吸着装置５４Ｂの吸盤８４が、先端開口からエアーが吸引されることにより基板材料２００を吸着する。この状態を図１７（Ｂ）で示す。
【０１１６】
なお、このとき、第１吸着装置５４Ａの吸盤８４は、第２コイルばね９８によって高さ方向へ移動するので、開口部１２から露出している基板材料２００を第２吸着装置５４Ｂによって確実に吸着することができる。こうして、第１吸着ユニット５０によって固定治具１０及び基板材料２００を吸着・保持したら、取付板５１が昇降機構５８によって所定高さまで上昇する。
【０１１７】
そして、その後、駆動モーター４７によってボールねじ４８が回転することにより、第１走行体４０がガイドレール４６に沿ってステージ１１０側（アンローダー３４側）へ移動する。このとき、第２走行体４２は第１走行体４０と連結手段６０によって連結されているので、第２走行体４２も第１走行体４０と一体になってアンローダー３４側へ移動する。この状態を図１８（Ａ）で示す。
【０１１８】
第１吸着ユニット５０がステージ１１０の上方に移動して停止すると（ボールねじ４８の回転が停止すると）、その取付板５１が昇降機構５８によって下降し、ステージ１１０上に基板材料２００を載置するとともに、固定治具１０を載置する。この状態を図１８（Ｂ）で示す。そして、第２吸着装置５４Ｂ及び第１吸着装置５４Ａの吸盤８４において、エアーの吸引を停止し、基板材料２００及び固定治具１０に対する吸着を解除する。
【０１１９】
また、このとき、ステージ１１０上に形成された孔部１１０Ａ及び溝部（小孔）１１０Ｂからエアーが吸引されることにより、基板材料２００及び固定治具１０がステージ１１０上に吸着・保持される。そして、これにより、基板材料２００の周縁部が固定治具１０の押さえ部１４により密閉される（図６、図７参照）。なお、基板材料２００及び固定治具１０を解放した取付板５１は所定の高さまで昇降機構５８によって上昇する。
【０１２０】
ステージ１１０上に載置された基板材料２００の周縁部が固定治具１０によって密閉されたら、そのステージ１１０は搬送方向へ移動し、ＣＣＤカメラ１１８によるアライメント処理及び露光ヘッド１２０による露光処理が実行される。すなわち、上記したように、基板材料２００のアライメントマークがＣＣＤカメラ１１８によって検出され、画像情報に基づく画像が露光ヘッド１２０によって露光され、プリント配線基板の配線パターン等の潜像（画像）が基板材料２００の描画領域に形成される。
【０１２１】
基板材料２００に対する露光処理が完了すると、ステージ１１０は基板材料２００が載置された初期位置（ロード・アンロード位置）へ復帰移動する。すると、第１吸着ユニット５０の取付板５１が昇降機構５８によって下降し、ステージ１１０上の固定治具１０のみを、その縁端部側の第１吸着装置５４Ａによって吸着し、再度所定の高さまで上昇する。
【０１２２】
なお、昇降機構５８の上昇に伴い、ステージ１１０の孔部１１０Ａ及び溝部（小孔）１１０Ｂから上方に向かってエアーを吹き出させ、固定治具１０をステージ１１０上から除去しやすくするような構成としてもよい。また、このとき既に、ローダー３２の無端ベルト３８上には、次の新しい未露光の基板材料２００が載置されている。この状態を図１９（Ａ）で示す。
【０１２３】
こうして、固定治具１０のみを第１吸着ユニット５０が吸着・保持したら、駆動モーター４７によってボールねじ４８が回転することにより、第１走行体４０がローダー３２側へ移動する。そして、第１吸着ユニット５０の取付板５１が昇降機構５８によって下降し、それに設けられている中心部側の第２吸着装置５４Ｂの吸盤８４が、先端開口からエアーが吸引されることにより、ローダー３２上の新しい未露光の基板材料２００を吸着する。
【０１２４】
なお、このときも、第１吸着装置５４Ａの吸盤８４は、第２コイルばね９８によって高さ方向へ移動するので、開口部１２から露出している基板材料２００を第２吸着装置５４Ｂによって確実に吸着することができる。
【０１２５】
また、これと同時に、第２吸着ユニット５２の取付板５３が昇降機構５９によって下降し、それに設けられている中心部側の第２吸着装置５６Ｂの吸盤８６が、先端開口からエアーが吸引されることにより、ステージ１１０上の露光済みの基板材料２００を吸着する。この状態を図１９（Ｂ）で示す。その後、第１吸着ユニット５０の取付板５１及び第２吸着ユニット５２の取付板５３は、それぞれ昇降機構５８、５９によって所定の高さまで上昇する。
【０１２６】
第２吸着ユニット５２が露光済みの基板材料２００を吸着・保持し、既に固定治具１０を吸着・保持している第１吸着ユニット５０が新しい未露光の基板材料２００を吸着・保持すると、第１走行体４０が、駆動モーター４７によってボールねじ４８が回転することにより、ステージ１１０側（アンローダー３４側）へ移動する。このとき、第２走行体４２は第１走行体４０と連結手段６０によって連結されているので、第２走行体４２も第１走行体４０と一体になってアンローダー３４側へ移動する。この状態を図２０（Ａ）で示す。
【０１２７】
第１走行体４０がステージ１１０の上方に移動して停止すると（ボールねじ４８の回転が停止すると）、第１吸着ユニット５０の取付板５１が昇降機構５８によって下降し、基板材料２００をステージ１１０上に載置するとともに、固定治具１０をステージ１１０上に載置する。そして、第２吸着装置５４Ｂ及び第１吸着装置５４Ａの吸盤８４において、エアーの吸引を停止して、基板材料２００に対する吸着を解除する。
【０１２８】
一方、第２吸着ユニット５２がアンローダー３４の上方に移動すると、昇降機構５９によって取付板５３が下降し、基板材料２００を無端ベルト３９上に載置する。そして、中心部側の第２吸着装置５６Ｂの吸盤８６において、エアーの吸引を停止して、基板材料２００に対する吸着を解除し、その後、取付板５３が所定高さまで上昇する。この状態を図２０（Ｂ）で示す。なお、アンローダー３４の無端ベルト３９上に載置された基板材料２００は、図示しない機外の搬送コンベアへ搬送され、次工程へ搬送される。
【０１２９】
他方、基板材料２００及び固定治具１０がセットされたステージ１１０は搬送方向に移動し、上記と同様にアライメント処理及び露光処理が実行される。以降、このような動作を繰り返し行うことにより、基板材料２００が順次処理される。
【０１３０】
なお、第１吸着ユニット５０で固定治具１０を吸着・搬送する場合でも、第２吸着ユニット５２で固定治具１０を吸着・搬送する場合でも、全ての基板材料２００の処理が終了した後は、上記と同様に、第１走行体４０と第２走行体４２との連結を解除して、ステージ１１０上から人手により固定治具１０を取り出せばよい。
【０１３１】
［固定治具の変形例］
次に、固定治具１０の変形例について説明する。図２１で示すように、この固定治具１０の各縁端部には、ステージ１１０上で最も外側に穿設されている孔部１１０Ａが略１列分だけ露出するような切欠部２２（検出手段）が形成されている。このような構成にすると、固定治具１０の位置が許容範囲以上ずれてしまった場合には、最も外側の孔部１１０Ａ及び溝部（小孔）１１０Ｂからのエアーの吸引力（負圧力）が変化して、基板材料２００に対する吸着不良が発生するので、それによって、固定治具１０の位置ずれが容易に認識（検出）できる。
【０１３２】
更に、固定治具１０において、各吸着ユニット５０、５２の縁端部（コーナー部）側の第１吸着装置５４Ａ、５６Ａが吸着する部位に、吸盤８４、８６よりも若干大径な円形の溝部２４（検出手段）を形成してもよい。このような溝部２４を形成すれば、固定治具１０に対する吸盤８４、８６の吸着位置がずれた場合には、その溝部２４により吸盤８４、８６の吸着力（エアーの吸引力）が不充分となって、基板材料２００に対する吸着不良が発生するので、それによって、固定治具１０に対する吸盤８４、８６の位置ずれが容易に認識（検出）できる。したがって、固定治具１０がずれたまま搬送されることによって起きるトラブルを防止することができる。
【０１３３】
その他、コントローラー１３０には、固定治具１０を使用する場合と使用しない場合とに切り替えられる切替手段としてのモード切替スイッチ１３２が備えられている。したがって、このレーザー露光装置１００は、厚さが異なる基板材料２００に対して柔軟に対応することができる。つまり、このレーザー露光装置１００は、固定治具１０を使用しない基板材料２００の場合には、その処理タクトを変化させることなく（最も短いタクトタイムで）、露光処理が実行できる。
【０１３４】
また更に、このレーザー露光装置１００では、未露光の基板材料２００を自動的に吸着してローダー３２からステージ１１０上へ搬送する第１吸着ユニット５０と、露光済みの基板材料２００を自動的に吸着してステージ１１０上からアンローダー３４へ搬送する第２吸着ユニット５２を一体的に移動可能としているので、両方の作業を同時に行うことができる。したがって、ステージ１１０に対する基板材料２００及び固定治具１０の搬入・搬出のタクトタイムを最短にできる。
【０１３５】
また、第１吸着ユニット５０を釣支する第１走行体４０と、第２吸着ユニット５２を釣支する第２走行体４２との連結を必要に応じて解除し、両者を別々に移動可能としたので、ステージ１１０上への人手による固定治具１０の搬入・搬出時に、第１吸着ユニット５０及び第２吸着ユニット５２を邪魔にならない位置へ移動させることができる。よって、その固定治具１０の搬入・搬出作業を容易に行うことができる。なお、連結手段６０の構成は図示のものに限定されるものではなく、任意の構成を採用できる。
【０１３６】
また、第１走行体４０は、基板材料２００をステージ１１０上に載置する第１吸着ユニット５０を支持し、第２走行体４２は、基板材料２００をステージ１１０上から取り除く第２吸着ユニット５２を支持するので、第１走行体４０にのみ、ボールねじ４８や駆動モーター４７等で構成された駆動手段が作用している。
【０１３７】
つまり、ローダー３２からステージ１１０上へ基板材料２００を載置する作業には、位置精度が必要であるが、ステージ１１０からアンローダー３４へ基板材料２００を載置する作業には、それほど高い位置精度が必要とされない場合がある。換言すれば、第２走行体４２は、連結部材６４（回動部６６）と被連結部材６２との間に多少のがたつきがあっても、ステージ１１０からアンローダー３４まで移動可能とされていればよい。
【０１３８】
したがって、第１走行体４０にのみ、ボールねじ４８が螺合するガイド部材４１が設けられており、これによって、第１吸着ユニット５０を精度よく移動させることができる。すなわち、基板材料２００を一定の誤差範囲内で、その面中心がステージ１１０の面中心と一致するように載置することができる。また、このような構成により、ボールねじ４８の配設距離が短くて済む利点もある。
【０１３９】
以上、何れにしても、本発明によれば、ステージ１１０上にエアーの吸引力によって吸着した際に、周縁部が浮き上がってしまうような厚さの薄い（例えば１ｍｍ未満の）基板材料２００であっても、固定治具１０により、その周縁部を確実に押さえる（固定する）ことができる。したがって、ＣＣＤカメラ１１８によるアライメント処理を好適に実行することができ、露光ヘッド１２０による露光処理も好適に実行することができる。つまり、このような基板材料２００に対して、正確に画像を形成することができる。
