【課題】高精度に位置情報を検出する。
【解決手段】位置検出装置は、被駆動体の位置に応じて互いに異なる位相差を有する出力信号を出力するｎ個の検出素子と、ｎ個の検出素子に対して出力信号を逐次出力させて、ｎ個の出力信号によって信号の１周期を構成された第１の検出信号を出力する出力部と、出力部から出力された第１の検出信号の１周期の周波数である基本周波数を含む所定の通過周波数帯域を有し、第１の検出信号のうちの所定の通過周波数帯域を通過させて位相変調された第２の検出信号を出力するフィルタ部と、フィルタ部から出力された第２の検出信号に基づいて、被駆動体の位置情報を検出する位置検出部と、を備える。検出素子の個数を示すｎの値は、出力部から出力された第１の検出信号に含まれる検出素子の出力信号の誤差成分のうちの少なくとも所定次数の誤差成分を低減するように定められている。 （もっと読む）

【課題】回折格子を用いて相対移動量を計測する際に、格子パターン面の法線方向の絶対位置を検出する。
【解決手段】原点検出装置１１Ｘは、第１部材６に設けられ、Ｘ方向を周期方向とする反射型の回折格子１２Ｘと、第１計測光ＭＸ１を回折格子１２Ｘに第１の入射角で入射させ、回折光と第１参照光ＭＲ１との第１干渉光を検出する第１干渉ヘッド１４Ｘと、第３計測光ＭＸ３を回折格子１２Ｘにその第１の入射角と異なる第２の入射角で入射させ、回折光と第３参照光ＭＲ３との第３干渉光を検出する第２干渉ヘッド１５Ｘと、その第１、第３干渉光の検出信号からＺ方向の相対位置を求める第３演算部４１Ｃと、を備える。 （もっと読む）

【課題】予備発光と本発光とで色温度が異なる場合でも、本発光量を適切に求めるカメラシステムを提供する。
【解決手段】撮影時に被写体を、第１の色温度を持つ光で照明する本発光と、撮影の前に被写体を、第１の色温度とは異なる第２の色温度をもつ光で照明する予備発光とを行う照明手段１７と、被写体像を撮像し、撮像信号を出力する撮像素子１６と、照明手段１７が予備発光をした場合に撮像素子１６から出力される撮像信号に基づいて、本発光時の発光量を演算する演算手段１０と、本発光と予備発光との間の色温度差に基づいて、該色温度差に起因する撮像素子９の感度差、および該色温度差に起因する被写体の反射率の差のうち少なくとも一方に基づいて、演算手段１０で演算された発光量を補正する補正手段１０と、補正手段１０による補正後の発光量で本発光するように照明手段１７を制御する照明制御手段１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】背景に動きがある場合でも適切に前景候補を判断し得る画像処理装置を提供すること。
【解決手段】画像処理装置は、ｎフレーム目の画像と、(ｎ−１)フレーム目の画像において背景を示す画像とをそれぞれ用いて該ｎフレーム目の画像において背景を示す画像を合成する画像合成手段２０と、(ｎ＋１)フレーム目の画像と、画像合成手段２０により合成された画像とをそれぞれ用いて該(ｎ＋１)フレーム目の画像において前景を示す画像を生成する画像生成手段２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】露光不良の発生を抑制できる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置は、液体を介して露光光で基板を露光する。露光装置は、露光光が射出される射出面を有する光学部材と、射出面１２からの露光光が照射可能な照射位置を含む所定面内を移動可能な第１可動部材と、所定面内を移動可能な第２可動部材と、光学部材と第１可動部材及び第２可動部材の少なくとも一方との間で移動可能な第３可動部材１０と、射出面側に液体を供給する供給口と、射出面側に液体の液浸空間ＬＳが形成され続けるように、射出面と対向する位置に第１可動部材、第２可動部材、及び第３可動部材の少なくとも一つを配置する駆動システム５０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】回折格子を用いて計測を行う際に、相対位置を予め定められた相対位置からの絶対位置として容易に計測する。
【解決手段】エンコーダ１０Ｘは、第１部材６に設けられ、格子パターン１２Ｘａ及び基準パターン１３ＸＡが形成された回折格子１２Ｘと、計測光ＭＸ１，ＭＸ２を供給するレーザ光源１６と、第２部材７に設けられ、計測光ＭＸ１，ＭＸ２を格子パターン面１２Ｘｂにθｙ方向（Ｘ方向）に対称な角度で傾斜させて入射させる傾斜ミラー３２Ｘ，３４Ｘと、計測光ＭＸ１，ＭＸ２の回折格子１２Ｘによる回折光ＤＸ２，ＥＸ２を受光する光電センサ４０ＸＡ，４０ＸＢと、を有する。 （もっと読む）

【課題】収差の発生を抑制できる投影光学系を提供する。
【解決手段】投影光学系は、第１面からの照射光を第２面に供給して、第１面の像を第２面に投影する。投影光学系は、照射光の光路に配置可能であり、照射光のうち、第１偏光成分の光と第２偏光成分の光との間で発生する位相差を低減する位相差補償部材Ｅ１と、光路に位相差補償部材Ｅ１が配置されるように位相差補償部材Ｅ１をリリース可能に保持する保持機構１０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 より最適に半導体ウエハ同士の接合を行うことができる基板張り合わせ方法を提供する。
【解決手段】 基板張り合わせ方法は、第１条件下で、第１基板（Ｗ１）と第２基板（Ｗ２）とのそれぞれ被加工領域毎（ＥＳ）に設定された計測点のうち、予め選択された所定数のサンプル計測点（ＳＡ）の位置を計測する計測工程（Ｐ１１、Ｐ１２）と、サンプル計測点の計測位置を演算パラメータとして統計演算を行い、第１基準マーク及び第２基準マークを基準としたそれぞれの被加工領域の配列のオフセットなどを算出する算出工程（Ｐ１３）と、第１条件とは異なる第２条件下で、第１基板及び第２基板に対して表面を活性化させる表面活性工程（Ｐ１５）と、第２条件下で、第１基準マーク及び第２基準マークを観察しながら、算出工程の算出結果に基づいて第１基板と第２基板とを重ね合わせる重ね合わせ工程（Ｐ１８、Ｐ１９）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】電気システムの異常にかかわらず、滑らかな動画を観察可能な撮像装置を提供する。
【解決手段】本発明の撮像装置１は、動画撮像の際に、駆動信号により駆動される撮影光学系２１を通った被写体光を撮像可能な撮像部１１と、前記撮像部１１の撮像結果に基づいて動画像を生成可能な動画像生成部１２と、前記駆動信号に生じた異常信号を検出する異常信号検出部４５と、該異常信号検出部４５により異常信号が検出された際に撮像された画像を、削除、修正又は補完処理可能な処理部４１と、を備え、前記動画像生成部１２は、処理後の画像により動画像を生成可能であること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】外界の視野像を視認し易くする。
【解決手段】電子カメラ１０は、変倍光学系１５、シースルー表示部１１、画像表示制御部４７を備え、変倍光学系１５により結像される外界の像を撮像する。変倍操作部２２は、変倍光学系１５の焦点距離を変更する。シースルー表示部１１は、カメラボディの背面から覗いた時に外界の視野像が透けて見える画面を備える。画像表示制御部４７は、変倍操作部２２の変倍操作に応答して撮像素子３０で撮像したスルー画像を画面に外界の視野像に重ねて表示し、また、変倍操作を停止してから所定時間経過後にスルー画像の表示を停止する。 （もっと読む）