【課題】信頼性の高いフローセンサを提供する。
【解決手段】上面に凹部８が設けられた第１の基板１と、第１の基板１の凹部８の一部を覆うように配置された発熱素子６と、第１の基板１の上面に、発熱素子６を囲むように配置され、発熱素子６と同じ厚みを有する支持膜４０と、第１の基板１の凹部８及び発熱素子６を覆うように配置され、底面に凹部１１が設けられており、それぞれ第１の基板１の凹部８に連通する流入口及び流出口が設けられた第２の基板１４と、を備え、第１の基板１の凹部８の開口形状と、第２の基板１４の凹部１１の開口形状と、が等しく、第１の基板１の上面と平行な方向において、第１の基板１の凹部８の開口と、第２の基板１４の凹部１１の開口と、が同じ位置にある、フローセンサ。 （もっと読む）

【課題】ダクトなどの流路内にセンサ部が配置される挿入型センサのシール性能の低下を抑制することを可能とする挿入型センサを提供する。
【解決手段】流路挿入型センサは、壁面で囲まれる流路(50)内に配置される検出部(30)と、流路の壁面に取り付けられる筐体部(10)と、検出部と筐体部とを結合する支持部材(20)と、筐体の開口部を貫通して検出部と外部回路とを電気的に接続するケーブル(40)と、筐体の開口部とケーブルとの隙間を埋設する充填剤(12)と、ケーブルと充填剤との間にケーブルの外周に接して一周するように設けられるエラストマ部材(14)と、を備える。 （もっと読む）

【課題】通信状態のメンテナンスの容易性を向上させる。
【解決手段】４〜２０ｍＡの直流信号に、デジタル信号の論理を異なる周波数信号に割り当てて表される交流信号を重畳して生成したＨＡＲＴ通信信号をＨＡＲＴ−ＩＯユニット２に送信する信号送信処理部１４と、ＨＡＲＴ−ＩＯユニット２から送信されたＨＡＲＴ通信信号を受信し、この受信したＨＡＲＴ通信信号を直流信号および交流信号に分離する信号受信処理部１１と、信号受信処理部１１により分離された交流信号の信号レベルを測定する信号レベル測定部１２と、を備え、信号送信処理部１４は、ＨＡＲＴ−ＩＯユニット２から受信したＨＡＲＴ通信信号に対する応答信号に、信号レベル測定部１２による測定結果に関する測定結果情報を含める。 （もっと読む）

【課題】製造コストを抑制しつつ、検出面（表面）とは反対側の面（裏面）から信号を出力することのできるフローセンサを提供する。
【解決手段】下面に、流体の速度を検出するための検出部２１と検出部２１と接続された電極２６とが設けられた第１基板２０と、上面に、第１基板２０の下面が接合された第２基板３０と、を備え、第２基板３０における電極２６に対応する位置に、第２基板３０の下面から上面まで貫通する貫通孔３１が形成されている。 （もっと読む）

【課題】システム全体を的確に統制させる。
【解決手段】ＨＡＲＴ通信対応機器１０を監視する機器監視部１５とＨＡＲＴ通信対応機器１０との間に接続可能なＨＡＲＴ−ＩＯユニット１１であって、直流信号に交流信号を重畳して生成されるＨＡＲＴ通信信号をＨＡＲＴ通信対応機器１０側から受信する受信部１１１と、受信したＨＡＲＴ通信信号から交流信号を取り出してデジタル信号に変換する信号変換部１１２と、変換したデジタル信号のうち、ＨＡＲＴ通信対応機器１０から送信されたデータに対応するデジタル信号、およびコミュニケータ２０からＨＡＲＴ通信対応機器１０に対して行われた操作に関する操作情報に対応するデジタル信号を、機器監視部１５に送信する送信部１１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】気体の発熱量を容易かつ正確に測定可能な発熱量測定システムを提供する。
【解決手段】複数の異なる電圧を加えられる発熱素子、及び圧力センサが設けられ、気体が注入される容器１０１と、複数の異なる電圧をそれぞれ加えられた場合の発熱素子からの電気信号、及び圧力センサからの電気信号を独立変数とし、発熱量を従属変数とする発熱量算出式を保存する式記憶装置４０２と、発熱量算出式の独立変数に、発熱素子及び圧力センサからの電気信号の測定値を代入して、容器１０１に注入された気体の発熱量の測定値を算出する発熱量算出部３０５と、を備える、発熱量測定システム。 （もっと読む）

【課題】故障発生時のメンテナンスを容易にする。
【解決手段】４〜２０ｍＡの直流信号に、デジタル信号を１２００Ｈｚと２２００Ｈｚとの周波数信号に変換して表した交流信号を重畳することで生成されるＨＡＲＴ通信信号を、ＨＡＲＴ通信対応機器１０から配線２０を介して受信し、この受信したＨＡＲＴ通信信号を４〜２０ｍＡの直流信号および交流信号に分離するＨＡＲＴ通信部１１１と、ＨＡＲＴ通信部１１１により分離された４〜２０ｍＡの直流信号および交流信号に基づいて、自ＨＡＲＴ−ＩＯユニット１１からＨＡＲＴ通信対応機器１０までの状態を診断する診断部１１２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】容易に製造することができるとともに、検出結果の安定性が高いフローセンサ、流量計、および流量制御装置を提供する。
【解決手段】フローセンサ１は、流体が流通する流路１１が内部に設けられた流路保持体１０と、流体の速度を検出するための検出部２０と、を備え、流路保持体１０は、それぞれが接合された複数の部材１２，１３，１４を含み、検出部２０は、前記複数の部材１２，１３，１４のうちの一の部材と他の部材との間に配置される。 （もっと読む）

【課題】電動操作端のワイヤレス化を実現する。
【解決手段】電動操作端１は、蓄電電力のレベルをホスト２へ送信するデータ送信部１００と、ホスト２からの指示を受信するデータ受信部１０１と、環境エネルギーを電気エネルギーに変換する環境発電部１０３と、環境発電部１０３で発電された電力を蓄える蓄電部１０５と、蓄電部１０５に蓄えられた電力のレベルを検出する蓄電電力検出部１０６と、蓄電部１０５に蓄えられた電力が不十分な場合に、他の電動操作端１または電力制御装置３から無線配電を受けて蓄電部１０５に電力を蓄える整流部１０４と、蓄電部１０５に蓄えられた電力の供給を受けて駆動されるモータ１１０と、モータ１１０の動作を制御する制御部１０８と、ホスト２からの配電指示に応じて、他の電動操作端１または電力制御装置３に無線配電する電力送信部１０２とを備える。 （もっと読む）

【課題】検出可能範囲の広いフローセンサを提供する。
【解決手段】流体を加熱するヒータ２２とヒータ２２によって生ずる流体の温度差を測定するように構成された上流側温度センサ２３および下流側温度センサ２４とを含む検出部２１が設けられた基板２０と、基板２０の下面側に流体が流通する第１流路４１ａを形成し、基板２０の上面側に流体が流通する第２流路３１ａを形成するように設けられた上部流路形成部材３０および下部流路形成部材４０と、を備え、第１流路４１ａおよび第２流路３１ａのうち少なくとも一方において、流体が流通する方向に垂直な断面の面積は、ヒータ２２に対して下流側が上流側より大きい。 （もっと読む）