【課題】本発明は、液状レジストインキの使用量を少量に抑え、基板上に均一に液状レジストインキを塗布することを可能とし、しかも塗布が不要な基板の裏側部分にまで液状レジストインキが回り込むことが無い凹凸パターン形成用液状レジストインキの塗布方法を提供する。
【解決手段】本発明の凹凸パターン形成用液状レジストインキの塗布方法は、スプレーノズルシステムを用いて、液状レジストインキを基板上に噴霧することを特徴とする。前記スプレーノズルシステムは、超音波スプレーノズルシステムであることが好ましい。また、前記超音波スプレーノズルシステムは、超音波発生装置、圧電変換器、振動増幅器および超音波ノズルを有することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 漏れ電流地を大きく悪化させることなく、単位重量あたりの容量が大きなコンデンサを製造することができる方法を提供する。
【解決手段】 タンタル金属、ニオブ金属およびタンタル・ニオブ複合金属の中から選ばれた少なくとも一種の金属の表面に誘電体層を形成するコンデンサ用電極材料の製造方法において、該誘電体層の形成は、（イ）上記少なくも一種の金属の酸化物からなる表面層を有する該金属にアルカリ溶液を反応させて、表面層を構成する該酸化物の少なくとも一部をタンタル酸化合物、ニオブ酸化合物およびタンタル酸化合物・ニオブ酸化合物複合体の中から選ばれた少なくとも一種の金属酸化合物に変換するか、または（ロ）上記少なくとも一種の金属さん化合物を形成することにより行われる。 （もっと読む）

【課題】封止樹脂の表面を平坦または凸状としても、発光装置の封止樹脂が他の発光装置の封止樹脂と付着するのを抑制する。
【解決手段】発光装置６０は、平面状に形成された開口面６１ｃに形成された凹部６１ａと、同じく開口面６１ｃと連続的に形成された凸部６１ｂと、が一体的に形成された樹脂容器６１、樹脂容器６１と一体化したリードフレームからなるアノード用リード部６２およびカソード用リード部６３と、凹部６１ａの底面７０に取り付けられた半導体発光素子６４と、凹部６１ａを覆うように設けられた封止樹脂６５とを備えている。ここで、開口面６１ｃから凸部６１ｂの高さｈは、封止樹脂６５の最頂部の膨らみ量ｄより大きく設定されている。 （もっと読む）

【課題】垂直磁性層の高い垂直配向性を維持し、更なる高記録密度化を可能とした磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも非磁性基板の上に、軟磁性下地層と、直上の層の配向性を制御する配向制御層１１と、磁化容易軸が非磁性基板に対して主に垂直に配向した垂直磁性層とを積層してなる磁気記録媒体の製造方法であって、垂直磁性層を２層以上の磁性層１２〜１４から構成し、各磁性層１２〜１４を構成する結晶粒子が配向制御層１１を構成する結晶粒子と共に厚み方向に連続した柱状晶Ｓ１〜Ｓ３を形成するように各層を結晶成長させる際に、基板を冷却しながら又は基板を冷却した直後に、配向制御層１１の積層を行う。 （もっと読む）

【課題】製造後の炭素繊維に含まれる鉄系不純物を、乾式で効率よく除去することができる気相法炭素繊維の鉄系不純物除去装置を提供する。
【解決手段】炭素源と鉄系触媒を用いて製造された気相法炭素繊維中の鉄系不純物を除去する鉄系不純物除去装置であって、鉄系不純物を除去する鉄系不純物除去手段と、鉄系不純物が除去された炭素繊維の排出手段と、除去された鉄系不純物の排出手段と、前記炭素繊維の排出手段と鉄系不純物の排出手段とを切り替える切替手段と、鉄系不純物除去手段の空気を吸引、又は圧送する空気吸引又は圧送手段と、を有することを特徴とする気相法炭素繊維中の鉄系不純物除去装置、好ましくは、鉄系不純物除去装置の上流側に、さらに解砕手段を備えた鉄系不純物除去装置である。 （もっと読む）

