板状部材の加工用シート、および、その製造方法
【課題】コストダウンと廃棄が容易なウェハの加工用シート、および、その製造方法を提供すること。
【解決手段】ウェハＷとリングフレームＲＦとに貼付されることで、リングフレームＲＦでウェハＷを保持させる接着シートＳ１は、基材シートＢＳと、基材シートＢＳの一方の面に積層されて所定情報を記録可能な磁気記録層ＭＬと、基材シートＢＳ上に磁気記録層ＭＬを覆うように積層された接着剤層ＡＤとを備える。
【解決手段】ウェハＷとリングフレームＲＦとに貼付されることで、リングフレームＲＦでウェハＷを保持させる接着シートＳ１は、基材シートＢＳと、基材シートＢＳの一方の面に積層されて所定情報を記録可能な磁気記録層ＭＬと、基材シートＢＳ上に磁気記録層ＭＬを覆うように積層された接着剤層ＡＤとを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状部材の加工用シート、および、その製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、板状部材としての半導体ウェハ（以下、単にウェハという場合がある）をリングフレームで支持させる際に用いる接着シートに、データキャリアを設けた構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。
この特許文献１に記載の構成では、ＩＣチップと、このＩＣチップに接続された送受信用の導電性コイルとから構成される、いわゆるＲＦメモリをデータキャリアとして用い、当該データキャリアを接着シートの接着剤層の上に貼付している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２９３５０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の構成では、ＲＦメモリのようなデータキャリアは、高価なため、コストダウンを容易に図ることができない。また、データキャリアは、接着シートとは別に廃棄する必要があり、分別作業が煩わしい。
【０００５】
本発明の目的は、コストダウンと廃棄が容易な板状部材の加工用シート、および、その製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明の板状部材の加工用シートは、所定の加工が施される板状部材に貼付される板状部材の加工用シートであって、基材シートと、所定情報を記録可能な磁気記録層と、接着剤層とを備える、という構成を採用している。
【０００７】
この際、本発明の板状部材の加工用シートでは、前記磁気記録層は、前記基材シートと前記接着剤層との間に積層されている、ことが好ましい。
さらに、本発明の板状部材の加工用シートでは、前記磁気記録層は、複数設けられ、当該複数の磁気記録層は、前記基材シートの平面視で互いに異なる方向に延びる直線状に設けられている、ことが好ましい。
【０００８】
また、本発明の板状部材の加工用シートは、所定の加工が施される板状部材に貼付される板状部材の加工用シートであって、基材シートと、前記基材シートの一方の面に積層されて所定情報を記録可能な磁気接着剤層とを備える、という構成を採用している。
【０００９】
一方、本発明の板状部材の加工用シートの製造方法は、所定の加工が施される板状部材に貼付される板状部材の加工用シートの製造方法であって、基材シートの一方の面に所定情報を記録可能な磁気記録層を積層する工程と、前記基材シートの一方の面側であって、前記磁気記録層を覆うように接着剤層を積層する工程とを有する、という構成を採用している。
また、本発明の板状部材の加工用シートの製造方法は、所定の加工が施される板状部材に貼付される板状部材の加工用シートの製造方法であって、基材シートの一方の面に接着剤層を積層する工程と、前記接着剤層に所定情報を記録可能な磁気記録層を積層する工程とを有する、という構成を採用している。
さらに、本発明の板状部材の加工用シートの製造方法は、所定の加工が施される板状部材に貼付される板状部材の加工用シートの製造方法であって、基材シートの一方の面に所定情報を記録可能な磁気接着剤層を積層する工程を有する、という構成を採用している。
【発明の効果】
【００１０】
以上のような本発明によれば、加工用シートに所定情報の記録機能を設けるための構成として、磁気記録層、あるいは、磁気接着剤層を採用しているため、ＲＦメモリのようなデータキャリアを採用する構成と比べて、コストダウンを容易に図ることができる。また、基材シートと、磁気記録層あるいは磁気接着剤層との分別が不要となり、加工用シートを容易に廃棄できる。
【００１１】
この際、磁気記録層を基材シートと接着剤層との間に設ければ、加工用シートが異物と接触しても、磁気記録層が傷つくことを抑制でき、磁気記録層に記録された所定情報を読み込むことができなかったり、磁気記録層に所定情報を記録できなかったりするといった不具合を抑制できる。特に、磁気記録層を基材シートと板状部材とに間に位置させて貼付した場合、磁気記録層の損傷をより効果的に抑制することができる。
また、複数の磁気記録層を基材シートの平面視で互いに異なる方向に延びる直線状に設ければ、例えば、加工用シートの搬送方向が異なることで、板状部材に貼付された加工用シートの磁気記録層に所定情報を記録したり、所定情報を読み込んだりすることができなくなることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】（Ａ）は、本発明の第１実施形態に係る接着シートの使用例を示す斜視図、（Ｂ）は、（Ａ）の断面図。
【図２】前記第1実施形態のシート製造装置の側面図。
【図３】（Ａ）は、本発明の第２実施形態に係る接着シートの使用例を示す断面図、（Ｂ）は、そのシート製造装置の側面図。
【図４】（Ａ）は、本発明の第３実施形態に係る接着シートの使用例を示す断面図、（Ｂ）は、そのシート製造装置の側面図。
【図５】（Ａ）は、本発明の第４実施形態に係る接着シートの使用例を示す断面図、（Ｂ）は、そのシート製造装置の側面図。
【図６】（Ａ），（Ｂ）は本発明の変形例に係る接着シートの平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第２〜第４実施形態において、次の第１実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材、および同様な機能を有する構成部材には、第１実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。また、各図においては、本発明の内容を理解しやすくするために各構成の形状や配置状態を誇張して示している。
【００１４】
［第１実施形態］
【００１５】
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
まず、加工用シートとしての接着シートＳ１について説明する。図１（Ａ），（Ｂ）において、接着シートＳ１は、板状部材としてのウェハＷとリングフレームＲＦとに貼付されることで、リングフレームＲＦでウェハＷを保持させるものであり、円形の基材シートＢＳと、基材シートＢＳの一方の面に積層された磁気記録層ＭＬと、基材シートＢＳ上に磁気記録層ＭＬを覆うように積層された接着剤層ＡＤとを備えている。磁気記録層ＭＬは、基材シートＢＳの中央にウェハＷが貼付された際に、ウェハＷよりも外側において、基材シートＢＳの径方向と平行に延び、かつ、基材シートＢＳの外縁上の所定の２点を結ぶ直線状に設けられている。
【００１６】
この磁気記録層ＭＬには、磁気ライタにより所定情報を記録することが可能であり、磁気記録層ＭＬに記録された所定情報は、磁気リーダにより読み取ることができる。この磁気記録層ＭＬに記録される所定情報としては、例えば、接着シートＳ１の種類、材質、品名、コード、厚さ、長さ、幅、直径などの規格寸法、さらには、接着シートＳ１および剥離シートＲＬで構成される第２原反Ｒ２のロットナンバー、接着シートＳ１の品質保証期限、接着シートＳ１を最適に繰り出すことのできる推奨繰出速度、接着シートＳ１を最適に貼付することができる推奨貼付張力や推奨押圧力などの接着シートＳ１の貼付条件、接着シートＳ１や第２原反Ｒ２についての相談窓口の連絡先などが例示できる。
