説明

光電式エンコーダ

【課題】小型化及びスケール上視野の拡大を図りつつ、像のパターンや形状を維持する。
【解決手段】メインスケール20と受光素子34の間に、レンズアレイ46が挿入された光学系を持つ光電式エンコーダにおいて、前記レンズアレイ46により分割・反転された像を、電気的又は光学的に再反転させる。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、光電式エンコーダに係る。特に、メインスケールと受光素子の間に、レンズとアパーチャが挿入されたテレセントリック光学系を持つ光電式エンコーダの改良に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献1に記載されているように、図1に示す如く、メインスケール20と、受光部30を構成する例えば受光素子アレイ34の間に、レンズ42、及び、テレセントリック光学絞りとしてのアパーチャ44からなるレンズ光学系(テレセントリック光学系)40を挿入して、図2に示す如く、レンズ42とメインスケール20のスケール21及び受光素子アレイ34上の受光素子35間の距離a、bを調整することにより、倍率設定ができるようにされた光電式エンコーダが考えられている。図1において、10は光源、fはレンズ42の焦点距離である。
【0003】
このテレセントリック光学系40を用いた光電式エンコーダでは、メインスケール20上の像をレンズ光学系(42、44)を通して受光素子アレイ34上に投影させる。ここで、アパーチャ44をレンズ42の焦点位置に配置することで、メインスケール20とレンズ42間の距離(ギャップ)が変動しても、レンズ42とアパーチャ44と受光素子アレイ34の位置関係が変動しなければ、受光素子アレイ34上に結像される像の倍率変動を抑えることができる。 特に、前記レンズ42として、図3(光路図)及び図4(斜視図)に示す如く、レンズアレイ46を用いた場合には、小型化、及び、スケール上視野(FOV)の拡大を図ることができる。
【0004】
【特許文献1】特開2004−264295号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、このようなレンズアレイ46で光電式エンコーダを構成した場合、図3及び図5に示す如く、一つのレンズ光学系毎に、像が分割され、反転してしまうという問題点を有していた。
【0006】
この問題点は、特に、像のパターンだけでなく、正確な形状を再現する必要があるアブソリュート型で大きな問題となる。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたもので、像のパターンを維持することが可能なインクリメンタル型光電式エンコーダを提供することを第1の課題とする。
【0008】
本発明は、又、像のパターンだけでなく、形状も維持することが可能な光電式エンコーダを提供することを第2の課題とする。
【0009】
本発明は、メインスケールと受光素子の間に、レンズアレイを持つインクリメンタル型の光電式エンコーダにおいて、各レンズの配設ピッチを、メインスケールの周期の自然数倍と一致させることにより、前記第1の課題を解決したものである。
【0010】
本発明は、又、メインスケールと受光素子の間に、レンズアレイを持つ光電式エンコーダにおいて、前記受光素子アレイの出力の接続を入換えて、前記レンズアレイにより分割・反転された像を電気的に再反転することにより、前記第2の課題を解決したものである。
【0011】
本発明は、又、メインスケールと受光素子の間に、第1のレンズアレイを持つ光電式エンコーダにおいて、各レンズの配設ピッチが前記第1レンズアレイと同じ第2のレンズアレイと、該第2のレンズアレイを出た光を光学的に再反転させるための第3のレンズアレイとを設けることにより、同じく前記第2の課題を解決したものである。
【0012】
又、前記第3のレンズアレイの各レンズの焦点距離を、前記第1、第2のレンズアレイの各レンズの焦点距離より小として、光学全長を短くしたものである。
【0013】
本発明は、又、メインスケールと受光素子の間に、レンズアレイを持つ光電式エンコーダにおいて、レンズの配設ピッチが前記第1レンズアレイと同じ第2のレンズアレイと、配設ピッチが前記第1レンズアレイの各レンズと同じ複数の小ミラーとを備え、前記第1レンズアレイにより分割・反転された像を該小ミラーにより光学的に再反転することにより、前記第2の課題を解決したものである。
【0014】
本発明は、又、メインスケールと受光素子の間に、レンズアレイを持つ光電式エンコーダにおいて、レンズの配設ピッチが前記レンズアレイと同じ第2のレンズアレイと、該第2のレンズアレイを出た光を前記第1第2のレンズアレイに再入射させるためのミラーと、前記第1のレンズアレイと第2のレンズアレイを2回通った光を受光素子方向に取り出すためのハーフミラーとを備え、前記レンズアレイにより分割・反転された像を前記ミラーにより光学的に再反転することにより、前記第2の課題を解決したものである。
【0015】
又、前記レンズアレイを二次元レンズアレイとして、二次元測定を可能としたものである。
【0016】
又、各レンズアレイの焦点位置にアパーチャを設けることにより、となりのレンズからの光を遮断することができる。
【発明の効果】
【0017】
本発明によれば、レンズアレイの各レンズの配設ピッチを、メインスケールの周期の自然数倍と一致させることにより、インクリメンタル型光電式エンコーダにおける像のパターンを維持することができる。
【0018】
