【課題】本発明が解決しようとする問題点は、分析器の真空系と分析室の真空系を隔壁を用いて遮断した場合、低エネルギーのＸ線の検出が困難であったという点である。
【解決手段】試料を収容する真空に保持された分析室と、１次ビームを前記試料に照射する１次ビーム照射手段と、前記１次ビームにより前記試料から発生するＸ線を集束する集光手段と、前記Ｘ線の集束点に位置し、前記集束したＸ線を通過させるアパーチャと、前記アパーチャを通過したＸ線を分光・検出する真空に保持された分光手段と、を備える表面分析装置であって、前記分析室と前記分光手段を仕切る前記アパーチャにより前記分光手段内の真空度と異なる分析室内の真空度を保持することを特徴とする表面分析装置。 （もっと読む）

【課題】 本発明は分析方法及び装置に関し、試料の構成元素及び組成比が未知な場合においても正確な定量分析を行なうことができる分析方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 軽元素を主成分とする試料中に含まれる微量元素を分析する分析装置において、Ｘ線を放出する励起線源１と、該励起線源より放出される特性Ｘ線又はγ線の内の何れか一方が試料２によって弾性散乱された特性Ｘ線又はγ線の内の何れか一方と非弾性散乱されたコンプトン散乱線の強度比を算出する算出手段４ａと、予め用意されている複数の種々の材質に対する検量線から実測された強度比に対応したものを読み出し、この検量線を用いて目的元素の定量を行なう定量手段４ａとを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】 冷却した試料の交換操作時に、極低温に冷却された試料ステージ支持部の破損を防止できる試料交換機構の提供を目的とする。
【解決手段】 オペレータが試料交換の時に操作する搬送用グリップ12と試料搬送機構８と一体で動くブロック13の間を、ばね15と一方向のみに移動可能なスライダで連結する。試料ホルダ４が試料ステージ２に接触後、ばねが伸び始め、試料ホルダ４と試料ステージ２の接触面は、ばね15による密着圧力が働く。適切なばね定数を持つばね15を選択し、断熱材の最大許容付加圧力の範囲内でストッパ10がストッパ受け部11に当接するように設定すれば、断熱材３の破損を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 １つの実験で複数の磁化移動パターンを観測し、又夫々の化学シフト展開等の時間変調を同時に観測することで、緩和による感度損失を最小限に抑え測定時間を短縮する。
【解決手段】 パルス系列の前半部分では、パルス６１、６２及び７１、７２を用いて、Ａ_ｘ又はＡ_ｙとＢ_ｘ又はＢ_ｙの順位相磁化を反位相磁化の状態へ遷移させ、続く中間部分の90度パルス６３、７３によりそれら反位相磁化の交換を行い、後半部分では、パルス６４、６５及び７４、７５を用いて、交換後の反位相磁化をＢ_ｘ又はＢ_ｙとＡ_ｘ又はＡ_ｙの順位相磁化の状態へ遷移させる。又、核磁化の交換と同時に一定時間展開手法により化学シフト展開を行っているが、前半部分と後半部分ではＡ核もＢ核も磁化が横磁化の状態にあるので化学シフト展開を同時に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 試料上でのエッチング加工エリアの重複部分を自動的に最適に設定することにより、効率の良いエッチング加工を行うことのできる試料加工方法を提供する。
【解決手段】 イオンビーム装置の試料室内に配置された試料６の所定領域内での複数の走査エリア３１，３３に対して、当該イオンビーム装置の制御部による制御に基づいて当該走査エリアごとに照射電流の異なるイオンビームの走査を実行してエッチング加工を順次行い、これにより当該所定領域全体のエッチング加工を行う試料加工方法において、直前にエッチング加工された走査エリア３１の端部に形成された加工底面３１ｂからの傾斜部分３１ａの立ち上がり部３１ｃを起点として、次にエッチング加工が施される走査エリア３３が当該制御部により設定される。これにより、必要最小部分のみが走査エリアの重複部分として制御部により設定され、当該重複部分の最適化を自動的に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 演算増幅器の増幅率を下げることなく外来ノイズをも低減でき、これによりさらなる低ノイズ化を図ることができる荷電粒子ビームの偏向ユニットを提供する。
【解決手段】 入力側に軸補正用信号が供給されるとともに、該入力側に第１のスイッチング素子８を介して走査信号が供給される増幅器３と、該増幅器３の出力側に接続される偏向コイル２４と、制御部とを備える荷電粒子ビームの偏向ユニットにおいて、第２のスイッチング素子１２を介して抵抗素子１３が当該偏向コイル２４と並列に接続されているとともに、当該制御部が第２のスイッチング素子１２の開閉を制御し、当該制御部による制御により、第１のスイッチング素子８が開状態のときには第２のスイッチング素子１２が閉状態とされ、また第１のスイッチング素子８が閉状態のときには第２のスイッチング素子１２が開状態とされる。 （もっと読む）

