【課題】 本発明はＦＩＢ自動加工時のドリフト補正方法及び装置に関し、試料照射位置に回転が生じた場合でもこの回転の補正を正確に行なうことができるＦＩＢ自動加工時のドリフト補正方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 試料上へのＦＩＢ加工時において、試料上に複数の参照画像領域を設定する参照画像設定手段と、ＦＩＢ加工時に前記参照画像領域の画像を読み込む画像読み込み手段２０と、ＦＩＢ加工時に、前記読み込んだ画像からイオンビーム照射前と照射後の画像のずれの方向と量を求める演算制御手段３０と、該演算制御手段３０の出力を受けてイオンビーム照射領域に回転が生じている場合に、回転を補正する方向にビーム偏向系の調整を行なうビーム偏向系調整手段とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】 探針の交換の際に、試料に損傷を与えることのないプローブ装置を提供すること。
【解決手段】 試料情報を検出するための探針１と、先端部２ｂに探針１が保持される探針保持部材２と、探針保持部材２の基端部２ａを支持する支持部材３とを備えるプローブ装置５０において、探針保持部材２がその基端部２ａを支点として、試料情報の検出位置と試料１０からの退避位置との間で回動可能とされている。これにより探針１の交換を行う際には、探針保持部材２が上記退避位置において探針１の交換ができるので、試料１０に損傷を与えることがない。 （もっと読む）

【課題】 安定かつ最適な収差補正を実現する荷電粒子光学装置を提供する。
【解決手段】 荷電粒子光学装置では、操作表示部９からの指示で、制御部８が開き角制御レンズ３を調整して、補正を行う収差の次数（n次）と収差の種類に応じて、試料に入射する粒子プローブの開き角α（n）を設定する。 （もっと読む）

【課題】 補正用多極子により、球面収差と、必要があれば軸上色収差の両方を補正することのできる収差補正装置を提供する。
【解決手段】 １２極子からなる２π型ウィーンフィルタにおいて、２次の幾何収差を小さくする条件
｜ｅ_２＋（ｍ＋２）／８｜＜ε_１，｜ｂ_２＋ｍ／８｜＜ε_２，｜ｅ_３−ｂ_３−ｍ／１６｜＜ε_３
の下、出射窓での荷電粒子流の断面形状を略円形にする条件
｜ｂ_３−５ｍ^２／１４４｜＜ε_４，｜ｅ_４−ｂ_４−２９ｍ^２／１１５２｜＜ε_６
球面収差及び色収差を負値にする条件
ｍ＜６−２√６
を適用し、さらに条件｜ｍ｜＜ε_７によって軸外収差の増加を抑えるとともに球面収差及び色収差の補正に用いることができるようにする。 （もっと読む）

【課題】 少ないサンプリングデータで短時間にスペクトルを取得することができるスペクトル測定方法を提供する。
【解決手段】 狭帯域での測定Ａを行う（ステップＳ１）。通常のフーリエ変換処理を施し（ステップＳ２）、目的としている広帯になるまで、スペクトルの中心周波数を観測周波数範囲だけずらして積み重ねる処理を繰り返す（ステップＳ３）。同様に、狭帯域での測定Ｂを行い（ステップＳ４）、通常のフーリエ変換処理を施し（ステップＳ５）、目的としている広帯域になるまで、スペクトルの中心周波数を観測周波数範囲だけずらして積み重ねる処理を繰り返す（ステップＳ６）。そして、測定Ａにより得られたスペクトルと、測定Ｂにより得られたスペクトルとのＡＮＤ処理を行い（ステップＳ７）、共通しているピークを抜き出す。 （もっと読む）

【課題】 本発明はアライメント自動補正方法及び装置に関し、通常の操作員が収差補正器を意識せずに収差補正器のアライメントができるアライメント自動補正方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 試料表面像から荷電粒子ビーム形状を抽出する抽出手段１１ｂと、抽出された荷電粒子ビームの形状の位置から装置の軸ずれ量を算出する算出手段１１ｃと、算出された軸ずれ量に応じて収差補正器６又は対物レンズに対してフィードバックを自動でかけるフィードバック手段１１ｄとを有して構成される。このように構成すれば、通常の操作員が収差補正器を意識せずに収差補正器のアライメントの自動補正を行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明はイオンビーム加工装置に関し、ＴＥＭに用いて好適な試料を遮蔽板を使用せずに作製することができるイオンビーム加工装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 イオンビームを用いて試料を加工する装置において、イオン源１と試料４の間にウィーンフィルタ２を配置し、イオン源１からのイオンビームを前記ウィーンフィルタ２を通すことで、ビームの形状を試料の加工に適した形に整形するように構成する。このように構成すれば、ＴＥＭに用いて好適な試料を遮蔽板を使用せずに作製することができる。 （もっと読む）

【課題】 ＥＰＭＡ等の電子プローブＸ線分析装置において、メール等の自然文から分析条件を抽出し、自動的に分析条件の設定を行うことにより、条件入力を簡易化し間違いを減らす。
【解決手段】 正規表現などの文字列検索方法により、メールや一般のテキストファイルから分析方法、元素と特性Ｘ線種、その他分析条件に特徴的な単語を抽出し分析条件として設定する。抽出されなかった条件のうち設定が必要な条件については、抽出された条件から導かれた条件を設定するか、若しくは予め決めてある条件を設定する。 （もっと読む）

【課題】 ２または３成分系の元素濃度の二次元分布データから作られる散布図を用いて相分析を行う際に、２または３成分系の状態図を簡単に参照できるようにする。
【解決手段】 公開されている状態図を画像ファイルとして取り込む手段と、画像ファイルとして取り込まれた状態図の濃度軸／温度軸、液相線／固相線などの線上の点をデジタル的に指定できるようにグラフ化する手段を備える。散布図と状態図を同時に表示し、状態図の濃度軸上である値をクロスカーソルで指示すると、散布図上の対応する濃度の位置にマーカーが表示される。また散布図上のマーカーが表す濃度位置が変わると、それに対応した状態図上のクロスカーソルの位置も移動する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は多極子に関し、製造コストを抑え、高加工精度及び高位置精度を確保した多極子電場、多極子磁場、多極子電磁場をそれぞれ独立に発生させることができる多極子を提供することを目的としている。
【解決手段】 複数の電極子２又は磁極子４で構成され、荷電粒子の運動を制御する多極子において、同軸上に非磁性体の多電極子と多磁極子を絶縁体１で支持されるように配置し、前記多磁極子が多電極子の外側に位置するように構成される。非磁性体の多電極子と多磁極子を絶縁体で支持し、前記磁極子４が電極子２の外側に位置するようにしたので、製造コストを抑え、高加工精度及び高位置精度を確保した多極子電場、多極子磁場、多極子電磁場をそれぞれ独立に発生させることができる。 （もっと読む）