【課題】電気分解による排水処理を行う際に、水質の変動がある場合でも、安全で、無駄なエネルギーを消費せず、安定した処理水質を得る方法を提供する。
【解決手段】有機性排水を導電性ダイヤモンド電極を用いて電解処理してＣＯＤ成分を分解する電解処理方法において、電解で発生したガスに該ガス中の水素濃度を低減するための希釈ガスを混合し、該混合ガスの二酸化炭素及び／又は酸素濃度を測定し、該測定値に基づいて電解処理における有機性排水量当たりの電気量を制御する電解処理方法。有機性排水を電解処理してＣＯＤ成分を分解する、導電性ダイヤモンド電極を備えた電解槽、発生ガスに希釈ガスを導入する混合部、混合ガスの二酸化炭素及び／又は酸素濃度を測定する測定器、測定器からの信号によって電解処理における電流値又は有機性排水量を制御する制御装置とを有する電解処理装置。 （もっと読む）

【課題】ポンプ機場の躯体にフックを打ち込むことを不要とし、ポンプの分解作業を容易にして維持管理性を向上させることができる立軸ポンプを提供する。
【解決手段】本発明の立軸ポンプは、回転軸６と、回転軸６に連結された羽根車１０と、羽根車１０の回転を支持する水中軸受１２と、回転軸６および羽根車１０を収容するポンプケーシング２とを備え、ポンプケーシング２は、複数の分割体１ａ，１ｂ，３から構成され、これら分割体１ａ，１ｂ，３には、分割体の荷重を支持する荷重受け部２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃが設けられている。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ等の被めっき体（基板）にめっきを行う場合に、高電流密度の条件であっても平坦な先端形状のバンプを形成したり、良好な面内均一性を有する金属膜を形成したりする方法を提供する。
【解決手段】めっき液Ｑを保持するめっき槽１０と、めっき槽内のめっき液に浸漬させて配置されるアノード２６と、被めっき体Wを保持しアノードと対向する位置に配置するホルダ２４と、アノードとホルダで保持した被めっき体との間に配置され、該被めっき体と平行に往復移動してめっき液を攪拌するパドル３２と、パドルを駆動するパドル駆動部を制御する制御部を有し、制御部は、パドルの移動速度の絶対値の平均が７０〜１００ｃｍ／ｓｅｃとなるようにパドル駆動部を制御する。 （もっと読む）

【課題】研磨時間全体を短縮することができ、研磨テープを容易に交換できる研磨装置を提供する。
【解決手段】本発明の研磨装置は、基板Ｗを水平に保持し、回転させる回転保持機構３と、複数の研磨ヘッド組立体１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄと、複数のテープ供給回収機構２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄと、研磨ヘッド組立体１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄを基板の径方向に沿って移動させる複数の移動機構とを備える。研磨ヘッド組立体１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄは、基板の周縁部に研磨テープを当接させる研磨ヘッド３０と、研磨ヘッドを基板の接線に平行な軸を中心として回転させるチルト機構とをそれぞれ有する。研磨ヘッドは、研磨テープを把持して所定の速度で送るテープ送り機構を有し、テープ供給回収機構２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄは、複数の研磨ヘッド組立体の径方向外側に配置されており、その位置は固定されている。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ等の被めっき体（基板）にめっきを行う場合に、高電流密度の条件であっても平坦な先端形状のバンプを形成したり、良好な面内均一性を有する金属膜を形成したりすることができるめっき装置及びめっき方法を提供する。
【解決手段】めっき液Ｑを保持するめっき槽１０と、めっき槽１０内のめっき液Ｑに浸漬させて配置されるアノードと、被めっき体Ｗを保持しアノードと対向する位置に配置するホルダと、格子部３２ｂを有する板状部材からなり、アノードとホルダで保持した被めっき体との間に配置され該被めっき体と平行に往復移動してめっき液を攪拌するパドル３２と、パドル３２を駆動するパドル駆動部４２を制御する制御部４６を有する。 （もっと読む）