【００１７】
ここで、磁気記録層ＭＬは、例えば、バインダー中に磁性粉を均一分散して成層されたものであり、バインダーとしては、ポリエステル樹脂、塩化ビニル樹脂、ポリウレタン樹脂、塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。また、これらの樹脂は、単独または２種以上を混合して用いることもできる。
一方、磁性粉としては、例えば、γ−Ｆｅ2Ｏ3、バリウムフェライト、ストロンチウムフェライト等の強磁性体が挙げられるが、記録された情報が通常の永久磁石により消去または減衰することを防止するためには、バリウムフェライト、ストロンチウムフェライトのような保磁力が１５００エルステッド〜５０００エルステッドの高保磁力材料を使用することが好ましいが、これに限定されるものではない。
【００１８】
また、磁気記録層ＭＬを形成するための塗料またはインク（以下、磁気記録剤という場合がある）は、例えば、上述のバインダー、磁性粉、および必要に応じて分散剤、硬化剤、顔料などを加え、適当な溶剤中に分散して得られるが、これに限定されるものではない。得られた塗料またはインクは、ロータリースクリーン印刷、ソルベントコーティング法、グラビア印刷、スクリーン印刷、さらには、凸版印刷、凹版印刷、平版印刷、孔版印刷等のあらゆる印刷法により塗布することができ、塗料やインクを基材シートＢＳに積層（塗布）できる限りにおいて何ら限定されるものではない。
【００１９】
次に、接着シートＳ１のシート製造装置１について説明する。
シート製造装置１は、図２に示すように、基材シートＢＳを繰り出す基材シート繰出手段１０と、基材シートＢＳに磁気記録層ＭＬを積層する磁気記録層積層手段２０と、磁気記録層ＭＬを硬化させる硬化手段３０と、磁気記録層ＭＬが積層された基材シートＢＳに接着剤層ＡＤを積層することで原接着シートＳ０を形成する接着剤層形成手段４０と、剥離シートＲＬを繰り出す剥離シート繰出手段５０と、剥離シートＲＬを原接着シートＳ０に仮着する仮着手段６０と、原接着シートＳ０を所定形状に切断して接着シートＳ１を形成する切断手段７０と、接着シートＳ１の周囲に形成される不要シートＳ２を巻き取る巻取手段８０と、剥離シートＲＬに複数の接着シートＳ１が仮着された第２原反Ｒ２を回収する回収手段９０とを備えている。
【００２０】
基材シート繰出手段１０は、基材シートＢＳをロール状に巻回して支持するとともに駆動機器としての回動モータ１４により駆動される支持ローラ１１と、支持ローラ１１から引き出された基材シートＢＳを案内するとともに、駆動機器としての回動モータ１５により駆動する駆動ローラ１２と、この駆動ローラ１２との間に基材シートＢＳを挟み込むピンチローラ１３とを備えている。
【００２１】
磁気記録層積層手段２０は、ロータリースクリーン印刷機であり、図２中左右方向に搬送される基材シートＢＳの下方に設けられ、駆動機器としての回動モータ２３により回転可能に設けられた円筒状のロータリースクリーン２１と、このロータリースクリーン２１の内部に設けられた図示しないスキージと、基材シートＢＳを挟んでロータリースクリーン２１と対向配置され、駆動機器としての回動モータ２４により回転可能に設けられた圧胴２２とを備えている。この磁気記録層積層手段２０は、ロータリースクリーン２１と圧胴２２とを回転させ、ロータリースクリーン２１の内部に貯留された磁気記録剤を、当該ロータリースクリーン２１の表面に形成された図示しない孔を通じてスキージにより押し出すように構成されている。
硬化手段３０は、ロータリースクリーン２１における基材シートＢＳの搬送方向下流側に設けられ、磁気記録層ＭＬの硬化特性に応じて、熱風、紫外線、赤外線、マイクロ波、冷風等を吹き付けて磁気記録層ＭＬを硬化させたり乾燥させたりするものである。
【００２２】
接着剤層形成手段４０は、磁気記録層積層手段２０と同様のロータリースクリーン印刷機であり、図２中左右方向に搬送される基材シートＢＳの下方に設けられ、駆動機器としての回動モータ４３により回転可能に設けられたロータリースクリーン４１と、図示しないスキージと、基材シートＢＳを挟んでロータリースクリーン４１と対向配置され、駆動機器としての回動モータ４４により回転可能に設けられた圧胴４２とを備えている。この接着剤層形成手段４０は、ロータリースクリーン４１の内部に貯留された接着剤をスキージにより押し出すように構成されている。
剥離シート繰出手段５０は、剥離シートＲＬをロール状に巻回して支持するとともに駆動機器としての回動モータ５２により回転可能に設けられた支持ローラ５１を備えている。
仮着手段６０は、駆動機器としての回動モータ６３により回転可能に設けられ、剥離シート繰出手段５０から繰り出される剥離シートＲＬを左方向に誘導する誘導ローラ６１と、誘導ローラ６１に対向して設けられたピンチローラ６２とを備えている。
【００２３】
切断手段７０は、原接着シートＳ０に円形の切り込みＣＵを形成する切込刃７１を備えたダイカットローラ７２と、原接着シートＳ０および剥離シートＲＬを挟んでダイカットローラ７２と対向配置されたプラテンローラ７３とを備えている。切込刃７１は、基材シートＢＳ側から剥離シートＲＬを貫通しない深さの切り込みＣＵを形成し、当該切込ＣＵの内側に円形の接着シートＳ１を形成する。なお、ダイカットローラ７２およびプラテンローラ７３は、駆動機器としての回動モータ７４，７５により同期して回転可能に設けられている。また、切込刃７１には、原接着シートＳ０の接着剤が付着しないように、フッ素樹脂コート等の不接着処理を施しておくことが好ましい。
【００２４】
巻取手段８０は、切断手段７０によって切り込みＣＵの外側に形成された帯状の不要シートＳ２を剥離シートＲＬから剥離する剥離ローラ８１と、駆動機器としての回動モータ８３により回転可能に設けられ、不要シートＳ２を巻き取る巻取ローラ８２とを備えている。
回収手段９０は、駆動機器としての回動モータ９３により回転可能に設けられた駆動ローラ９１と、駆動機器としての回動モータ９４により回転可能に設けられ、第２原反Ｒ２を回収する回収ローラ９２とを備えている。なお、回動モータ１５，６３，９３によって原接着シートＳ０に張力を付与する張力付与手段が構成される。
【００２５】
以上のシート製造装置１において、第２原反Ｒ２を製造する手順としては、まず、図２に示すように、巻回された基材シートＢＳを支持ローラ１１にセットするとともに、巻回された剥離シートＲＬを支持ローラ５１にセットする。
この状態で、回動モータ１４，１５を駆動して支持ローラ１１、駆動ローラ１２を回転させて基材シートＢＳを繰り出し、回動モータ１４，１５に同期して回動モータ２３，２４，４３，４４，５２，６３、７４，７５，８３，９３，９４を駆動して、ロータリースクリーン２１、圧胴２２、ロータリースクリーン４１、圧胴４２、支持ローラ５１、誘導ローラ６１、ダイカットローラ７２、プラテンローラ７３、巻取ローラ８２、駆動ローラ９１、回収ローラ９２を回転させる。
【００２６】
各ローラが回転すると、支持ローラ１１から繰り出された基材シートＢＳは、駆動ローラ１２、ピンチローラ１３間を経て、磁気記録層積層手段２０によりロータリースクリーン２１と圧胴２２とで挟み込まれ、その一部領域であって当該基材シートＢＳの搬送方向に沿って延びる磁気記録層ＭＬが塗布されて積層される（図１参照）。このように、印刷法を用いることで、磁気記録層ＭＬを容易に積層することができる。
次いで、磁気記録層ＭＬが積層された基材シートＢＳは、硬化手段３０に搬送され、磁気記録層ＭＬが硬化される。なお、硬化手段３０における基材シートＢＳの搬送方向上流側または下流側で、磁気記録層ＭＬに所定情報を記録させてもよいし、させなくてもよい。
その後、磁気記録層ＭＬが積層された基材シートＢＳは、接着剤層形成手段４０によりロータリースクリーン４１と圧胴４２とで挟み込まれ、その略全領域であって当該基材シートＢＳに塗布された磁気記録層ＭＬ覆うように、接着剤層ＡＤが塗布されて積層される。これにより、基材シートＢＳと磁気記録層ＭＬと接着剤層ＡＤとを有する原接着シートＳ０が形成される。
このように、基材シートＢＳと接着剤層ＡＤとの間に磁気記録層ＭＬを挟み込むことにより、接着シートＳ１が異物と接触したとしても、磁気記録層ＭＬが傷つくことを抑制でき、磁気記録層ＭＬに記録された所定情報を読み込むことができなかったり、磁気記録層ＭＬに所定情報を記録できなかったりするいといった不具合を抑制できる。
