【課題】プローブ検査装置とレーザ発生装置との間で温度影響をなくし、クリーニングによる検査の中断を少なくし、コストを下げること。
【解決手段】プローブ検査装置１の内部に、レーザ照射によってプローブから異物を除去するクリーニングユニット１１と検査処理を実行するワークユニット１２とを移動可能に設けることでプローブを固定した状態でクリーニングと検査処理とを実行可能とする。加えて、プローブ検査装置１の外部に設けたレーザ発生装置２から伝送ケーブル３を介してクリーニングに用いるレーザ光を取得する。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄対象のエリアのみ洗浄することによって、被洗浄物を洗浄及び乾燥する際の該被洗浄物への異物の付着を抑制する洗浄装置、洗浄槽、洗浄方法、及び物品の製造方法を提供する。
【解決手段】洗浄装置内の洗浄槽２が備える超音波発生手段２１が、供給口２００から洗浄槽２に供給された洗浄流体に超音波を印加し、被洗浄物１の洗浄エリア１１と対応する位置に開口部２２０を持つ流体噴出手段２２が、上記超音波が印加された洗浄流体を上記開口部２２０から被洗浄物１の洗浄エリアに噴出させる。 （もっと読む）

【課題】洗浄流体が満たされた洗浄槽に被洗浄物を設置して被洗浄物を洗浄する洗浄装置、洗浄槽および洗浄方法に関し、洗浄流体中の異物を排出し、洗浄流体の清浄度を維持して被洗浄物を洗浄槽より回収する際に異物の再付着を防止することを目的とする。
【解決手段】洗浄流体が満たされた洗浄槽１内に被洗浄物を設置し、洗浄流体により被洗浄物を洗浄して被洗浄物の表面の異物を除去する際に、洗浄槽１内の洗浄流体に対し所定の流れを形成する流れ制御手段５と、洗浄流体の所定の流れの流路上に配置され、かつ、洗浄流体を排出する排出手段３とを備え、排出手段３によって洗浄流体を洗浄槽外に排出するように構成される。 （もっと読む）

【課題】環境安全性に優れ、洗浄溶剤の消費量を低減できると共に、ワークの蒸気洗浄及び乾燥をより効果的に行うことができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄溶剤を用いてワークを洗浄する洗浄槽１２と、洗浄槽１２から分離して配置されると共に洗浄溶剤の蒸気を発生させる蒸気発生槽５２とを有している。この洗浄装置において、洗浄槽１２は、下部に設けられて洗浄溶剤の液体でワークを洗浄する液体洗浄エリア１６と、中間部に設けられて洗浄溶剤の蒸気でワークを洗浄する蒸気洗浄エリア１８と、上部に設けられて洗浄溶剤の蒸気を冷却して洗浄溶剤を液化させる蒸気冷却エリア２０とを少なくとも備えている。また、洗浄槽１２と蒸気発生槽５２との間には、蒸気発生槽５２で発生させた蒸気を蒸気洗浄エリア１８に供給するための第１配管５４が設けられ、その第１配管５４は、蒸気洗浄エリア１８側の取付位置２２よりも蒸気発生槽１４側の取付位置５６の方が低くなるように設けられている。 （もっと読む）

【課題】所定の強度を得て、かつ、軽量化を図ることができ、さらに多用な利用価値を有するプラスチック混合材を提供すること。
【解決手段】異種のプラスチックを混合して溶融成形したプラスチック混合材１であって、外面に表出する表層部１１を密に形成してあって、内方の芯部１２を発泡させて粗に形成してなるプラスチック混合材。異種のプラスチックを混合し溶融して成形するプラスチック混合材の製造方法であって、混合したポリプロピレンおよびポリエチレンをほぼ６０％、ポリスチレンをほぼ２５％、ポリエチレンテレフタレートをほぼ１５％の割合で配合する工程と、配合したプラスチックを１５０〜２５０℃で溶融する工程と、溶融した筒状の成形管に充填する工程とを含むプラスチック混合材の製造方法。 （もっと読む）