【０１４０】
また、本発明によれば、その固定治具１０を、第１吸着ユニット５０又は第２吸着ユニット５２により、効率よくステージ１１０上に載置（供給）することができるとともに、ステージ１１０上から除去することができる。なお、本発明に係る基板搬送装置３０及びレーザー露光装置１００は、上記実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、適宜設計変更可能なものである。
【図面の簡単な説明】
【０１４１】
【図１】レーザー露光装置の概略斜視図
【図２】基板搬送装置とレーザー露光装置を示す概略斜視図
【図３】基板搬送装置とレーザー露光装置を示す概略平面図
【図４】（Ａ）固定治具の概略斜視図、（Ｂ）（Ａ）のＸ−Ｘ線矢視概略断面図
【図５】ステージと基板材料と固定治具を示す概略斜視図
【図６】ステージに吸着された基板材料と固定治具を示す概略断面図
【図７】ステージに吸着された基板材料と固定治具を示す一部拡大概略斜視図
【図８】（Ａ）ステージ上に位置決めされた固定治具を示す概略平面図、（Ｂ）吸着ユニットに取り付けられた吸着装置の配置状態を示す概略平面図
【図９】吸着ユニットに取り付けられた吸着装置の概略側面図
【図１０】（Ａ）露光ヘッドによる露光領域を示す概略平面図、（Ｂ）露光ヘッドの配列パターンを示す概略平面図
【図１１】吸着ユニットをステージの上方から排除した状態を示す概略側面図
【図１２】吸着ユニットをステージの上方から排除した状態を示す概略平面図
【図１３】第２吸着ユニットによって固定治具を吸着・搬送する工程を示す概略側面図
【図１４】第２吸着ユニットによって固定治具を吸着・搬送する工程を示す概略側面図
【図１５】第２吸着ユニットによって固定治具を吸着・搬送する工程を示す概略側面図
【図１６】第２吸着ユニットによって固定治具を吸着・搬送する工程を示す概略側面図
【図１７】第１吸着ユニットによって固定治具を吸着・搬送する工程を示す概略側面図
【図１８】第１吸着ユニットによって固定治具を吸着・搬送する工程を示す概略側面図
【図１９】第１吸着ユニットによって固定治具を吸着・搬送する工程を示す概略側面図
【図２０】第１吸着ユニットによって固定治具を吸着・搬送する工程を示す概略側面図
【図２１】固定治具の変形例を示す概略平面図
【符号の説明】
【０１４２】
１０ 固定治具
１２ 開口部
１４ 押さえ部
１６ 剛性部材
１８ 弾性部材
２０ 易剥離部材
２２ 切欠部（検出手段）
２４ 溝部（検出手段）
２６ 位置決め部材
２８ 切欠部
３０ 基板搬送装置（ワーク搬送装置）
３２ ローダー（搬入部）
３４ アンローダー（搬出部）
４０ 第１走行体
４２ 第２走行体
５０ 第１吸着ユニット
５２ 第２吸着ユニット
５４ 吸着装置
５４Ａ 第１吸着装置
５４Ｂ 第２吸着装置
５６ 吸着装置
５６Ａ 第１吸着装置
５６Ｂ 第２吸着装置
８４ 吸盤
８６ 吸盤
９５ 第１コイルばね
９８ 第２コイルばね（緩衝機構）
１００ レーザー露光装置（画像形成装置）
１１０ ステージ
１１２ ボールねじ（移動機構）
１１４ モーター（移動機構）
１１８ ＣＣＤカメラ（測定部）
１２０ 露光ヘッド（露光部）
１３０ コントローラー
１３２ モード切替スイッチ（切替手段）
２００ 基板材料（ワーク）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線基板等のワークを搬送するワーク搬送装置と方法に関し、更には、画像情報に基づいて変調された光ビームによりワークの描画領域を露光して画像を形成する画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えばプリント配線基板（以下「ワーク」又は「基板材料」という場合がある）等に配線パターンを形成する画像形成装置としてのレーザー露光装置が知られている。このレーザー露光装置には、画像露光の対象となるプリント配線基板を載置する（ロードする）ステージが備えられ、そのステージを所定の搬送経路に沿って移動させるようになっている。
【０００３】
具体的に説明すると、まず、プリント配線基板は、ステージの上面に位置決め載置され、ステージの上面に設けられた多数の孔部からエアーが吸引されることによって、そのステージ上に吸着・保持される。プリント配線基板がステージ上に吸着・保持されたら、そのステージは、所定の速度で副走査方向へ移動し、所定の測定位置において、そのプリント配線基板に設けられた位置合わせ孔（以下「アライメントマーク」という）がＣＣＤカメラによって撮像される。そして、その撮像によって得られたプリント配線基板の位置に合わせて、描画座標系中の描画対象領域を座標変換することにより、画像情報に対するアライメント処理が実行される。
【０００４】
アライメント処理の実行後、ステージ上のプリント配線基板は、所定の露光位置において、画像情報に基づいて変調され、ポリゴンミラーにより主走査方向へ偏向されたレーザービームによって、その上面に形成された感光性塗膜が走査、露光処理される。これにより、プリント配線基板上の所定の領域（描画領域）に、画像情報に基づく（配線パターンに対応する）画像（潜像）が形成される。
【０００５】
そして、画像（潜像）が形成されたプリント配線基板は、ステージが初期位置に復帰移動した後、そのステージ上から取り出され（アンロードされ）、プリント配線基板が取り除かれたステージは、次のプリント配線基板を露光する工程に移行するようになっている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−３３８４３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このようなレーザー露光装置において、比較的厚さの薄い（例えば、厚さが１ｍｍ未満の）プリント配線基板を露光処理する場合がある。この場合には、エアーによる吸引力が強いと、ステージ上に波打つように基板が吸着され、その周縁部が浮き上がってしまうという不具合が発生する。したがって、この場合には、例えば、プリント配線基板の周縁部を補助的に押さえる治具などが設けられる。
【０００７】
しかしながら、このような治具を備えていてもステージ上への基板搬入及びステージ上からの基板搬出を効率よく行えるようにする必要がある。つまり、このような治具が設けられていても、プリント配線基板の製造効率ができるだけ低下しないようにすることが望ましい。
【０００８】
そこで、本発明は、上記事情に鑑み、ワークの周縁部をステージ上に固定できる治具及びワークをステージ上へ効率よく供給できるようにしたワーク搬送装置と方法、更には、そのワーク搬送装置を備えた画像形成装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するために、本発明に係る請求項１に記載のワーク搬送装置は、搬入部に載置されたワークを複数の吸着装置で吸着し、ステージへ搬送する第１吸着ユニットと、前記ステージ上のワークを複数の吸着装置で吸着し、搬出部へ搬送する第２吸着ユニットと、前記ステージ上にセットされ、前記ワークの周縁部を密閉するとともに、該ワークの周縁部を除く領域を露出させる開口部が形成された固定治具と、を備え、前記第１吸着ユニット及び前記第２吸着ユニットが、前記固定治具を吸着するために縁端部側に配置された第１吸着装置と、前記開口部から露出している前記ワークを吸着するために中心部側に配置された第２吸着装置と、を有することを特徴としている。
【００１０】
請求項１に記載の発明によれば、ワークの周縁部の浮き上がりを押さえる固定治具を、第１吸着ユニット又は第２吸着ユニットにより効率よくステージ上へ供給することができる。
【００１１】
また、請求項２に記載のワーク搬送装置は、請求項１に記載のワーク搬送装置において、前記固定治具に、前記第１吸着装置による吸着位置がずれたことを検出できる検出手段を形成したことを特徴としている。
【００１２】
請求項２に記載の発明によれば、第１吸着装置により固定治具を吸着した際、その位置ずれを検出することができる。したがって、固定治具がずれたまま搬送されることによって起きるトラブルを防止することができる。
【００１３】
更に、請求項３に記載のワーク搬送装置は、請求項１又は請求項２に記載のワーク搬送装置において、少なくとも前記第１吸着装置に、緩衝機構を備えたことを特徴としている。
【００１４】
請求項３に記載の発明によれば、第１吸着装置により固定治具を吸着した状態で、第２吸着装置によりワークを吸着する際に、その固定治具の厚さ分の高さ位置の違いを吸収することができる。
【００１５】
そして、本発明に係る請求項４に記載の画像形成装置は、請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載のワーク搬送装置と、前記ステージを所定の搬送経路に沿って移動させる移動機構と、前記移動機構によって移動させるステージ上のワークのアライメントマークを検出する測定部と、前記ステージ上のワークの前記周縁部を除く領域を、前記測定部の検出結果によりアライメント処理された画像情報に基づいて変調された光ビームにより露光し、該領域に画像を形成する露光部と、を有することを特徴としている。
【００１６】
請求項４に記載の発明によれば、上記のようなワーク搬送装置を備えているので、ステージに対するワーク及び固定治具の供給を効率よく行うことができる。また、その固定治具により、ワークが確実にステージ上に固定されるので、そのワークに対して正確に画像を形成することができる。
【００１７】
また、請求項５に記載のワーク搬送装置は、請求項４に記載の画像形成装置において、前記固定治具を吸着するモードと吸着しないモードへ切り替える切替手段を有することを特徴としている。
【００１８】
請求項５に記載の発明によれば、固定治具を必要とするワークと、固定治具を必要としないワークの両方に対して露光処理を実行することができる。
【００１９】
更に、本発明に係る請求項６に記載のワーク搬送方法は、搬入部に載置されたワークを複数の吸着装置で吸着し、ステージへ搬送する第１吸着ユニットと、前記ステージ上のワークを複数の吸着装置で吸着し、搬出部へ搬送する第２吸着ユニットと、前記ステージ上にセットされ、前記ワークの周縁部を密閉するとともに、該ワークの周縁部を除く領域を露出させる開口部が形成された固定治具と、を備えたワーク搬送方法であって、前記第１吸着ユニット又は前記第２吸着ユニットの縁端部側に配置された第１吸着装置で、前記固定治具を吸着し、前記第１吸着ユニット又は前記第２吸着ユニットの中心部側に配置された第２吸着装置で、前記開口部から露出している前記ワークを吸着し、該ワーク及び前記固定治具を前記ステージへ載置又は前記ステージから除去することを特徴としている。
【００２０】
請求項６に記載の発明によれば、ワークの周縁部の浮き上がりを押さえる固定治具を、第１吸着ユニット又は第２吸着ユニットにより効率よくステージ上へ供給することができる。
【００２１】