【００２７】
この形成された原接着シートＳ０は、仮着手段６０により誘導ローラ６１とピンチローラ６２とで挟み込まれ、剥離シート繰出手段５０から繰り出された剥離シートＲＬに仮着される。この後、剥離シートＲＬに仮着された原接着シートＳ０は、切断手段７０により切り込みＣＵが形成され、円形の接着シートＳ１と不要シートＳ２とが形成される。そして、切断手段７０で切断された原接着シートＳ０の不要シートＲ２が巻取手段８０で巻き取られ、剥離シートＲＬ上に複数の接着シートＳ１が仮着された第２原反Ｒ２は、回収手段９０に回収される。なお、接着剤層形成手段４０による接着剤層ＡＤの塗布は、剥離シートＲＬにおける原接着シートＳ０に仮着される面側（図２中左右方向に搬送される剥離シートＲＬの上面側）に行うように構成してもよい。また、磁気記録層積層手段２０による磁気記録層ＭＬの塗布は、剥離シートＲＬ上に塗布された接着剤層ＡＤ上に行うように構成してもよい。さらに、基材シートＢＳと接着剤層ＡＤとの間に積層された磁気記録層ＭＬを当該基材シートＢＳとで挟み込むように、接着剤層ＡＤ側から磁気記録層ＭＬの幅よりも幅の広い他の接着シートまたはシート材を貼付して、磁気記録層ＭＬを保護するように構成してもよい。
【００２８】
以上のような第１実施形態によれば、接着シートＳ１に所定情報の記録機能を設けるための構成として、磁気記録層ＭＬを採用しているため、コストダウンを容易に図ることができる上、基材シートＢＳと、磁気記録層ＭＬとの分別が不要となり、接着シートＳ１を容易に廃棄できる。
【００２９】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態を図面に基づいて説明する。
第２実施形態の加工用シートとしての接着シートＳ１１は、図３（Ａ）に示すように、円形の基材シートＢＳと、基材シートＢＳの一方の面の全領域に積層された接着剤層ＡＤと、この接着剤層ＡＤ上に積層された磁気記録層ＭＬとを備え、平面視における基材シートＢＳに対する磁気記録層ＭＬの位置は、第１実施形態の接着シートＳ１の磁気記録層ＭＬと同様の位置となっている。
【００３０】
次に、接着シートＳ１１のシート製造装置１Ａについて説明する。
シート製造装置１Ａは、図３（Ｂ）に示すように、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層ＡＤを有する帯状接着シートＳ４が当該接着剤層ＡＤを介して帯状の剥離シートＲＬの一方の面に仮着された第１原反Ｒ１１を繰り出す繰出手段１０Ａと、帯状接着シートＳ４から剥離シートＲＬを剥離する剥離ローラ１００Ａと、帯状接着シートＳ４から剥離された剥離シートＲＬを迂回させる一対の迂回ローラ１１１Ａを備えた迂回手段１１０Ａと、帯状接着シートＳ４の接着剤層ＡＤ上に磁気記録層ＭＬを積層して原接着シートＳ１０を形成する磁気記録層積層手段２０と、硬化手段３０と、駆動機器としての回動モータ１２３Ａにより回転可能に設けられた誘導ローラ１２１Ａとピンチローラ１２２Ａとで迂回させた剥離シートＲＬに原接着シートＳ１０を仮着する再仮着手段１２０Ａと、切断手段７０と、巻取手段８０と、回収手段９０とを備えている。
そして、第１原反Ｒ１１を図３（Ｂ）に示すようにセットする。この状態で、各ローラを回転させて第１原反Ｒ１１を繰り出すと、剥離ローラ１００Ａによって帯状接着シートＳ４が剥離シートＲＬから剥離される。次いで、当該帯状接着シートＳ４の接着剤層ＡＤには磁気記録層積層手段２０により磁気記録層ＭＬが塗布されて積層される。この後、この磁気記録層ＭＬが硬化手段３０により硬化させられることで、原接着シートＳ１０が形成される。そして、原接着シートＳ１０は、迂回してきた剥離シートＲＬに再仮着手段１２０Ａにより再仮着される。
剥離シートＲＬに仮着された原接着シートＳ１０は、切断手段７０により切り込みＣＵが形成され、円形の接着シートＳ１１と不要シートＳ１２とが形成され、巻取手段８０で不要シートＳ１２が巻き取られ、剥離シートＲＬ上に複数の接着シートＳ１１が仮着された第２原反Ｒ１２は、回収手段９０に回収される。なお、磁気記録層積層手段２０による磁気記録層ＭＬの塗布は、帯状接着シートＳ４から剥離された剥離シートＲＬにおける帯状接着シートＳ４の剥離面側（図３中左右方向に搬送される剥離シートＲＬの上面側）に行うように構成してもよい。また、接着剤層ＡＤ上に積層された磁気記録層ＭＬを当該接着剤層ＡＤとで挟み込むように、磁気記録層ＭＬの幅よりも幅の広い他の接着シートまたはシート材を貼付して、磁気記録層ＭＬを保護するように構成してもよい。
【００３１】
［第３実施形態］
次に、本発明の第３実施形態を図面に基づいて説明する。
第３実施形態の加工用シートとしての接着シートＳ２１は、図４（Ａ）に示すように、円形の基材シートＢＳと、基材シートＢＳの一方の面の全領域に積層された接着剤層ＡＤと、基材シートＢＳの他方の面上に積層された磁気記録層ＭＬとを備え、平面視における基材シートＢＳに対する磁気記録層ＭＬの位置は、第１実施形態の接着シートＳ１の磁気記録層ＭＬと同様の位置となっている。
【００３２】
次に、接着シートＳ２１のシート製造装置１Ｂについて説明する。
シート製造装置１Ｂは、図４（Ｂ）に示すように、繰出手段１０Ａと、第１原反Ｒ１１の基材シートＢＳ側にロータリースクリーン２１が設けられた磁気記録層積層手段２０Ｂと、ロータリースクリーン２１における基材シートＢＳの搬送方向下流側であって、基材シートＢＳ側に設けられた硬化手段３０Ｂと、切断手段７０と、巻取手段８０と、回収手段９０とを備えている。
そして、第１原反Ｒ１１を図４（Ｂ）に示すようにセットする。この状態で、各ローラを回転させて第１原反Ｒ１１を繰り出すと、帯状接着シートＳ４の基材シートＢＳ上に磁気記録層積層手段２０Ｂにより磁気記録層ＭＬが積層される。次いで、この磁気記録層ＭＬが硬化手段３０Ｂにより硬化させられることで、帯状接着シートＳ４の基材シートＢＳ上に磁気記録層ＭＬが積層された原接着シートＳ２０が形成される。その後、この原接着シートＳ２０は、切断手段７０により切り込みＣＵが形成され、円形の接着シートＳ２１と不要シートＳ２２とが形成され、巻取手段８０で不要シートＳ２２が巻き取られ、剥離シートＲＬ上に複数の接着シートＳ２１が仮着された第２原反Ｒ２２は、回収手段９０に回収される。なお、基材シートＢＳ上に積層された磁気記録層ＭＬを当該基材シートＢＳとで挟み込むように、磁気記録層ＭＬの幅よりも幅の広い他の接着シートを貼付して、磁気記録層ＭＬを保護するように構成してもよい。
【００３３】
［第４実施形態］
次に、本発明の第４実施形態を図面に基づいて説明する。
第４実施形態の加工用シートとしての接着シートＳ３１は、図５（Ａ）に示すように、円形の基材シートＢＳと、基材シートＢＳの一方の面の全領域に積層された磁気接着剤層ＡＭＬとを備えている。
磁気接着剤層ＡＭＬは、基材シートＢＳとリングフレームＲＦとを接着する機能と、磁気ライタにより所定情報を記録する機能とを有し、磁気接着剤層ＡＭＬに記録された所定情報は、磁気リーダにより読み取ることができるようになっている。なお、磁気接着剤層ＡＭＬに記録される所定情報としては、上述の磁気記録層ＭＬに記録されるものと同様のものが例示できる。
【００３４】
ここで、磁気接着剤層ＡＭＬを形成するための磁気接着剤としては、Ｆｅ（鉄）、Ｍｎ（マンガン）、Ｚｎ（亜鉛）の硝酸金属塩とアミノ酸との錯体を含有する溶媒を加熱して得られるスピネル型Ｍｎ−Ｚｎフェライト粉末を体積分率で２５質量％〜７０質量％の比率で熱硬化型シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、湿気硬化型樹脂、アクリル樹脂、紫外線硬化型樹脂の少なくとも一種と混合したものが例示できる。前記の混合の際に、磁性粉末の粒径を平均粒径で１５μｍ以下、好ましくは１０μｍ以下とすることによって、なめらかな流動性及び塗布性を有し、磁性体の漏洩磁束が低減される優れた磁性接着剤が得られる。
【００３５】
次に、接着シートＳ３１のシート製造装置１Ｃについて説明する。