【課題】撮像素子の受光面に付着したフラックスおよび微小パーティクルを除去し、更に洗浄液内のフラックスおよび微小パーティクルの基板への再付着を低減させ、洗浄後の歩留を向上させる洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様は、撮像基板ユニットを洗浄液に浸漬し、この撮像基板ユニットの開口部に対して、上記第２の面に直交する方向からノズルで外部から供給された洗浄液を噴出し、この噴出工程と同時に、上記撮像基板ユニットと上記ノズルの位置関係を保ちながら上記撮像ユニットと上記ノズルとを上記基板の第１の面と平行する方向において揺動させ、上記噴出工程と同時に、上記撮像基板ユニットに対して超音波振動を印加する、ことを特徴とする基板ユニットの洗浄方法である。 （もっと読む）

【課題】 少量の洗浄液で再汚染を防止する。
【解決手段】 洗浄システム１００は、装置本体２、ワークＷが載置される基板テーブル３、汚染物質Ｐに対して洗浄液を供給する洗浄液供給ユニット１２、洗浄液に超音波を付与するホーン超音波発振器１３、洗浄液を吸引する吸引ユニット１４、位置検出ユニット１５、および制御手段１６で構成されている。ワークＷを洗浄する際には、ワークＷに存在する汚染物質Ｐに対して洗浄液供給ユニット１２から液滴を供給し、この液滴にホーン超音波発振器１３から超音波振動を付与して汚染物質Ｐを被洗浄物から脱離させる。また、吸引ユニット１４を用いてワークＷから脱離した汚染物質Ｐを液滴とともに吸引して除去する。 （もっと読む）

【課題】 本発明はプラスチック混合物の成形方法及び装置に関し、溶融プラスチックの注入量を正確に予測することができるプラスチック混合物の成形方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 異種のプラスチック混合物を溶融成形する際に、プラスチックの配合及び種類のバラツキにより生じる温度変化、圧力変化、成形管の２点の到達時間変化、到達時間差を検出する検出手段７〜９と、前記検出手段７〜９により検出された温度変化、圧力変化、成形管の２点の到達時間変化、到達時間差を用いて、成形管６へのプラスチック混合物の充填量の予測を行なう演算制御手段と、該演算制御手段により予測した充填量に基づいて成形管へのプラスチック混合物の充填を行なう充填手段４とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明はチップサイズパッケージ構造を有した半導体装置の製造方法及び半導体装置製造用金型及び半導体装置に関し、半導体装置の製造効率及び信頼性の向上を図ることを目的とする。
【解決手段】バンプ１２が配設された複数の半導体素子１１が形成された基板１６を金型２０のキャビティ２８内に装着し、続いてバンプ１２の配設位置に樹脂３５を供給してバンプ１２を封止し樹脂層１３を形成する樹脂封止工程と、樹脂層１３に覆われたバンプ１２の少なくとも先端部を樹脂層１３より露出させる突起電極露出工程と、基板１６を樹脂層１３と共に切断して個々の半導体素子１１に分離する分離工程とを具備する。 （もっと読む）

【目的】本発明は液体現像電子写真方式の現像装置に関し、絞りローラの表面を常に清浄にしておくことにより、ワークの画像品質の向上を図ることを目的とする。
【構成】現像液による現像部１と定着部２との間に配置され、ワーク３の現像面に対応する上部ローラ４ａを上方に駆動可能とした絞りローラ４と、前記上部ローラ４ａの上方に配置され、前記上部ローラ４ａに向けて洗浄液を噴射する洗浄液噴射パイプ５と、前記上部ローラ４ａが上方に駆動された際に該上部ローラ４ａに当接する拭取りローラ６と、前記現像部１の下方に配置されるクリーナ廃液パッド７とトナーパッド８との境界部に設けられ、清浄液噴射時に、該洗浄液をクリーナ廃液パッド７に導く切換えプレート９とを有して構成する。 （もっと読む）