また、請求項７に記載のワーク搬送方法は、請求項６に記載のワーク搬送方法において、前記第２吸着ユニットの第１吸着装置によってステージ上の固定治具を吸着するとともに、前記第１吸着ユニットの第２吸着装置によって搬入部上のワークを吸着し、その後、第１吸着ユニット及び第２吸着ユニットが搬出部側へ移動して、前記第１吸着ユニットの第２吸着装置が吸着を解除することにより、前記ワークをステージ上に載置し、次いで、第１吸着ユニット及び第２吸着ユニットが搬入部側へ移動して、前記第２吸着ユニットの第１吸着装置が吸着を解除することにより、前記固定治具をステージ上に載置し、該固定治具によって前記ワークの周縁部を密閉することを特徴としている。
【００２２】
そして、請求項８に記載のワーク搬送方法は、請求項６に記載のワーク搬送方法において、前記第１吸着ユニットの第１吸着装置によってステージ上の固定治具を吸着した後、第１吸着ユニット及び第２吸着ユニットが搬入部側へ移動し、前記第１吸着ユニットの第２吸着装置によって搬入部上のワークを吸着し、その後、第１吸着ユニット及び第２吸着ユニットが搬出部側へ移動して、前記第１吸着ユニットの第２吸着装置が吸着を解除することにより、前記ワークをステージ上に載置するとともに、前記第１吸着ユニットの第１吸着装置が吸着を解除することにより、前記固定治具をステージ上に載置し、該固定治具によって前記ワークの周縁部を密閉することを特徴としている。
【００２３】
請求項７又は請求項８に記載の発明によれば、第１吸着ユニット又は第２吸着ユニットにより、固定治具を効率よくステージ上へ供給することができる。
【００２４】
また、請求項９に記載のワーク搬送方法は、請求項６乃至請求項８の何れか１項に記載のワーク搬送方法において、前記固定治具が、ワークの位置決め部材により前記ステージ上に位置決め載置され、その後、前記第１吸着ユニット又は前記第２吸着ユニットの第１吸着装置によって吸着されることを特徴としている。
【００２５】
請求項９に記載の発明によれば、ワークの位置決め部材を固定治具の位置決め部材として兼用できる。したがって、固定治具の位置決めが容易にできる。また、別途固定治具用の位置決め部材を用意する必要がないので、コストの増加を防止することができる。
【発明の効果】
【００２６】
以上のように、本発明によれば、ワークの周縁部をステージ上に固定できる治具及びワークをステージ上へ効率よく供給できるようにしたワーク搬送装置と方法、更には、そのワーク搬送装置を備えた画像形成装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の最良な実施の形態について、図面に示す実施例を基に詳細に説明する。図１は本発明に係る画像形成装置としての一例を示すレーザー露光装置の概略斜視図である。また、図２は基板（ワーク）搬送装置とレーザー露光装置を示す概略斜視図であり、図３は同じく概略平面図である。そして、図４は固定治具の概略斜視図と概略断面図であり、図５はステージと基板材料と固定治具の概略斜視図、図６は同じく概略側断面図である。なお、図１において、矢印Ｍを幅方向、矢印Ｓを搬送方向とし、矢印Ｓと反対の方向を走査方向とする。
【００２８】
［レーザー露光装置の構成］
まず最初に、レーザー露光装置１００について説明する。図１で示すように、このレーザー露光装置１００は、６本の脚部１０４に支持された矩形厚板状の設置台１０２を備えている。設置台１０２の上面には、長手方向（搬送方向）に沿って２本のガイドレール１０６が配設されており、これら２本のガイドレール１０６上には、ガイド部１０８を介して矩形平板状のステージ１１０が設けられている。
【００２９】
ステージ１１０は、長手方向がガイドレール１０６の延設方向（搬送方向）を向くように配置され、ガイドレール１０６及びガイド部１０８によって設置台１０２上を任意の移動機構によって往復移動可能に支持されている。すなわち、例えばモーター１１４及びボールねじ１１２等の移動機構によって、ガイドレール１０６に沿って所定の速度で往復移動するように構成されている。
【００３０】
ステージ１１０の上面には、露光対象物となる矩形平板状の基板材料２００が、図８（Ａ）で示すような位置決め部材２６により、所定の位置に位置決めされた状態で載置される。また、このステージ１１０の上面には、図５で示すように、複数の孔部１１０Ａが穿設されている。
【００３１】
そして、図６で示すように、ステージ１１０の内部が負圧供給源（図示省略）によって負圧とされることにより、孔部１１０Ａからエアーが吸引され、その吸引力によって基板材料２００がステージ１１０の上面に吸着・保持されるようになっている。なお、ステージ１１０上には、孔部１１０Ａの外方側に矩形枠状に溝部１１０Ｂが形成されており、この溝部１１０Ｂ内に形成された複数の小孔からもエアーが吸引されるようになっている。
【００３２】
また、基板材料２００の厚さが、例えば１ｍｍ未満であり、エアーの吸引力によって波打つようにステージ１１０上に吸着されて、その周縁部が浮き上がってしまう場合には、図５乃至図７で示すように、上面（非接触面）が黒色とされた固定治具１０（後述）をステージ１１０上にセットして、基板材料２００の周縁部における浮き上がりを防止し、基板材料２００がステージ１１０の上面に確実に固定されるように補助する。なお、このとき、固定治具１０は、孔部１１０Ａ及び溝部（小孔）１１０Ｂによって、ステージ１１０上に吸着・保持される。
【００３３】
また、基板材料２００には、その被露光面上の描画領域における露光位置の基準を示すアライメントマーク（図示省略）が複数設けられている。このアライメントマークは、例えば円形の貫通孔によって構成され、基板材料２００の周縁部を除く四隅近傍にそれぞれ１個ずつ計４個配設される。
【００３４】
設置台１０２の中央部には、ステージ１１０の移動経路を跨ぐように略「コ」字状のゲート１１６が設けられている。ゲート１１６は、両端部がそれぞれ設置台１０２に固定されており、ゲート１１６を挟んで、一方の側には基板材料２００を露光する露光ヘッド（露光部）１２０が設けられ、他方の側には基板材料２００に設けられたアライメントマークを撮影する複数（例えば４台）のＣＣＤカメラ（測定部）１１８が設けられている。
【００３５】
したがって、基板材料２００がステージ１１０の移動に伴ってＣＣＤカメラ１１８の下方を通過する際に、そのＣＣＤカメラ１１８によるアライメントマークの測定が行われる。すなわち、各ＣＣＤカメラ１１８は、基板材料２００のアライメントマークが所定の撮影位置に至ったタイミングで、ストロボ光源を発光させ、基板材料２００へ照射したストロボ光の基板材料２００上面での反射光を、レンズを介してカメラ本体に入力させることにより、そのアライメントマークを撮影する。
【００３６】
また、ステージ１１０を移動させるための移動機構（モーター１１４及びボールねじ１１２）、ＣＣＤカメラ１１８、露光ヘッド１２０等は、これらを制御するコントローラー１３０に接続されている。このコントローラー１３０により、ステージ１１０は所定の速度で移動するように制御され、ＣＣＤカメラ１１８は所定のタイミングで基板材料２００のアライメントマークを撮影するように制御され、露光ヘッド１２０は所定のタイミングで基板材料２００を露光するように制御される。
【００３７】
露光ヘッド１２０は、ｍ行ｎ列（例えば２行４列）の略マトリックス状に配列されている。そして、図１０（Ｂ）で示すように、露光ヘッド１２０による露光エリア１２２は、例えば搬送方向（走査方向）を短辺とする矩形状に構成されている。したがって、基板材料２００には、その搬送方向への移動動作に伴って、露光ヘッド１２０毎に帯状の露光済み領域２０２が走査方向に形成される（図１０（Ａ）参照）。
【００３８】
また、帯状の露光済み領域２０２が搬送方向（走査方向）と直交する幅方向に隙間無く並ぶように、ライン状に配列された各行の露光ヘッド１２０の各々は、配列方向に所定間隔（露光エリア１２２の長辺の自然数倍）ずらして配置されている。このため、例えば第１行目の露光エリア１２２間で露光できない部分は、第２行目の露光エリア１２２により露光することができる。
【００３９】
各露光ヘッド１２０は、それぞれ入射されたレーザービームを画像データに応じて各画素毎に変調する空間光変調素子としてのデジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）（図示省略）を備えている。このＤＭＤは、データ処理部とミラー駆動制御部を備えた上記コントローラー１３０に接続されている。
【００４０】
コントローラー１３０のデータ処理部では、入力された画像データに基づいて、各露光ヘッド１２０毎にＤＭＤの制御すべき領域内の各マイクロミラーを駆動制御する制御信号を生成する。また、ミラー駆動制御部では、データ処理部で生成した制御信号に基づいて、各露光ヘッド１２０毎にＤＭＤにおける各マイクロミラーの反射面の角度を制御する。
【００４１】
各露光ヘッド１２０におけるＤＭＤの光入射側には、マルチビームをレーザー光として出射する照明装置１２６から引き出されたバンドル状の光ファイバー１２４が接続されている。照明装置１２６は、その内部に複数の半導体レーザーチップから出射されたレーザー光を合波して光ファイバーに入力する合波モジュールが複数個設置されている。各合波モジュールから延びる光ファイバーは、合波したレーザー光を伝搬する合波光ファイバーであって、複数の光ファイバーが１つに束ねられてバンドル状の光ファイバー１２４として形成されている。
【００４２】
［レーザー露光装置の作用］
次に、以上のような構成のレーザー露光装置１００の作用について説明する。なお、レーザー露光装置１００により画像露光を行う基板材料（ワーク）２００としては、プリント配線基板や液晶表示素子等のパターンを形成（画像露光）する材料としての基板や、ガラスプレート等の表面に感光性エポキシ樹脂等のフォトレジストを塗布、又はドライフィルムの場合はラミネートしたものなどが挙げられる。
【００４３】
まず、図２、図３で示す基板搬送装置３０（後述）によって、基板材料２００がステージ１１０の上面に位置決め載置されると、その基板材料２００は、孔部１１０Ａからのエアーの吸引によりステージ１１０の上面に吸着・保持される。
【００４４】
このとき、基板材料２００が、例えば１ｍｍ未満の薄い基板で、エアーの吸引力によりその周縁部が浮き上がってしまう場合には、後述する固定治具１０をステージ１１０上にセットして、その固定治具１０により基板材料２００の周縁部を押さえる。このとき、固定治具１０は孔部１１０Ａ及び溝部（小孔）１１０Ｂからのエアーの吸引力により、ステージ１１０上に吸着・保持される。
【００４５】
こうして、基板材料２００（及び固定治具１０）をステージ１１０の上面に吸着・保持（固定）したら、ステージ１１０が搬送方向へ移動し始め、基板材料２００がＣＣＤカメラ１１８によるアライメント検出工程及び露光ヘッド１２０による露光工程へと搬送される。すなわち、オペレーターがコントローラー１３０の指示入力手段から露光開始の入力操作を行うことにより、レーザー露光装置１００の露光動作が開始される。
【００４６】
まず、コントローラー１３０により移動機構（モーター１１４及びボールねじ１１２）が制御され、基板材料２００（及び固定治具１０）を上面に吸着・保持したステージ１１０が、ガイドレール１０６に沿って搬送方向に一定速度で移動を開始する。このステージ１１０の移動開始に同期して、又は基板材料２００の先端が各ＣＣＤカメラ１１８の真下に達する少し手前のタイミングで、各ＣＣＤカメラ１１８はコントローラー１３０により制御されて作動を開始する。
