【課題】 ガス拡散電極を使用する２室法イオン交換膜型電解槽では陽極室の液圧が液深によって異なり、この液圧が陽極やイオン交換膜に加わり、これらの部材の損傷や変形を招き易い。
【解決手段】 イオン交換膜型電解槽１の陰極ガス室背板９とガス拡散電極７の間に、その反力が陰極ガス室上部より陰極ガス室下部の方を大きくなるようにクッション材10を収容する。クッション材の反力を陽極室圧と陰極ガス室圧の差圧に合わせて上部ほど弱くすることによってイオン交換膜に余分な圧力が加わることを防ぎ、傷の発生等を防止する。 （もっと読む）

【課題】通常運転時においては、効率よくオゾンを発生し、最も安全が問題となる保護電流運転時には、陰極では、水素ガスを発生させず、陽極で発生するオゾンガスへの水素ガスの混入を防ぎ、オゾンガス純度を改善し、長期間安全に電解を行うことのできるオゾン発生装置の運転方法及びオゾン発生装置の提供。
【解決手段】オゾン発生装置の通常運転時には、前記陽極室内の前記陽極よりオゾンガス、前記陰極室内の前記陰極より水素ガスを発生させ、前記オゾン発生装置の運転停止時に前記陽極保護のため微小電流を供給する保護電流運転時のみ、前記陰極室内の電解水及び水素ガスを全て排出した後、前記陰極室内に酸素含有ガスを供給し、前記陰極をガス電極として酸素還元反応を行わせ、前記陰極をガス発生電極及びガス電極の両方の機能を備えた可逆電極として使用することを特徴とするオゾン発生装置の運転方法及びオゾン発生装置である。 （もっと読む）

【課題】電解硫酸の生成のための電流効率を向上させるとともに、同時に、レジスト等の洗浄剥離効率を高めることのできる電解硫酸による洗浄方法及び半導体装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】硫酸電解槽１に外部より第１の硫酸溶液を供給して電解を行い、前記硫酸電解槽１内に酸化性物質を含有する第１の電解硫酸を生成する工程と、前記硫酸電解槽１に、外部より、先に供給した第１の硫酸溶液より濃度の高い第２の硫酸溶液を供給して、前記硫酸電解槽１内において、前記第２の硫酸と前記第１の電解硫酸とを混合するとともに、更に、電解を行い、前記硫酸電解槽１内に硫酸と酸化性物質を含有する第２の電解硫酸よりなる洗浄液を生成する工程と、前記洗浄液を用いて洗浄対象物２３の洗浄処理を行う洗浄処理工程とを備えたことを特徴とする電解硫酸による洗浄方法及び当該洗浄装置を用いた半導体装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】導電性ダイヤモンド陽極を用いて、濃硫酸を直接電解し、酸化性活物質を安定して生成させる硫酸電解方法を提供する。
【解決手段】陽極室４と陰極室１２に供給する硫酸を含む前記電解液の温度を３０℃以上とするとともに、陽極室４に供給する硫酸を含む電解液の流量Ｆ１（Ｌ／ｍｉｎ）を下記（１）式から算出される陽極側で発生する発生ガスの流量Ｆａ（Ｌ／ｍｉｎ）の値の１．５倍以上（Ｆ１／Ｆａ≧１．５）とし、かつ、陰極室１２に供給する硫酸を含む電解液の流量Ｆ２（Ｌ／ｍｉｎ）を下記（２）式から算出される陰極側で発生する発生ガスの流量Ｆｃ（Ｌ／ｍｉｎ）の値の１．５倍以上（Ｆ２／Ｆｃ≧１．５）としたことを特徴とする硫酸電解方法。Ｆａ＝（Ｉ×Ｓ×Ｒ×Ｔ）／（４×ファラデイー定数）式（１）Ｆｃ＝（Ｉ×Ｓ×Ｒ×Ｔ）／（２×ファラデイー定数）式（２） （もっと読む）

