【課題】ヒートポンプの機械の高さ寸法を抑え、しかも昇温性能及び起動特性に優れた二段昇温型吸収ヒートポンプを提供する。
【解決手段】高温吸収器ＡＨ、低温吸収器Ａ、高温蒸発器ＥＨＳ、低温蒸発器Ｅ、再生器Ｇ、凝縮器Ｃ、高温溶液熱交換器Ｘ２、低温溶液熱交換器Ｘ１を主要構成機器として具備し、二段昇温をするように構成した二段昇温型吸収ヒートポンプであって、低温溶液熱交換器Ｘ１で加熱され高温吸収器ＡＨに導入される再生器Ｇからの濃溶液の一部を分岐して低温吸収器Ａに導入した。 （もっと読む）

【課題】 難分解性成分を含む有機性廃水を対象として、長期間安定に高性能で処理できる嫌気性生物学的処理方法及び装置を提供をする。
【解決手段】 活性炭を充填した上向流式嫌気反応器２を用い、該２の頂部より処理水９の一部を抜き出して、該２の底部又は原水流入箇所に循環１５させる有機性廃水の嫌気性生物学的処理方法において、前記２の処理状況に応じて、該２の頂部より底部又は原水流入箇所に循環させる液量を調整することとしたものであり、前記２の処理状況は、処理水の阻害性有機物の濃度及び／又は反応器への流入ＣＯＤｃｒに対するメタンガス発生量であり、前記２には、活性炭の充填と同時又は充填後に種汚泥を添加でき、また、前記２には、生成するメタンガス、処理水及び充填剤を分離する気・液・固分離部３を垂直方向に多段に設置すると共に、分離されたメタンガス発生量を測定する手段を有することができる。 （もっと読む）

【課題】 機械的強度が低い絶縁材料を使用した場合の配線の欠落を防止することができる研磨装置及び研磨方法を提供する。
【解決手段】 本発明の研磨装置は、研磨パッド９と、基板Ｗを研磨パッド９に摺接させて該基板Ｗを研磨する基板保持部２３と、基板Ｗと研磨パッド９との真実接触面積が大きくなるように研磨パッド９をドレッシングするドレッサー３３とを備えた。ドレッサー３３の一構成例は、研磨パッド９の表面に形成された複数の突出部９ａの高さが略均一となるように研磨パッド９をドレッシングするように構成される。 （もっと読む）

【課題】 構成が簡素で運転中の制御も容易な磁気冷凍装置を提供する。
【解決手段】 本発明の磁気冷凍装置１００は、磁気作業物質２を収納するドラム３を回転させることにより、磁気作業物質２を磁場発生手段１によって形成される磁場中に出入させ、磁気作業物質２に接触する熱媒体用流路７内を遠心力を利用して熱媒体６を流し、磁化されて温度上昇した磁気作業物質２と熱交換して温度上昇した熱媒体６を排熱側熱交換器１２−１を通過させて排熱すると共に、消磁されて温度降下した磁気作業物質２と熱交換して温度降下した熱媒体６を冷却側熱交換器１２−２を通過させて熱交換対象を冷却する。 （もっと読む）

【課題】 焼却灰及び／又はセメントキルンダストを水洗脱水する装置において、従来の水洗のための複数の水槽や脱水機を設けることなくコンパクトで運転管理が容易な一段水洗にし、また、水洗に要する水量も従来と同量程度で済む水洗脱水方法及び装置を提供する。
【解決手段】 塩類を含む焼却灰及び／又はセメントキルンダストに水を加えて水洗し可溶性塩を溶出させる焼却灰及び／又はセメントキルンダストの水洗方法において、該焼却灰及び／又はセメントキルンダストに水を加えて形成した焼却灰スラリー及び／又はセメントキルンダストスラリーをフィルタープレスろ室に圧入ろ過し、スラリー中の塩が溶解した液をあらかじめ分離し、その後に、該フィルタープレスろ室内スラリーに水洗水を注入して、該ろ室内のスラリーの水洗を行い、その後、該水洗した前記スラリーを圧搾脱水することで、従来の多段水洗と同じ水洗効果が得られることを特徴とする水洗脱水方法、及び装置。 （もっと読む）

本発明は、めっき膜中でのＡｇ濃度を調整したＳｎ−Ａｇ系はんだ合金めっき膜をリフローすることにより得られるボイドの発生が抑制された鉛フリーバンプおよびその形成方法に関する。本発明の鉛フィリーバンプは、Ｓｎ−Ａｇの共晶形成濃度より低いＡｇ含量のＳｎ−Ａｇ系合金膜をめっきにより形成し、当該合金めっき膜をリフローすることにより得られる。
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【課題】装置の立上げに際して搬送系統の位置決めが必要でなく、装置の設置面積の減少可能な基板洗浄処理装置を提供する。
【解決手段】ベース一体型の１つのフレームに、基板を搬送する搬送ロボット２と、基板の処理を行なう基板処理ユニット３、３と、基板収納カセット４、４を載置する基板ロードポート５、５と、基板処理ユニット３、３へ処理液を供給する処理液供給装置６を搭載した。基板処理ユニット３、３を基板収納カセット４、４に対して平行に配置し、乾燥した基板を搬送ロボット２で基板処理ユニット３、３と基板収納カセット４、４の間を搬送するようにした。 （もっと読む）

【課題】 ＣＤ、ＤＶＤ等の情報記録媒体の欠陥の有無だけではなく形状まで検査でき、大容量にも対応できる検査装置を提供する。
【解決手段】 電子銃１２は、電子線を該情報記録媒体の所望の位置に照射する。ステージ１８は、情報記録媒体を回転方向及び径方向に移動可能に保持する。検出器２２は、情報記録媒体への電子線の照射により情報記録媒体の表面の情報を取得した電子を検出する。画像生成器２４は、検出器２２により検出された電子から情報記録媒体の表面の画像を取得する。 （もっと読む）

【課題】被めっき材の被めっき面により均一な膜厚のめっき膜を容易に形成できるようにした無電解めっき装置及び無電解めっき方法を提供する。
【解決手段】被めっき材Ｗを保持する保持部１０と、めっき液２２を保持するめっき槽２４とを有し、被めっき材Ｗをめっき槽２４内のめっき液２２に接液させてめっきを行うめっき装置において、保持部１０は加熱部１４を有する。 （もっと読む）

研磨装置は、研磨テープ（２１）と、研磨テープ（２１）が基板（１０）のノッチ部（１１）に接触する接触部（３０）に研磨テープ（２１）を供給する供給リール（２２）と、接触部（３０）から研磨テープ（２１）を巻き取る巻取リール（２３）とを備えている。また、研磨装置は、接触部（３０）に研磨テープ（２１）を直接に供給するガイド面（２４１）を有する第１のガイド部（２４）と、研磨テープ（２１）を巻取リール（２３）に供給するガイド面を有する第２のガイド部（２５）とを備えている。第１のガイド部（２４）のガイド面（２４１）及び／又は第２のガイド部（２５）のガイド面は、基板（１０）のノッチ部（１１）の形状に対応した形状を有している。

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