【００４７】
すなわち、例えば基板材料２００の移動方向下流側（前端側）の角部近傍に設けられた２個のアライメントマークが、各ＣＣＤカメラ１１８におけるレンズの光軸上（ＣＣＤカメラ１１８の真下）に達すると、各ＣＣＤカメラ１１８は、所定のタイミングでストロボ光源を発光し、各アライメントマークを撮影する。そして、撮影された画像データ（基準位置データ）は、コントローラー１３０のデータ処理部へ出力される。
【００４８】
データ処理部は、入力された各アライメントマークの画像データ（基準位置データ）から判明する画像内におけるアライメントマークの位置及びアライメントマーク間のピッチ等と、そのアライメントマークを撮影したときのステージ１１０の位置及びＣＣＤカメラ１１８の位置から、演算処理によって、ステージ１１０上における基板材料２００の位置ずれ、移動方向に対する傾き、寸法精度誤差等を把握し、基板材料２００の被露光面に対する適正な露光位置を算出する。
【００４９】
ここで、露光パターンに応じた画像データは、コントローラー１３０内のメモリーに一旦記憶されている。したがって、露光ヘッド１２０による画像露光時に、そのメモリーに記憶されている露光パターンの画像データに基づいて生成する制御信号を、上記した適正な露光位置に合わせ込んで画像露光する補正制御（アライメント）を実行する。なお、この画像データは、画像を構成する各画素の濃度を２値（ドットの記録の有無）で表したデータである。
【００５０】
こうして、各ＣＣＤカメラ１１８によるアライメントマークの測定（撮影）が完了すると、ステージ１１０は移動機構（モーター１１４及びボールねじ１１２）の駆動により、ガイドレール１０６に沿って露光位置へ移動する。そして、基板材料２００はステージ１１０の移動に伴い、露光ヘッド１２０の下方を搬送方向下流側へ移動し、被露光面の描画領域が露光開始位置に達すると、各露光ヘッド１２０はレーザービームを照射して基板材料２００の被露光面（描画領域）に対する画像露光を開始する。
【００５１】
すなわち、コントローラー１３０のメモリーに記憶された画像データが複数ライン分ずつ順次読み出され、データ処理部で読み出された画像データに基づいて各露光ヘッド１２０毎に制御信号が生成される。この制御信号には、補正制御（アライメント）により、アライメント測定した基板材料２００に対する露光位置ずれの補正が加えられている。そして、ミラー駆動制御部は、生成及び補正された制御信号に基づいて各露光ヘッド１２０毎にＤＭＤのマイクロミラーの各々をオン・オフ制御する。
【００５２】
照明装置１２６の光ファイバー１２４から出射されたレーザー光がＤＭＤに照射されると、ＤＭＤのマイクロミラーがオン状態のときに反射されたレーザー光が、レンズ系により基板材料２００の被露光面上に結像される。つまり、照明装置１２６から出射されたレーザー光が画素毎にオン・オフされて、基板材料２００がＤＭＤの使用画素数と略同数の画素単位で露光される。なお、このとき、固定治具１０が設けられていても、その上面は黒色とされているので、照射されたレーザー光の反射が防止される。
【００５３】
そして、基板材料２００がステージ１１０と共に一定速度で移動されることにより、基板材料２００が露光ヘッド１２０によってステージ１１０の移動方向（搬送方向）と反対の方向、即ち走査方向に露光され、各露光ヘッド１２０毎に帯状の露光済み領域２０２が形成される（図１０（Ａ）参照）。露光ヘッド１２０による基板材料２００への画像露光が完了すると、ステージ１１０は移動機構（モーター１１４及びボールねじ１１２）により、搬送方向と逆の方向（走査方向）へ移動し、基板材料２００が載置された初期位置に復帰する。
【００５４】
ステージ１１０が初期位置へ復帰移動すると、エアーの吸引による吸着（及び固定治具１０による固定状態）が解除され、図２、図３で示す基板搬送装置３０（後述）によってステージ１１０の上面から基板材料２００が取り除かれる。そして、ステージ１１０の上面から取り除かれた基板材料２００は、図示しない機外の搬送コンベアへ搬送され、次工程へ搬送される。
【００５５】
［固定治具の構成］
次に、以上のようなレーザー露光装置１００等の画像形成装置において使用される固定治具１０について詳細に説明する。この固定治具１０は、図４（Ａ）で示すように、中央に開口部１２が穿設された額縁状に形成され、基板材料２００の周縁部を除く描画領域が、その開口部１２から露出可能になっている。
【００５６】
固定治具１０の開口部１２を除く部位は基板材料２００の周縁部（所望とする描画領域外）を押さえる押さえ部１４とされており、この押さえ部１４は、材質の異なる部材が複数積層されて構成されている。すなわち、図４（Ｂ）で示すように、この押さえ部１４は、基板材料２００との非接触面側（上面側）から順に、剛性部材１６、弾性部材１８、易剥離部材２０が貼着されて構成されている。
【００５７】
剛性部材１６の一例としてはアルミニウム等の金属が挙げられる。また、弾性部材１８の一例としては硬度の比較的低いゴム等が挙げられる。更に、易剥離部材２０の一例としてはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等のプラスチックが挙げられる。なお、この易剥離部材２０は、剛性部材１６及び弾性部材１８に比べて厚さが非常に薄いので、図４（Ｂ）以外では、図示を省略している。
【００５８】
また、図８（Ａ）で示したように、位置決め部材２６は、ステージ１１０の中心に向く側が左右対称の階段状に切り欠かれており、それぞれ基板材料２００のサイズ変動に対応できるようになっている。すなわち、この切欠部２８は、最も内方側の切欠部２８Ａで最も小さい基板材料２００を位置決めできるようになっており、それよりも外方側の切欠部２８Ｂ、２８Ｃで、それよりも順に大きい基板材料２００をそれぞれ位置決めできるようになっている。
【００５９】
なお、固定治具１０の外形サイズは、ステージ１１０に形成された溝部（小孔）１１０Ｂで吸着できるサイズとされている。換言すれば、ステージ１１０上に載置される最大基板材料２００の外形サイズと同一とされている。したがって、固定治具１０をステージ１１０上に位置決め載置する際には、位置決め部材２６をステージ１１０の搬送方向端部側の所定位置へ移動させ、切欠部２８Ｃに固定治具１０の搬送方向側の短辺を突き当てて（合致させて）位置決めすればよく、これによって、その固定治具１０をステージ１１０上に容易に位置決め載置（セット）することができる。
【００６０】
また、図示しないが、固定治具１０は、基板材料２００のサイズ変動に対応して、開口部１２の大きさが異なるものが使用される。つまり、開口部１２の大きさが異なる固定治具１０が複数用意されて、基板材料２００のサイズ変動に対応できるようになっている。したがって、固定治具１０を使用して露光処理をする場合には、ステージ１１０上に載置可能な最大サイズの基板材料２００よりも小さいサイズの基板材料２００のみが対象となる。
【００６１】
また、上記したように、押さえ部１４（剛性部材１６）の上面（非接触面）は黒色とされることが好ましい。このような構成にすると、開口部１２から露出している基板材料２００の被露光面（描画領域）に対して、露光ヘッド１２０から照射されるレーザー光の反射を防止することができる。また、基板材料２００の周縁部に接触しない上面側（非接触面側）が、剛性部材１６とされていると、固定治具１０のハンドリング性（取扱性）が良好となる。つまり、ステージ１１０上へ固定治具１０を位置決め載置（セット）する作業が容易にできる。
【００６２】
何れにしても、基板材料２００及び固定治具１０をステージ１１０上に位置決め載置したら、又は位置決め載置しつつ、図６で示すように、ステージ１１０の内部が負圧とされて多数の孔部１１０Ａ及び溝部（小孔）１１０Ｂからエアーが吸引されることにより、基板材料２００及び固定治具１０がステージ１１０上に吸着・保持される。
【００６３】
そして、これにより、基板材料２００の周縁部を押さえる押さえ部１４の弾性部材１８が、図６、図７で示すように撓み変形して、その周縁部を好適に密閉する（密閉度が向上される）。したがって、基板材料２００が、例えば１ｍｍ未満の薄い基板で、エアーの吸引力により、その周縁部が浮き上がってしまうような場合でも、その周縁部（描画領域外）を固定治具１０により確実に押さえる（固定する）ことができる。よって、基板材料２００に正確に画像を形成することができる。
【００６４】
なお、固定治具１０を位置決めした後、位置決め部材２６はステージ１１０上から取り除かれる。また、このように基板材料２００を位置決めする位置決め部材２６によって固定治具１０を位置決め載置することができるので、別途固定治具１０を位置決めするための位置決め部材が必要とされない。したがって、コスト的にも好ましいものとなっている（コストの増加が防止されている）。
【００６５】
更に、基板材料２００に対する画像形成後、固定治具１０をステージ１１０上から取り外すときには、易剥離部材２０によって、基板材料２００から容易に剥離することができる。したがって、基板材料２００が固定治具１０にくっついて一緒に外されてしまうような不具合も発生しない。
【００６６】
［基板搬送装置の構成］
次に、以上のような固定治具１０を備えたレーザー露光装置１００へ基板材料２００を搬入し、かつレーザー露光装置１００から露光済みの基板材料２００を搬出する基板搬送装置３０について説明する。
【００６７】
図２、図３で示すように、レーザー露光装置１００のステージ１１０が移動する搬送方向と直交する左右両側で、かつステージ１１０の移動方向（搬送方向）始端側（ロード・アンロード位置）には、それぞれローダー（搬入部）３２とアンローダー（搬出部）３４が、そのステージ１１０に隣接して配置されている。今、図２、図３において、基板材料２００が右（矢印Ｒで示す）から搬入され、左（矢印Ｌで示す）から搬出されると仮定すると、右側がローダー３２となり、左側がアンローダー３４となる。
【００６８】
ローダー３２には、一対のローラー３６に巻回された無端ベルト３８が配設されており、機外から搬送されて来た基板材料２００をその無端ベルト３８上に受け止めるようになっている。なお、無端ベルト３８上に搬入された基板材料２００は、その無端ベルト３８上で、図示しない位置決め手段により位置決めされる構成である。
【００６９】
また、アンローダー３４にも、一対のローラー３７に巻回された無端ベルト３９が配設されており、その無端ベルト３９上に載置された露光済みの基板材料２００をアンローダー３４から機外の搬送コンベア（図示省略）へ搬送するようになっている。なお、ローダー３２及びアンローダー３４は、図示のものに限定されるものではなく、例えば無端ベルト３８、３９の代わりに、複数のローラーを並設して構成してもよい。
【００７０】
ローダー３２、ステージ１１０、アンローダー３４の上方には、ステージ１１０の移動方向（搬送方向）と直交する方向（幅方向）に、一対のガイドレール４６がフレーム４４を介して架設されており、そのガイドレール４６に、第１走行体４０と第２走行体４２が、それぞれ移動可能に支持されている。
【００７１】
