露光装置の基板搬送装置
【課題】 プリント配線基板のサイズに対応できる露光装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１を露光部５０内に移動し、可動ハンド２０の係止シリンダ３０がマスクホルダベース６３の直下に到達する位置で停止し、係止シリンダ３０を駆動し、マスクホルダベース６３に押し当てて、可動ハンド２０をマスクホルダベース６３に係止する。固定シリンダ２６を解除し、可動ハンド２０を移動可能なフリーの状態にし、固定ハンド１０を移動し、固定ハンド１０と可動ハンド２０の距離Ｘ（幅）を所定の距離に設定する。
【解決手段】搬送装置１を露光部５０内に移動し、可動ハンド２０の係止シリンダ３０がマスクホルダベース６３の直下に到達する位置で停止し、係止シリンダ３０を駆動し、マスクホルダベース６３に押し当てて、可動ハンド２０をマスクホルダベース６３に係止する。固定シリンダ２６を解除し、可動ハンド２０を移動可能なフリーの状態にし、固定ハンド１０を移動し、固定ハンド１０と可動ハンド２０の距離Ｘ（幅）を所定の距離に設定する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、プリント配線基板用の露光装置の基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線基板用の露光装置においては、前工程から基板を露光装置のプラテン上に搬入し、露光を行い、その後後工程へと基板を搬出する作業が必要であり、そのために基板搬送装置が設けられている。
プリント配線基板のサイズは種々の大きさがあり、そのため基板を保持する保持装置も基板のサイズに対応できるように構成されているのが普通である。
【０００３】
本発明者が認識しているこれら従来技術に関して公知文献はない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来の搬送装置は、作業者が手動により基板サイズに対応させる構成になっており、作業時間が掛かる上、該作業により装置内の清浄度を悪化させる問題があった。
また、モータ等を取り付けて自動で調整する構成のものもあるが、モータやそれに付随する機構を設ける必要があり、装置のコストアップになる問題がある。
本発明は上記従来技術の問題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明は、プリント配線基板を露光位置に搬入し、また露光位置から搬出する露光装置の基板搬送装置において、前記プリント配線基板を保持するための保持装置と、前記プリント配線基板の搬入、搬出を行うために前記保持装置を移動させる移動装置と、前記保持装置に備えられ、プリント配線基板を保持及び開放し、プリント配線基板のサイズに合わせて、保持装置に対して移動可能な保持部と、該保持部を所定箇所に係止する係止装置と、を備え、前記保持部を係止装置により係止した状態で、前記移動装置を駆動して保持装置を移動させることにより、前記保持部を保持装置に対して移動させる、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の露光装置の基板搬送装置によれば、手動によらず基板のサイズに対応できるため、装置内のクリーン度の悪化がなく、作業時間の大幅な短縮が可能であり、また保持装置の駆動装置を駆動源として用いるため、新たにモータなどの駆動機構を設ける必要がない、等の効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１において、露光装置Ａは露光部５０と基板搬入部５１及び基板搬出部５２を有し、基板搬入部５１と基板搬出部５２にそれぞれ搬送装置１、１が設置されている。基板搬入部５１の搬送装置１と基板搬出部５２の搬送装置１は同一のものであり、設置方向が対称的であるだけであるので、以下一方の搬送装置１のみを説明する。
【０００８】
基板搬入部５１にはローラ９が設けられており、前工程からローラ９上にプリント配線基板Ｂが送られてくる。プリント配線基板Ｂを搬送装置１により保持し、露光部５０内に搬入し、ここで露光を行うようになっている。
【０００９】
露光部５０には、プラテン６０とマスク６１及び光源５５が設けられ、搬送装置１により上下動可能なプラテン６０上に搬送されたプリント配線基板Ｂを露光処理し、基板搬出部５２側の搬送装置１によりプラテン６０から基板搬出部５２へと搬送するように構成されている。基板搬出部５２にもローラ９が設けられており、プリント配線基板Ｂはローラ９に乗せられて後工程に送られる。
【００１０】
マスク６１はマスクホルダ６２により支持され、マスクホルダ６２はマスクホルダベース６３に支持されている。この実施形態では、マスクホルダベース６３に移動可能な保持部である可動ハンド２０を係止するように構成されている。
