説明

株式会社トクヤマにより出願された特許

141 - 150 / 839


【課題】本発明は、本発明は、プラズマガス耐性、高熱伝導を有し、優れた光学特性を有する窒化アルミニウム焼結体を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明に係る窒化アルミニウム焼結体の製造方法は、窒化アルミニウム粉末とアルカリ土類系酸化物の焼結助剤とを特定の配合比で含む混合物からなる成形体を、還元雰囲気下の特定条件での焼成、特定条件でのアニールすることに特徴があり、この製造方法により、陽電子消滅法における欠陥分析において、窒化アルミニウム結晶中で、180ps(ピコ秒)内に消滅する陽電子の割合が90%以上であることを特徴とし、好ましくは200W/mK以上の熱伝導率を有する窒化アルミニウム焼結体が得られる。 (もっと読む)


【課題】大口径且つ長尺の育成結晶体の上部域から下部域の全域に亘って、レーザー光照射による透過率の低下が抑制された、即ちレーザー耐性の高い高品質の光学特性を有する結晶を、歩止まりが高く、しかも大型の結晶を製造できる工業的価値が高い方法を提供する。
【解決手段】炉内に原料フッ化金属と固体含金属スカベンジャとを収容し、炉内を昇温し原料フッ化金属を溶融させ、次いで溶融したフッ化金属を単結晶化するフッ化金属単結晶の製造方法において、前記固体含金属スカベンジャを、原料フッ化金属の融点以上の温度に保持される炉内の高温部位と、溶融したフッ化金属を単結晶化する工程を通じて、固体含金属スカベンジャの融点以上乃至原料フッ化金属の融点未満、例えば「原料フッ化金属の融点−150℃」以下の保持される炉内の低温部位とに分割して収容、好ましくは、低温部位/高温部位の質量比率が0.3〜1.0となるように収容することを特徴とするフッ化金属単結晶の製造方法である。 (もっと読む)


【課題】 光リソグラフィー装置などに用いられるフッ化金属単結晶(フッ化カルシウム、フッ化マグネシウムなど)のレーザー耐久性を、比較的短期間で、かつ高精度に評価する。
【解決手段】 ArFレーザー等の実際の使用条件での波長のレーザー光のパルス照射と、該レーザー光照射後の光透過率(T)の測定とを、試料に環境光の当たらない暗環境下で、繰り返して2回以上行い、パルス照射回数(X)と、初期値に比しての光透過率の低下から求めた差分吸光度の200〜800nmの範囲での積分値(Y)とから、Y=aX+bの関係を求める。得られる傾き(a)の大きさからレーザー耐久性を評価する。暗環境下で行うことにより精度が格段に向上する。なお傾きの小さなものほどレーザー耐久性に優れたフッ化金属単結晶である。 (もっと読む)


【課題】ベース基板上に形成される非c軸配向AlN結晶粒を利用して、AlNを横方向成長させ、結晶性が改善された単結晶AlNを製造する方法を提供する。
【解決手段】1000〜1600℃で加熱処理したベース基板を準備し、ベース基板を900〜1100℃に加熱し、ベース基板の結晶成長面上でハロゲン化アルミニウムガスと窒素源ガスとを供給し反応させて、c面単結晶からなる結晶成長面にc面以外に配向した単結晶AlNからなる結晶粒が分散しているラテラル成長用前駆体基板を作製し、その後、ラテラル成長用前駆体基板を1200〜1700℃にし、結晶成長面のc面単結晶からなる領域上にAlN単結晶を突起部の高さよりも高くなるように優先的に成長させて、凹部が分散して存在する結晶成長面を有するラテラル成長用基板を作製し、さらに、AlN単結晶を横方向に成長させることで、結晶性が改善されたAlN単結晶を成長させることが出来る。 (もっと読む)


【課題】強固に凝集することがなく流動性に優れる、疎水化された表面処理無機酸化物粒子を、簡易に製造する方法を提供すること。
【解決手段】上記方法は、少なくとも下記の工程(1)乃至(3)を以下に記載の順で行うことを特徴とする方法である;(1)塩基性触媒の存在下における金属アルコキシドの加水分解及び重縮合反応によって得られる無機酸化物粒子の分散液に、シリコーンオイル、シランカップリング剤及びシラザンよりなる群から選ばれる少なくとも1種類の表面処理剤を添加して前記無機酸化物粒子の表面処理を行う工程、(2)前記表面処理後の無機酸化物粒子の分散液に、二酸化炭素、炭酸アンモニウム、炭酸水素アンモニウム及びカルバミン酸アンモニウムよりなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物からなる凝析剤を添加する工程、並びに(3)ろ過によって前記表面処理後の無機酸化物粒子を回収する工程。 (もっと読む)


