【課題】基板に形成されているフォトデバイスの光励起キャリア発生領域を非接触で検査する技術を提供する。
【解決手段】検査装置１００は、フォトデバイスが形成された太陽電池パネル９０を検査する。検査装置１００は、パルス光ＬＰ１１を太陽電池パネル９０の受光面９１Ｓ側から照射する照射部１２と、該パルス光ＬＰ１１の照射に応じて発生するテラヘルツ波パルスＴＬ１の電界強度を検出する検出部１３（検出器１３２）とを備える。 （もっと読む）

【課題】ロードポートの個数を見かけ上増加させることにより、装置コストを抑制しつつも収納器の搬送効率を向上させることができる。
【解決手段】仮想ロードポート管理部は、物理ロードポートＲ−ＬＰ１，２に対して２個の仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，２を割り当てる。さらに、仮想ロードポート管理部は、基板処理装置５と、キャリア搬送システム７と、ホストコンピュータ９とに対して、２個の仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，２を２個の物理ロードポートとして扱わせる。したがって、現実の物理ロードポートの個数以上にロードポートが存在するようにＦＯＵＰ３の搬送を行うことができ、見かけ上、ロードポートの個数を増加させることができる。その結果、装置コストを抑制しつつも、ＦＯＵＰ３の搬送効率を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】高い位置分解能にてパターンを描画する場合において、光軸方向における描画面の位置の許容範囲の減少を抑制する。
【解決手段】１組の固定リボンと可動リボンとの組み合わせである格子要素５を配列した回折格子型の空間光変調器にて空間変調された光を生成し、格子要素５の配列方向に垂直な方向に基板を移動することにより基板上にパターンを描画するパターン描画装置において、格子要素５が、可動反射面を経由する光路と固定反射面を経由する光路との光路長差が光の波長の０倍以上の整数倍に半波長を加えた長さとなるＯＦＦ状態、光路長差が光の波長の上記整数倍となるＯＮ状態、ＯＮ状態とＯＦＦ状態との間の中間状態、および、中間状態とＯＮ状態との間の不完全ＯＮ状態になることが可能である。パターンの描画時には、ＯＦＦ状態、中間状態および不完全ＯＮ状態の格子要素５がこの順で並ぶ。 （もっと読む）

【課題】基板の搬送時間を短縮することができる基板搬送装置における基板搬送方法を提供すること。
【解決手段】メインロボットＭＲは、複数の基板保持ハンド１４ａ，１４ｂと、複数の基板保持ハンド１６ａ，１６ｂと、複数の基板保持ハンド１４ａ，１４ｂを移動させる上進退駆動機構２９と、複数の基板保持ハンド１６ａ，１６ｂを移動させる下進退駆動機構３０とを含む。メインロボットＭＲは、各基板保持ハンド１４ａ，１４ｂ，１６ａ，１６ｂを用いて基板保持位置に対して基板を搬入および搬出することができ、複数の基板保持位置の間で基板を搬送することができる。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器にて反射された描画に寄与しない光が周辺部材に与える熱的影響を確実に排除して高い描画精度を担保する。
【解決手段】光学ユニットのヘッド部は、レーザ発振器から出射された光を空間変調させて、パターンの描画に寄与させる必要光Ｌ１と、パターンの描画に寄与させない不要光Ｌ０とを、互いに異なる方向に反射させる空間光変調器を備える。光学ユニットは、さらに、必要光Ｌ１を通過させつつ不要光Ｌ０を遮断する第２遮断板２３２と、第２遮断板２３２を冷却する冷却部を備える。第２遮断板２３２における不要光Ｌ０の入射領域を含む対象領域部分には、入射した光を乱反射させる乱反射面４２が形成される。 （もっと読む）

【課題】柔軟媒体の挙動を良好にシミュレートすることができるシミュレーション装置およびプログラムを提供する。
【解決手段】経路作成部１１は、ＲＡＭ２０に格納された位置情報格納テーブル２１に基づいて、配置空間に搬送経路を作成する。モデル作成部１２は、ＲＡＭ２０に格納されたモデル情報格納テーブル２２に基づいて、柔軟媒体のモデルを作成する。柔軟媒体のモデルが、搬送パラメータに従い、複数の搬送要素により搬送される場合において、運動演算部１４は、この柔軟媒体のモデルの運動の時間的変化を演算する。パラメータ演算部１３は、搬送装置で用いられる搬送パラメータを演算する。 （もっと読む）

【課題】基板に対して、塗布液のパターンを良好に印刷することができる印刷装置を提供する。
【解決手段】版胴１０は、外周面１４に印刷版１２を装着可能とされており、同期して回転するインキングローラ２３から印刷版１２に塗布膜２５の転写を受ける。印刷版１２は、いわゆるストライプ版であり、複数の凸部と、複数の凹部と、を有している。インキングローラ２３は、スリットノズル２２から吐出された塗布液の供給を受けつつ回転することによって、外周面２４に塗布膜２５を形成する。そして、インキングローラ２３は、印刷版１２の各凸部と各凹部に、塗布膜２５を転写する。これにより、基板Ｗの主面を、パターン１３によって隙間なく完全に覆うことができる。また、転写直後に形成された基板Ｗ上の凹凸膜は、表面張力によって、速やかに平坦膜になる。 （もっと読む）

【課題】読者が面白い作品を探すために有用なコメント画面を作成するサービスを実現するためのクライアント機器およびサーバ機器からなる、クライアント・サーバシステムを提供することを目的とする。
【解決手段】クライアント機器において表示されたコンテンツデータに対してコメント領域を指定し、コメント文を入力することにより、サーバ機器はコメント領域内の画像をコメント画像としてコメント文と組み合わせることでクライアント機器において表示可能なコメント画面情報を作成するので、コメント画像に則した具体的なコメントをつけることができるため、マンガを紹介する方は紹介の根拠をコメント画像とコメント文によって明確に伝えることができ、マンガを検索する方は具体的なコメント画像とコメント文を参照することで自分好みの作品を探すことが容易となる。 （もっと読む）

【課題】パターン検査装置の製造コストを削減しつつコントラストの高い検査画像を取得する。
【解決手段】パターン検査装置の画像取得部１３は、光照射部１３１、ラインセンサ１３２、角度変更機構、および、検査対象であるウエブ９を搬送する搬送機構を備える。光照射部１３１からは、ウエブ９の薄膜パターンに対して透過性を有する波長の光が出射される。光照射部１３１からの光の照射角θ１およびラインセンサ１３２により撮像が行われる検出角θ２は、常に同じであり、これらの角度は角度変更機構により変更される。パターン検査装置では、予め検査画像のコントラストが高くなる照射角および検出角の設定角度が求められ、照射角および検出角が設定角度とされる。これにより、単一波長の光源を用いてラインセンサ１３２によりコントラストの高い検査画像を取得することができ、パターン検査装置の製造コストも削減することができる。 （もっと読む）

【課題】基板表面に塗布液を塗布して硬化させることにより基板表面に所定のパターンを形成するパターン形成技術において、パターンのさらなる微細化・高アスペクト化を可能とする技術を提供する。
【解決手段】吐出ノズル５２３から基板Ｗに吐出される隔壁形成用塗布液の側面部に対して集中的に、ライトガイド５３３の下端に設けたレンズ５３４で収束された光を照射する。塗布液の側面部が他の部分に先んじて硬化することで、表面張力によって表面が丸くなったり塗布液が広がるのを抑制することができるため、薄く均一で側面部が急峻に立ち上がる隔壁Ｂを形成することができる。 （もっと読む）