また、ガイドレール４６の隣には、ボールねじ４８が、そのガイドレール４６と平行に架設されている。すなわち、ボールねじ４８の一端には、そのボールねじ４８を正逆方向に回転駆動する駆動モーター４７が取り付けられており、その駆動モーター４７がフレーム４４に支持されている。そして、ボールねじ４８の他端が、ベアリング等の軸受け（図示省略）を備えた支持ステー４９に支持されている。
【００７２】
また、第１走行体４０の搬送方向側には、ねじ孔（図示省略）を有するガイド部材４１が延設されており、このガイド部材４１のねじ孔（図示省略）にボールねじ４８が螺合している。したがって、第１走行体４０は、駆動モーター４７によってボールねじ４８が正逆方向に回転することにより、ガイド部材４１を介してガイドレール４６に沿って幅方向に往復移動可能となる構成である。
【００７３】
なお、ボールねじ４８は、ステージ１１０上まで延設されていれば充分である。すなわち、第２走行体４２は、後述する連結手段６０によって第１走行体４０と連結することにより一体で移動するため、第１走行体４０を移動させる距離だけ、ボールねじ４８が延伸されていれば足りる。また、第１走行体４０及び第２走行体４２を移動させる手段は、このような構成に限定されるものでないことは言うまでもない。
【００７４】
第１走行体４０には、第１吸着ユニット５０が昇降自在に取り付けられており、第２走行体４２には、第２吸着ユニット５２が昇降自在に取り付けられている。各吸着ユニット５０、５２は、それぞれの取付板５１、５３に複数の吸着装置５４、５６が同一高さになるように垂設されて構成されており、各吸着装置５４、５６の上部には、エアー吸引用のチューブ５５、５７（図１１参照）が接続されている。
【００７５】
各吸着装置５４、５６の先端（下端）に設けられた合成樹脂製の吸盤８４、８６（図９参照）は、側面視で同一高さになっており、底面視でその中央には、チューブ５５、５７と連通する開口（図示省略）が穿設されている。したがって、チューブ５５、５７を介して吸盤８４、８６の先端からエアーが吸引されることにより、基板材料２００及び固定治具１０の吸着が可能となる構成である。
【００７６】
また、取付板５１、５３は、図示しないＬＭガイドと駆動モーターからなる昇降機構５８、５９によって昇降移動可能となっている。したがって、基板材料２００の厚さの変化にも、柔軟に対応可能である。なお、この昇降機構５８、５９は独立して駆動できるように構成されている。
【００７７】
また、図２、図３、図１１、図１２で示すように、第１走行体４０と第２走行体４２は、連結手段６０によって着脱自在に連結されるようになっている。すなわち、第１走行体４０の上面には、被連結部材６２が第２走行体４２側に張り出すように設けられ、第２走行体４２の上面には、連結部材６４が第１走行体４０側に張り出すように設けられている。
【００７８】
連結部材６４の先端には、上方へ回動可能に枢支される回動部６６が設けられ、連結部材６４の下面には、回動部６６の下方への回動を阻止する支持プレート（図示省略）が第２走行体４２から延設されている。回動部６６の上面には、正面視略「コ」字状をなす把手７０が突設されており、回動部６６の先端には平面視略Ｔ字状をなす係合部７２が延設されている。この係合部７２が、被連結部材６２の先端に形成された平面視略Ｔ字状をなす溝部７４（図１２参照）に嵌合するようになっている。
【００７９】
また、被連結部材６２の下面には、溝部７４内に嵌入した係合部７２が下方に脱落するのを防止する支持プレート（図示省略）が第１走行体４０から延設されている。そして、この支持プレートには、図示しないセンサーが設けられており、係合部７２が溝部７４に嵌合したこと、及び係合部７２が溝部７４から外れたことを検出できるようになっている。
【００８０】
また、被連結部材６２の上面には、略円柱状の操作部６８に固定されて、水平方向に回動可能とされた略楕円形板状のストッパー７６が設けられている。このストッパー７６は、操作部６８を回動させることにより、他端が溝部７４に嵌合された係合部７２の上面へ張り出すように構成されており、不用意に係合部７２が上方に回動して溝部７４から外れるのを防止するようになっている。なお、このストッパー７６に対しても図示しないセンサーが配設されており、ストッパー７６の回動位置が判別されるようになっている。
【００８１】
［吸着装置の構成］
次に、第１吸着ユニット５０及び第２吸着ユニット５２に設けられている吸着装置５４、５６について説明する。なお、説明の便宜上、吸着装置５４について説明するが、吸着装置５６についても同様である。図８（Ｂ）で示すように、吸着装置５４は、取付板５１に複数個取り付けられている。
【００８２】
具体的には、吸着装置５４は、固定治具１０を吸着できるように、取付板５１の縁端部側に８個、対向する辺においては等間隔になるように取り付けられ、かつ、固定治具１０の開口部１２を通って（固定治具１０の開口部１２から露出している）基板材料２００を吸着できるように、取付板５１の中心部側に４個、略等間隔になるように取り付けられている。
【００８３】
なお、以下において、これら吸着装置５４を区別して説明する際には、取付板５１の縁端部側に取り付けられている吸着装置５４を「第１吸着装置５４Ａ」とし、取付板５１の中心部側に取り付けられている吸着装置５４を「第２吸着装置５４Ｂ」とする。したがって、取付板５３の縁端部側に取り付けられている吸着装置５６は「第１吸着装置５６Ａ」となり、取付板５３の中心部側に取り付けられている吸着装置５６は「第２吸着装置５６Ｂ」となる。
【００８４】
図９で示すように、吸着装置５４は、エアー吸引用の貫通孔（図示省略）が穿設されているパイプ８０を有し、そのパイプ８０の下端近傍の外周面にはフランジ８２が一体的に突設されている。そして、そのフランジ８２よりも下側のパイプ下端には、合成樹脂製の吸盤８４が取り付けられており、その吸盤８４の中央には、パイプ８０の貫通孔と連通する開口（図示省略）が穿設されている。
【００８５】
パイプ８０の上端には、チューブ５５を接続するための連結部材８８が設けられており、連結部材８８の内部には、パイプ８０の貫通孔と連通する導通孔（図示省略）が形成されている。また、チューブ５５の端部には、内部に導通孔が形成された接続部材７８が取り付けられており、この接続部材７８が連結部材８８と連通接続されるようになっている。これにより、吸盤８４に形成された開口からのエアーの吸引が可能となる構成である。
【００８６】
また、パイプ８０にはストッパー部材９０が挿嵌されている（ストッパー部材９０にパイプ８０が挿通されている）。このストッパー部材９０は、パイプ８０の外径と略等しい内径を有する筒部９２と、筒部９２の上端に一体的に形成され、筒部９２の外径よりも大径とされた円板状の回動操作部９３と、筒部９２の下端に固着され、取付板５１の取付孔（図示省略）に挿通係止される矩形板状の係止プレート９６とで構成されている。
【００８７】
更に、このストッパー部材９０の筒部９２には押さえ部材９４が挿嵌されている（押さえ部材９４に筒部９２が挿通されている）。この押さえ部材９４は、取付板５１の取付孔に挿通不能となるような大きさの円板状に形成されており、その中心に穿設された貫通孔（図示省略）の直径（内径）は、筒部９２の外径と略同一とされている。
【００８８】
そして更に、回動操作部９３と押さえ部材９４との間の筒部９２には、押さえ部材９４を常時係止プレート９６側へ付勢する第１コイルばね９５が挿嵌されており、係止プレート９６とフランジ８２との間のパイプ８０には、ストッパー部材９０（係止プレート９６）を常時連結部材８８側（上方）へ付勢する第２コイルばね９８が挿嵌されている。
【００８９】
以上のような構成の吸着装置５４によれば、第２コイルばね９８により、吸盤８４の高さ方向の移動を許容できる。つまり、この吸着装置５４は、高さ方向の緩衝機構を備えている。したがって、縁端部側に配設された第１吸着装置５４Ａの吸盤８４が固定治具１０を吸着していても、中心部側に配設された第２吸着装置５４Ｂの吸盤８４により基板材料２００を吸着する際には、第１吸着装置５４Ａの吸盤８４が第２コイルばね９８の付勢力に抗して上方に移動し（固定治具１０の厚さ分の高さ位置の違いを吸収し）、第２吸着装置５４Ｂの吸盤８４による基板材料２００の吸着を許容する構成である。
【００９０】
［固定治具、基板搬送装置及び吸着装置の作用］
次に、以上のような構成の固定治具１０、基板搬送装置３０及び吸着装置５４、５６の一連の作用について説明する。まず、最初に、第１走行体４０と第２走行体４２との連結を解除する。すなわち、被連結部材６２側において、操作部６８を回してストッパー７６を係合部７２の上面から退避させ、連結部材６４側の把手７０を把持して回動部６６を上方に回動し、係合部７２を溝部７４内から取り外す。この状態は、センサーの検出結果がコントローラー１３０の表示部１２８に表示されることによって確認できる。
【００９１】
こうして、連結部材６４と被連結部材６２との連結が解除されたら、第１吸着ユニット５０（第１走行体４０）をローダー３２側へ、第２吸着ユニット５２（第２走行体４２）をアンローダー３４側へ移動させる。つまり、第１吸着ユニット５０（第１走行体４０）は、駆動モーター４７によってボールねじ４８を回転させることにより移動させ、第２吸着ユニット５２（第２走行体４２）は、手動により移動させる。
【００９２】
第２走行体４２は、第１走行体４０との連結が解除されると、ガイドレール４６に沿ってフリーに移動できるため、人手で簡単に移動させることができる。この状態を図１１、図１２で示す。なお、第１吸着ユニット５０（第１走行体４０）が既にローダー３２の上方に位置している場合には、第２吸着ユニット５２（第２走行体４２）のみを移動させることは言うまでもない。
【００９３】
こうして、第１吸着ユニット５０及び第２吸着ユニット５２を移動させたら、手動により、固定治具１０をステージ１１０上に位置決め載置する。すなわち、図８（Ａ）で示すように、基板材料２００用の位置決め部材２６に形成された切欠部２８（最大サイズ用の切欠部２８Ｃ）を利用して固定治具１０をステージ１１０上へ位置決め載置する。このとき、ステージ１１０の上方には、第１吸着ユニット５０及び第２吸着ユニット５２が存在しておらず、固定治具１０の上面側（非接触面側）は剛性部材１６とされているので、固定治具１０をセットする作業が人手で容易にできる。
【００９４】
ステージ１１０上に固定治具１０をセットしたら、第１走行体４０と第２走行体４２とを連結する。すなわち、把手７０を把持して回動部６６を下方へ向けて回動し、係合部７２を溝部７４内に嵌入させる。そして、操作部６８を回してストッパー７６を係合部７２の上面に介在させる。なお、連結手段６０が確実に連結されたか否かも、各センサーの検出結果がコントローラー１３０の表示部１２８に表示されることによって把握できるので、連結不良が生じた状態での誤操作を回避することができる。
【００９５】
こうして、第１走行体４０と第２走行体が連結されたら、コントローラー１３０によって第１走行体４０の移動及び各吸着ユニット５０、５２の吸着動作を制御する。ここで、固定治具１０をステージ１１０上に載置又はステージ１１０上から除去する場合、第１吸着ユニット５０により吸着・搬送する場合と、第２吸着ユニット５２により吸着・搬送する場合の２通り考えられる。そこで、まず最初に、第２吸着ユニット５２によって固定治具１０を吸着・搬送する場合について、図１３乃至図１６を基に説明する。