【００１１】
搬送装置１は図２に示すように、移動装置２と移動装置２に連結された保持装置３を備えている。移動装置２は露光装置Ａ本体に沿って設けられた走行レール４０上を走行する台車４１を有しており、基板搬入部５１の搬送装置１と基板搬出部５２の搬送装置１が同一の走行レール４０上を走行するように構成されている。
【００１２】
保持装置３は、ほぼ平行に配設された固定ハンド１０と可動ハンド２０とを有する。固定ハンド１０と可動ハンド２０の下側には、図３に示すようにそれぞれ吸着パッド１１、吸着パッド２１が設けられており、この吸着パッド１１、吸着パッド２１によりプリント配線基板Ｂの両端を吸着してプリント配線基板Ｂを保持し、移動装置２により移動させるように構成されている。
【００１３】
可動ハンド２０は固定ハンド１０に対してＸ方向（プリント配線基板Ｂの移送方向）に移動可能になっており、プリント配線基板ＢのＸ方向のサイズ変化に対応できるようになっている。
Ｘ方向に伸びる平行な一対のリニアレール１５を有し、該リニアレール１５に係合し、吊下するリニアブロック２５が可動ハンド２０の両端に固定されている。リニアブロック２５の近傍には固定シリンダ２６が設けられており、この固定シリンダ２６により可動ハンド２０を固定或いは固定解除を行うように構成されている。
【００１４】
可動ハンド２０の上側には、更に係止シリンダ３０、３０が設けられており、可動ハンド２０を前記マスクホルダベース６３に係止するように構成されている。
【００１５】
以上の構成において、可動ハンド２０のＸ方向位置の移動調整方法を説明する。
図４に示すように、搬送装置１を露光部５０内に移動し、可動ハンド２０の係止シリンダ３０がマスクホルダベース６３の直下に到達する位置で停止し、係止シリンダ３０を駆動し、マスクホルダベース６３に押し当てて、可動ハンド２０をマスクホルダベース６３に係止する。
そして、固定シリンダ２６を解除し、可動ハンド２０を移動可能なフリーの状態にする。
【００１６】
次に、図５に示すように移動装置２を駆動し、固定ハンド１０を移動する。可動ハンド２０は固定されているから、固定ハンド１０と可動ハンド２０の距離Ｘ（幅）を所定のものに設定でき、プリント配線基板Ｂのサイズに合わせて、固定ハンド１０と可動ハンド２０の幅を任意に設定する。
そして、固定シリンダ２６をロックして可動ハンド２０を固定し、係止シリンダ３０を解除し、搬送装置１全体を基板搬入部５１に移動させ、原点位置に戻す。
【００１７】
基板搬出部５２の搬送装置１も同様の手順にて幅調整を行い、図６に示すようにプリント配線基板Ｂサイズに対応した搬送装置１、１の幅調整を完了する。
なお、Ｘ方向に直行するＹ方向のプリント配線基板Ｂのサイズへの対応は、吸着パッド１１、吸着パッド２１の駆動、非駆動により行う。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態を示す概略正面図。
【図２】本発明の一実施形態を示す概略平面図。
【図３】本発明の一実施形態を示す概略側面図。
【図４】本発明の一実施形態の動作説明図。
【図５】本発明の一実施形態の動作説明図。
【図６】本発明の一実施形態の動作説明図。
【符号の説明】
【００１９】
１：搬送装置、２：移動装置、３：保持装置、９：ローラ、１０：固定ハンド、１１：吸着パッド、１５：リニアレール、２０：可動ハンド、２１：吸着パッド、２５：リニアブロック、２６：固定シリンダ、３０：係止シリンダ、４０：走行レール、４１：台車、５０：露光部、５１：基板搬入部、５２：基板搬出部、５５：光源、６０：プラテン、６１：マスク、６２：マスクホルダ、６３：マスクホルダベース。
【技術分野】
【０００１】
この発明は、プリント配線基板用の露光装置の基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線基板用の露光装置においては、前工程から基板を露光装置のプラテン上に搬入し、露光を行い、その後後工程へと基板を搬出する作業が必要であり、そのために基板搬送装置が設けられている。
プリント配線基板のサイズは種々の大きさがあり、そのため基板を保持する保持装置も基板のサイズに対応できるように構成されているのが普通である。
【０００３】
本発明者が認識しているこれら従来技術に関して公知文献はない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来の搬送装置は、作業者が手動により基板サイズに対応させる構成になっており、作業時間が掛かる上、該作業により装置内の清浄度を悪化させる問題があった。
また、モータ等を取り付けて自動で調整する構成のものもあるが、モータやそれに付随する機構を設ける必要があり、装置のコストアップになる問題がある。
