【課題】現用の制御プログラムが破損した場合でも、速やかに更新された最新の制御プログラムでの動作が行えるソフトウエア更新方法を提供する。
【解決手段】更新有無を認識するステップ（Ｓ１）と、ソフトウエア更新プログラムをＲＡＭへ転送し起動させるステップ（Ｓ２）と、ＲＯＭに記憶された現用の制御ソフトウエアおよび、ＲＡＭに記憶された差分ファイルをＲＡＭのソフトウエア更新プログラムワークメモリに読み出しするステップ（Ｓ３，Ｓ４）と、これらを実行するステップ（Ｓ５）と、制御ソフトウエアに異常を検知するステップ（Ｓ６Ｘ）と、リカバリー用ソフトウエアに上書されるステップ（Ｓ１０）と、新たな差分ファイルを取得するステップ（Ｓ１１）と、Ｓ１からＳ５を再度進め、新制御ソフトウエアを生成し、新制御ソフトウエアに書き換えするステップ（Ｓ６）と、を順次行う。 （もっと読む）

【課題】 金属部分の腐食を抑制して、基板の汚染を抑制し、処理品質を向上させ、或は歩留りを向上させる。
【解決手段】 処理室と、基板保持具と、処理室を開閉する蓋体と、基板保持具載置部と、基板保持具載置部を回転させる回転機構と、蓋体との間に第一のガス噴出口を構成するように蓋体を貫通し基板保持具載置部及び回転機構に接続される回転軸と、回転機構および蓋体、回転軸とで囲われ構成され第一のガス噴出口を介して処理室と連通する第一ガス溜り部と、基板保持具載置部に設けられる第二のガス噴出口と、回転軸に設けられ第二のガス噴出口を介して処理室と連通する第一ガス溜り部と、回転軸に設けられ第一ガス溜り部と第一ガス溜り部とを連通させる流通口と、を有する。 （もっと読む）

【課題】歩留まり、リードタイム、精度補償が改善された高精度プリント基板を製作できるプリント基板製作方法を提供する。
【解決手段】基板全範囲を対象に銅薄膜エッチングを行うエッチングＳ２５ステップと、所定の測定端子部のレジスト膜を剥離するエッチングレジスト剥離Ｓ２６ステップと、測定端子部を有する回路パターンのインピーダンスを測定し、測定データを得るインピーダンス値測定ステップＳ２７と、測定データを基にデータ処理を行い、追加エッチングの箇所を求める測定データ処理エッチング条件Ｓ２９ステップと、測定データ処理エッチング条件に基づき選択された回路パターンに対して行う選択エッチングＳ３０ステップとより成る手順を有するインピーダンスコントロールエッチング工程Ｓ１００ステップを備えた。 （もっと読む）

【課題】デジタル無線伝送の遠隔制御監視システムにおける回線復旧を支援する。
【解決手段】基地局から無線伝送路を介して本局へ信号をデジタル無線伝送するシステムにおける遠隔制御システムにおいて、監視回線異常が発生した時の回線復帰支援方法であって、基地局からの監視情報が、無線伝送手段、即ち、無線伝送路を介して本局へ伝達されるシステムにおいて、基地局内の設備機器と本局内の設備機器への自動制御による回線復帰処理を行う。その回線復帰処理では、当該遠隔制御監視システムの制御回線を利用して本局から基地局へ回線復帰処理要求を送信し、回線異常の原因推定を行うにあたり、前記本局設備機器の監視情報を利用する。 （もっと読む）

【課題】標的の交換を不要とすると共に、標的に対する視界が悪い場合でも射撃ごとの命中の状況を射撃側が確実に確認できるようにし、効率の良い水上射撃訓練を実現する。
【解決手段】艦艇ＦＳ１，ＦＳ２において射撃操作が行われるごとに、射撃訓練装置ＦＤ１によりレーザ発光部２３からレーザ光を発射する。これに対し標的装置ＴＧ１は、上記レーザ光をレーザ受光部１１２により受光すると、その受光結果を表す情報を現示部１３に表示すると共に、当該受光結果を通知するための情報を無線回線を介して発射元の艦艇ＦＳ１，ＦＳ２へ送信する。艦艇ＦＳ１，ＦＳ２の射撃訓練装置ＦＤ１は、上記受光結果を通知するための情報を受信すると、当該受光結果の通知情報をもとに射撃の結果を表す情報を生成してこれを表示する。 （もっと読む）