【００９６】
ローダー３２の無端ベルト３８上に最初の基板材料２００が搬入され、図示しない位置決め手段によって位置決めされたら、第１吸着ユニット５０の取付板５１が昇降機構５８によって下降し、その取付板５１に設けられている中心部側の第２吸着装置５４Ｂの吸盤８４が、先端開口からエアーが吸引されることにより基板材料２００を吸着する。そして、それと同時に、第２吸着ユニット５２の取付板５３が昇降機構５９によって下降し、その取付板５３に設けられている縁端部側の第１吸着装置５６Ａの吸盤８６が、先端開口からエアーが吸引されることにより固定治具１０の上面を吸着する。
【００９７】
第２吸着装置５４Ｂが基板材料２００を吸着・保持したら、取付板５１が昇降機構５８によって上昇し、かつ、第１吸着装置５６Ａが固定治具１０を吸着・保持したら、取付板５３が昇降機構５９によって上昇する。この状態を図１３（Ａ）で示す。そして、その後、駆動モーター４７によってボールねじ４８が回転することにより、第１走行体４０がガイドレール４６に沿ってステージ１１０側（アンローダー３４側）へ移動する。このとき、第２走行体４２は第１走行体４０と連結手段６０によって連結されているので、第２走行体４２も第１走行体４０と一体になってアンローダー３４側へ移動する。
【００９８】
第１吸着ユニット５０がステージ１１０の上方に移動して停止すると（ボールねじ４８の回転が停止すると）、その取付板５１が昇降機構５８によって下降し、ステージ１１０上に基板材料２００を載置する。そして、第２吸着装置５４Ｂの吸盤８４において、エアーの吸引を停止し、基板材料２００に対する吸着を解除する。この状態を図１３（Ｂ）で示す。
【００９９】
こうして、ステージ１１０上に基板材料２００が載置されたら、第１吸着ユニット５０の取付板５１は所定の高さまで昇降機構５８によって上昇し、その後、第１走行体４０がローダー３２側へ（初期位置へ）復帰移動する。このとき、第２吸着ユニット５２は、固定治具１０を吸着したまま、ガイドレール４６に沿ってステージ１１０の上方へ移動する。
【０１００】
第２吸着ユニット５２がステージ１１０の上方へ移動して停止すると（ボールねじ４８の回転が停止すると）、その取付板５３が昇降機構５９によって下降し、ステージ１１０上に載置されている基板材料２００の上方から固定治具１０を載置する。そして、第１吸着装置５６Ａの吸盤８６において、エアーの吸引を停止し、固定治具１０に対する吸着を解除する。この状態を図１４（Ａ）で示す。
【０１０１】
また、このとき、ステージ１１０上に形成された孔部１１０Ａ及び溝部（小孔）１１０Ｂからエアーが吸引されることにより、基板材料２００及び固定治具１０がステージ１１０上に吸着・保持される。そして、これにより、基板材料２００の周縁部が固定治具１０の押さえ部１４により密閉される（図６、図７参照）。なお、固定治具１０を解放した取付板５１は昇降機構５８により所定の高さまで上昇する。
【０１０２】
また、ステージ１１０上に載置された基板材料２００の周縁部を固定治具１０によって密閉したら、そのステージ１１０は搬送方向へ移動し、ＣＣＤカメラ１１８によるアライメント処理及び露光ヘッド１２０による露光処理が実行される。すなわち、上記したように、基板材料２００のアライメントマークがＣＣＤカメラ１１８によって検出され、画像情報に基づく画像が露光ヘッド１２０によって露光され、プリント配線基板の配線パターン等の潜像（画像）が基板材料２００の描画領域に形成される。
【０１０３】
基板材料２００に対する露光処理が完了すると、ステージ１１０は基板材料２００が載置された初期位置（ロード・アンロード位置）へ復帰移動する。また、このとき既に、ローダー３２の無端ベルト３８上には、次の基板材料２００が載置されている。この状態を図１４（Ｂ）で示す。ステージ１１０が初期位置（ロード・アンロード位置）へ復帰移動すると、ステージ１１０上の固定治具１０及び基板材料２００が、それぞれ第２吸着ユニット５２の第１吸着装置５６Ａ及び第２吸着装置５６Ｂによって吸着される。
【０１０４】
すなわち、第２吸着ユニット５２の取付板５３が昇降機構５９によって下降し、それに設けられている縁端部側の第１吸着装置５６Ａの吸盤８６が、先端開口からエアーが吸引されることにより、ステージ１１０上の固定治具１０を吸着し、続いて中心部側の第２吸着装置５６Ｂの吸盤８６が、先端開口からエアーが吸引されることにより、ステージ１１０上の露光済みの基板材料２００を吸着する。
【０１０５】
このとき、第１吸着装置５６Ａの吸盤８６は、第２コイルばね９８によって高さ方向へ移動するので、開口部１２から露出している基板材料２００を第２吸着装置５６Ｂによって確実に吸着することができる。こうして、第１吸着装置５６Ａによって固定治具１０を吸着し、第２吸着装置５６Ｂによって基板材料２００を吸着したら、取付板５３は、昇降機構５９により、所定高さまで上昇する。
【０１０６】
なお、昇降機構５９の上昇に伴い、ステージ１１０の孔部１１０Ａ及び溝部（小孔）１１０Ｂから上方に向かってエアーを吹き出させ、固定治具１０をステージ１１０上から除去しやすくするような構成としてもよい。また、これと同時に、第１吸着ユニット５０の取付板５１が昇降機構５８によって下降し、それに設けられている中心部側の第２吸着装置５４Ｂの吸盤８４が、先端開口からエアーが吸引されることにより、ローダー３２上の新しい未露光の基板材料２００を吸着して、所定高さ上昇している。この状態を図１５（Ａ）で示す。
【０１０７】
第２吸着ユニット５２が露光済みの基板材料２００及び固定治具１０を吸着・保持し、第１吸着ユニット５０が新しい未露光の基板材料２００を吸着・保持すると、第１走行体４０が、駆動モーター４７によってボールねじ４８が回転することにより、ステージ１１０側（アンローダー３４側）へ移動する。このとき、第２走行体４２は第１走行体４０と連結手段６０によって連結されているので、第２走行体４２も第１走行体４０と一体になってアンローダー３４側へ移動する。
【０１０８】
第１走行体４０がステージ１１０の上方に移動して停止すると（ボールねじ４８の回転が停止すると）、上記したように、第１吸着ユニット５０の取付板５１が昇降機構５８によって下降し、基板材料２００をステージ１１０上に載置する。そして、第２吸着装置５４Ｂの吸盤８４において、エアーの吸引を停止して、基板材料２００に対する吸着を解除し、再度所定高さ上昇する。
【０１０９】
一方、第２走行体４２、即ち第２吸着ユニット５２がアンローダー３４の上方に移動すると、昇降機構５９によって取付板５３が下降し、基板材料２００を無端ベルト３９上に載置する。つまり、中心部側の第２吸着装置５６Ｂの吸盤８６においてのみ、エアーの吸引を停止して、基板材料２００に対する吸着を解除する。
【０１１０】
そして、基板材料２００を解放した第２吸着ユニット５２の取付板５３は、固定治具１０を吸着・保持したまま所定高さ上昇する。この状態を図１５（Ｂ）で示す。なお、アンローダー３４の無端ベルト３９上に載置された基板材料２００は、図示しない機外の搬送コンベアへ搬送され、次工程へ搬送される。
【０１１１】
一方、固定治具１０を吸着・保持した状態の第２吸着ユニット５２は、駆動モーター４７によってボールねじ４８が回転することにより、再度ステージ１１０の上方へ移動する。この状態を図１６（Ａ）で示す。その後、その取付板５３が昇降機構５９によって下降し、ステージ１１０上に載置されている基板材料２００の上方から固定治具１０を載置する。そして、第１吸着装置５６Ａの吸盤８６において、エアーの吸引を停止し、固定治具１０に対する吸着を解除する。この状態を図１６（Ｂ）で示す。
【０１１２】
なお、このとき、ステージ１１０上に形成された孔部１１０Ａ及び溝部（小孔）１１０Ｂからエアーが吸引されることにより、基板材料２００及び固定治具１０がステージ１１０上に吸着・保持される。これにより、基板材料２００の周縁部が固定治具１０の押さえ部１４により密閉される（図６、図７参照）。こうして、固定治具１０がステージ１１０上にセットされたら、ステージ１１０が搬送方向に移動することにより、上記と同様にアライメント処理及び露光処理が実行され、以降、上記と同様な作業を繰り返すことにより、基板材料２００が順次処理される。
【０１１３】
次に、第１吸着ユニット５０によって固定治具１０を吸着・搬送する場合について図１７乃至図２０を基に説明する。まず、駆動モーター４７によってボールねじ４８が回転することにより、第１走行体４０がステージ１１０側（アンローダー３４側）へ移動し、第１吸着ユニット５０がステージ１１０の上方へ移動する。
【０１１４】
そして、第１吸着ユニット５０の取付板５１が昇降機構５８によって下降し、その取付板５１に設けられている縁端部側の第１吸着装置５４Ａの吸盤８４が、先端開口からエアーが吸引されることにより固定治具１０を吸着し、再度所定高さまで上昇する。この状態を図１７（Ａ）で示す。
【０１１５】
その後、第１走行体４０がローダー３２側へ移動し、固定治具１０をローダー３２の上方に配置するが、このとき既に、ローダー３２の無端ベルト３８上には、最初の基板材料２００が搬入され、図示しない位置決め手段によって位置決めされている。したがって、第１吸着ユニット５０の取付板５１が昇降機構５８によって下降し、その取付板５１に設けられている中心部側の第２吸着装置５４Ｂの吸盤８４が、先端開口からエアーが吸引されることにより基板材料２００を吸着する。この状態を図１７（Ｂ）で示す。
【０１１６】
なお、このとき、第１吸着装置５４Ａの吸盤８４は、第２コイルばね９８によって高さ方向へ移動するので、開口部１２から露出している基板材料２００を第２吸着装置５４Ｂによって確実に吸着することができる。こうして、第１吸着ユニット５０によって固定治具１０及び基板材料２００を吸着・保持したら、取付板５１が昇降機構５８によって所定高さまで上昇する。
【０１１７】
そして、その後、駆動モーター４７によってボールねじ４８が回転することにより、第１走行体４０がガイドレール４６に沿ってステージ１１０側（アンローダー３４側）へ移動する。このとき、第２走行体４２は第１走行体４０と連結手段６０によって連結されているので、第２走行体４２も第１走行体４０と一体になってアンローダー３４側へ移動する。この状態を図１８（Ａ）で示す。
【０１１８】
第１吸着ユニット５０がステージ１１０の上方に移動して停止すると（ボールねじ４８の回転が停止すると）、その取付板５１が昇降機構５８によって下降し、ステージ１１０上に基板材料２００を載置するとともに、固定治具１０を載置する。この状態を図１８（Ｂ）で示す。そして、第２吸着装置５４Ｂ及び第１吸着装置５４Ａの吸盤８４において、エアーの吸引を停止し、基板材料２００及び固定治具１０に対する吸着を解除する。
【０１１９】
また、このとき、ステージ１１０上に形成された孔部１１０Ａ及び溝部（小孔）１１０Ｂからエアーが吸引されることにより、基板材料２００及び固定治具１０がステージ１１０上に吸着・保持される。そして、これにより、基板材料２００の周縁部が固定治具１０の押さえ部１４により密閉される（図６、図７参照）。なお、基板材料２００及び固定治具１０を解放した取付板５１は所定の高さまで昇降機構５８によって上昇する。