又、レンズアレイにより反転された像を、電気的又は光学的に再反転させることにより、像の形状も維持することができ、インクリメンタル型だけでなく、アブソリュート型にも使用できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0019】
以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
【0020】
本発明の第1実施形態は、図6に示す如く、レンズアレイ46を持つインクリメンタル型の光電式エンコーダにおいて、レンズアレイ46を構成する各レンズの配設ピッチ(レンズピッチと称する)Plを、メインスケール20の周期Psの自然数倍と一致させたものである。
【0021】
本実施形態においては、図7に示す如く、個々のレンズ毎に像が分割されて反転しても、パターンは保障されるため、インクリメンタル型として用いる限り、支障は無い。
【0022】
また、図8に示す変形例のように、レンズアレイ46を構成する個々のレンズの焦点位置にアパーチャ44を配設したテレセントリック光学系40にすることもできる。
【0023】
次に、図9(光路図)及び図10(斜視図)を参照して、本発明の第2実施形態を詳細に説明する。
【0024】
本実施形態は、レンズアレイ46(第1のレンズアレイとも称する)と同じ第2のレンズアレイ48を、その焦点が第1のレンズアレイの焦点に来るように逆向きに挿入して、光学系50としたものである。
【0025】
本実施形態においては、レンズアレイ46と48が同じ物であるため、入側の第1のレンズアレイ46で発生する収差を出側の第2のレンズアレイ48でほぼ完全に逆補正することができ、安価であるが収差が大きなレンズアレイを用いた場合でも、収差をほぼ完全にキャンセルして、信号検出効率を大きく改善することができる。
【0026】
又、図11と図12に示す変形例のように、光学系50を、レンズアレイ46と48を構成する個々のレンズの焦点位置にアパーチャ44を配設した両側テレセントリック光学系51にすることもできる。
【0027】
次に、図13を参照して、本発明の第3実施形態を詳細に説明する。
【0028】
本実施形態は、レンズアレイ46を持つアブソリュート型の光電式エンコーダにおいて、受光素子アレイ34の出力の接続をピクセル単位で入換えることにより、像を電気的に再反転させたものである。
【0029】
又、図14に示す変形例のように、レンズアレイ46を構成する個々のレンズの焦点位置にアパーチャ44を配設したテレセントリック光学系40にすることもできる。
【0030】
次に、図15を参照して、本発明の第4実施形態を詳細に説明する。
【0031】
本実施形態は、レンズアレイ46、48から成る光学系50を持つアブソリュート型の光電式エンコーダにおいて、受光素子アレイ34の出力の接続をピクセル単位で入換えることにより、像を電気的に再反転させたものである。
【0032】
第3、第4実施形態によれば、光学系を複雑化することなく、アブソリュート型を実現できる。
【0033】
又、図16に示す変形例のように、光学系50を、レンズアレイ46と48を構成する個々のレンズの焦点位置にアパーチャ44を配設した両側テレセントリック光学系51にすることもできる。
【0034】
次に、図17を参照して、本発明の第5実施形態を詳細に説明する。
【0035】
本実施形態は、レンズアレイ46、48から成る光学系50を持つアブソリュート型の光電式エンコーダにおいて、第1、第2のレンズアレイ46、48と同じ第3のレンズアレイ52を光学系50の出側に設けて、像を光学的に再反転させたものである。
【0036】
又、図18に示す変形例のように、光学系50を、レンズアレイ46と48を構成する個々のレンズの焦点位置にアパーチャ44を配設した両側テレセントリック光学系51にして、且つ、レンズアレイ52を構成する個々のレンズの焦点位置にアパーチャ54を配設することもできる。
【0037】
次に、図19を参照して、本発明の第6実施形態を詳細に説明する。
【0038】
本実施形態は、レンズアレイ46、48から成る光学系50を持つアブソリュート型の光電式エンコーダにおいて、光学系50と同じ構成の、第3のレンズアレイ52、及び第4のレンズアレイ56を含む光学系60を、その出側に設けて、像を再反転させたものである。
【0039】
本実施形態においては、入側と出側で同じ光学系を用いているので、部品を共通化できる。
【0040】
又、図20に示す変形例のように、光学系50をレンズアレイ46と48を構成する個々のレンズの焦点位置にアパーチャ44を配設した両側テレセントリック光学系51にして、且つ、光学系60をレンズアレイ52と56を構成する個々のレンズの焦点位置にアパーチャ54を配設した両側テレセントリック光学系61にすることもできる。
【0041】
次に、図21を参照して、本発明の第7実施形態を詳細に説明する。
【0042】
本実施形態は、図18に示した第5実施形態と同様の光電式エンコーダにおいて、第3のレンズアレイ52の焦点距離f’を第1、第2のレンズアレイ46、48の焦点距離fより小として、光学全長を短くし、メインスケール20と入側レンズアレイ46間のエアギャップを確保しつつ小型化を可能としたものである。
【0043】
即ち、メインスケール20と入側レンズアレイ46間の距離(エアギャップに相当)=入側レンズアレイ46の焦点距離fとすると、第5実施形態のように、第1〜第3レンズアレイを同じレンズで構成すると光学全長L≒8fとなるのに対し、本第7実施形態では光学全長L’=4f+4f’<8fとなり、光学全長を短くすることができる。
【0044】
次に、図22を参照して、本発明の第8実施形態を詳細に説明する。