【課題】機械的強度に優れ、過酷な電解条件に耐えることが出来、電解液による腐食を防止し、耐久性のある硫酸電解槽の提供。
【解決手段】導電性ダイヤモンド陽極として導電性基板３ａの表面に導電性ダイヤモンド皮膜３ｂを形成し、導電性基板３ａの裏面を、導電性基板３ａと同等若しくはこれより大きい剛体よりなる給電体１９に、導電性ペースト２０を用いて貼り付け、ダイヤモンド陽極の導電性ダイヤモンド皮膜３ｂ側の外周にガスケット２１を介して陽極室４を構成する陽極室枠２２を当接し、陽極室枠２２の前面に隔膜２を当接し、隔膜２の前面に陰極室１２を形成する陰極室枠２３、ガスケット２４及び陰極１１を順次当接し、陰極１１の裏面を、陰極１１と同等若しくはこれより大きい剛体よりなる給電体２５に、導電性ペースト２６を用いて貼り付け、一方の給電体より前記導電性ペーストを介して他方の給電体に給電することを特徴とする硫酸電解槽１。 （もっと読む）

【課題】パルプ製造工程における白液から電解法により高濃度の多硫化イオウを含む蒸解液を高効率かつ低電力で製造する方法において、電解槽の性能を回復するのに重要な洗浄方法を提供する。
【解決手段】多孔性アノード２を配するアノード室３、カソード室５、アノード室３とカソード室５を区画する隔膜６を有し、アノード室２に硫化物イオンを含む溶液を導入し、カソード室５に苛性ソーダを含む水溶液を導入して、電解酸化で多硫化硫黄を含む多硫化物を製造するための電解槽１において、該アノード室３を無機酸、キレート剤、スケール洗浄剤の少なくとも一つを含有する水溶液で洗浄することによって、電解槽１の性能を回復する。 （もっと読む）

【課題】パルプ製造工程における白液から電解法により高濃度の多硫化硫黄を含む蒸解液を高効率かつ低電力で製造する方法において、電解槽の性能を維持するのに重要な停止・保持方法を得る。
【解決手段】多孔性アノードを配するアノード室と、カソード室と、アノード室とカソード室を区画する隔膜を有し、アノード室に硫化物イオンを含む水溶液を導入し、カソード室に苛性ソーダを含む水溶液を導入して、電解酸化で多硫化硫黄を含む多硫化物の製造ための電解槽において、電解酸化を停止する際に硫化物イオン濃度が０．１ｗｔ％以下、かつ炭酸イオン濃度が０．１ｗｔ％以下であるアルカリ性水溶液で該アノード室を置換する。 （もっと読む）

【課題】陰極又は陽極で発生した水素ガス又は酸素ガスが陽イオン交換膜を経て対極に透過することを抑制し、ガス純度を改善し、長期間安全に電解を行うことを可能にする水電解装置を提供する。
【解決手段】陽イオン交換膜から成る固体高分子電解質隔膜１の両側面に、それぞれ陽極触媒を含有する陽極触媒層２及び陰極触媒を含有する陰極触媒層４を密着させた水電解装置において、前記陽極触媒層２及び陰極触媒層４の少なくとも一方の触媒層が、陽極触媒又は陰極触媒をフッ素樹脂含有樹脂中に分散させた多孔質構造体よりなり、前記多孔質構造体の表面の水の接触角が９０°以上であることを特徴とする水電解装置。 （もっと読む）

【課題】バラスト水をオゾンを用いて処理する処理装置を、バラスト水に対して常に安定して所定濃度のオゾンを混入できるように起動させ、バラスト水中の水生生物や細菌類を効果的に殺滅あるいは除去する。
【解決手段】バラスト水をバラスト水系配管を介してバラストタンク２に移送するバラストポンプ４と、バラスト水中にオゾン発生装置５で生成されたオゾンを混入させるオゾン混合装置７と、バラスト水中の水生生物や細菌類を剪断力によって破壊する複数のスリット状の開口を有するスリット板８とを有し、オゾン発生装置５で生成するオゾン濃度を検出するオゾン濃度検出部１１を有し、該オゾン濃度検出部１１で得られたオゾン濃度を入力し、該入力されたオゾン濃度が規定濃度に至っているか否か判断し、規定濃度に至っていない場合にはオゾン混合装置７にオゾンを供給しない制御を行う制御部１４を有するバラスト水処理装置の起動制御システム。 （もっと読む）

【課題】高い洗浄性能を有する洗浄方法及び電子デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】硫酸を電気分解して酸化性溶液を生成し、前記酸化性溶液に純水、過酸化水素水及びオゾン水の少なくともいずれかを混合することにより発生する混合熱により加熱して洗浄対象物を洗浄することを特徴とする洗浄方法が提供され、また、この洗浄方法を備えたことを特徴とする電子デバイスの製造方法が提供される。 （もっと読む）