【課題】めっきによる金属膜の成膜をビアホール内に選択的に行って、ビアホール内を欠陥なくめっき膜で充填するとともに、ビアホール以外に形成される余分な金属膜を極めて薄くできるようにしためっき装置及びめっき方法を提供する。
【解決手段】めっき液を保持するめっき槽１８６と、めっき槽１８６内のめっき液に浸漬させて配置されるアノード２１２と、被めっき材を保持して該被めっき材に通電し、被めっき材をアノードと対向する位置にめっき液に浸漬させて配置するホルダ１６０と、アノードとホルダで保持した被めっき材との間に配置され、めっき槽内のめっき液を攪拌するめっき液攪拌部２２０と、ホルダで保持してめっき液中に浸漬させて配置した被めっき材の被めっき面に面するめっき液中にバブルを供給するバブル供給部２２２と、被めっき材とアノードとの間に電圧を印加するめっき電源２３０を有する。 （もっと読む）

【課題】回転翼と固定翼の隙間を小さくして排気性能を向上させることができ、回転軸の温度及び熱膨張量を正確に推定することを可能にし、また回転翼と固定翼とが接触する前に警報を発する、あるいは運転を停止させることができるターボ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】回転軸５４を磁気浮上させる少なくとも一対のアキシャル磁気軸受５９，と、回転軸に取付けられた回転翼５２と、回転翼と対向するように配置された固定翼５３と、回転軸を回転駆動するモータ５５とを備えたターボ型真空ポンプにおいて、回転軸の一方の端部近傍に回転翼と固定翼とを配置することにより排気部９０を構成するとともに、回転軸の軸方向の位置を検出する第１のアキシャル変位センサ５９とアキシャル磁気軸受５８とを回転軸の他方の端部近傍に配置することにより運動制御部９１を構成し、排気部の近傍に回転軸の軸方向位置を検出する第２のアキシャル変位センサ６０を配置した。 （もっと読む）

【課題】ポンプを引き上げることがなく、各点検部の磨耗状況や劣化状況の点検確認ができ、維持管理の容易なポンプ、ポンプの状況点検確認方法及び状況点検確認装置を提供すること。
【解決手段】小型カメラ３２と、該小型カメラ３２を搭載する台車３０と、該台車３０に取り付けられた磁力を発する車輪３１を具備する車輪機構とを備え、台車３０の車輪機構が発する磁力を磁性体からなるポンプケーシング面に作用させ、ポンプケーシング面に沿って台車３０を移動させることにより、小型カメラ３２を介してポンプ状況の画像情報を取得し、ポンプ状況を点検確認する。 （もっと読む）

【課題】酸発酵菌を固定化した酸発酵槽を用い効率的な酸発酵が行える嫌気性処理方法とその装置を提供することである。
【解決手段】装置本体側壁と邪魔板により形成されるガス・液・固分離部を多段に有する上向流嫌気性汚泥床処理装置による酸発酵菌を固定化した酸発酵槽を用い、酸発酵工程及びメタン発酵工程からなる二相式嫌気性処理で有機性廃水又は有機性廃棄物を処理する嫌気性処理方法とその装置。 （もっと読む）

【課題】吸込水槽の水位が大きく低下することを防止して、安定したポンプの運転を行うことができるポンプ機場の制御装置、および該制御装置を備えたポンプ機場を提供する。
【解決手段】管路５に連結される開水路型の吸込水槽３と、該吸込水槽３に連通するポンプ１とを有するポンプ機場の制御装置であって、管路５の水深を計測する少なくとも１つの水深計１６と、ポンプ機場の動作を制御する制御部２０とを備え、制御部２０は、水深計１６によって計測された水深から、管路５を流れる水の限界流量を導出し、ポンプ機場の排水流量が限界流量を超えないようにポンプ機場の運転を制御する。 （もっと読む）