説明

芝浦メカトロニクス株式会社により出願された特許

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【課題】小型で効率良く、微小気泡であるナノバブルを含む液体を生成して基板に供給することで基板の処理ができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置1は、上部が開放されており、液体を収容でき、第1容器部分41と第2容器部分42に区分けされ、第1容器部分41から第2容器部分42へ液体を移動可能な通路49を底部側に有する容器30と、第1容器部分41内の液体L中に配置されて、気体を液体Lに混合して微小気泡を含む液体Lを第1容器部分41内で生成する微小気泡生成ユニット40と、第1容器部分41内の微小気泡を含む液体Lを、底部側の通路49を通じて第2容器部分42内に移動させて、第2容器部分42内から微小気泡を含む液体Lを基板Wに送るポンプ35を備える。 (もっと読む)


【課題】お客と店員の意志疎通を容易にすることができる什器を提供する。
【解決手段】複数のタバコに対応したそれぞれの選択ボタン24を有する選択部22と、選択ボタン24に対応したタバコが収納されているコラム18のコラム番号が記憶された記憶部36と、コラム番号を表示する表示部30と、選択ボタン24が選択されたときに、対応するコラム番号を記憶部36から呼び出し、表示部30にコラム番号を表示する制御部34とを有する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、安定したエッチング処理を行うことができるエッチング処理方法、微細構造体の製造方法、およびエッチング処理装置を提供する。
【解決手段】硫酸溶液を電気分解して酸化性物質を生成するとともに、生成される前記酸化性物質の生成量を制御して、所定の酸化種濃度を有するエッチング溶液を生成し、生成された前記エッチング溶液を被処理物の表面に供給すること、を特徴とするエッチング処理方法が提供される。 (もっと読む)


【課題】陳列台に押し付け板を簡単に取り付け及び取り外しができる什器を提供する。
【解決手段】陳列台14の底面に前後方向に開口したガイド孔16と、陳列台14の底面に沿って移動する脚部24と、脚部24から立設され、商品を前方に押圧する押し出し板22と、ガイド孔16と係合する係合部26と、陳列台14の後面に設けられた弾力性を有する爪20と、陳列台14の底面後部に開口し、かつ、ガイド孔16の後端部と連続した着脱開口部18とを有する。 (もっと読む)


【課題】ナノバブルを含む液体中のナノバブルを生成して基板に供給する際に、ナノバブルの個数を把握して基板の処理ができる基板処理方法および基板処理装置を提供する。
【解決手段】予め粒径の確定している標準粒子を混合用の液体81で混合し、標準粒子を混合した混合用の液体中の単位体積当たりの標準粒子の個数をカウンタ86で計測し、この混合用の液体81を基準液として、投入したい標準粒子の個数を含む量の基準液をナノバブルNBを含む液体Lに入れ、粒度分布測定器100によりナノバブルを含む液体中の標準粒子の粒度分布F1とナノバブルの粒度分布F2とを求め、ナノバブルを含む液体L中の標準粒子の粒度分布F1のピーク値P1に対応する標準粒子の個数を基準として、ナノバブルの粒度分布F2のピーク値P2、P3、P4に対応するナノバブルの個数を求める。 (もっと読む)


【課題】電子部品を基板に実装する前に、実装ヘッドと撮像カメラの駆動精度を測定し、その測定に基づいて電子部品を基板に精密に実装することができる実装装置の実装制度の測定装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】制御装置12は、実装ヘッドを測定基板の基準マークの側方で所定方向に沿って駆動して基準マークと同じ間隔で打痕マークを形成させる機能と、基準マークの予め設定された座標に光軸中心が一致するよう基板カメラを所定方向に沿って順次駆動し、基準マーク及び基準マークに対応する位置にある打痕マークを同時に撮像させる機能と、基板カメラの撮像に基づいて基準マークの座標と撮像カメラの光軸中心のずれ量及び打痕マークの座標を求め、基準マークの座標と撮像カメラの光軸中心のずれ量から撮像カメラの移動精度を算出し、算出された基板カメラの移動精度と打痕マークの座標から実装ヘッドの移動精度を算出する機能とを備える。 (もっと読む)


【課題】高額紙幣が挿入された場合にその旨をお客及び管理者に対し認知させることができる自動販売機を提供する。
【解決手段】ビリバリ34で識別した紙幣の金種が予め設定された高額紙幣に該当する場合に、スピーカ24を用いてこの金種を音声で発声する制御部30を有する券売機10である。 (もっと読む)


【課題】リアルタイムで加工済み線の位置情報を取得することができるレーザ加工装置を低コストで提供すること。
【解決手段】レーザ加工装置は、被加工基板60を保持する保持部1と、被加工基板60の薄膜62,63,64に対してレーザ光Lを照射するレーザ照射部11と、保持部1およびレーザ照射部11のうちの少なくとも一方を加工進行方向PDに沿って移動させる加工移動部35と、既に加工された加工済み線62,63の位置情報を取得するデータ取得部41と、を備えている。データ取得部41は、レーザ光Lによって薄膜62,63,64を所定の加工済み線62,63に沿って加工している間に、当該所定の加工済み線62,63と異なる加工済み線62,63の位置情報を取得可能となり、レーザ光Lによって薄膜62,63,64が所定の加工済み線に沿って加工される前に、前もって当該所定の加工済み線62,63の位置情報を取得する。 (もっと読む)


【課題】この発明は基板に一列に貼着された複数の異方性導電部材の捲れを迅速の検査する検査装置を提供することにある。
【解決手段】基板に貼着された複数の異方性導電部材4a〜4nを撮像する撮像カメラ2と、撮像カメラの撮像範囲における基板のリード3の異方性導電部材が貼着されていない部分の輝度を測定するリード明暗測定部6と、リード明暗測定部の測定に基づいて閾値を設定する二値化閾値設定部8と、二値化閾値設定部によって設定された閾値を格納する閾値格納部10と、閾値格納部に格納された閾値に基づいて撮像カメラが順次撮像する複数の異方性導電部材のそれぞれの部分の撮像画像を二値化処理する二値化画像作成部9と、二値化画像作成部によって得られた二値化画像に基づいてテープ状部材の端部の状態を判定する判定部13を具備する。 (もっと読む)


【課題】この発明は搬送される基板の端部をその厚さに係らず確実に保持できるようにした基板の搬送装置を提供することにある。
【解決手段】複数の搬送軸4に設けられた搬送ローラ5及び基板の幅方向両端部の下面を支持する端部支持ローラ5aと、搬送軸の上方に支持された上載せローラ軸16と、上載せローラ軸に設けられ端部支持ローラによって幅方向の端部下面が支持された基板の幅方向の端部上面を押圧する一対の上載せローラ25と、搬送軸の両端部に設けられ外周面が軸方向に対して傾斜した第1の傾斜面34に形成された第1の荷重調整ローラ31と、上載せローラ軸に設けられ外周面が第1の傾斜面と同じ角度で同じ方向に傾斜した第2の傾斜面35に形成されていて、第1の荷重調整ローラに対して軸方向に相対的に移動させて第1の傾斜面との接触度合を調整することで、上載せローラによる基板の端部上面を押圧する押圧力を設定する第2の荷重調整ローラ32を具備する。 (もっと読む)


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