【課題】液晶パネルをワーク搬送機構のアームとワークステージ間で受け渡す際、液晶パネルがピンからずり落ち液晶パネルに異常な負荷が加わるのを防止すること。
【解決手段】液晶パネルが、ワーク搬送機構により搬入されピン１Ａ，１Ｂに受け渡される。ワークステージ駆動機構３によりワークステージ２が上昇し、液晶パネルはワークステージ２に受け渡される。プローブＰＢから液晶パネル２０に電圧が印加されるとともに、光源部１０から紫外線が照射され液晶パネルの処理が行われる。処理が終わると、ワークステージ２が下降し、液晶パネルをピン１Ａ，１Ｂに受け渡し、ワーク搬送機構に保持されて搬出される。ワークステージ２が移動して液晶パネルを受け渡すので、振動等により液晶パネルがピン１Ａ，１Ｂからずり落ちるのを防ぐことができる。また、ピン１Ｂは板状に形成されており曲がりにくく、液晶パネルがずり落ちるのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】内部に一対の電極が配置された発光部と、該発光部の両端に形成された封止部とからなる発光管を有し、前記電極の電極軸には封止部に対応する個所に複数の軸方向溝が形成されていて、前記封止部内で前記電極軸と金属箔とが接合されてなる高圧放電ランプにおいて、電極軸と金属箔との溶接接合を強固なものとして剥離を防止することができる構造を提供することにある。
【解決手段】前記電極軸は、前記軸方向溝が形成された箇所で前記金属箔と接合されるとともに、その接合部分には、前記軸方向溝に交差して周方向の溝が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】先端に電子放射性物質を含むチップを設けてなる放電ランプ用陰極の製造方法において、製造時の歩留まりが良好であって量産が可能な、しかも製造コストの低い陰極の製造方法を提供することである。
【解決手段】先端面に凹部を有する電極基材を高温に加熱して熱膨張させる第一の工程と；前記電極基材が高温に維持された状態で前記凹部に電子放射性物質を含有したチップを挿入する第二の工程と；前記電極基材を冷却することで、当該電極基材を収縮させて前記チップを接合する第三の工程と；前記チップが頂点をなすように、前記電極基材の先端を略テーパ状に切削加工する第四の工程と；を具備していることを特徴とする （もっと読む）

【課題】アモルファス金属酸化物半導体を採用した薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）の製造において、酸化物に半導体特性を付与する処理を低温化し、処理時間を短縮化すること。
【解決手段】ワークステージ８上のワーク７のアモルファス金属酸化物に対して、活性酸素が生成する波長域と上記酸化物を活性化して、酸化物に混入する水素を引き抜く波長域とを含む光を照射する工程Ａと、酸化物に混入する水素が引き抜かれ酸化物近傍に活性酸素が生成されている状態において、酸化物内への酸素の拡散を促進するよう酸化物を加熱する波長域を含む光を照射する工程Ｂからなる処理を行う。工程Ａは、波長２３０ｎｍ以下の波長域の光を含む光を照射する例えば希ガス蛍光ランプ１０あるいはフラッシュランプからの光を照射することにより行われ、工程Ｂは、波長８００ｎｍ以上の波長域の光を照射する例えばフラッシュランプ２０からの光を照射することにより行われる。 （もっと読む）

