【課題】高精度に水晶振動子の外形パターンを形成する水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】水晶ウェハ１の主表面に耐蝕膜３を成膜する工程と、第一主表面の耐蝕膜３上に第一レジスト４ａを、第二主表面の耐蝕膜上に第二レジスト４ｂを塗布する工程と、第一主表面の製品領域外に、アライメントマーク５を露光する工程と、第一レジスト４ａを現像し、耐蝕膜３を露出させ、アライメントマーク５を形成する工程と、形成したアライメントマーク５を用いて第一主表面に水晶振動子の外形パターンを露光する工程と、前記アライメントマーク５を用いて第二主表面に水晶振動子の外形パターンを露光する工程と、第一レジストと第二レジストとを同条件で現像する工程とする。 （もっと読む）

【課題】広い離調度調整範囲を確保すると共に、水晶振動子ごとの特性に合わせた離調度調整や漏れ調整を水晶ウェハー上で一括して行う水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】水晶を所定の外形形状に加工する外形形成工程ＳＴ１と、水晶振動子に電極を形成する電極形成工程ＳＴ２と、電極を形成した水晶振動子の離調度を測定する離調度測定工程ＳＴ３と、離調度測定工程の測定結果に基づいて、基部と検出脚の接続部分の近傍に形成された電極を所定形状に加工する電極加工工程ＳＴ５と、電極加工工程で加工された電極をマスクにして水晶振動子をエッチングにより削るエッチング工程ＳＴ６を有する水晶振動子の製造方法とした。 （もっと読む）

【課題】生産性の良い圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】複数の圧電素子２が一体的に形成された圧電素子ウエハ１を、予め表面に導電性接着剤等の接合部材６が配されたベース基板５に突き合せて配置し、その状態で加熱処理等を適宜行うことにより接合部材６を溶着又は固化させて圧電素子２をベース基板５に接合し、その後、レーザー等により圧電素子２を圧電素子ウエハ１から分離させた上で、圧電素子２のみをそのままベース基板５上に残す形で、それ以外の領域の圧電素子ウエハ１をベース基板５上から取り除く。 （もっと読む）

【課題】 音叉型水晶振動片を吸着ノズルにより真空吸着する際に、水晶振動子上に形成した配線と吸着ノズルの接触により断線が生じてしまう。
【解決手段】 水晶振動子の吸着ノズルが接触する部位において、水晶振動子状上に溝を形成し、尚且つこの溝内に配線を施すことにより、吸着ノズルと配線が接触を回避でき、配線の断線を防止することが出来る。 （もっと読む）

【課題】光学部品としての透過波面精度品質を有する液晶素子を提供すること
【解決手段】液晶パネルＡは、液晶材料１を挟持した基板２ａ、２ｂから構成されている。液晶パネルＡの基板２ａ表面に、粘着層３ａを介して偏光板４ａを貼り付け、さらに偏光板４ａには接着剤層５ａを用いてガラス板６ａを貼り付ける。接着剤層５ａには、例えばＵＶ硬化樹脂を用い、ガラス板６ａを均一に加圧しながらＵＶ光を照射し硬化させる。これにより、該液晶パネルＡの基板２ａとガラス板６ａは平行に形成される。なお、偏光板４ａにはあらかじめ片面に粘着層３ａを有しているものを用いている。このように構成すれば、液晶パネルＡの基板とガラス板６ａを平行に形成維持し、尚且つ空気層を少なくできるので、面内のリタデーションのばらつきを抑えることができ、透過波面精度の低下を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】透過波面精度向上を図ることが可能な液晶パネルを提供することができる。
【解決手段】先ず工程（ａ）において液晶パネル５に粘着剤３を介して偏光板４を貼り付け、工程（ｂ）において前記偏光板の表面に液状化した紫外線硬化型樹脂６を滴下し、工程（ｃ）において前記液晶パネルをスピンコーターを用い法線方向を軸として回転させ、前記偏光板の表面上に前記紫外線硬化樹脂を塗り広げるて平坦化する。それと同時に紫外線光７を照射し硬化させる。このようにすれば、平坦面を有する樹脂層９が形成される。こうして形成された樹脂層９表面は、液晶パネル５の面と平行に構成されるので、面内のリタデーションのバラツキを抑えることができ、透過波面精度向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム基板の上面にアルマイト層を形成した後、配線電極形成を行った場合、配線電極形成のプロセス時に発生する熱等によりアルマイト層の表面にクラック等が発生し、回路基板の絶縁性特性に対して悪影響が生じる。
【解決手段】アルミニウム基板３の上面にシードメタル層４を介して配線電極１を形成した後、所定の配線電極１の幅に対応した時間に応じて陽極酸化処理を行うことにより、配線電極１の下部も含めて、アルミニウム基板３の上層部全域に所定の厚みのアルマイト層を形成した回路基板であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】水晶デバイスを製造する工程において、レジスト塗布前の基板上に形成されたＡｕ／Ｃｒ耐蝕膜のＡｕ層を短時間のオゾン水により表面の改質処理を施すことで、レジストの付着性を向上させることにより、生産性を向上させる。
【解決手段】基板１の表面に形成されたＡｕ表面４のぬれ性を改善する方法であって、前記Ａｕ表面４を、オゾン濃度が１００ｐｐｍ以上の炭酸を含む５０℃以上のオゾン水３と接触させる。 （もっと読む）

【課題】 回路基板部を設け場合であっても燃焼圧センサを変更することなく低コスト性及び汎用性を高めるとともに、耐熱性部品及び耐振性部品、更には耐熱性構造及び耐振性構造に対する要求条件をより緩和させる。
【解決手段】 ケーブル部２を、長さの短いケーブル前部２ｆと長さの長いケーブル後部２ｒにより構成し、かつケーブル前部２ｆを、燃焼圧センサ５０ｓからの電気信号Ｓｄを入力可能に構成するとともに、ケーブル前部２ｆとケーブル後部２ｒの間に、ケーブル前部２ｆに入力する電気信号Ｓｄを、少なくとも増幅処理してケーブル後部２ｒに出力する回路基板部４を接続し、さらに、この回路基板部４を、密閉したケーシング部１２に収容し、かつケーシング部１２の内部に、回路基板部４を覆う絶縁性を有する充填材１１を充填する。 （もっと読む）

【課題】電波を送受信して物体の位置を検出する近接センサを用いて、例えば透明基板上に配置可能な小型の位置検出装置を提供する。
【解決手段】位置検出装置１ａは、発振器２と、発振器２の信号に基づいて交流信号Ｅａを放射する送信アンテナ３と、交流信号Ｅｂを受信する複数の受信アンテナ４R、４L,４U、４Dとを備える。位置検出装置１ａにおいて、透明基板上に透明電極で形成された送信
アンテナおよび受信アンテナを用い、このアンテナをディスプレイ上に配置することにより、ディスプレイ上の３次元領域に位置する被検物体の位置を検出する位置検出装置を構成することが出来る。この位置検出装置による被検物体の３次元の位置情報に応じて機器への入力を制御することにより、入力装置を構成することが出来る。 （もっと読む）