【課題】迅速かつ的確な診断を行うことが可能な極端紫外光発生装置の診断方法を提供する。
【解決手段】極端紫外光の光源部で生成された複数の光パルスの光強度値の時系列データを生成する工程Ｓ２と、時系列データから統計データを生成する工程Ｓ３と、統計データに基づいて光源部の発光状態を評価する工程Ｓ４とを備える。 （もっと読む）

【課題】堆積物が有機物を含んでいる場合であっても、効率的に堆積物を除去することのできる堆積物の除去方法を提供する。
【解決手段】基板上にエッチングによって形成されたパターンの表面に堆積した堆積物を除去する堆積物除去方法であって、基板を、フッ化水素ガスを含む雰囲気に晒す第１処理工程と、第１処理工程の後に、基板を加熱しながら酸素プラズマに晒す酸素プラズマ処理工程と、酸素プラズマ処理工程の後に、基板を、フッ化水素ガスを含む雰囲気に晒す第２処理工程と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】Ｆｅを含むＳｍ−Ｃｏ系磁石の高い磁化や保磁力を保ちつつ、角型性を向上させた永久磁石を提供する。
【解決手段】実施形態の永久磁石は、組成式：Ｒ（Ｆｅ_pＭ_qＣｕ_r（Ｃｏ_1-p-q-r）_z（Ｒ：希土類元素、Ｍ：Ｔｉ、ＺｒおよびＨｆから選ばれる少なくとも１種、０．３＜ｐ≦０．４５、０．０１≦ｑ≦０．０５、０．０１≦ｒ≦０．１、５．６≦ｚ≦９）で表される組成を有し、Ｔｈ₂Ｚｎ₁₇型結晶相と粒界相とプレートレット相とを含む金属組織を備える。粒界相におけるＣｕ濃度の空間分布は標準偏差で５以下とされている。 （もっと読む）

【課題】基板への引っかき傷を抑制すると共にパーティクルの発生を抑制することが可能な描画装置を提供する。
【解決手段】描画装置１００は、描画対象基板の外周部全体を上方からカバーする基板カバーを基板に着脱する基板カバー着脱部７０と、基板カバーが基板に装着された状態で、荷電粒子ビームを用いて基板上へパターンを描画する描画部１５０と、所定の計測位置において、描画部によって描画される前と描画された後に、基板カバーが基板に装着された状態で基板カバーの位置を計測する計測部６４と、基板カバーが装着された基板の位置について、計測された描画後の基板カバーの位置と計測された描画前の基板カバーの位置との間での位置ずれ量を補正する搬送ロボット１４２と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 パターン精度の劣化及びスループットの低下を抑制することが可能な露光方法を提供する。
【解決手段】 実施形態に係る露光方法は、表面にレジスト膜が設けられた被処理基板の複数のパターン転写領域それぞれに対してフォトマスクを介して第１の露光を行う工程（Ｓ１２）と、パターン転写領域の一部にオーバーラップするようにして被処理基板の周辺領域に対して第２の露光を行う工程（Ｓ１３）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】バルク半導体基板上に形成されるトンネルトランジスタ同士を電気的に分離することが可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、半導体装置は、半導体基板と、前記半導体基板内に形成された第１および第２の素子分離絶縁膜とを備える。さらに、前記装置は、前記第１および第２の素子分離絶縁膜間の前記半導体基板上に、ゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極を備える。さらに、前記装置は、前記半導体基板内に前記ゲート電極を挟むように形成された、第１導電型の第１の主端子領域および前記第１導電型とは逆導電型の第２導電型の第２の主端子領域を備える。さらに、前記装置は、前記半導体基板内に前記第１および第２の素子分離絶縁膜に接するように形成され、前記第１および第２の主端子領域の下面よりも深い位置に上面を有する、前記第２導電型の第１の拡散層を備える。 （もっと読む）

【課題】アナログデジタル変換装置のサイズを縮小し、且つ、インタリーブ間のミスマッチに起因する誤差の補正に必要な処理量を低減する。
【解決手段】本発明の実施形態のアナログデジタル変換装置は、アナログ入力信号をデジタル出力信号に変換する。アナログデジタル変換装置は、アナログデジタル変換ユニット１２と、疑似エイリアス信号生成部１１４と、利得制御部１１６と、エイリアス信号補正部１１８と、を備える。アナログデジタル変換ユニット１２は、アナログ入力信号を、複数のデジタル信号に変換する。疑似エイリアス信号生成部１１４は、複数のデジタル信号を合成した合成信号に含まれるエイリアス信号成分を模擬する疑似エイリアス信号を生成する。利得制御部１１６は、疑似エイリアス信号を用いて、デジタル出力信号の利得を制御する利得制御信号を生成する。エイリアス信号補正部１１８は、利得制御信号を用いて、エイリアス信号成分を補正する。 （もっと読む）

【課題】圧縮データを伸張することによって得られるデータの品質を低下させることなく、メモリから圧縮データを読み出すときのバスの利用効率を改善する。
【解決手段】画像処理装置１０は、圧縮部１２と、サブブロック選択部１６と、画像処理部１８と、伸張部１７と、を備える。圧縮部１２は、複数のブロックを含む画像データの入力ビットストリームを所定数のブロック単位で圧縮し、圧縮データを生成する。サブブロック選択部１６は、画像処理の対象となるリクエスト領域を含み、且つ、ブロックより小さいサブブロックを少なくとも１以上、圧縮データの中から選択する。伸張部１７は、サブブロックを伸張し、伸張データを生成する。画像処理部１８は、伸張データに対して画像処理を実行し、処理済画像データを生成する。 （もっと読む）

【課題】情報が失われ、ノイズが混入する問題を解決し、簡便な処理で解像度と忠実度を向上させる。
【解決手段】インターレース形式の入力画像に対し超解像処理を施す画像処理装置である。その構成要素として、入力画像に対し、フィールド毎に超解像処理を実行するフィールド超解像処理手段を備える。また、フィールド超解像処理手段による処理と並行して、入力画像に対し、そのＴｏｐフィールドとＢｏｔｔｏｍフィールドを組み合わせて構成されたフレーム毎に超解像処理を実行し、フィールド単位で出力するフレーム超解像処理・フィールド抽出手段を備える。また、入力画像の特性を解析し、該特性に応じた選択信号を出力する特性解析手段を備える。また、フィールド超解像処理手段およびフレーム超解像処理・フィールド抽出手段の出力をインターレース形式で選択信号に応じて出力する第１の選択手段を備える。 （もっと読む）

【課題】時間インターリーブ方式のＡ／Ｄ変換を行う際のＡ／Ｄ変換部のサンプリング時間誤差を、簡易な構成で精度よく推定できるようにする。
【解決手段】複数のＡ／Ｄ変換部のそれぞれでタイミングをずらしてＡ／Ｄ変換を行って得た複数のデジタル出力信号を複数の出力端子から出力する時間インターリーブＡ／Ｄ変換器における時間誤差推定装置は、前記複数のＡ／Ｄ変換部のサンプリング時間誤差を推定するものであり、前記複数のデジタル出力信号同士の類似度を表す相関値を求める相関器と、前記複数のＡ／Ｄ変換部の出力信号の微分値により前記相関値の重みを調整した結果に基づいて、前記複数のＡ／Ｄ変換部のサンプリング時間誤差を推定する重み加算器と、を備える。 （もっと読む）