【課題】 光源の近傍における軸方向の変位に対する幅方向の断面に係る照度分布（副走査分布）の変動が抑制された帯状の光を放射することができる原稿読み取り用の照明装置の提供。
【解決手段】 本発明の照明装置は、光源と、当該光源からの光がその端面から入射されて軸方向に伸びる帯状の光を放射する棒状の導光体とが、当該光源の光軸および当該導光体の軸が一致する状態に設けられてなる照明装置であって、前記導光体が、その端面に光制御手段が形成されてなるものであり、前記光制御手段は、その中心軸が前記導光体の軸上に位置された軸方向外方に凹状の円錐面に多数の光方向制御素子が形成されてなるものであることを特徴とする。光方向制御素子は、入射光を当該導光体の軸方向に係る放射方向と交わる方向に拡散するプリズムであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ロングアーク型のメタルハライドランプと、反射ミラーとを備え、該反射ミラーは、冷却風排気口に対応した位置に、長さ方向に反射面が形成されていない非反射領域を有し、前記メタルハライドランプは、前記反射ミラーの非反射領域に対応して、発光管の表面領域に帯状の反射膜が形成されてなる光照射装置において、発光管に熱膨張が生じても、発光管から排気口方向に向かう光を確実に反射膜によって反射して、光の有効利用ができる構造を提供するものである。
【解決手段】前記メタルハライドランプの発光管の反射膜は、前記メタルハライドランプの管軸に垂直な面に沿った断面において、前記反射ミラーの非反射領域を見込む見込み角度範囲を超えて、形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワークをワーク面に直交する方向（Ｚ方向）に移動させたとき、Ｚ方向移動機構の真直度が原因で生じるワーク面に平行な平面内でのワークの移動を修正すること。
【解決手段】マスクＭのマスクマークＭＡＭ像をアライメント顕微鏡８０で検出し、その位置を記憶する。次に、ワークＷを吸着テーブル３３に載せワークマークＷＡＭの位置を検出し、ワークＷとマスクＭの位置合わせを行い、レーザ測長器３４により、スライダ３２から反射ミラー３５までの距離ａを記憶する。ついで、露光処理を行うために、Ｚ方向移動機構５０により、ワークステージ３０をワークＷの厚み分下降させ、レーザ測長器３４によりスライダ３２から反射ミラー３５までの距離ｂを測定する。そして上記距離ａとｂによりワークステージ３０の下降による移動量を検出し、ワークＷをマスクＭと位置合せした位置に戻す。この状態で、光出射部１０から露光光を出射しワークＷを露光する。 （もっと読む）

【課題】発光部と、該発光部の両端の封止部とからなる発光管と、前記封止部の端部に装着された口金とを有する放電ランプを梱包するために、外装箱体の内部に一対のランプ支持具を備えたランプ梱包箱において、輸送時などにおける振動や衝撃によってランプ支持点近傍の発光管の封止部にクラックや破損が生じることを防止することである。
【解決手段】前記ランプ支持具が、発光管の封止部における口金より発光部側部分を支持するものであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高輝度ＬＥＤを低電圧・大電流で駆動する際に、電気回路での余計な損失の発生を防ぐことが可能な線状光源装置を提供する。
【解決手段】ＬＥＤ２が発した熱が給電パターン基板８を介してヒートシンク１０に流れるように、前記給電パターン基板８は、その前記ＬＥＤ２が実装された面の裏側の面が前記ヒートシンク１０に被着され、ＬＥＤ駆動回路基板３は熱伝導性フレーム１に沿わせて配置した。 （もっと読む）

【課題】 スペックルノイズを十分に低減することのできるレーザ光源装置、および、投射画面におけるスペックルノイズの視認が確実に低減されると共に、明るさの時間的変化が低減された投影画像の得られる画像投影装置を提供すること。
【解決手段】 このレーザ光源装置は、レーザ光源と、入射されるレーザ光の光軸を回転中心軸として回転可能に構成された反射機構とを具えてなり、反射機構は、回転中心軸上を進行する光がその直交方向に反射されるよう回転中心軸上に配置された第一の反射鏡と、第一の反射鏡による反射光を反射する第二の反射鏡とを有し、第二の反射鏡による反射光が回転中心軸上の一点において集光されるよう出射される構成とされている。画像投影装置は、上記レーザ光源装置と、光軸が反射機構の回転中心軸に一致し、かつ、光入射面が第二の反射鏡による反射光の集光位置に配置されたインテグレータとを具えてなる。 （もっと読む）