【課題】TAA水酸化物含有現像廃液を陽イオン交換樹脂が充填された充填塔に通液して、TAAイオンを該樹脂に吸着させ、次いで樹脂に酸を接触させて、樹脂に吸着されたTAAイオンを脱離させて、高濃度のTAA塩水溶液を得る際に、該現像廃液中のTAAイオンを漏洩させることなく、効率的に、高濃度のTAA塩水溶液を製造する方法を提供する。
【解決手段】複数の充填塔からなる充填塔ラインを形成し、該充填塔ラインの塔数nを、所定の数以上とし、最上流の充填塔ラインに目標吸着率までTAAイオンを吸着させたとしても、最下流の充填塔ラインからTAAイオンが漏洩しない構成とする。 (もっと読む)


【課題】高収率で操作性良く光学分割し、(S)−4−〔(4−クロロフェニル)(2−ピリジル)メトキシ〕ピペリジンを簡便に製造できる方法を提供することにある。
【解決手段】 炭素数1〜4のアルコール類と、アミド類、及びエステル類から選ばれる溶媒との混合溶媒中、ラセミ型4−〔(4−クロロフェニル)(2−ピリジル)メトキシ〕ピペリジンに、ジ−p−トルオイル−D−酒石酸、ジ−p−アニソイル−D−酒石酸、及び(1R,2R)−シクロヘキサンジカルボン酸から選ばれる光学活性ジカルボン酸を作用させ、得られた(S)−4−〔(4−クロロフェニル)(2−ピリジル)メトキシ〕ピペリジンのジアステレオマー塩を該混合溶媒中で晶析させた後、該ジアステレオマー塩を分別することにより該ジアステレオマー塩を製造する。 (もっと読む)


【課題】チョクラルスキー法によるフッ化金属単結晶体の製造方法において、単結晶引き上げ完了後、単結晶体とされずに坩堝内に残存した原料フッ化金属のリサイクル方法を提供する。
【解決手段】好ましくは四フッ化炭素などのフッ素系ガスからなる気体スカベンジャーを用いて、回収した原料フッ化金属の精製を行う。該精製は、フッ素系ガスの存在下に原料フッ化金属の溶融後、一旦、真空排気し、その後再度のフッ素系ガスの導入と真空排気との繰り返しによって行うことが特に好ましい。 (もっと読む)


【課題】熱伝導率が高く光反射率の大きな新規な絶縁材料を提供し、延いてはLED素子を搭載するためのサブマウントであって、光の有効利用率を高くでき、しかも素子から発生した熱を速やかに放散できる放熱性の高いサブマウントを提供する。
【解決手段】例えば、窒化アルミニウム粉末100質量部に対して3CaO・Al等のアルカリ土類金属を含む化合物0.5〜10質量部を含有する組成物からなる成形体を、特定量の炭素蒸気を含む不活性ガス雰囲気中で焼結することにより得られ、あるいは、耐熱性を有するベース基板上に窒化物ペーストを塗布したものを所定温度で焼成することにより得られる、350nm〜800nmの波長領域の光に対する反射率が50%以上であり、700nmの波長の光に対する反射率が60%以上であることを特徴とする窒化物焼結体をサブマウントの基板材料として用いる。 (もっと読む)


【課題】原料化合物に含まれる特定の不純物が反応して得られる副生物を含む粗アゼルニジピンから純度の高いアゼルニジピンを製造する方法を提供する。
【解決手段】イソプロピルアルコール100容量部に対して、メタノール、エタノール、および酢酸エチルからなる群より選ばれる少なくとも1種の溶媒を5容量以上50容量部以下含む混合溶媒中に、アゼルニジピン、および下記式(2)
【化1】


で示される化合物が溶解した溶液を調製する調製工程、前記調製工程で得られた溶液中にアゼルニジピンの結晶を析出させる析出工程、および 前記析出工程で得られた結晶を取り出す分別工程とを含むことを特徴とするアゼルニジピンの製造方法を提供する。 (もっと読む)


141 - 150 / 839