シート製造装置１Ｃは、図５（Ｂ）に示すように、基材シート繰出手段１０と、この基材シート繰出手段１０から繰り出される基材シートＢＳの一方の面に磁気接着剤層ＡＭＬを積層する磁気接着剤層積層手段１３０Ｃと、磁気接着剤層ＡＭＬを硬化させる硬化手段３０Ｃと、剥離シート繰出手段５０と、仮着手段６０と、切断手段７０と、巻取手段８０と、回収手段９０とを備えている。
磁気接着剤層積層手段１３０Ｃは、接着剤層形成手段４０と同等の構成であり、基材シートＢＳに塗布する材料が接着剤と磁気接着剤とで異なるだけである。
硬化手段３０Ｃも硬化手段３０と同等の構成であり、硬化対象が磁気記録層ＭＬと磁気接着剤層ＡＭＬとで異なるだけである。
そして、基材シートＢＳと剥離シートＲＬとを図５（Ｂ）に示すようにセットする。この状態で、各ローラを回転させて基材シートＢＳを繰り出すと、基材シートＢＳ上に磁気接着剤層積層手段１３０Ｃにより磁気接着剤層ＡＭＬが積層される。次いで、この磁気接着剤層ＡＭＬが硬化手段３０Ｃにより硬化させられることで、基材シートＢＳ上に磁気接着剤層ＡＭＬが積層された原接着シートＳ３０が形成される。その後、原接着シートＳ３０は、仮着手段６０により剥離シートＲＬが仮着され、切断手段７０により、切り込みＣＵが形成され、円形の接着シートＳ３１と不要シートＳ３２とが形成され、巻取手段８０で不要シートＳ３２が巻き取られ、剥離シートＲＬ上に複数の接着シートＳ３１が仮着された第２原反Ｒ３２は、回収手段９０に回収される。なお、磁気接着剤層積層手段１３０Ｃによる磁気接着剤層ＡＭＬの塗布は、剥離シートＲＬにおける原接着シートＳ０に仮着される面側（図５中左右方向に搬送される剥離シートＲＬの上面側）に行うように構成してもよい。また、ウェハＷやリングフレームＲＦ等の被着体が貼付される予定のない全領域または一部領域における磁気接着剤層ＡＭＬを基材シートＢＳとで挟み込むように、接着シートまたはシート材を貼付して、磁気接着剤層ＡＭＬを保護するように構成してもよい。
【００３６】
以上のような第４実施形態によれば、接着シートＳ３１に情報記録機能と接着機能とを設ける構成として、磁気接着剤層ＡＭＬを採用しているため、コストダウンを容易に図ることができる上、基材シートＢＳと、磁気接着剤層ＡＭＬとの分別が不要となり、接着シートＳ３１を容易に廃棄できる。
【００３７】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定
の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３８】
例えば、第１ないし第３実施形態の磁気記録層ＭＬの配置位置としては、図６（Ａ）に示すように、接着シートＳ１の面内で直線状に延びるように１箇所だけとしてもよいし、図６（Ｂ）に示すように、ウェハＷの接線方向に延び、かつ、ウェハＷを囲むように４箇所としてもよい。特に、図６（Ｂ）に示すように、複数の磁気記録層ＭＬを接着シートＳ１の平面視で互いに異なる方向に延びる直線状に設けることで、接着シートＳ１の搬送方向が異なることで、接着シートＳ１の磁気記録層ＭＬに所定情報を記録したり、所定情報を読み込んだりすることができなくなることを防止することができる。
さらに、平行に複数の磁気記録層ＭＬを形成してもよい。
また、磁気記録層ＭＬの形状は、直線形状に限らず、円形、楕円径、多角形、それらの形状を組み合せた形状等、何ら限定されるものではない。つまり、磁気記録層ＭＬは、印刷法によって形成されるので、より複雑で細やかな形状とすることができる。
さらに、シート製造装置１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃに切断手段７０を設けたが、切断手段７０を設けなくてもよい。
また、接着剤層ＡＤや磁気接着剤層ＡＭＬを紫外線やマイクロ波等のエネルギー線で硬化するエネルギー線硬化型の材料で構成してもよい。
さらに、磁気記録層ＭＬは、ウェハＷに重なる位置に設けてもよい。
また、磁気記録層積層手段２０，２０Ｂ、接着剤層形成手段４０、磁気接着剤層積層手段１３０Ｃは、ロータリースクリーン印刷以外の塗布方法を採用することができ、例えば、ソルベントコーティング法、グラビア印刷、スクリーン印刷、さらには、凸版印刷、凹版印刷、平版印刷、孔版印刷等あらゆる印刷法を採用することができ、積層する材料を被積層物に積層（塗布）できる限りにおいて何ら限定されるものではない。
さらに、接着シートＳ１，Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ３１は、リングフレームＲＦでウェハＷを保持させるものに限定されることはなく、ウェハＷやその他のものだけに貼付されるものであってもよく、その平面形状は、円形に限定されることなく、多角形、楕円形等、被着体の形状や要望によって適宜変更することができる。
【００３９】
また、本発明における接着シートＳ１，Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ３１の種別や材質などは、特に限定されず、例えば、基材シートＢＳと接着剤層ＡＤとの間に中間層を有するものや、他の層を有する等３層以上のものでもよい。また、接着シートＳ１，Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ３１は、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、板状部材が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、板状部材としては、ガラス板、鋼板、樹脂板、基板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
【００４０】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００４１】
１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ…シート製造装置
ＡＤ…接着剤層
ＡＭＬ…磁気接着剤層
ＢＳ…基材シート
ＭＬ…磁気記録層
Ｓ１，Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ３１…接着シート（加工用シート）
Ｗ…ウェハ（板状部材）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状部材の加工用シート、および、その製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、板状部材としての半導体ウェハ（以下、単にウェハという場合がある）をリングフレームで支持させる際に用いる接着シートに、データキャリアを設けた構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。
この特許文献１に記載の構成では、ＩＣチップと、このＩＣチップに接続された送受信用の導電性コイルとから構成される、いわゆるＲＦメモリをデータキャリアとして用い、当該データキャリアを接着シートの接着剤層の上に貼付している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２９３５０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の構成では、ＲＦメモリのようなデータキャリアは、高価なため、コストダウンを容易に図ることができない。また、データキャリアは、接着シートとは別に廃棄する必要があり、分別作業が煩わしい。
【０００５】
本発明の目的は、コストダウンと廃棄が容易な板状部材の加工用シート、および、その製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明の板状部材の加工用シートは、所定の加工が施される板状部材に貼付される板状部材の加工用シートであって、基材シートと、所定情報を記録可能な磁気記録層と、接着剤層とを備える、という構成を採用している。
【０００７】
この際、本発明の板状部材の加工用シートでは、前記磁気記録層は、前記基材シートと前記接着剤層との間に積層されている、ことが好ましい。
さらに、本発明の板状部材の加工用シートでは、前記磁気記録層は、複数設けられ、当該複数の磁気記録層は、前記基材シートの平面視で互いに異なる方向に延びる直線状に設けられている、ことが好ましい。