【０１２０】
ステージ１１０上に載置された基板材料２００の周縁部が固定治具１０によって密閉されたら、そのステージ１１０は搬送方向へ移動し、ＣＣＤカメラ１１８によるアライメント処理及び露光ヘッド１２０による露光処理が実行される。すなわち、上記したように、基板材料２００のアライメントマークがＣＣＤカメラ１１８によって検出され、画像情報に基づく画像が露光ヘッド１２０によって露光され、プリント配線基板の配線パターン等の潜像（画像）が基板材料２００の描画領域に形成される。
【０１２１】
基板材料２００に対する露光処理が完了すると、ステージ１１０は基板材料２００が載置された初期位置（ロード・アンロード位置）へ復帰移動する。すると、第１吸着ユニット５０の取付板５１が昇降機構５８によって下降し、ステージ１１０上の固定治具１０のみを、その縁端部側の第１吸着装置５４Ａによって吸着し、再度所定の高さまで上昇する。
【０１２２】
なお、昇降機構５８の上昇に伴い、ステージ１１０の孔部１１０Ａ及び溝部（小孔）１１０Ｂから上方に向かってエアーを吹き出させ、固定治具１０をステージ１１０上から除去しやすくするような構成としてもよい。また、このとき既に、ローダー３２の無端ベルト３８上には、次の新しい未露光の基板材料２００が載置されている。この状態を図１９（Ａ）で示す。
【０１２３】
こうして、固定治具１０のみを第１吸着ユニット５０が吸着・保持したら、駆動モーター４７によってボールねじ４８が回転することにより、第１走行体４０がローダー３２側へ移動する。そして、第１吸着ユニット５０の取付板５１が昇降機構５８によって下降し、それに設けられている中心部側の第２吸着装置５４Ｂの吸盤８４が、先端開口からエアーが吸引されることにより、ローダー３２上の新しい未露光の基板材料２００を吸着する。
【０１２４】
なお、このときも、第１吸着装置５４Ａの吸盤８４は、第２コイルばね９８によって高さ方向へ移動するので、開口部１２から露出している基板材料２００を第２吸着装置５４Ｂによって確実に吸着することができる。
【０１２５】
また、これと同時に、第２吸着ユニット５２の取付板５３が昇降機構５９によって下降し、それに設けられている中心部側の第２吸着装置５６Ｂの吸盤８６が、先端開口からエアーが吸引されることにより、ステージ１１０上の露光済みの基板材料２００を吸着する。この状態を図１９（Ｂ）で示す。その後、第１吸着ユニット５０の取付板５１及び第２吸着ユニット５２の取付板５３は、それぞれ昇降機構５８、５９によって所定の高さまで上昇する。
【０１２６】
第２吸着ユニット５２が露光済みの基板材料２００を吸着・保持し、既に固定治具１０を吸着・保持している第１吸着ユニット５０が新しい未露光の基板材料２００を吸着・保持すると、第１走行体４０が、駆動モーター４７によってボールねじ４８が回転することにより、ステージ１１０側（アンローダー３４側）へ移動する。このとき、第２走行体４２は第１走行体４０と連結手段６０によって連結されているので、第２走行体４２も第１走行体４０と一体になってアンローダー３４側へ移動する。この状態を図２０（Ａ）で示す。
【０１２７】
第１走行体４０がステージ１１０の上方に移動して停止すると（ボールねじ４８の回転が停止すると）、第１吸着ユニット５０の取付板５１が昇降機構５８によって下降し、基板材料２００をステージ１１０上に載置するとともに、固定治具１０をステージ１１０上に載置する。そして、第２吸着装置５４Ｂ及び第１吸着装置５４Ａの吸盤８４において、エアーの吸引を停止して、基板材料２００に対する吸着を解除する。
【０１２８】
一方、第２吸着ユニット５２がアンローダー３４の上方に移動すると、昇降機構５９によって取付板５３が下降し、基板材料２００を無端ベルト３９上に載置する。そして、中心部側の第２吸着装置５６Ｂの吸盤８６において、エアーの吸引を停止して、基板材料２００に対する吸着を解除し、その後、取付板５３が所定高さまで上昇する。この状態を図２０（Ｂ）で示す。なお、アンローダー３４の無端ベルト３９上に載置された基板材料２００は、図示しない機外の搬送コンベアへ搬送され、次工程へ搬送される。
【０１２９】
他方、基板材料２００及び固定治具１０がセットされたステージ１１０は搬送方向に移動し、上記と同様にアライメント処理及び露光処理が実行される。以降、このような動作を繰り返し行うことにより、基板材料２００が順次処理される。
【０１３０】
なお、第１吸着ユニット５０で固定治具１０を吸着・搬送する場合でも、第２吸着ユニット５２で固定治具１０を吸着・搬送する場合でも、全ての基板材料２００の処理が終了した後は、上記と同様に、第１走行体４０と第２走行体４２との連結を解除して、ステージ１１０上から人手により固定治具１０を取り出せばよい。
【０１３１】
［固定治具の変形例］
次に、固定治具１０の変形例について説明する。図２１で示すように、この固定治具１０の各縁端部には、ステージ１１０上で最も外側に穿設されている孔部１１０Ａが略１列分だけ露出するような切欠部２２（検出手段）が形成されている。このような構成にすると、固定治具１０の位置が許容範囲以上ずれてしまった場合には、最も外側の孔部１１０Ａ及び溝部（小孔）１１０Ｂからのエアーの吸引力（負圧力）が変化して、基板材料２００に対する吸着不良が発生するので、それによって、固定治具１０の位置ずれが容易に認識（検出）できる。
【０１３２】
更に、固定治具１０において、各吸着ユニット５０、５２の縁端部（コーナー部）側の第１吸着装置５４Ａ、５６Ａが吸着する部位に、吸盤８４、８６よりも若干大径な円形の溝部２４（検出手段）を形成してもよい。このような溝部２４を形成すれば、固定治具１０に対する吸盤８４、８６の吸着位置がずれた場合には、その溝部２４により吸盤８４、８６の吸着力（エアーの吸引力）が不充分となって、基板材料２００に対する吸着不良が発生するので、それによって、固定治具１０に対する吸盤８４、８６の位置ずれが容易に認識（検出）できる。したがって、固定治具１０がずれたまま搬送されることによって起きるトラブルを防止することができる。
【０１３３】
その他、コントローラー１３０には、固定治具１０を使用する場合と使用しない場合とに切り替えられる切替手段としてのモード切替スイッチ１３２が備えられている。したがって、このレーザー露光装置１００は、厚さが異なる基板材料２００に対して柔軟に対応することができる。つまり、このレーザー露光装置１００は、固定治具１０を使用しない基板材料２００の場合には、その処理タクトを変化させることなく（最も短いタクトタイムで）、露光処理が実行できる。
【０１３４】
また更に、このレーザー露光装置１００では、未露光の基板材料２００を自動的に吸着してローダー３２からステージ１１０上へ搬送する第１吸着ユニット５０と、露光済みの基板材料２００を自動的に吸着してステージ１１０上からアンローダー３４へ搬送する第２吸着ユニット５２を一体的に移動可能としているので、両方の作業を同時に行うことができる。したがって、ステージ１１０に対する基板材料２００及び固定治具１０の搬入・搬出のタクトタイムを最短にできる。
【０１３５】
また、第１吸着ユニット５０を釣支する第１走行体４０と、第２吸着ユニット５２を釣支する第２走行体４２との連結を必要に応じて解除し、両者を別々に移動可能としたので、ステージ１１０上への人手による固定治具１０の搬入・搬出時に、第１吸着ユニット５０及び第２吸着ユニット５２を邪魔にならない位置へ移動させることができる。よって、その固定治具１０の搬入・搬出作業を容易に行うことができる。なお、連結手段６０の構成は図示のものに限定されるものではなく、任意の構成を採用できる。
【０１３６】
また、第１走行体４０は、基板材料２００をステージ１１０上に載置する第１吸着ユニット５０を支持し、第２走行体４２は、基板材料２００をステージ１１０上から取り除く第２吸着ユニット５２を支持するので、第１走行体４０にのみ、ボールねじ４８や駆動モーター４７等で構成された駆動手段が作用している。
【０１３７】
つまり、ローダー３２からステージ１１０上へ基板材料２００を載置する作業には、位置精度が必要であるが、ステージ１１０からアンローダー３４へ基板材料２００を載置する作業には、それほど高い位置精度が必要とされない場合がある。換言すれば、第２走行体４２は、連結部材６４（回動部６６）と被連結部材６２との間に多少のがたつきがあっても、ステージ１１０からアンローダー３４まで移動可能とされていればよい。
【０１３８】
したがって、第１走行体４０にのみ、ボールねじ４８が螺合するガイド部材４１が設けられており、これによって、第１吸着ユニット５０を精度よく移動させることができる。すなわち、基板材料２００を一定の誤差範囲内で、その面中心がステージ１１０の面中心と一致するように載置することができる。また、このような構成により、ボールねじ４８の配設距離が短くて済む利点もある。
【０１３９】
以上、何れにしても、本発明によれば、ステージ１１０上にエアーの吸引力によって吸着した際に、周縁部が浮き上がってしまうような厚さの薄い（例えば１ｍｍ未満の）基板材料２００であっても、固定治具１０により、その周縁部を確実に押さえる（固定する）ことができる。したがって、ＣＣＤカメラ１１８によるアライメント処理を好適に実行することができ、露光ヘッド１２０による露光処理も好適に実行することができる。つまり、このような基板材料２００に対して、正確に画像を形成することができる。
【０１４０】
また、本発明によれば、その固定治具１０を、第１吸着ユニット５０又は第２吸着ユニット５２により、効率よくステージ１１０上に載置（供給）することができるとともに、ステージ１１０上から除去することができる。なお、本発明に係る基板搬送装置３０及びレーザー露光装置１００は、上記実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、適宜設計変更可能なものである。
【図面の簡単な説明】
【０１４１】
【図１】レーザー露光装置の概略斜視図
【図２】基板搬送装置とレーザー露光装置を示す概略斜視図
【図３】基板搬送装置とレーザー露光装置を示す概略平面図
【図４】（Ａ）固定治具の概略斜視図、（Ｂ）（Ａ）のＸ−Ｘ線矢視概略断面図
【図５】ステージと基板材料と固定治具を示す概略斜視図
【図６】ステージに吸着された基板材料と固定治具を示す概略断面図
【図７】ステージに吸着された基板材料と固定治具を示す一部拡大概略斜視図
【図８】（Ａ）ステージ上に位置決めされた固定治具を示す概略平面図、（Ｂ）吸着ユニットに取り付けられた吸着装置の配置状態を示す概略平面図
【図９】吸着ユニットに取り付けられた吸着装置の概略側面図
【図１０】（Ａ）露光ヘッドによる露光領域を示す概略平面図、（Ｂ）露光ヘッドの配列パターンを示す概略平面図
【図１１】吸着ユニットをステージの上方から排除した状態を示す概略側面図
【図１２】吸着ユニットをステージの上方から排除した状態を示す概略平面図
【図１３】第２吸着ユニットによって固定治具を吸着・搬送する工程を示す概略側面図
【図１４】第２吸着ユニットによって固定治具を吸着・搬送する工程を示す概略側面図
【図１５】第２吸着ユニットによって固定治具を吸着・搬送する工程を示す概略側面図
【図１６】第２吸着ユニットによって固定治具を吸着・搬送する工程を示す概略側面図
