【課題】凹凸構造の上に形成された膜を研磨するときに正確に研磨終点を検知することができる研磨終点検知方法および研磨装置を提供する。
【解決手段】凹凸構造５の上に形成された光透過性のある膜６を有する基板Ｗを研磨する間、光を基板Ｗの表面に対して斜めに照射し、基板Ｗから戻ってくる光を受光し、受光した光の強度に基づいて研磨終点を判断する。光の入射角は、凹凸構造５の凹部の底面に光が直接当たらない角度であり、凹部のアスペクト比から決定される基準角度よりも大きい値に設定される。 （もっと読む）

【課題】気泡の抜けが比較的よく、広い設置面積を必要としないディップ方式を採用し、しかもアノードとして強磁性体を使用したとしても、磁気異方性の均一性に影響を与えることを極力防止しつつ、基板表面に磁性体膜を形成することができるようにする。
【解決手段】内部にめっき液Ｑを保持するめっき槽４０と、めっき槽４０の内部のめっき液Ｑに浸漬される位置に鉛直に配置されるアノード２２０と、基板Ｗを保持してアノード２２０と対向する位置に位置させる基板ホルダ２６と、めっき槽Ｑの外方に配置され、基板ホルダ２６で保持してアノード２２０と対峙した位置に位置させた基板Ｗの周囲に磁界を発生させる磁界発生装置１１４を有する。 （もっと読む）

【課題】二軸回転機械のような部材同士の位置決め固定を容易に行えるようにする。
【解決手段】図１に示す二軸ポンプはケーシング１の中に２本のロータ２ａ、２ｂが適正なクリアランスを保つために、両側に配置したサイドカバー３ａ，３ｂを取り付ける。ケーシング１端面にはテーパ穴を、サイドカバー３ａ，３ｂにはストレート穴を設け、両部材を組合せてストレートテーパピン１７ａ、１７ｂ，１７ａ’，１７ｂ’によりケーシング１とサイドカバー３ａ，３ｂの位置決め、固定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ハイドロキシアパタイト粒子表面をポリエチレングリコール誘導体で修飾することにより、安全性の高い、新たな機能を有するＰＥＧ修飾ＨＡＰと、それを用いる用途とその製造方法を提供する。
【解決手段】粒径が５０μｍ〜１０ｎｍのハイドロキシアパタイトが、末端官能基としてカルボキシル基を有するポリエチレングリコール誘導体と−Ｏ（ＣＯ）で結合されていて、炭素含量が１０〜０．１％の物質であり、また、該物質と医薬品有効成分又は医薬品添加物とからなり、該医薬品有効成分の重量比が１〜３０％の物質であり、該物質は、粒径５０μｍ〜１０ｎｍのハイドロキシアパタイトと、末端官能基としてカルボキシル基を有するポリエチレングリコール誘導体の活性エステルとを無水有機溶媒中で処理して得られる。 （もっと読む）

【課題】災害発生時の不利な条件のもとで、確実かつ効果的な作動を得ることができるような消火ポンプ装置を提供する。
【解決手段】消火ポンプ装置は、水を圧送する電動式ポンプ１０と、ポンプ１０の吐出側に設けられた複数の放水手段５０と、ポンプ１０の吐出側に設けられた圧力検知器７２と、ポンプ１０の電動機１８の回転速度を制御するインバータ３０と、圧力検知器７２の出力値に基づいてポンプ１０の吐出し圧力が所定の値となるようにインバータ３０を制御する制御装置４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】汚泥、又は汚泥の濃縮又は脱水処理による分離水からそれに含まれる結晶を分離するシステムにおいて、リンの除去と回収の両面を満足し、純度のよいＭＡＰを回収すると共に、液体サイクロンが閉塞することなく高いＭＡＰ回収率で安定した処理装置を提供する。
【解決手段】汚泥１、又は汚泥の濃縮又は脱水処理による分離水からそれに含まれる結晶を分離する装置において、前記汚泥１又は分離水を投入し結晶を分離する液体サイクロン２と、前記液体サイクロン２の溢流上昇管５より流出した汚泥１又は分離水を、前記液体サイクロンの汚泥又は分離水の投入部に返送する返送管７とを設けたことを特徴とする結晶の分離装置。 （もっと読む）