本発明は上記従来技術の問題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明は、プリント配線基板を露光位置に搬入し、また露光位置から搬出する露光装置の基板搬送装置において、前記プリント配線基板を保持するための保持装置と、前記プリント配線基板の搬入、搬出を行うために前記保持装置を移動させる移動装置と、前記保持装置に備えられ、プリント配線基板を保持及び開放し、プリント配線基板のサイズに合わせて、保持装置に対して移動可能な保持部と、該保持部を所定箇所に係止する係止装置と、を備え、前記保持部を係止装置により係止した状態で、前記移動装置を駆動して保持装置を移動させることにより、前記保持部を保持装置に対して移動させる、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の露光装置の基板搬送装置によれば、手動によらず基板のサイズに対応できるため、装置内のクリーン度の悪化がなく、作業時間の大幅な短縮が可能であり、また保持装置の駆動装置を駆動源として用いるため、新たにモータなどの駆動機構を設ける必要がない、等の効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１において、露光装置Ａは露光部５０と基板搬入部５１及び基板搬出部５２を有し、基板搬入部５１と基板搬出部５２にそれぞれ搬送装置１、１が設置されている。基板搬入部５１の搬送装置１と基板搬出部５２の搬送装置１は同一のものであり、設置方向が対称的であるだけであるので、以下一方の搬送装置１のみを説明する。
【０００８】
基板搬入部５１にはローラ９が設けられており、前工程からローラ９上にプリント配線基板Ｂが送られてくる。プリント配線基板Ｂを搬送装置１により保持し、露光部５０内に搬入し、ここで露光を行うようになっている。
【０００９】
露光部５０には、プラテン６０とマスク６１及び光源５５が設けられ、搬送装置１により上下動可能なプラテン６０上に搬送されたプリント配線基板Ｂを露光処理し、基板搬出部５２側の搬送装置１によりプラテン６０から基板搬出部５２へと搬送するように構成されている。基板搬出部５２にもローラ９が設けられており、プリント配線基板Ｂはローラ９に乗せられて後工程に送られる。
【００１０】
マスク６１はマスクホルダ６２により支持され、マスクホルダ６２はマスクホルダベース６３に支持されている。この実施形態では、マスクホルダベース６３に移動可能な保持部である可動ハンド２０を係止するように構成されている。
【００１１】
搬送装置１は図２に示すように、移動装置２と移動装置２に連結された保持装置３を備えている。移動装置２は露光装置Ａ本体に沿って設けられた走行レール４０上を走行する台車４１を有しており、基板搬入部５１の搬送装置１と基板搬出部５２の搬送装置１が同一の走行レール４０上を走行するように構成されている。
【００１２】
保持装置３は、ほぼ平行に配設された固定ハンド１０と可動ハンド２０とを有する。固定ハンド１０と可動ハンド２０の下側には、図３に示すようにそれぞれ吸着パッド１１、吸着パッド２１が設けられており、この吸着パッド１１、吸着パッド２１によりプリント配線基板Ｂの両端を吸着してプリント配線基板Ｂを保持し、移動装置２により移動させるように構成されている。
【００１３】
可動ハンド２０は固定ハンド１０に対してＸ方向（プリント配線基板Ｂの移送方向）に移動可能になっており、プリント配線基板ＢのＸ方向のサイズ変化に対応できるようになっている。
Ｘ方向に伸びる平行な一対のリニアレール１５を有し、該リニアレール１５に係合し、吊下するリニアブロック２５が可動ハンド２０の両端に固定されている。リニアブロック２５の近傍には固定シリンダ２６が設けられており、この固定シリンダ２６により可動ハンド２０を固定或いは固定解除を行うように構成されている。
【００１４】
可動ハンド２０の上側には、更に係止シリンダ３０、３０が設けられており、可動ハンド２０を前記マスクホルダベース６３に係止するように構成されている。
【００１５】
以上の構成において、可動ハンド２０のＸ方向位置の移動調整方法を説明する。
図４に示すように、搬送装置１を露光部５０内に移動し、可動ハンド２０の係止シリンダ３０がマスクホルダベース６３の直下に到達する位置で停止し、係止シリンダ３０を駆動し、マスクホルダベース６３に押し当てて、可動ハンド２０をマスクホルダベース６３に係止する。
そして、固定シリンダ２６を解除し、可動ハンド２０を移動可能なフリーの状態にする。
【００１６】
次に、図５に示すように移動装置２を駆動し、固定ハンド１０を移動する。可動ハンド２０は固定されているから、固定ハンド１０と可動ハンド２０の距離Ｘ（幅）を所定のものに設定でき、プリント配線基板Ｂのサイズに合わせて、固定ハンド１０と可動ハンド２０の幅を任意に設定する。