【０００８】
また、本発明の板状部材の加工用シートは、所定の加工が施される板状部材に貼付される板状部材の加工用シートであって、基材シートと、前記基材シートの一方の面に積層されて所定情報を記録可能な磁気接着剤層とを備える、という構成を採用している。
【０００９】
一方、本発明の板状部材の加工用シートの製造方法は、所定の加工が施される板状部材に貼付される板状部材の加工用シートの製造方法であって、基材シートの一方の面に所定情報を記録可能な磁気記録層を積層する工程と、前記基材シートの一方の面側であって、前記磁気記録層を覆うように接着剤層を積層する工程とを有する、という構成を採用している。
また、本発明の板状部材の加工用シートの製造方法は、所定の加工が施される板状部材に貼付される板状部材の加工用シートの製造方法であって、基材シートの一方の面に接着剤層を積層する工程と、前記接着剤層に所定情報を記録可能な磁気記録層を積層する工程とを有する、という構成を採用している。
さらに、本発明の板状部材の加工用シートの製造方法は、所定の加工が施される板状部材に貼付される板状部材の加工用シートの製造方法であって、基材シートの一方の面に所定情報を記録可能な磁気接着剤層を積層する工程を有する、という構成を採用している。
【発明の効果】
【００１０】
以上のような本発明によれば、加工用シートに所定情報の記録機能を設けるための構成として、磁気記録層、あるいは、磁気接着剤層を採用しているため、ＲＦメモリのようなデータキャリアを採用する構成と比べて、コストダウンを容易に図ることができる。また、基材シートと、磁気記録層あるいは磁気接着剤層との分別が不要となり、加工用シートを容易に廃棄できる。
【００１１】
この際、磁気記録層を基材シートと接着剤層との間に設ければ、加工用シートが異物と接触しても、磁気記録層が傷つくことを抑制でき、磁気記録層に記録された所定情報を読み込むことができなかったり、磁気記録層に所定情報を記録できなかったりするといった不具合を抑制できる。特に、磁気記録層を基材シートと板状部材とに間に位置させて貼付した場合、磁気記録層の損傷をより効果的に抑制することができる。
また、複数の磁気記録層を基材シートの平面視で互いに異なる方向に延びる直線状に設ければ、例えば、加工用シートの搬送方向が異なることで、板状部材に貼付された加工用シートの磁気記録層に所定情報を記録したり、所定情報を読み込んだりすることができなくなることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】（Ａ）は、本発明の第１実施形態に係る接着シートの使用例を示す斜視図、（Ｂ）は、（Ａ）の断面図。
【図２】前記第1実施形態のシート製造装置の側面図。
【図３】（Ａ）は、本発明の第２実施形態に係る接着シートの使用例を示す断面図、（Ｂ）は、そのシート製造装置の側面図。
【図４】（Ａ）は、本発明の第３実施形態に係る接着シートの使用例を示す断面図、（Ｂ）は、そのシート製造装置の側面図。
【図５】（Ａ）は、本発明の第４実施形態に係る接着シートの使用例を示す断面図、（Ｂ）は、そのシート製造装置の側面図。
【図６】（Ａ），（Ｂ）は本発明の変形例に係る接着シートの平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第２〜第４実施形態において、次の第１実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材、および同様な機能を有する構成部材には、第１実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。また、各図においては、本発明の内容を理解しやすくするために各構成の形状や配置状態を誇張して示している。
【００１４】
［第１実施形態］
【００１５】
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
まず、加工用シートとしての接着シートＳ１について説明する。図１（Ａ），（Ｂ）において、接着シートＳ１は、板状部材としてのウェハＷとリングフレームＲＦとに貼付されることで、リングフレームＲＦでウェハＷを保持させるものであり、円形の基材シートＢＳと、基材シートＢＳの一方の面に積層された磁気記録層ＭＬと、基材シートＢＳ上に磁気記録層ＭＬを覆うように積層された接着剤層ＡＤとを備えている。磁気記録層ＭＬは、基材シートＢＳの中央にウェハＷが貼付された際に、ウェハＷよりも外側において、基材シートＢＳの径方向と平行に延び、かつ、基材シートＢＳの外縁上の所定の２点を結ぶ直線状に設けられている。
【００１６】
この磁気記録層ＭＬには、磁気ライタにより所定情報を記録することが可能であり、磁気記録層ＭＬに記録された所定情報は、磁気リーダにより読み取ることができる。この磁気記録層ＭＬに記録される所定情報としては、例えば、接着シートＳ１の種類、材質、品名、コード、厚さ、長さ、幅、直径などの規格寸法、さらには、接着シートＳ１および剥離シートＲＬで構成される第２原反Ｒ２のロットナンバー、接着シートＳ１の品質保証期限、接着シートＳ１を最適に繰り出すことのできる推奨繰出速度、接着シートＳ１を最適に貼付することができる推奨貼付張力や推奨押圧力などの接着シートＳ１の貼付条件、接着シートＳ１や第２原反Ｒ２についての相談窓口の連絡先などが例示できる。
【００１７】
ここで、磁気記録層ＭＬは、例えば、バインダー中に磁性粉を均一分散して成層されたものであり、バインダーとしては、ポリエステル樹脂、塩化ビニル樹脂、ポリウレタン樹脂、塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。また、これらの樹脂は、単独または２種以上を混合して用いることもできる。
一方、磁性粉としては、例えば、γ−Ｆｅ2Ｏ3、バリウムフェライト、ストロンチウムフェライト等の強磁性体が挙げられるが、記録された情報が通常の永久磁石により消去または減衰することを防止するためには、バリウムフェライト、ストロンチウムフェライトのような保磁力が１５００エルステッド〜５０００エルステッドの高保磁力材料を使用することが好ましいが、これに限定されるものではない。
【００１８】
また、磁気記録層ＭＬを形成するための塗料またはインク（以下、磁気記録剤という場合がある）は、例えば、上述のバインダー、磁性粉、および必要に応じて分散剤、硬化剤、顔料などを加え、適当な溶剤中に分散して得られるが、これに限定されるものではない。得られた塗料またはインクは、ロータリースクリーン印刷、ソルベントコーティング法、グラビア印刷、スクリーン印刷、さらには、凸版印刷、凹版印刷、平版印刷、孔版印刷等のあらゆる印刷法により塗布することができ、塗料やインクを基材シートＢＳに積層（塗布）できる限りにおいて何ら限定されるものではない。
【００１９】
次に、接着シートＳ１のシート製造装置１について説明する。
シート製造装置１は、図２に示すように、基材シートＢＳを繰り出す基材シート繰出手段１０と、基材シートＢＳに磁気記録層ＭＬを積層する磁気記録層積層手段２０と、磁気記録層ＭＬを硬化させる硬化手段３０と、磁気記録層ＭＬが積層された基材シートＢＳに接着剤層ＡＤを積層することで原接着シートＳ０を形成する接着剤層形成手段４０と、剥離シートＲＬを繰り出す剥離シート繰出手段５０と、剥離シートＲＬを原接着シートＳ０に仮着する仮着手段６０と、原接着シートＳ０を所定形状に切断して接着シートＳ１を形成する切断手段７０と、接着シートＳ１の周囲に形成される不要シートＳ２を巻き取る巻取手段８０と、剥離シートＲＬに複数の接着シートＳ１が仮着された第２原反Ｒ２を回収する回収手段９０とを備えている。
【００２０】
基材シート繰出手段１０は、基材シートＢＳをロール状に巻回して支持するとともに駆動機器としての回動モータ１４により駆動される支持ローラ１１と、支持ローラ１１から引き出された基材シートＢＳを案内するとともに、駆動機器としての回動モータ１５により駆動する駆動ローラ１２と、この駆動ローラ１２との間に基材シートＢＳを挟み込むピンチローラ１３とを備えている。
【００２１】