【課題】ポンプケーシングを分解することなく、信頼性の高い水中軸受の摩耗検知を行うことができ、かつ水中軸受の摩耗量を正確に知ることができる機構を備えた立軸ポンプを提供する。
【解決手段】
本発明の立軸ポンプは、羽根車１０と、羽根車１０に連結された回転軸６と、羽根車１０および回転軸６を収容するポンプケーシング２と、回転軸６を回転自在に支持する滑り接触面を有する水中軸受１２，１５と、水中軸受１２，１５の内部または水中軸受１２，１５に隣接して配置された複数の摩耗検知芯３２と、複数の摩耗検知芯３２にそれぞれ接続され、ポンプケーシング２の壁部を貫通して該ポンプケーシング２の外部に延びる複数のケーブル３５とを備える。複数の摩耗検知芯３２の端部は、水中軸受１２，１５の滑り接触面と同一平面内にある。 （もっと読む）

【課題】高層の建物での災害発生時の不利な条件のもとで、確実かつ効果的な作動を得ることができるような消火ポンプ装置を用いた消火方法を提供する。
【解決手段】本消火方法は、水を圧送する電動式ポンプ１０と、ポンプ１０の吐出側に設けられた複数の放水手段５０と、ポンプ１０の電動機１８の回転速度を制御するインバータ３０と、ポンプ１０の吐出し圧力が所定の値となるようにインバータ３０を制御する制御装置４０とを有する消火ポンプ装置を用いた消火方法である。高層の建物を複数の階層毎に区切って複数の階層区画を構成し、該階層区画ごとに消火ポンプ装置を設置して、高層の建物の消火にあたる。 （もっと読む）

【課題】硝化工程において、薬品を添加することなく、硝酸までの進行を抑制し、亜硝酸性窒素を残留させることで、後段のアンモニア性窒素を水素供与体、亜硝酸性窒素を水素受容体とした窒素の除去を良好に行うことできる装置を提供する。
【解決手段】独立栄養細菌下で、被処理水のアンモニア性窒素の一部を部分的に又は全量を亜硝酸化する亜硝酸化槽と、亜硝酸化槽流出液から独立栄養細菌を分離する亜硝酸化槽に接続する固液分離槽と、固液分離槽流出水、又は被処理水と前記固液分離槽流出水の混合液を独立栄養細菌下で脱窒するアンモニア脱窒槽を有する装置において、前記亜硝酸化槽にｐＨ計を具備し、該ｐＨ計の指示値に応じて前記固液分離槽で分離した前記独立栄養細菌を前記亜硝酸化槽に返送する返送量を制御する機構を備えたアンモニア性窒素の除去装置。 （もっと読む）

【課題】実用化の障害となるめっきの長時間化を改善し、貫通電極による三次元実装を実現するのに好適な導電材料構造体をより短時間で形成できるようにする。
【解決手段】貫通電極用凹部１２を形成した基板Ｗの表面の該凹部１２表面を含む全表面に導電膜１４を形成し、基板Ｗ表面の所定位置にレジストパターン３０を形成し、導電膜１４を給電層とした第１めっき条件で第１電解めっきを行って貫通電極用凹部１２内に第１めっき膜３６を埋込み、貫通電極用凹１２部内への第１めっき膜３６の埋込みが終了した後に、導電膜１４及び第１めっき膜３６を給電層とした第２めっき条件で第２電解めっきを行って、レジストパターン３０のレジスト開口部３２に露出した導電膜１４及び第１めっき膜３６上に第２めっき膜３８を成長させる。 （もっと読む）