【課題】基板表面の荒れを抑制して基板を処理できる工程を備える半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】処理室内に、表面に２ｎｍ以下の酸化膜が形成されている基板を搬入する工程（ステップ３０２）と、その後、処理室内でＮ_２Ｏガスによりパージを行う工程（ステップ３０５）と、その後、処理室内で基板を処理する工程（ステップ３０６）と、その後、処理室内から基板を搬出する工程（ステップ３０９）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】電磁波加熱式熱処理装置の温度分布均一性を高める。
【解決手段】複数枚のウエハ１を積層保持したボート４２を収容するキャビティ３７と、キャビティ３７内に電磁波を導入してウエハを加熱する電磁波源５５とを備えた電磁波加熱形バッチ式熱処理装置において、キャビティ３７内下部にコントローラ５６で制御される補助ヒータ５９を設け、コントローラには上側熱電対５７と下側熱電対５８とを接続し、上側熱電対５７の熱接点はボート４２の最上段に保持された上側モニタウエハ１Ａに配置し、下側熱電対５８の熱接点はボートの最下段に保持された下側モニタウエハ１Ｂに配置する。コントローラ５６は上側熱電対５７の温度と下側熱電対５８の温度とが同一になるように、電磁波源５５と補助ヒータ５９の電源６０とをそれぞれ制御する。 （もっと読む）

【課題】 妨害波が常時存在する環境下においても良好な無線特性を維持し、妨害波のレベルが低い場合であっても適切な歪み補償制御処理を行うディジタル歪み補償増幅器を提供する。
【解決手段】 主信号を出力するための主信号線及び帰還信号が入力されるための帰還信号線へと接続されたディジタル歪み補償部、主信号線へと接続された増幅器、増幅器の出力へと接続された端子ｄ１と、サーキュレータへと接続された端子ｄ２と、端子ｄ３と、帰還信号線へと接続された端子ｄ４とを備える方向性結合器及び端子ｄ２へと接続された端子ｃ１と、端子ｃ２と、ディジタル歪み補償増幅器の出力端子へと接続された端子ｃ３とを備えるサーキュレータを備え、更に、端子ｄ３と端子ｃ２の間に接続された可変減衰器及び可変移相器と、増幅器の出力リターンロスに応じて可変減衰器を制御し、外気の温度変化に応じて可変移相器を制御する制御手段を備えるディジタル歪み補償増幅器。 （もっと読む）

【課題】基板処理時の処理室の温度上昇を抑制できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板２００を処理する処理室２０１と、処理室２０１内で基板２００を保持するサセプタ２１７と、基板２００を加熱するヒータ２０７とを備えた処理装置において、処理室２０１の内壁面はアルマイト処理せずにアルミニウム合金表面として放射率が小さい第一放射部２０１ａを設け、処理室２０１の外壁面はアルマイト処理して放射率が大きい第二放射部２０１ｂを設ける。処理室外壁面の放射率が大きいので、外壁面側での放射による大気への熱の逃げを増加でき、処理室温度の上昇を抑制できる。処理室内壁面の放射率が小さいので、処理室の輻射による不用意な温度上昇を抑制でき、エネルギ損失を小さく抑制できる。 （もっと読む）

【課題】標的に対する命中の有無にかかわらず照準位置を確認できるようにし、これにより射撃練度をより正確に把握可能とする。
【解決手段】銃の照準の方向を検出してその照準検出データをもとに照準位置の軌跡を表す表示データＰ１を生成すると共に、銃の引き金操作を検出してそのトリガ検出データとこのときの照準検出データをもとに命中の有無を判定し、その判定結果をもとに命中又は外れを表す表示データＰ２，Ｐ３を生成する。そして、上記生成された表示データＰ１，Ｐ２，Ｐ３を、カメラＣＭにより撮像された射撃対象範囲の撮像画像データに重畳してディスプレイに表示する。 （もっと読む）