【0045】
本実施形態は、図20に示した第6実施形態と同様の光電式エンコーダにおいて、第3、第4のレンズアレイ52、56の焦点距離f’を第1、第2のレンズアレイ46、48の焦点距離fより小として、光学全長を短くし、メインスケール20と入側レンズアレイ46間のエアギャップを確保しつつ小型化を可能としたものである。
【0046】
即ち、メインスケール20と入側レンズアレイ46間の距離(エアギャップに相当)=入側レンズアレイ46の焦点距離fとすると、第6実施形態のように、第1〜第4レンズアレイを同じレンズで構成すると光学全長L≒8fとなるのに対し、本第8実施形態では光学全長L’=4f+4f’<8fとなり、光学全長を短くすることができる。
【0047】
次に、図23を参照して、本発明の第9実施形態を詳細に説明する。
【0048】
本実施形態は、レンズアレイ46、48から成る光学系50を持つアブソリュート型の光電式エンコーダにおいて、配設ピッチが前記レンズアレイ46、48の各レンズと同じ小ミラー70を複数設けて、像を光学的に再反転したものである。
【0049】
又、図24に示す変形例のように、光学系50を、レンズアレイ46と48を構成する個々のレンズの焦点位置にアパーチャ44を配設した両側テレセントリック光学系51にすることもできる。
【0050】
次に、図25を参照して、本発明の第10実施形態を詳細に説明する。
【0051】
本実施形態は、レンズアレイ46、48から成る光学系50を持つアブソリュート型の光電式エンコーダにおいて、出側のレンズアレイ48を出た光を前記光学系50に再入射させるためのミラー80と、前記光学系50を2回通った光を受光素子アレイ34の方向に取り出すためのハーフミラー82とを備えることにより、像を光学的に再反転させたものである。
【0052】
又、図26に示す変形例のように、光学系50を、レンズアレイ46と48を構成する個々のレンズの焦点位置にアパーチャ44を配設した両側テレセントリック光学系51にすることもできる。
【0053】
なお、第3〜第10実施形態は、アブソリュート型だけでなく、インクリメンタル型にも適用できる。
【0054】
本発明は、インデックス格子と受光素子が別体とされたもの、両者が一体とされた受光素子アレイを有するもの、どちらにも適用できる。更に、透過型のエンコーダだけでなく、反射型のエンコーダにも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【0055】
【図1】テレセントリック光学系を用いた光電式エンコーダの要部構成を示す斜視図
【図2】同じく平面図
【図3】従来の問題点を示す光路図
【図4】同じく斜視図
【図5】同じく平面図
【図6】本発明の第1実施形態の要部構成を示す光路図
【図7】本発明の原理を示す図
【図8】第1実施形態の変形例を示す図
【図9】本発明の第2実施形態の要部構成を示す光路図
【図10】同じく斜視図
【図11】第2実施形態の変形例を示す図
【図12】同じく斜視図
【図13】本発明の第3実施形態の要部構成を示す光路図
【図14】第3実施形態の変形例を示す図
【図15】本発明の第4実施形態の要部構成を示す光路図
【図16】第4実施形態の変形例を示す図
【図17】本発明の第5実施形態の要部構成を示す光路図
【図18】第5実施形態の変形例を示す図
【図19】本発明の第6実施形態の要部構成を示す光路図
【図20】第6実施形態の変形例を示す図
【図21】本発明の第7実施形態の要部構成を示す光路図
【図22】本発明の第8実施形態の要部構成を示す光路図
【図23】本発明の第9実施形態の要部構成を示す光路図
【図24】第9実施形態の変形例を示す図
【図25】本発明の第10実施形態の要部構成を示す光路図
【図26】第10実施形態の変形例を示す図
【符号の説明】
【0056】
10…光源
20…メインスケール
30…受光部
31…受光面
34…受光素子アレイ
40…テレセントリック光学系
44、54…アパーチャ
46、48、52、56…レンズアレイ
50、60…光学系
51、61…両側テレセントリック光学系
70…小ミラー
80…ミラー
82…ハーフミラー

【特許請求の範囲】
【請求項1】
メインスケールと受光素子の間に第1のレンズアレイが挿入された光学系を持つインクリメンタル型の光電式エンコーダにおいて、
各レンズの配設ピッチを、メインスケールの周期の自然数倍と一致させたことを特徴とする光電式エンコーダ。
【請求項2】
メインスケールと受光素子の間に第1のレンズアレイが挿入された光学系を持つ光電式エンコーダにおいて、
各レンズの配設ピッチが前記第1のレンズアレイと同じ第2のレンズアレイと、
該第2のレンズアレイを出た光を光学的に再反転させるための第3のレンズアレイと、
を設けたことを特徴とする光電式エンコーダ。
【請求項3】
前記第3のレンズアレイの出側に第4のレンズアレイが設けられていることを特徴とする請求項2に記載の光電式エンコーダ。
【請求項4】
前記第1のレンズアレイ及び第2のレンズアレイで構成される光学系と、前記第3のレンズアレイ及び第4のレンズアレイで構成される光学系が同じ構成であることを特徴とする請求項3に記載の光電式エンコーダ。
【請求項5】
前記第3のレンズアレイの各レンズ焦点距離が、前記第1、第2のレンズアレイの各レンズの焦点距離より小であることを特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載の光電式エンコーダ。
【請求項6】
メインスケールと受光素子の間に第1のレンズアレイが挿入された光学系を持つ光電式エンコーダにおいて、
