【課題】自重や経年変化などによって変形した横軸ポンプのケーシングの羽根車外周側部分を容易且つ確実に修正（矯正）することができ、これによってポンプの運転効率低下を防止することができる横軸ポンプ設備を提供すること。
【解決手段】横置きした外ケーシング１１内部に羽根車１５を収納し、羽根車１５を回転駆動することで外ケーシング１１の吸込側から吐出側に向かって流体を移送する構造の横軸ポンプ１０を据付構造体１００に据付けてなる横軸ポンプ設備１である。外ケーシング１１の羽根車外周側部分１１Ａをその外側から外ケーシング１１の径方向に引張り又は押圧することで外ケーシング１１の変形を修正する引張押圧機構５０を設置する。 （もっと読む）

【課題】高価な電極を用いることなく、しかも実運用期間を通じて電極の腐食が生じないようにする。
【解決手段】電極間にイオン交換膜で区画された複数の室を配列し各室に所定の液体を供給して原水の電気透析を行う電気透析槽の少なくとも１つの室に、電気透析の際に供給される液体よりも原水成分濃度が低い液体を洗浄水として供給して該室を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】カチオン樹脂とアニオン交換樹脂から溶出するＴＯＣ由来の硫酸イオン及び硝酸イオン濃度の低い、高純度な処理水質を得ることが可能な復水脱塩方法及び装置の提供。
【解決手段】沸騰水型原子力発電プラントの復水をイオン交換樹脂で脱塩処理する復水脱塩方法において、
平均粒径値が４５０〜６００μｍであり、平均粒径値±１００μｍの範囲に樹脂粒存在率が９５％以上ある強酸性均一粒径ゲル型カチオン交換樹脂と、
強塩基性１型ガウス粒径分布ポーラス型アニオン交換樹脂とが均一に混合された混床を有し、前記混床は、前記アニオン交換樹脂の存在比が混床全域にわたって設計基準値±５％以内となるように均一に混合されてなり、該混床に復水を接触させて復水の脱塩処理を行うことを特徴とする復水脱塩方法。 （もっと読む）

【課題】インバータを効率よく冷却することができるモータ組立体および該モータ組立体を備えたポンプ装置を提供する。
【解決手段】本発明のモータ組立体は、ポンプ１に連結されるモータ５と、モータ５の側部に固定され、冷却フィン１８を有するインバータ６と、モータ５とポンプ１との間に配置され、モータ５の回転軸１０に取り付けられた冷却ファン８と、モータ５の少なくとも一部と冷却ファン８とを覆い、モータ５と隙間を介して配置されたカバー７とを備える。インバータ６の冷却フィン１８の少なくとも一部は、モータ５に近接して配置されている。 （もっと読む）

【課題】インバータを効率よく冷却することができるモータ組立体および該モータ組立体を備えたポンプ装置を提供する。
【解決手段】本発明のモータ組立体は、ポンプ１に連結されるモータ５と、モータ５の側部に固定され、冷却フィン１８を有するインバータ６と、モータ５の反ポンプ側端部に配置される冷却ファン８と、モータ５の一部と冷却ファン８とを覆い、モータ５と隙間を介して配置されたカバー７と、モータ５とカバー７との間の隙間に配置された少なくとも１つのガイド部材２１とを備える。ガイド部材２１は、冷却ファン８からの気体をインバータ６の冷却フィン１８に導く形状を有している。 （もっと読む）

【課題】研磨後のウエハが膜厚測定のために待機する待ち時間を減少させて、装置全体のスループットを向上させ、しかもフィードバック制御を確実に行うことができるようにする。
【解決手段】研磨前のウエハをカセットから取出して該ウエハの被研磨膜の膜厚を膜厚測定器で測定する研磨前膜厚測定工程と、研磨前膜厚測定後のウエハをカセットに戻す研磨前ウエハ収納工程と、カセットに戻されたウエハをカセットから取出して研磨する研磨工程と、研磨後のウエハを洗浄し乾燥させる洗浄・乾燥工程と、洗浄・乾燥後のウエハをカセットに戻す研磨後ウエハ収納工程と、カセットに戻された洗浄・乾燥後のウエハをカセットから取出して該ウエハの被研磨膜の膜厚を膜厚測定器で測定する研磨後膜厚測定工程を有する。 （もっと読む）

【課題】インバータおよびモータを風雨や日光から防ぐ保護構造を有するモータ組立体および該モータ組立体を備えたポンプ装置を提供する。
【解決手段】本発明のモータ組立体は、ポンプ１に連結されるモータ５と、モータ５の反ポンプ側端部に配置されたインバータ６と、モータ５の回転軸１０に連結された冷却ファン９と、モータ５の側面を覆う内カバー７と、内カバー７の少なくとも一部とインバータ６とを覆う外カバーと８を備える。内カバー７は、その反ポンプ側端部に形成された第１の開口部７ａと、ポンプ側端部に形成された第２の開口部７ｂとを有している。内カバー７とモータ５との間には隙間が形成され、内カバー７と外カバー８との間には隙間が形成されている。 （もっと読む）

【課題】騒音を低減させることができるモータ組立体および該モータ組立体を備えたポンプ装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るモータ組立体は、ポンプ１に連結されるモータ５と、モータ５の反ポンプ側端部に配置される冷却ファン８と、モータ５と冷却ファン８とを覆い、モータ５と隙間を介して配置されたカバー７と、カバー７の内面に取り付けられた吸音材２３をと備える。吸音材２３に代えて、制振材をカバー７の内面に取り付けることもできる。 （もっと読む）

【課題】ハードマスク膜などの絶縁膜が所望の研磨量だけ研磨されたときに研磨を終了させることができる研磨方法を提供する。
【解決手段】本発明は、溝を有する絶縁膜と、絶縁膜上に形成されたバリア膜と、バリア膜上に形成された金属膜とを有し、金属膜の一部が金属配線として溝内に形成されている基板を研磨する研磨方法である。この研磨方法は、金属膜を除去する第１研磨工程と、第１研磨工程後、バリア膜を除去する第２研磨工程と、第２研磨工程後、絶縁膜を研磨する第３研磨工程とを有し、第２研磨工程および第３研磨工程の間、基板の研磨状態を渦電流センサでモニタし、渦電流センサの出力信号値が所定の閾値に達したときに第３研磨工程を終了する。 （もっと読む）

【課題】インバータおよびモータを効率よく冷却することができるモータ組立体および該モータ組立体を備えたポンプ装置を提供する。
【解決手段】本発明のモータ組立体は、ポンプ１に連結されるモータ５と、モータ５の側部に固定され、冷却フィン１８を有するインバータ６と、モータ５の回転軸に連結された冷却ファン８と、冷却ファン８の近傍に配置された熱交換器２４と、ポンプ１によって昇圧された液体を熱交換器に２４導く液体供給ライン２５と、モータ５の少なくとも一部と、冷却ファン８とを覆い、モータ５と隙間を介して配置されたカバー７とを備える。熱交換器２４は、冷却ファン８により生じる気流とポンプ１からの液体との間で熱交換を行う。 （もっと読む）