磁気記録層積層手段２０は、ロータリースクリーン印刷機であり、図２中左右方向に搬送される基材シートＢＳの下方に設けられ、駆動機器としての回動モータ２３により回転可能に設けられた円筒状のロータリースクリーン２１と、このロータリースクリーン２１の内部に設けられた図示しないスキージと、基材シートＢＳを挟んでロータリースクリーン２１と対向配置され、駆動機器としての回動モータ２４により回転可能に設けられた圧胴２２とを備えている。この磁気記録層積層手段２０は、ロータリースクリーン２１と圧胴２２とを回転させ、ロータリースクリーン２１の内部に貯留された磁気記録剤を、当該ロータリースクリーン２１の表面に形成された図示しない孔を通じてスキージにより押し出すように構成されている。
硬化手段３０は、ロータリースクリーン２１における基材シートＢＳの搬送方向下流側に設けられ、磁気記録層ＭＬの硬化特性に応じて、熱風、紫外線、赤外線、マイクロ波、冷風等を吹き付けて磁気記録層ＭＬを硬化させたり乾燥させたりするものである。
【００２２】
接着剤層形成手段４０は、磁気記録層積層手段２０と同様のロータリースクリーン印刷機であり、図２中左右方向に搬送される基材シートＢＳの下方に設けられ、駆動機器としての回動モータ４３により回転可能に設けられたロータリースクリーン４１と、図示しないスキージと、基材シートＢＳを挟んでロータリースクリーン４１と対向配置され、駆動機器としての回動モータ４４により回転可能に設けられた圧胴４２とを備えている。この接着剤層形成手段４０は、ロータリースクリーン４１の内部に貯留された接着剤をスキージにより押し出すように構成されている。
剥離シート繰出手段５０は、剥離シートＲＬをロール状に巻回して支持するとともに駆動機器としての回動モータ５２により回転可能に設けられた支持ローラ５１を備えている。
仮着手段６０は、駆動機器としての回動モータ６３により回転可能に設けられ、剥離シート繰出手段５０から繰り出される剥離シートＲＬを左方向に誘導する誘導ローラ６１と、誘導ローラ６１に対向して設けられたピンチローラ６２とを備えている。
【００２３】
切断手段７０は、原接着シートＳ０に円形の切り込みＣＵを形成する切込刃７１を備えたダイカットローラ７２と、原接着シートＳ０および剥離シートＲＬを挟んでダイカットローラ７２と対向配置されたプラテンローラ７３とを備えている。切込刃７１は、基材シートＢＳ側から剥離シートＲＬを貫通しない深さの切り込みＣＵを形成し、当該切込ＣＵの内側に円形の接着シートＳ１を形成する。なお、ダイカットローラ７２およびプラテンローラ７３は、駆動機器としての回動モータ７４，７５により同期して回転可能に設けられている。また、切込刃７１には、原接着シートＳ０の接着剤が付着しないように、フッ素樹脂コート等の不接着処理を施しておくことが好ましい。
【００２４】
巻取手段８０は、切断手段７０によって切り込みＣＵの外側に形成された帯状の不要シートＳ２を剥離シートＲＬから剥離する剥離ローラ８１と、駆動機器としての回動モータ８３により回転可能に設けられ、不要シートＳ２を巻き取る巻取ローラ８２とを備えている。
回収手段９０は、駆動機器としての回動モータ９３により回転可能に設けられた駆動ローラ９１と、駆動機器としての回動モータ９４により回転可能に設けられ、第２原反Ｒ２を回収する回収ローラ９２とを備えている。なお、回動モータ１５，６３，９３によって原接着シートＳ０に張力を付与する張力付与手段が構成される。
【００２５】
以上のシート製造装置１において、第２原反Ｒ２を製造する手順としては、まず、図２に示すように、巻回された基材シートＢＳを支持ローラ１１にセットするとともに、巻回された剥離シートＲＬを支持ローラ５１にセットする。
この状態で、回動モータ１４，１５を駆動して支持ローラ１１、駆動ローラ１２を回転させて基材シートＢＳを繰り出し、回動モータ１４，１５に同期して回動モータ２３，２４，４３，４４，５２，６３、７４，７５，８３，９３，９４を駆動して、ロータリースクリーン２１、圧胴２２、ロータリースクリーン４１、圧胴４２、支持ローラ５１、誘導ローラ６１、ダイカットローラ７２、プラテンローラ７３、巻取ローラ８２、駆動ローラ９１、回収ローラ９２を回転させる。
【００２６】
各ローラが回転すると、支持ローラ１１から繰り出された基材シートＢＳは、駆動ローラ１２、ピンチローラ１３間を経て、磁気記録層積層手段２０によりロータリースクリーン２１と圧胴２２とで挟み込まれ、その一部領域であって当該基材シートＢＳの搬送方向に沿って延びる磁気記録層ＭＬが塗布されて積層される（図１参照）。このように、印刷法を用いることで、磁気記録層ＭＬを容易に積層することができる。
次いで、磁気記録層ＭＬが積層された基材シートＢＳは、硬化手段３０に搬送され、磁気記録層ＭＬが硬化される。なお、硬化手段３０における基材シートＢＳの搬送方向上流側または下流側で、磁気記録層ＭＬに所定情報を記録させてもよいし、させなくてもよい。
その後、磁気記録層ＭＬが積層された基材シートＢＳは、接着剤層形成手段４０によりロータリースクリーン４１と圧胴４２とで挟み込まれ、その略全領域であって当該基材シートＢＳに塗布された磁気記録層ＭＬ覆うように、接着剤層ＡＤが塗布されて積層される。これにより、基材シートＢＳと磁気記録層ＭＬと接着剤層ＡＤとを有する原接着シートＳ０が形成される。
このように、基材シートＢＳと接着剤層ＡＤとの間に磁気記録層ＭＬを挟み込むことにより、接着シートＳ１が異物と接触したとしても、磁気記録層ＭＬが傷つくことを抑制でき、磁気記録層ＭＬに記録された所定情報を読み込むことができなかったり、磁気記録層ＭＬに所定情報を記録できなかったりするいといった不具合を抑制できる。
【００２７】
この形成された原接着シートＳ０は、仮着手段６０により誘導ローラ６１とピンチローラ６２とで挟み込まれ、剥離シート繰出手段５０から繰り出された剥離シートＲＬに仮着される。この後、剥離シートＲＬに仮着された原接着シートＳ０は、切断手段７０により切り込みＣＵが形成され、円形の接着シートＳ１と不要シートＳ２とが形成される。そして、切断手段７０で切断された原接着シートＳ０の不要シートＲ２が巻取手段８０で巻き取られ、剥離シートＲＬ上に複数の接着シートＳ１が仮着された第２原反Ｒ２は、回収手段９０に回収される。なお、接着剤層形成手段４０による接着剤層ＡＤの塗布は、剥離シートＲＬにおける原接着シートＳ０に仮着される面側（図２中左右方向に搬送される剥離シートＲＬの上面側）に行うように構成してもよい。また、磁気記録層積層手段２０による磁気記録層ＭＬの塗布は、剥離シートＲＬ上に塗布された接着剤層ＡＤ上に行うように構成してもよい。さらに、基材シートＢＳと接着剤層ＡＤとの間に積層された磁気記録層ＭＬを当該基材シートＢＳとで挟み込むように、接着剤層ＡＤ側から磁気記録層ＭＬの幅よりも幅の広い他の接着シートまたはシート材を貼付して、磁気記録層ＭＬを保護するように構成してもよい。
【００２８】
以上のような第１実施形態によれば、接着シートＳ１に所定情報の記録機能を設けるための構成として、磁気記録層ＭＬを採用しているため、コストダウンを容易に図ることができる上、基材シートＢＳと、磁気記録層ＭＬとの分別が不要となり、接着シートＳ１を容易に廃棄できる。
【００２９】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態を図面に基づいて説明する。
第２実施形態の加工用シートとしての接着シートＳ１１は、図３（Ａ）に示すように、円形の基材シートＢＳと、基材シートＢＳの一方の面の全領域に積層された接着剤層ＡＤと、この接着剤層ＡＤ上に積層された磁気記録層ＭＬとを備え、平面視における基材シートＢＳに対する磁気記録層ＭＬの位置は、第１実施形態の接着シートＳ１の磁気記録層ＭＬと同様の位置となっている。
【００３０】
次に、接着シートＳ１１のシート製造装置１Ａについて説明する。
シート製造装置１Ａは、図３（Ｂ）に示すように、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層ＡＤを有する帯状接着シートＳ４が当該接着剤層ＡＤを介して帯状の剥離シートＲＬの一方の面に仮着された第１原反Ｒ１１を繰り出す繰出手段１０Ａと、帯状接着シートＳ４から剥離シートＲＬを剥離する剥離ローラ１００Ａと、帯状接着シートＳ４から剥離された剥離シートＲＬを迂回させる一対の迂回ローラ１１１Ａを備えた迂回手段１１０Ａと、帯状接着シートＳ４の接着剤層ＡＤ上に磁気記録層ＭＬを積層して原接着シートＳ１０を形成する磁気記録層積層手段２０と、硬化手段３０と、駆動機器としての回動モータ１２３Ａにより回転可能に設けられた誘導ローラ１２１Ａとピンチローラ１２２Ａとで迂回させた剥離シートＲＬに原接着シートＳ１０を仮着する再仮着手段１２０Ａと、切断手段７０と、巻取手段８０と、回収手段９０とを備えている。