前記受光素子アレイの出力の接続を入換えて、前記第1のレンズアレイにより分割・反転された像を電気的に再反転させたことを特徴とする光電式エンコーダ。
【請求項7】
メインスケールと受光素子の間に第1のレンズアレイが挿入された光学系を持つ光電式エンコーダにおいて、
レンズの配設ピッチが前記第1のレンズアレイと同じ第2のレンズアレイと、
配設ピッチが前記レンズアレイの各レンズと同じ複数の小ミラーとを備え、
前記第1のレンズアレイにより分割・反転された像を該小ミラーにより光学的に再反転させたことを特徴とする光電式エンコーダ。
【請求項8】
メインスケールと受光素子の間に第1のレンズアレイが挿入された光学系を持つ光電式エンコーダにおいて、
レンズの配設ピッチが前記第1のレンズアレイと同じ第2のレンズアレイと、
該第2のレンズアレイを出た光を前記第2のレンズアレイに再入射させるためのミラーと、
前記第2のレンズアレイを2回通った光を受光素子方向に取り出すためのハーフミラーとを備え、
前記第1のレンズアレイにより分割・反転された像を前記ミラーにより光学的に再反転させたことを特徴とする光電式エンコーダ。
【請求項9】
前記レンズアレイを構成するレンズのうちの、少なくとも一つのレンズの焦点位置に、アパーチャを更に備えたことを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の光電式エンコーダ。
【請求項10】
前記レンズアレイが二次元レンズアレイであることを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載の光電式エンコーダ。

【図1】
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【図2】
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【図3】
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【図4】
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【図5】
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【図6】
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【図7】
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【図8】
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【図9】
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【図10】
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【図11】
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【図12】
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【図13】
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【図14】
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【図15】
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【図16】
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【図17】
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【図18】
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【図19】
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【図20】
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【図21】
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【図22】
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【図23】
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【図24】
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【図25】
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【図26】
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【公開番号】特開2006−284563(P2006−284563A)
【公開日】平成18年10月19日(2006.10.19)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2006−55402(P2006−55402)
【出願日】平成18年3月1日(2006.3.1)
【出願人】(000137694)株式会社ミツトヨ (979)
【Fターム(参考)】