【課題】反射電子線検出装置において、結晶粒界とその方位情報を得る他に、磁性材料解析機能や、特定結晶方位の分布検査機能を付加し、より広範な解析を行うことがでるようにする。
【解決手段】操作部１４を使ったオペレータの操作により、解析情報の取得領域が電子線照射軸に対して垂直とされたとき、システム制御部１５の制御に基づいて、前記電子線像における前記取得領域の縦方向に画素の輝度を積算し、解析情報として試料の磁区パターン情報を得、システム制御部１５に送る。システム制御部１５は、前記磁区パターン情報に応じた画像を表示部１３に表示する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は多極子場補正方法及び装置に関するアライメント自動補正方法及び装置に関し、通常の操作員が多極子の機差を意識せずに、機械的・電気的なズレによる多極子のゆがみを補正することができる収差補正器の多極子場による多極子場補正方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 多極子からなる収差補正器６を搭載した装置において、荷電粒子を用いて試料表面を観察する場合において、多極子の機械的・電気的ズレによって生じる寄生２極子場と寄生４極子場を補正するため設けられた、寄生２極子場補正装置１１ａ，寄生４極子場補正装置１１ｂと、前記収差補正器のある段のＸ，Ｙ方向に多極子場を所定量ずらした時における補正値を予め記憶しておく記憶手段１２と、該記憶手段１２に記憶していた補正量を用いて寄生２極子場と寄生４極子場を補正する補正手段１１とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は色収差自動補正方法及び装置に関し、通常の操作員が収差補正を意識せずに色収差補正を行なうことができる色収差自動補正方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 試料表面像から荷電粒子ビームの形状を抽出する形状抽出手段１３ｂと、抽出された荷電粒子ビームの形状から装置の色収差を算出する色収差算出手段１３ｃと、前記色収差量が所定の値以下になるまで収差補正器６又は対物レンズ４に対してフィードバックを自動でかけるフィードバック手段１３とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】 フィラメントの表面に微量な付着物が残存した状態でエージングを行っても、フィラメントを構成するタングステンの劣化を防止することができ、これによりフィラメントの寿命を長くすることのできるフィラメントアセンブリを提供すること。
【解決手段】 本発明におけるフィラメントアセンブリ１１は、真空下において加熱され、電子を放出するフィラメント１５を備えたフィラメントアセンブリ１１において、当該フィラメント１５には少なくともタングステンが含まれており、前記真空下における加熱により溶融されて蒸発する金属からなる金属保護膜が当該フィラメント１５の表面に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 走査電子顕微鏡本体側と外部分析装置側に同等の回路を備えることなく、簡単な構成により、試料の特定領域の元素分析や元素マッピングを正しい分析位置（電子ビーム一致）で正確に行うことができる分析機能を有した分析走査電子顕微鏡を実現する。
【解決手段】 図８は電子ビームが試料の分析位置に移動中の非直線応答期間には走査ウェイト信号に基づき電子ビームの試料への照射を停止する際の各信号波形を示している。（ｊ）は走査ウェイト信号を示している。この図８から明らかなように、電子ビームが移動する際に生じる非直線応答の時間を適切に設定することで、電子ビームの正しい位置における分析データを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】ＮＭＲプローブのＱ値と勾配磁場の印加応答性を同時に高めたＮＭＲ装置を提供する。
【解決手段】試料に高周波磁場を印加すると共に、試料からのＮＭＲ信号を検出する検出コイル部と、該検出コイルに高周波電磁場を送信すると共に、該検出コイルからのＮＭＲ信号を受信する同調回路部とを備え、それらを金属製のカバーで覆ったＮＭＲプローブにおいて、前記検出コイル部のカバーを高抵抗の金属、前記同調回路部のカバーの少なくとも内面を低抵抗の金属で構成した。 （もっと読む）

【課題】 誰もが正確に陰極先端の像（フィラメント像）を観察でき、また、軸合わせ後の像観察も容易に再開しうる透過電子顕微鏡を実現する。
【解決手段】 フィラメント像を蛍光板上に投影し、投影されたフィラメント像の形状や位置を、アライメント用の偏向コイル１２，１３に供給する信号を調整することにより、フィラメント先端（エミッター先端）を光軸上に配置し、先端の向きを光軸に沿ったものとすることができる。このフィラメント像の観察や調整を行う際には、フィラメント２からの電子の放出量を最適な値に設定する必要がある。この最適な値は、透過電子顕微鏡の操作を行う際に最初に求められており、コンピュータ９に接続されたメモリー１１に記憶されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は探針による試料電位分布像の取得方法及び装置に関し、試料の微小電圧変動を捉えることが可能な探針による試料電位分布像の取得方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 試料１４のパターン面に接触させる第１の探針と第２の探針とからなる２本の探針１１，１２と、試料１４上を電子ビーム又はイオンビームで走査する走査手段と、試料１４上の任意の位置の電位を前記２本の探針を用いて検出する電位検出手段１８と、該電位検出手段１８の出力と電子ビーム又はイオンビームとを同期させて試料電位分布像を取得する取得手段２１とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】試料交換に要する時間を大幅に短縮し、簡単な操作で試料の置き換えを行なうことのできる磁気共鳴イメージング装置用ファントムを提供する。
【解決手段】試料液を滞留させる液溜空間と、該液溜空間に試料液を流通させる試料流路とを備えた。液溜空間は小動物の腎臓とほぼ同じ大きさとし、時間に依存して濃度変化させることができるニトロオキシドラジカル水溶液を流通させる。これにより、試料交換に要する時間を大幅に短縮し簡単な操作で試料の置き換えを行なうことの出来きるファントムを提供できる。 （もっと読む）

【課題】 ヤングフリンジ法用いて透過形電子顕微鏡の情報限界を測定する際に、信頼性の高い二重露光像を簡易に撮影できる装置を提供する。
【解決手段】
ヤングフリンジ法撮影に必要な条件を、記憶装置26に予め記憶させておき、ヤングフリンジ法撮影が選択されると、電子顕微鏡像をずらす量と露光時間と偏向を繰り返す回数等の撮影に必要な条件を記憶装置26から読出し、装置を設定する。撮影条件に基づいて偏向コイル9を制御し、ヤングフリンジ法撮影を自動的に行う。 （もっと読む）