【課題】 電子顕微鏡の加速電圧のノイズを小さくして高分解能電子顕微鏡像の分解能を向上させる。
【解決手段】電力伝送回路7のトランスとシールド間との容量結合電流によるノイズの影響を避けるために、二次電池16等の充放電を行う電気素子を用いた直流電源を設ける。接地電位に配置した伝送ＯＮ／ＯＦＦスイッチ15により切替スイッチ17を動作させ、トランスを用いた従来の直流高電圧発生回路との切替えを行う。高分解能を必要とするデータの取得は二次電池16を用いた直流電源を使用して行い、従来の直流高電圧発生回路を使用している間は、充電回路19により二次電池16を充電しておく。 （もっと読む）

【課題】 本発明はＦＩＢ自動加工時のドリフト補正方法及び装置に関し、試料照射位置に回転が生じた場合でもこの回転の補正を正確に行なうことができるＦＩＢ自動加工時のドリフト補正方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 試料上へのＦＩＢ加工時において、試料上に複数の参照画像領域を設定する参照画像設定手段と、ＦＩＢ加工時に前記参照画像領域の画像を読み込む画像読み込み手段２０と、ＦＩＢ加工時に、前記読み込んだ画像からイオンビーム照射前と照射後の画像のずれの方向と量を求める演算制御手段３０と、該演算制御手段３０の出力を受けてイオンビーム照射領域に回転が生じている場合に、回転を補正する方向にビーム偏向系の調整を行なうビーム偏向系調整手段とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】 本発明はＦＩＢ自動加工時のドリフト補正方法及び装置に関し、試料へ正確な加工を行なうことができるＦＩＢ自動加工時のドリフト補正方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 試料上へのＦＩＢ加工時において、試料上に参照画像領域を設定する参照画像設定手段と、ＦＩＢ加工時に前記参照画像領域の画像を読み込む画像読み込み手段２０と、ＦＩＢ加工時に、前記読み込んだ画像からイオンビーム照射前と照射後の画像のずれの方向と量を求める演算制御手段３０と、該演算制御手段３０の出力を受けて画像のずれの方向と量とに基づいて画像のずれを補正してビーム偏向系の補正を行なうビーム偏向系調整手段とを具備し、前記演算制御手段３０は、参照画像が最適な明かるさ又はコントラストになるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 本発明はＦＩＢ自動加工時のドリフト補正方法及び装置に関し、試料の位置決めとＦＩＢ加工を速やかに行なうことができるＦＩＢ自動加工時のドリフト補正方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 試料上へのＦＩＢ加工時において、試料上に大小１つずつの参照画像をもつ少なくとも１つの参照画像領域を設定する参照画像設定手段と、ＦＩＢ加工時に前記参照画像領域の画像を読み込む画像読み込み手段２０と、ＦＩＢ加工時に、前記読み込んだ画像からイオンビーム照射前と照射後の画像のずれの方向と量を求める演算制御手段３０と、該演算制御手段３０の出力を受けて画像のずれの方向と量とに基づいて画像のずれを補正してビーム偏向系の補正を行なうビーム偏向系調整手段とを具備して構成される。 （もっと読む）