【図１７】第１吸着ユニットによって固定治具を吸着・搬送する工程を示す概略側面図
【図１８】第１吸着ユニットによって固定治具を吸着・搬送する工程を示す概略側面図
【図１９】第１吸着ユニットによって固定治具を吸着・搬送する工程を示す概略側面図
【図２０】第１吸着ユニットによって固定治具を吸着・搬送する工程を示す概略側面図
【図２１】固定治具の変形例を示す概略平面図
【符号の説明】
【０１４２】
１０ 固定治具
１２ 開口部
１４ 押さえ部
１６ 剛性部材
１８ 弾性部材
２０ 易剥離部材
２２ 切欠部（検出手段）
２４ 溝部（検出手段）
２６ 位置決め部材
２８ 切欠部
３０ 基板搬送装置（ワーク搬送装置）
３２ ローダー（搬入部）
３４ アンローダー（搬出部）
４０ 第１走行体
４２ 第２走行体
５０ 第１吸着ユニット
５２ 第２吸着ユニット
５４ 吸着装置
５４Ａ 第１吸着装置
５４Ｂ 第２吸着装置
５６ 吸着装置
５６Ａ 第１吸着装置
５６Ｂ 第２吸着装置
８４ 吸盤
８６ 吸盤
９５ 第１コイルばね
９８ 第２コイルばね（緩衝機構）
１００ レーザー露光装置（画像形成装置）
１１０ ステージ
１１２ ボールねじ（移動機構）
１１４ モーター（移動機構）
１１８ ＣＣＤカメラ（測定部）
１２０ 露光ヘッド（露光部）
１３０ コントローラー
１３２ モード切替スイッチ（切替手段）
２００ 基板材料（ワーク）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬入部に載置されたワークを複数の吸着装置で吸着し、ステージへ搬送する第１吸着ユニットと、
前記ステージ上のワークを複数の吸着装置で吸着し、搬出部へ搬送する第２吸着ユニットと、
前記ステージ上にセットされ、前記ワークの周縁部を密閉するとともに、該ワークの周縁部を除く領域を露出させる開口部が形成された固定治具と、
を備えたワーク搬送装置であって、
前記第１吸着ユニット及び前記第２吸着ユニットは、
前記固定治具を吸着するために縁端部側に配置された第１吸着装置と、
前記開口部から露出している前記ワークを吸着するために中心部側に配置された第２吸着装置と、
を有することを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項２】
前記固定治具に、前記第１吸着装置による吸着位置がずれたことを検出できる検出手段を形成したことを特徴とする請求項１に記載のワーク搬送装置。
【請求項３】
少なくとも前記第１吸着装置に、緩衝機構を備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のワーク搬送装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載のワーク搬送装置と、
前記ステージを所定の搬送経路に沿って移動させる移動機構と、
前記移動機構によって移動させるステージ上のワークのアライメントマークを検出する測定部と、
前記ステージ上のワークの前記周縁部を除く領域を、前記測定部の検出結果によりアライメント処理された画像情報に基づいて変調された光ビームにより露光し、該領域に画像を形成する露光部と、
を有することを特徴とする画像形成装置。
【請求項５】
前記固定治具を吸着するモードと吸着しないモードへ切り替える切替手段を有することを特徴とする請求項４に記載の画像形成装置。
【請求項６】
搬入部に載置されたワークを複数の吸着装置で吸着し、ステージへ搬送する第１吸着ユニットと、
前記ステージ上のワークを複数の吸着装置で吸着し、搬出部へ搬送する第２吸着ユニットと、
前記ステージ上にセットされ、前記ワークの周縁部を密閉するとともに、該ワークの周縁部を除く領域を露出させる開口部が形成された固定治具と、
を備えたワーク搬送方法であって、
前記第１吸着ユニット又は前記第２吸着ユニットの縁端部側に配置された第１吸着装置で、前記固定治具を吸着し、前記第１吸着ユニット又は前記第２吸着ユニットの中心部側に配置された第２吸着装置で、前記開口部から露出している前記ワークを吸着し、該ワーク及び前記固定治具を前記ステージへ載置又は前記ステージから除去することを特徴とするワーク搬送方法。
【請求項７】
前記第２吸着ユニットの第１吸着装置によってステージ上の固定治具を吸着するとともに、前記第１吸着ユニットの第２吸着装置によって搬入部上のワークを吸着し、その後、第１吸着ユニット及び第２吸着ユニットが搬出部側へ移動して、前記第１吸着ユニットの第２吸着装置が吸着を解除することにより、前記ワークをステージ上に載置し、次いで、第１吸着ユニット及び第２吸着ユニットが搬入部側へ移動して、前記第２吸着ユニットの第１吸着装置が吸着を解除することにより、前記固定治具をステージ上に載置し、該固定治具によって前記ワークの周縁部を密閉することを特徴とする請求項６に記載のワーク搬送方法。
【請求項８】
前記第１吸着ユニットの第１吸着装置によってステージ上の固定治具を吸着した後、第１吸着ユニット及び第２吸着ユニットが搬入部側へ移動し、前記第１吸着ユニットの第２吸着装置によって搬入部上のワークを吸着し、その後、第１吸着ユニット及び第２吸着ユニットが搬出部側へ移動して、前記第１吸着ユニットの第２吸着装置が吸着を解除することにより、前記ワークをステージ上に載置するとともに、前記第１吸着ユニットの第１吸着装置が吸着を解除することにより、前記固定治具をステージ上に載置し、該固定治具によって前記ワークの周縁部を密閉することを特徴とする請求項６に記載のワーク搬送方法。
【請求項９】
前記固定治具は、ワークの位置決め部材により前記ステージ上に位置決め載置され、その後、前記第１吸着ユニット又は前記第２吸着ユニットの第１吸着装置によって吸着されることを特徴とする請求項６乃至請求項８の何れか１項に記載のワーク搬送方法。
【請求項１】
搬入部に載置されたワークを複数の吸着装置で吸着し、ステージへ搬送する第１吸着ユニットと、
前記ステージ上のワークを複数の吸着装置で吸着し、搬出部へ搬送する第２吸着ユニットと、
前記ステージ上にセットされ、前記ワークの周縁部を密閉するとともに、該ワークの周縁部を除く領域を露出させる開口部が形成された固定治具と、
を備えたワーク搬送装置であって、
前記第１吸着ユニット及び前記第２吸着ユニットは、
前記固定治具を吸着するために縁端部側に配置された第１吸着装置と、
前記開口部から露出している前記ワークを吸着するために中心部側に配置された第２吸着装置と、
を有することを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項２】
前記固定治具に、前記第１吸着装置による吸着位置がずれたことを検出できる検出手段を形成したことを特徴とする請求項１に記載のワーク搬送装置。
【請求項３】
少なくとも前記第１吸着装置に、緩衝機構を備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のワーク搬送装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載のワーク搬送装置と、
前記ステージを所定の搬送経路に沿って移動させる移動機構と、
前記移動機構によって移動させるステージ上のワークのアライメントマークを検出する測定部と、
前記ステージ上のワークの前記周縁部を除く領域を、前記測定部の検出結果によりアライメント処理された画像情報に基づいて変調された光ビームにより露光し、該領域に画像を形成する露光部と、
を有することを特徴とする画像形成装置。
【請求項５】
前記固定治具を吸着するモードと吸着しないモードへ切り替える切替手段を有することを特徴とする請求項４に記載の画像形成装置。
【請求項６】
搬入部に載置されたワークを複数の吸着装置で吸着し、ステージへ搬送する第１吸着ユニットと、
前記ステージ上のワークを複数の吸着装置で吸着し、搬出部へ搬送する第２吸着ユニットと、
前記ステージ上にセットされ、前記ワークの周縁部を密閉するとともに、該ワークの周縁部を除く領域を露出させる開口部が形成された固定治具と、
を備えたワーク搬送方法であって、
前記第１吸着ユニット又は前記第２吸着ユニットの縁端部側に配置された第１吸着装置で、前記固定治具を吸着し、前記第１吸着ユニット又は前記第２吸着ユニットの中心部側に配置された第２吸着装置で、前記開口部から露出している前記ワークを吸着し、該ワーク及び前記固定治具を前記ステージへ載置又は前記ステージから除去することを特徴とするワーク搬送方法。
【請求項７】
前記第２吸着ユニットの第１吸着装置によってステージ上の固定治具を吸着するとともに、前記第１吸着ユニットの第２吸着装置によって搬入部上のワークを吸着し、その後、第１吸着ユニット及び第２吸着ユニットが搬出部側へ移動して、前記第１吸着ユニットの第２吸着装置が吸着を解除することにより、前記ワークをステージ上に載置し、次いで、第１吸着ユニット及び第２吸着ユニットが搬入部側へ移動して、前記第２吸着ユニットの第１吸着装置が吸着を解除することにより、前記固定治具をステージ上に載置し、該固定治具によって前記ワークの周縁部を密閉することを特徴とする請求項６に記載のワーク搬送方法。
【請求項８】
前記第１吸着ユニットの第１吸着装置によってステージ上の固定治具を吸着した後、第１吸着ユニット及び第２吸着ユニットが搬入部側へ移動し、前記第１吸着ユニットの第２吸着装置によって搬入部上のワークを吸着し、その後、第１吸着ユニット及び第２吸着ユニットが搬出部側へ移動して、前記第１吸着ユニットの第２吸着装置が吸着を解除することにより、前記ワークをステージ上に載置するとともに、前記第１吸着ユニットの第１吸着装置が吸着を解除することにより、前記固定治具をステージ上に載置し、該固定治具によって前記ワークの周縁部を密閉することを特徴とする請求項６に記載のワーク搬送方法。
【請求項９】
前記固定治具は、ワークの位置決め部材により前記ステージ上に位置決め載置され、その後、前記第１吸着ユニット又は前記第２吸着ユニットの第１吸着装置によって吸着されることを特徴とする請求項６乃至請求項８の何れか１項に記載のワーク搬送方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【公開番号】特開２００７−５２１３７（Ｐ２００７−５２１３７Ａ）
【公開日】平成１９年３月１日（２００７．３．１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−２３６１４６（Ｐ２００５−２３６１４６）
【出願日】平成１７年８月１６日（２００５．８．１６）
【出願人】（０００００５２０１）富士フイルムホールディングス株式会社 (7,609)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年３月１日（２００７．３．１）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年８月１６日（２００５．８．１６）
【出願人】（０００００５２０１）富士フイルムホールディングス株式会社 (7,609)
【Ｆターム（参考）】
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