【課題】集中配管接続方式の構造を生かして、排ガス処理装置の処理剤の処理能力を可能な限り使い切ることができるようにする。
【解決手段】処理槽４０をそれぞれ備えた複数の排ガス処理装置１４ａ〜１４ｄと、複数の排ガス処理装置に供給される排ガスが流入する共通入口ダクト３０と、排ガス処理装置で処理された処理済ガスを排出する出口ダクト３２と、各排ガス処理装置の運転条件を制御する集中制御部５６を備え、各排ガス処理装置の下流にそれぞれ設置されて各排ガス処理装置の排ガス処理能力を検知する手段４２と、各排ガス処理装置から延びて出口ダクト３２に繋がる各処理済ガス流出ライン２４に設置された出口バルブ４４と、出口バルブの上流側で処理済ガス流出ラインから分岐して共通入口ダクトに合流する処理済ガス戻りライン４６とを有する。 （もっと読む）

【課題】ロータが高速回転時に安定して回転し、信頼性に優れた誘導型モータの回転力により比較的高速で回転する回転装置、ターボ分子ポンプを提供すること。
【解決手段】ロータシャフト１１が誘導型モータの回転力により高速回転する回転装置であって、ロータスペーサ２０は、ロータシャフト１１に固定される小内径の固定部と該固定部の反モータロータのコア１３ａ側の端部に一体的に形成され外径寸法がモータロータのコアの外径寸法より小さい円筒状でモータエンドリング１３ｂの外周を覆う大内径の覆い部とからなり、該固定部を該ロータシャフト１１に嵌合させて固定することにより、覆い部でモータエンドリング１３ｂの反モータロータのコア１３ａ側の端部の外周を覆う。 （もっと読む）

【課題】工場などから出される排熱より低圧蒸気を製造し、その低圧蒸気を昇圧することで排熱の用途を拡大することのできる、排熱を利用した蒸気発生システムＡを実現する。
【解決手段】蒸気発生システムＡは、第１蒸気発生源Ｂとしてのヒートポンプ１０と、中圧蒸気製造手段Ｃを構成する第２蒸気発生源であるボイラ２０と蒸気昇圧装置としてのエゼクター３０とを備える。エゼクター３０にはボイラ２０からの第２の蒸気が駆動蒸気として供給され、またヒートポンプ１０の第１の蒸気が吸引蒸気として供給される。それにより、排熱を利用しながら、エゼクター３０から、工場で熱源として広く使用されている０．１〜１．０ＭＰａ程度の中圧の吐出蒸気を得ることができる。蒸気発生システムは制御盤を備え、前記制御盤は、それらの運転を適宜制御する。 （もっと読む）

【課題】界面活性剤等の薬剤を添加することなく、直径が略１００μｍ以下、好ましくは６０μｍ以下の微細な気泡を、動力を大幅に低減させつつ大量に発生させることができ、かつ容易に製造できるようにする。
【解決手段】散気装置１２は、気体室１６と、該気体室１６へ気体を流入させる気体流入管１８と、流入した気体を気体室１６から外部の流動液体中へ気泡として散気して流出させる散気部２４とを備え、散気部２４には、平面状の散気部表面から外方に突出し内部に軸方向に貫通する散気孔２８ａを有する複数の散気管２８が設けられ、散気管２８の前記散気部表面から先端部までの突出長さＬは、０．５ｍｍ以上１．５ｍｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】界面活性剤等の薬剤を添加することなく、半径が略５０μｍ以下、好ましくは３０μｍ以下の微細な気泡を動力を大幅に低減させつつ大量に発生させることができ、かつ容易に製造できるようにする。
【解決手段】散気装置１２は、気体室１６と、該気体室１６へ気体を流入させる気体流入管１８と、流入した気体を気体室１６から外部の液体中へ気泡として散気して流出させる散気部２４とを備え、散気部２４は、内部に多数の散気孔３０ａ，３２ａをそれぞれ有し縦弾性係数が異なる材料からなる少なくとも２枚の板状部材３０，３２を該散気孔３０ａ，３２ａを互いに連通させつつ積層して構成され、縦弾性係数が大きい材料からなる一方の板状部材３０に設けられた散気孔３０ａの孔径は、縦弾性係数が小さい材料からなる他方の板状部材３２に設けられた散気孔３２ａの孔径より大きい （もっと読む）