そして、第１原反Ｒ１１を図３（Ｂ）に示すようにセットする。この状態で、各ローラを回転させて第１原反Ｒ１１を繰り出すと、剥離ローラ１００Ａによって帯状接着シートＳ４が剥離シートＲＬから剥離される。次いで、当該帯状接着シートＳ４の接着剤層ＡＤには磁気記録層積層手段２０により磁気記録層ＭＬが塗布されて積層される。この後、この磁気記録層ＭＬが硬化手段３０により硬化させられることで、原接着シートＳ１０が形成される。そして、原接着シートＳ１０は、迂回してきた剥離シートＲＬに再仮着手段１２０Ａにより再仮着される。
剥離シートＲＬに仮着された原接着シートＳ１０は、切断手段７０により切り込みＣＵが形成され、円形の接着シートＳ１１と不要シートＳ１２とが形成され、巻取手段８０で不要シートＳ１２が巻き取られ、剥離シートＲＬ上に複数の接着シートＳ１１が仮着された第２原反Ｒ１２は、回収手段９０に回収される。なお、磁気記録層積層手段２０による磁気記録層ＭＬの塗布は、帯状接着シートＳ４から剥離された剥離シートＲＬにおける帯状接着シートＳ４の剥離面側（図３中左右方向に搬送される剥離シートＲＬの上面側）に行うように構成してもよい。また、接着剤層ＡＤ上に積層された磁気記録層ＭＬを当該接着剤層ＡＤとで挟み込むように、磁気記録層ＭＬの幅よりも幅の広い他の接着シートまたはシート材を貼付して、磁気記録層ＭＬを保護するように構成してもよい。
【００３１】
［第３実施形態］
次に、本発明の第３実施形態を図面に基づいて説明する。
第３実施形態の加工用シートとしての接着シートＳ２１は、図４（Ａ）に示すように、円形の基材シートＢＳと、基材シートＢＳの一方の面の全領域に積層された接着剤層ＡＤと、基材シートＢＳの他方の面上に積層された磁気記録層ＭＬとを備え、平面視における基材シートＢＳに対する磁気記録層ＭＬの位置は、第１実施形態の接着シートＳ１の磁気記録層ＭＬと同様の位置となっている。
【００３２】
次に、接着シートＳ２１のシート製造装置１Ｂについて説明する。
シート製造装置１Ｂは、図４（Ｂ）に示すように、繰出手段１０Ａと、第１原反Ｒ１１の基材シートＢＳ側にロータリースクリーン２１が設けられた磁気記録層積層手段２０Ｂと、ロータリースクリーン２１における基材シートＢＳの搬送方向下流側であって、基材シートＢＳ側に設けられた硬化手段３０Ｂと、切断手段７０と、巻取手段８０と、回収手段９０とを備えている。
そして、第１原反Ｒ１１を図４（Ｂ）に示すようにセットする。この状態で、各ローラを回転させて第１原反Ｒ１１を繰り出すと、帯状接着シートＳ４の基材シートＢＳ上に磁気記録層積層手段２０Ｂにより磁気記録層ＭＬが積層される。次いで、この磁気記録層ＭＬが硬化手段３０Ｂにより硬化させられることで、帯状接着シートＳ４の基材シートＢＳ上に磁気記録層ＭＬが積層された原接着シートＳ２０が形成される。その後、この原接着シートＳ２０は、切断手段７０により切り込みＣＵが形成され、円形の接着シートＳ２１と不要シートＳ２２とが形成され、巻取手段８０で不要シートＳ２２が巻き取られ、剥離シートＲＬ上に複数の接着シートＳ２１が仮着された第２原反Ｒ２２は、回収手段９０に回収される。なお、基材シートＢＳ上に積層された磁気記録層ＭＬを当該基材シートＢＳとで挟み込むように、磁気記録層ＭＬの幅よりも幅の広い他の接着シートを貼付して、磁気記録層ＭＬを保護するように構成してもよい。
【００３３】
［第４実施形態］
次に、本発明の第４実施形態を図面に基づいて説明する。
第４実施形態の加工用シートとしての接着シートＳ３１は、図５（Ａ）に示すように、円形の基材シートＢＳと、基材シートＢＳの一方の面の全領域に積層された磁気接着剤層ＡＭＬとを備えている。
磁気接着剤層ＡＭＬは、基材シートＢＳとリングフレームＲＦとを接着する機能と、磁気ライタにより所定情報を記録する機能とを有し、磁気接着剤層ＡＭＬに記録された所定情報は、磁気リーダにより読み取ることができるようになっている。なお、磁気接着剤層ＡＭＬに記録される所定情報としては、上述の磁気記録層ＭＬに記録されるものと同様のものが例示できる。
【００３４】
ここで、磁気接着剤層ＡＭＬを形成するための磁気接着剤としては、Ｆｅ（鉄）、Ｍｎ（マンガン）、Ｚｎ（亜鉛）の硝酸金属塩とアミノ酸との錯体を含有する溶媒を加熱して得られるスピネル型Ｍｎ−Ｚｎフェライト粉末を体積分率で２５質量％〜７０質量％の比率で熱硬化型シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、湿気硬化型樹脂、アクリル樹脂、紫外線硬化型樹脂の少なくとも一種と混合したものが例示できる。前記の混合の際に、磁性粉末の粒径を平均粒径で１５μｍ以下、好ましくは１０μｍ以下とすることによって、なめらかな流動性及び塗布性を有し、磁性体の漏洩磁束が低減される優れた磁性接着剤が得られる。
【００３５】
次に、接着シートＳ３１のシート製造装置１Ｃについて説明する。
シート製造装置１Ｃは、図５（Ｂ）に示すように、基材シート繰出手段１０と、この基材シート繰出手段１０から繰り出される基材シートＢＳの一方の面に磁気接着剤層ＡＭＬを積層する磁気接着剤層積層手段１３０Ｃと、磁気接着剤層ＡＭＬを硬化させる硬化手段３０Ｃと、剥離シート繰出手段５０と、仮着手段６０と、切断手段７０と、巻取手段８０と、回収手段９０とを備えている。
磁気接着剤層積層手段１３０Ｃは、接着剤層形成手段４０と同等の構成であり、基材シートＢＳに塗布する材料が接着剤と磁気接着剤とで異なるだけである。
硬化手段３０Ｃも硬化手段３０と同等の構成であり、硬化対象が磁気記録層ＭＬと磁気接着剤層ＡＭＬとで異なるだけである。
そして、基材シートＢＳと剥離シートＲＬとを図５（Ｂ）に示すようにセットする。この状態で、各ローラを回転させて基材シートＢＳを繰り出すと、基材シートＢＳ上に磁気接着剤層積層手段１３０Ｃにより磁気接着剤層ＡＭＬが積層される。次いで、この磁気接着剤層ＡＭＬが硬化手段３０Ｃにより硬化させられることで、基材シートＢＳ上に磁気接着剤層ＡＭＬが積層された原接着シートＳ３０が形成される。その後、原接着シートＳ３０は、仮着手段６０により剥離シートＲＬが仮着され、切断手段７０により、切り込みＣＵが形成され、円形の接着シートＳ３１と不要シートＳ３２とが形成され、巻取手段８０で不要シートＳ３２が巻き取られ、剥離シートＲＬ上に複数の接着シートＳ３１が仮着された第２原反Ｒ３２は、回収手段９０に回収される。なお、磁気接着剤層積層手段１３０Ｃによる磁気接着剤層ＡＭＬの塗布は、剥離シートＲＬにおける原接着シートＳ０に仮着される面側（図５中左右方向に搬送される剥離シートＲＬの上面側）に行うように構成してもよい。また、ウェハＷやリングフレームＲＦ等の被着体が貼付される予定のない全領域または一部領域における磁気接着剤層ＡＭＬを基材シートＢＳとで挟み込むように、接着シートまたはシート材を貼付して、磁気接着剤層ＡＭＬを保護するように構成してもよい。
【００３６】
以上のような第４実施形態によれば、接着シートＳ３１に情報記録機能と接着機能とを設ける構成として、磁気接着剤層ＡＭＬを採用しているため、コストダウンを容易に図ることができる上、基材シートＢＳと、磁気接着剤層ＡＭＬとの分別が不要となり、接着シートＳ３１を容易に廃棄できる。
【００３７】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定
の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３８】
例えば、第１ないし第３実施形態の磁気記録層ＭＬの配置位置としては、図６（Ａ）に示すように、接着シートＳ１の面内で直線状に延びるように１箇所だけとしてもよいし、図６（Ｂ）に示すように、ウェハＷの接線方向に延び、かつ、ウェハＷを囲むように４箇所としてもよい。特に、図６（Ｂ）に示すように、複数の磁気記録層ＭＬを接着シートＳ１の平面視で互いに異なる方向に延びる直線状に設けることで、接着シートＳ１の搬送方向が異なることで、接着シートＳ１の磁気記録層ＭＬに所定情報を記録したり、所定情報を読み込んだりすることができなくなることを防止することができる。