そして、固定シリンダ２６をロックして可動ハンド２０を固定し、係止シリンダ３０を解除し、搬送装置１全体を基板搬入部５１に移動させ、原点位置に戻す。
【００１７】
基板搬出部５２の搬送装置１も同様の手順にて幅調整を行い、図６に示すようにプリント配線基板Ｂサイズに対応した搬送装置１、１の幅調整を完了する。
なお、Ｘ方向に直行するＹ方向のプリント配線基板Ｂのサイズへの対応は、吸着パッド１１、吸着パッド２１の駆動、非駆動により行う。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態を示す概略正面図。
【図２】本発明の一実施形態を示す概略平面図。
【図３】本発明の一実施形態を示す概略側面図。
【図４】本発明の一実施形態の動作説明図。
【図５】本発明の一実施形態の動作説明図。
【図６】本発明の一実施形態の動作説明図。
【符号の説明】
【００１９】
１：搬送装置、２：移動装置、３：保持装置、９：ローラ、１０：固定ハンド、１１：吸着パッド、１５：リニアレール、２０：可動ハンド、２１：吸着パッド、２５：リニアブロック、２６：固定シリンダ、３０：係止シリンダ、４０：走行レール、４１：台車、５０：露光部、５１：基板搬入部、５２：基板搬出部、５５：光源、６０：プラテン、６１：マスク、６２：マスクホルダ、６３：マスクホルダベース。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント配線基板を露光位置に搬入し、また露光位置から搬出する露光装置の基板搬送装置において、
前記プリント配線基板を保持するための保持装置と、
前記プリント配線基板の搬入、搬出を行うために前記保持装置を移動させる移動装置と、
前記保持装置に備えられ、プリント配線基板を保持及び開放し、プリント配線基板のサイズに合わせて、保持装置に対して移動可能な保持部と、
該保持部を所定箇所に係止する係止装置と、を備え、
前記保持部を係止装置により係止した状態で、前記移動装置を駆動して保持装置を移動させることにより、前記保持部を保持装置に対して移動させる、
ことを特徴とする露光装置の基板搬送装置。
【請求項２】
前記保持装置が前記移動装置に連結する固定ハンドを有し、
前記保持部が、該固定ハンドにほぼ平行に配設された可動ハンドを有し、
前記係止装置が、可動ハンドを所定箇所に係止する係止シリンダを有し、
前記可動ハンドを係止シリンダにより係止した状態で固定ハンドを前記移動装置により移動することにより、固定ハンドと可動ハンドの距離を基板のサイズに合わせて調整する、
請求項１に記載の露光装置の基板搬送装置。
【請求項１】
プリント配線基板を露光位置に搬入し、また露光位置から搬出する露光装置の基板搬送装置において、
前記プリント配線基板を保持するための保持装置と、
前記プリント配線基板の搬入、搬出を行うために前記保持装置を移動させる移動装置と、
前記保持装置に備えられ、プリント配線基板を保持及び開放し、プリント配線基板のサイズに合わせて、保持装置に対して移動可能な保持部と、
該保持部を所定箇所に係止する係止装置と、を備え、
前記保持部を係止装置により係止した状態で、前記移動装置を駆動して保持装置を移動させることにより、前記保持部を保持装置に対して移動させる、
ことを特徴とする露光装置の基板搬送装置。
【請求項２】
前記保持装置が前記移動装置に連結する固定ハンドを有し、
前記保持部が、該固定ハンドにほぼ平行に配設された可動ハンドを有し、
前記係止装置が、可動ハンドを所定箇所に係止する係止シリンダを有し、
前記可動ハンドを係止シリンダにより係止した状態で固定ハンドを前記移動装置により移動することにより、固定ハンドと可動ハンドの距離を基板のサイズに合わせて調整する、
請求項１に記載の露光装置の基板搬送装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２００９−５３３８０（Ｐ２００９−５３３８０Ａ）
【公開日】平成２１年３月１２日（２００９．３．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−２１９２２２（Ｐ２００７−２１９２２２）
【出願日】平成１９年８月２７日（２００７．８．２７）
【出願人】（３０００９１６７０）株式会社アドテックエンジニアリング (23)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年３月１２日（２００９．３．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年８月２７日（２００７．８．２７）
【出願人】（３０００９１６７０）株式会社アドテックエンジニアリング (23)
【Ｆターム（参考）】
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