【課題】熱電併給装置の制御とリモコンに表示される時刻とが異なる時計に基づいてコントロールされている場合にユーザーの違和感を低減すること。
【解決手段】コージェネレーションシステム１は、熱電併給装置３０と、補助機器７３、８３と、この両者３０、７３、８３の稼働を管理するリアルタイムクロック３８と、を有する熱電併給装置ユニット３と、熱電併給装置ユニット３の動作を遠隔操作する遠隔操作器１０と、調整部２２とを備える。遠隔操作器１０は、表示される時刻を任意に変更可能な時刻表示部１１と、時刻表示部１１の時刻と関連して熱電併給装置ユニット３の状態を表示する状態表示部１２とを有する。調整部２２は、所定の時間ごとにリアルタイムクロック３８の時刻と時刻表示部１１の時刻との差分を取得し、取得した差分に基づいて、時刻表示部１１の時刻に基づく熱電併給装置３０の動作の状態として状態表示部１２に表示するように調整する。 （もっと読む）

【課題】看過される異常を低減することができるカレントセンサの異常検出システムを提供すること。
【解決手段】異常検出システム１は、消費電力が変動する第１の電力負荷６１及び消費電力が可変の第２の電力負荷６２に電力を伝搬する電力ケーブル３０Ｍと、電力ケーブル３０Ｍに設けられたカレントトランス１１を有するカレントセンサ１０と、所定の期間にカレントセンサ１０で検出された値と相関関係を有する第１の比較対象値及び第２の比較対象値の差が第１の所定の値未満のときに両比較対象値差が第１の所定の値より大きい第２の所定の値変動すべき電流を第２の電力負荷６２に供給してカレントセンサ１０の異常の有無を検出する制御装置５０を備える。制御装置５０は、第１の比較対象値と第２の比較対象値との差という相対的な値で異常の有無を検出することとなり、検出値がゼロ付近にならない異常がカレントセンサに発生しても異常を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】アノードの全体に均一に通電することができ、アノードを均一に溶解させることができ、アノードを安定して保持することができるアノードホルダ用通電部材およびアノードホルダを提供する。
【解決手段】めっき槽内に基板とアノードを対向させて縦型に配置するめっき装置に用いられ、アノード５に給電するためのアノードホルダ用通電部材１において、アノード５の裏面の略全面に接触可能な円板状の導電性材料からなる接触部材２と、接触部材２とめっき装置の給電部とを接続する導電性材料からなる接続部材３とを備え、接続部材３は、接触部材２がアノード５と接触する面の裏面の中心部から延びている。 （もっと読む）

【課題】金属配線を所望の量だけ正確に研磨することができる研磨方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る研磨方法は、溝９０５を有する絶縁膜９０３と、絶縁膜９０３上に形成されたバリア膜９０６と、バリア膜９０６上に形成された金属膜９０７とを有し、金属膜９０７の一部が金属配線９１０として溝９０５内に形成されている基板Ｗを研磨する。この研磨方法は、金属膜９０７を除去する第１研磨工程と、記第１研磨工程後、バリア膜９０６を除去する第２研磨工程と、第２研磨工程後、絶縁膜９０３および金属配線９１０を研磨する第３研磨工程と、第３研磨工程終了後、金属配線９１０の高さを渦電流センサにより測定する測定工程と、測定工程で得られた測定値に基づき、後続の基板の研磨時間を調整する調整工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】純水等の前処理液を微生物の発生防止のために頻繁に交換することなく、前処理液中の微生物発生を抑制して、めっき欠けやめっき未着等のない良好なめっきを行うことができるようにする。
【解決手段】被めっき物の表面に前処理液による前処理を行った後、めっきを行うめっき装置であって、前処理液中の溶存気体を脱気する脱気装置２８ａと、前処理液中の微生物の発生を抑える微生物処理装置３０ａとを有する。 （もっと読む）