さらに、平行に複数の磁気記録層ＭＬを形成してもよい。
また、磁気記録層ＭＬの形状は、直線形状に限らず、円形、楕円径、多角形、それらの形状を組み合せた形状等、何ら限定されるものではない。つまり、磁気記録層ＭＬは、印刷法によって形成されるので、より複雑で細やかな形状とすることができる。
さらに、シート製造装置１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃに切断手段７０を設けたが、切断手段７０を設けなくてもよい。
また、接着剤層ＡＤや磁気接着剤層ＡＭＬを紫外線やマイクロ波等のエネルギー線で硬化するエネルギー線硬化型の材料で構成してもよい。
さらに、磁気記録層ＭＬは、ウェハＷに重なる位置に設けてもよい。
また、磁気記録層積層手段２０，２０Ｂ、接着剤層形成手段４０、磁気接着剤層積層手段１３０Ｃは、ロータリースクリーン印刷以外の塗布方法を採用することができ、例えば、ソルベントコーティング法、グラビア印刷、スクリーン印刷、さらには、凸版印刷、凹版印刷、平版印刷、孔版印刷等あらゆる印刷法を採用することができ、積層する材料を被積層物に積層（塗布）できる限りにおいて何ら限定されるものではない。
さらに、接着シートＳ１，Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ３１は、リングフレームＲＦでウェハＷを保持させるものに限定されることはなく、ウェハＷやその他のものだけに貼付されるものであってもよく、その平面形状は、円形に限定されることなく、多角形、楕円形等、被着体の形状や要望によって適宜変更することができる。
【００３９】
また、本発明における接着シートＳ１，Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ３１の種別や材質などは、特に限定されず、例えば、基材シートＢＳと接着剤層ＡＤとの間に中間層を有するものや、他の層を有する等３層以上のものでもよい。また、接着シートＳ１，Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ３１は、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、板状部材が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、板状部材としては、ガラス板、鋼板、樹脂板、基板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
【００４０】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００４１】
１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ…シート製造装置
ＡＤ…接着剤層
ＡＭＬ…磁気接着剤層
ＢＳ…基材シート
ＭＬ…磁気記録層
Ｓ１，Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ３１…接着シート（加工用シート）
Ｗ…ウェハ（板状部材）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の加工が施される板状部材に貼付される板状部材の加工用シートであって、
基材シートと、
所定情報を記録可能な磁気記録層と、
接着剤層とを備えることを特徴とする板状部材の加工用シート。
【請求項２】
前記磁気記録層は、前記基材シートと前記接着剤層との間に積層されていることを特徴とする請求項１に記載の板状部材の加工用シート。
【請求項３】
前記磁気記録層は、複数設けられ、
当該複数の磁気記録層は、前記基材シートの平面視で互いに異なる方向に延びる直線状に設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の板状部材の加工用シート。
【請求項４】
所定の加工が施される板状部材に貼付される板状部材の加工用シートであって、
基材シートと、
前記基材シートの一方の面に積層されて所定情報を記録可能な磁気接着剤層とを備えることを特徴とする板状部材の加工用シート。
【請求項５】
所定の加工が施される板状部材に貼付される板状部材の加工用シートの製造方法であって、
基材シートの一方の面に所定情報を記録可能な磁気記録層を積層する工程と、
前記基材シートの一方の面側であって、前記磁気記録層を覆うように接着剤層を積層する工程とを有することを特徴とする板状部材の加工用シートの製造方法。
【請求項６】
所定の加工が施される板状部材に貼付される板状部材の加工用シートの製造方法であって、
基材シートの一方の面に接着剤層を積層する工程と、
前記接着剤層に所定情報を記録可能な磁気記録層を積層する工程とを有することを特徴とする板状部材の加工用シートの製造方法。
【請求項７】
所定の加工が施される板状部材に貼付される板状部材の加工用シートの製造方法であって、
基材シートの一方の面に所定情報を記録可能な磁気接着剤層を積層する工程を有することを特徴とする板状部材の加工用シートの製造方法。
【請求項１】
所定の加工が施される板状部材に貼付される板状部材の加工用シートであって、
基材シートと、
所定情報を記録可能な磁気記録層と、
接着剤層とを備えることを特徴とする板状部材の加工用シート。
【請求項２】
前記磁気記録層は、前記基材シートと前記接着剤層との間に積層されていることを特徴とする請求項１に記載の板状部材の加工用シート。
【請求項３】
前記磁気記録層は、複数設けられ、
当該複数の磁気記録層は、前記基材シートの平面視で互いに異なる方向に延びる直線状に設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の板状部材の加工用シート。
【請求項４】
所定の加工が施される板状部材に貼付される板状部材の加工用シートであって、
基材シートと、
前記基材シートの一方の面に積層されて所定情報を記録可能な磁気接着剤層とを備えることを特徴とする板状部材の加工用シート。
【請求項５】
所定の加工が施される板状部材に貼付される板状部材の加工用シートの製造方法であって、
基材シートの一方の面に所定情報を記録可能な磁気記録層を積層する工程と、
前記基材シートの一方の面側であって、前記磁気記録層を覆うように接着剤層を積層する工程とを有することを特徴とする板状部材の加工用シートの製造方法。
【請求項６】
所定の加工が施される板状部材に貼付される板状部材の加工用シートの製造方法であって、
基材シートの一方の面に接着剤層を積層する工程と、
前記接着剤層に所定情報を記録可能な磁気記録層を積層する工程とを有することを特徴とする板状部材の加工用シートの製造方法。
【請求項７】
所定の加工が施される板状部材に貼付される板状部材の加工用シートの製造方法であって、
基材シートの一方の面に所定情報を記録可能な磁気接着剤層を積層する工程を有することを特徴とする板状部材の加工用シートの製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２０１３−３８２５５（Ｐ２０１３−３８２５５Ａ）
【公開日】平成２５年２月２１日（２０１３．２．２１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１７３８３５（Ｐ２０１１−１７３８３５）
【出願日】平成２３年８月９日（２０１１．８．９）
【出願人】（０００１０２９８０）リンテック株式会社 (1,750)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年２月２１日（２０１３．２．２１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年８月９日（２０１１．８．９）
【出願人】（０００１０２９８０）リンテック株式会社 (1,750)
【Ｆターム（参考）】
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