【課題】成膜装置及び磁気記録媒体の製造方法において、チャンバ内のターゲットから飛散した材料の塵埃による汚染を防止すると共に、防着板の頻繁な清掃又は交換を不要とすることを目的とする。
【解決手段】チャンバと、第１の材料で形成された第１のターゲットをチャンバ内で第１のカソード上に保持する主ホルダと、第２の材料で形成された第２のターゲットをチャンバ内で第２のカソード上に保持する副ホルダと、成膜処理時に第１のカソードに電流を印加してチャンバ内の基板の表面に第１の材料を形成する第１のＤＣ電源と、コーティング処理時に第２のカソードに電流を印加してチャンバ内の基板の表面以外の部分の第１の材料を覆うように第２の材料を形成する第２のＤＣ電源を備える。 （もっと読む）

【課題】発光装置の生産性の低下を抑制しながら、各々の発光装置から出力される白色光の色度のばらつきを低減する。
【解決手段】凹部６１ａを有しリードフレームＬＦに形成された容器６１の底部７０に発光素子６４を取り付けた状態で、この凹部６１ａに、樹脂封止装置３００を用いて、蛍光体粉体６５ａおよび透明樹脂６５ｂを含む封止樹脂を注入する。樹脂封止装置３００では、蛍光体の濃度を異ならせた複数の封止樹脂が準備されており、注入対象となる容器６１に取り付けられた発光素子６４の主発光ピーク波長の測定結果に応じて、１種類の封止樹脂または２種類の封止樹脂を組み合わせたものを凹部６１ａに注入して封止部６５を形成する。 （もっと読む）

【課題】容器内の真空度を短時間で高められる真空成膜装置を提供することを目的とする。
【解決手段】基板を配置可能な空間部１０１ｄを備えた反応容器と、空間部１０１ｄ内に設置された成膜手段と、空間部１０１ｄの内部を減圧状態とする排気手段と、反応容器の一面に設けられ、空間部１０１ｄに連通された開口部１０１ｃと、開口部１０１ｃを覆うように取り付けられ、開口部１０１ｃを開閉自在とする扉部１０７と、開口部１０１ｃまたは扉部１０７の外周に取り付けられた枠部８０３と、枠部８０３に開口部１０１ｃを囲むように形成された溝部８０３ｃと、溝部８０３ｃに嵌めこまれたＯリング８０２と、枠部８０３に取り付けられ、枠部８０３を加熱する加熱部８０４と、を有する真空成膜装置を用いることにより、上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】垂直磁性層の密度及び硬度が低下することなく、優れた記録再生特性及び熱揺らぎ特性の両方を得ることが可能な磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録媒体、並びに、高記録密度特性に優れた磁気記録再生装置を提供する。
【解決手段】垂直磁性層４の少なくとも一部を、Ｃｏが主成分であるとともに、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｔａ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｗ、Ｍｇの群の中から選ばれる少なくとも１種類以上の非磁性金属の酸化物を含むグラニュラー構造の磁性層として形成し、垂直磁性層４をスパッタリング法で形成するためのターゲットを、Ｃｏの酸化物と、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｔａ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｗ、Ｍｇの群の中から選ばれる少なくとも１種類以上の非磁性金属とＣｏとの化合物を含むとともに、ターゲット中に含有される酸素の比率を、垂直磁性層４に含有させる酸素の比率よりも高い比率とし、垂直磁性層４を形成する際のスパッタリングガス圧を１Ｐａ以下とする。 （もっと読む）

【課題】加熱・冷却などの影響による封止樹脂と凹部を有する樹脂ケースとの間の剥離を防止し、耐久性の高い半導体発光装置を提供する。
【解決手段】凹部６１ａを有し、凹部６１ａ内側に平均１次粒子径が１ｎｍ〜２００ｎｍの金属酸化物微粒子が固定された樹脂容器６１と、金属導体（６２、６３）と、樹脂容器６１の凹部６１ａの内側に露出した状態で配置される導体部７０と、凹部６１ａの内側に設けられ、導体部７０と電気的に接続される発光素子６４と、発光素子から出力される光に対する透光性を有し、凹部６１ａにおいて発光素子６４を封止する封止樹脂６５ｂとを含む発光装置６０を採用する。 （もっと読む）