【課題】汚染を効率的に防止することができるクリーンルーム内に設置可能なポリッシング装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ポリッシング装置は、研磨対象物を研磨する研磨ブロック６と、研磨後の研磨対象物を洗浄、乾燥する洗浄ブロック９と、研磨後の研磨対象物を研磨ブロック６から洗浄ブロック９に移送する移送装置８と、研磨ブロック６を配した第１室２７と、搬送装置８及び洗浄ブロック９を配した第２室２６とを備える。研磨ブロック６は、ターンテーブル２３と、ターンテーブル２３上に研磨対象物を支持するトップリング２２とを有し、研磨後の研磨対象物を、トップリング２２に取り付けられた状態で粗洗浄する洗浄機を有し、粗洗浄後に研磨対象物はトップリング２２から離脱され、その後移送装置８によって洗浄ブロック９に移送され、洗浄ブロック９で洗浄、乾燥される。 （もっと読む）

【課題】広い表面積を持つ矩形平板状のガラス基板等の基板表面に、基板の損傷を防止しつつ、均一な膜厚の金属膜を一連の動作で成膜することができ、しかも狭いスペース内に設置でき、スループットの高いめっき装置及びめっき方法を提供する。
【解決手段】被めっき面を上向きにして基板Ｗを水平な状態で搬送する基板搬送ユニット１４ｃと該基板搬送ユニット１４ｃに隣接して配置されためっきユニット２６ａを有し、めっきユニット２６ａは、めっき液Ｑを保持するめっき槽４０と、めっき槽４０の上方に配置され、被めっき面を上向きにして基板Ｗを水平に保持し該基板Ｗと共にめっき槽４０内のめっき液Ｑ中に浸漬される上下動自在な保持ベース４２と、基板搬送ユニット１４ｃから基板Ｗを受取って保持ベース４２上の所定の位置に移送する基板移送機構５０と、基板移送時に保持ベース４２の表面に流体を供給して流体膜を形成する流体膜形成部４２ｂ，６４を有する。 （もっと読む）

【課題】接ガス部の汚染や劣化を最小限にし、人為的ミスによるサンプルバックの破損を防止できるガスの採取方法と装置を提供する。
【解決手段】吸気管１に接続された第一のサンプルバック２ａを機密性のある構造のサンプルボックス３内に収容し、該３内のガスを排出することで、前記２ａ内にガスを採取する方法において、（ａ）前記３の内容積を、該２ａの規定容積以下とするか、（ｂ）前記３内に、排気管５に接続された第二のサンプルバック２ｂを収容し、前記２ａはガスを内包せずに収容され、前記２ｂはガスを内包して収容され、２ｂのガスを排出して前記２ａにガスを採取するか、（ｃ）前記（ｂ）で、該３外に、前記５に接続して第三のサンプルバック２ｃを配し、前記２ｂのガスを前記５により前記２ｃに移送して前記２ａにガスを採取することとした。 （もっと読む）

【課題】基板表面へのめっき液の供給を増加できて高電流密度に対応でき、短時間で厚く均一なめっき膜厚が得られる電解めっき装置及び電解めっき方法を提供すること。
【解決手段】吸着プレート１０及びめっき槽本体５０からなるめっき槽と、めっき液中に浸漬されるアノード３０と、めっき液中に浸漬されアノード３０の面に対向した位置に設置される半導体基板Ｗと、半導体基板Ｗとアノード３０間に電流を供給する電源装置８０と、めっき槽にめっき液を供給するめっき配管６１−１，２，７３−１〜６とを具備する。半導体基板Ｗとアノード３０との間に半導体基板Ｗ側のめっき液とアノード３０側のめっき液とを分離する隔壁７０を設ける。めっき配管７３−１〜６によって隔壁７０と半導体基板Ｗとの間に半導体基板Ｗの表面と略平行方向のめっき液を通過させる。隔壁７０の半導体基板Ｗに対向する面に凹凸形状（Ｖ溝７１）を形成する。 （もっと読む）

【課題】基板のデバイス領域に研磨屑が付着することを防止して、歩留まりを向上させることができる研磨装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る研磨装置は、基板Ｗをその表面（デバイスが形成されている面）が下を向くように真空吸着などにより保持し、基板Ｗを回転させる基板保持機構３と、基板保持機構３に保持された基板Ｗの周縁部に研磨具２３を押圧する研磨機構３０とを備える。基板Ｗを回転させることにより基板Ｗの周縁部と研磨具２３とが摺接し、これにより基板Ｗの周縁部が研磨具２３によって研磨される。使用される研磨具としては、研磨テープや固定砥粒が挙げられる。 （もっと読む）

【課題】複数の機種があったり、異なる状況の設置現場に設置される水中ポンプであっても、高い精度で空運転を防止できる水中ポンプ用制御盤及びその制御方法を提供すること。
【解決手段】水中ポンプ１３０を据え付けた据付現地にて水中ポンプ１３０の締切運転を行った際の締切運転電流値を測定する締切運転電流値測定手段（電流検出器５１等）と、締切運転電流値を所定の減少率（０〜５％）低減して求めた空運転判断基準電流値を入力して設定する空運転判断基準電流値入力設定手段（表示兼操作部２０や記憶手段５５）と、水中ポンプ１３０運転時の電流値を測定してその電流値が空運転判断基準電流値になったときに水中ポンプ１３０への電力供給を停止するポンプ停止手段（電流検出器５１や記憶手段５５や比較器５７やスイッチ手段５３）とを具備する水中ポンプ用制御盤１０である。 （もっと読む）

【課題】例えば接合材料の主材として用いて被接合部材同士を接合した時に、より高い接合強度が得られるようにした微粒子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも金属銀成分５４及び非金属成分５６を含む微粒子５０であって、熱重量測定（ＴＧ）によって測定される重量減少開始温度が１６０℃以上で、かつ１６６．５℃未満の範囲内にあり、同じくＴＧで測定される銀含有率が８２ｗｔ％以上で、かつ８５．５ｗｔ％未満の範囲内にある微粒子であって、ミリスチルアルコールと炭酸銀とを共存させ、減圧状態で攪拌・加熱し、所定温度に昇温させた状態を所定時間保持して合成される。 （もっと読む）

【課題】 溶接設備として一般的でコストが安いアーク溶接やプラズマ溶接法を用いて安価で高品質なＴ字継手を形成することができる製造方法を提供する。
【解決手段】 このＴ型継手の製造方法は、第１板材１２の裏面側に所定の角度で第２板材１４の端面を当接させ、第１板材の表面側からアーク又はプラズマ溶接を行う。これにより、アーク又はプラズマ溶接熱が第１板材１２を貫通して第２板材の端面部分を溶融させ、これらを溶着させることによってＴ型溶接継手が形成される。アーク又はプラズマ溶接では、第１板材の板厚に応じて場合により深溶け込みの手法を採用する。また、板厚が溶け込み深さを超える場合には表面に減厚加工を行う。 （もっと読む）

【課題】気体を高真空から大気圧まで圧縮できる翼要素で、軸方向の寸法精度および幾何的な公差精度を向上でき、且つ部品点数が少なく安価に製作できる翼要素を有するターボ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】回転軸１と、回転翼と固定翼とを交互に配置することによって形成された排気部１０と、軸受モータ部５０を備え、回転軸１をスラスト方向に支承する軸受に気体軸受４０を用い、該気体軸受の固定側部位４１の両面にスパイラル溝４５を形成し、回転軸１に固定された上側回転側部位４２と下側回転側部位４３とにより、スパイラル溝４５の形成された固定側部位４１を挟み込むようにし、前記回転翼と固定翼の少なくとも一方を、円板状の翼部３２ｂと該円板状の翼部に連なる円筒状スペーサ３２ｓとを一体に形成したスペーサ付翼部３２ｂｓで構成し、該スペーサ付翼部３２ｂｓを多段に積み上げることにより、前記排気部を形成した。 （もっと読む）

【課題】気体を高真空から大気圧まで圧縮できるターボ型真空ポンプで、回転体を高速且つ高精度に回転保持でき、安価にて製造できるターボ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】ポンプの略全長に延びる回転軸１と、ケーシング２内に回転翼と固定翼とを交互に配置することによって形成された翼排気部１０と、軸受モータ部５０を備えたターボ型真空ポンプにおいて、回転軸１をスラスト方向に支承する軸受に気体軸受４０を用い、気体軸受の固定側部位４１の両面にスパイラル溝４５を形成し、回転軸１に固定された上側回転側部位４２と下側回転側部位４３とにより、スパイラル溝４５の形成された固定側部位４１を挟み込むようにし、下側回転側部位４３の前記スパイラル溝４５との対向面と反対の面、および下側回転側部位４３と軸方向に対向する固定翼６３の面の少なくとも一方の面に、気体を半径方向に圧縮排気する遠心翼要素４３ａ，６３ａを形成した。 （もっと読む）