【課題】ガス分散板のガス噴出口として用いたときに安定した流量を得ることができるセラミックス接合体及びそれを用いたガス分散板を提供し、また、歩留まり良くガス分散板を製造できる方法を提供する。
【解決手段】加圧焼結により得られ、セラミックス粗粒のネッキング構造を有する多孔質セラミックスと、環状の緻密質セラミックスとが接合層を介さずに直接接合されたことを特徴とするガス噴出口用セラミックス接合体。前記加圧焼結が放電プラズマ焼結であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】温度変化があっても割れ等が生じ難い複合部材およびその製造方法を提供する。
【解決手段】セラミック焼結体で形成されたセラミック部２と金属のマトリックスにセラミックスの強化材が分布してなる金属基複合材料で形成され、金属層を介することなくセラミック部に直接に結合する複合材料部３と、を備える。従来両者の間にあった金属層の膨張や収縮による応力が生じないため、たとえばセラミックス部２と複合材料部３との熱膨張率の差を低く設計しておけば、セラミックス部２の割れ等を防止することができる。また、ろう材による接合等では、用途によりろう材の成分が不純物となり拡散しうるが、本発明の複合部材１では、このような汚染が生じ難い。 （もっと読む）

【課題】製造コストを大幅に低減し、さらに多孔質体からなる載置部と支持部との接合強度を高めて、洗浄時の破損を防止する。また、載置部の多孔質体内に残留した研削屑や脱落砥粒等の汚染物質の十分な除去洗浄を可能とする。
【解決手段】凹部が設けられたセラミックス緻密質焼結体からなる支持部と、セラミックス粉末とガラスから構成された多孔質体の載置部とからなり、前記セラミックス粉末がガラスにより結合されて多孔質体が得られるとともに、前記多孔質体のガラスにより該多孔質体と前記支持部とが接合されて、前記凹部に多孔質体の載置部が形成されてなる真空吸着装置であって、前記載置部と前記支持部との接合界面が実質的に隙間なく一体的に焼成されてなることを特徴とする真空吸着装置。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板などの絶縁性基板をプラズマ処理装置内で処理する場合に、絶縁性基板が吸着でき、高周波電力負荷に対するインピーダンスの小さい静電チャックを提供する。
【解決手段】セラミックス焼結体からなる誘電体層と、前記誘電体層の一方の面に設けられた一対の櫛歯状の電極と、該電極が設けられた面を覆う絶縁膜と、温度調節手段が設けられた金属製プレートと、を備え、前記誘電体層の一方の面と前記金属製プレートとが接合された静電チャック。 （もっと読む）

【課題】ハロゲンガスに対する耐食性が高く、静電チャックとして用いたときの吸着性能に優れたセラミックス焼結体を提供する。
【解決手段】主成分がＭｇＯとＡｌ_２Ｏ_３から成るスピネル質焼結体であり、４Ａ、５Ａまたは６Ａ族元素から選ばれる少なくとも一つの元素が酸化物換算で０．０２質量％以上、３質量％未満含まれ、体積抵抗率が１×１０^８〜１×１０^１４Ωｃｍであり、気孔率が０．３％以下であることを特徴とするセラミックス焼結体。 （もっと読む）

【課題】反りの大きい変形ウエハ等を吸着できる真空チャックを提供する。
【解決手段】真空チャック本体の外周を囲む外周リブ３と、基板等の被吸着物着脱用リフトピン６が上下移動可能な複数の貫通孔８それぞれを囲むリフトピン周りリブ８ａとの間に、外周リブ３と同心状に中間隔壁７を配し、外周リブ３とリフトピン周りリブ８ａと複数の基板支持突起５の上面を同一面上にするとともに、中間隔壁７の上面は、これら外周リブ３とリフトピン周りリブ８ａ等の上面よりも５〜５０μｍ低い位置に配されている。 （もっと読む）

【課題】絶縁層の膜厚を均一化して吸着力を向上させた静電チャックを提供する。
【解決手段】内部電極２の同心円方向に、くし型状に入り込んだ複数のスリット２１ａ，２１ｂ等を配設するとともに、半径方向に直線状に延びるスリット２３ａ，２３ｂ等が配され、同心円方向のスリット２１ａ，２１ｂ等の一端が半径方向のスリット２３ａ，２３ｂ等に繋がった構成とする。かかる電極構造により、焼結時において、電極の円周方向の膨張と半径方向の膨張の双方が吸収され緩和され、絶縁層の膜厚を均一化できる。 （もっと読む）

【課題】高温における全放射率が高く、基板載置装置に適した窒化アルミニウム焼結体を提供し、また、高温域においても充分な熱応答性を有する低パーティクル性の基板載置装置を提供する。
【解決手段】２００℃における全放射率が６０％以上であることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体を用いた基板載置装置。発熱抵抗体を備える基体と、前記基体の表面に形成された突起部と、を具備する基板載置装置であって、前記基体の２００℃における全放射率が６０％以上である。 （もっと読む）

【課題】容易に製造でき、熱媒体を漏らさず高効率で機能する温調プレートおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】熱媒体を流通させる屈曲した経路を有する金属製の管部２０と、管部２０が埋設され、金属基複合材料で形成された本体部１０と、管部２０と本体部１０との間に充填された金属製の充填部３０と、を備える。本体部１０が金属基複合材料で形成されているため、温調プレート１は高強度、高剛性、低熱膨張性を有し、軽量である。また、金属製の管部２０が埋め込まれ、その管部２０に熱媒体を流通させることができるため、熱媒体が漏れることがない。また、熱媒体を流通させる経路が屈曲しているため、熱媒体への熱伝導性を高くすることで温度調節の効率を向上させることができる。また、充填部３０が金属で構成されるため、充填部３０により管部２０と本体部１０との熱膨張の差を吸収することができる。 （もっと読む）

【課題】セラミックスヒーターの測温できる場所や装置構造の制約をなくし、装置の大幅な簡略化および低コスト化する。また、測温精度を高め、温度制御を高精度化する。
【解決手段】複数の発熱抵抗体が埋設されたセラミックスからなる平板状の載置部と、前記複数の発熱抵抗体の埋設位置に形成された複数の発熱抵抗体領域と、各発熱抵抗体領域に埋設された少なくとも一つの測温素子とを備えることを特徴とするセラミックスヒーター。また、使用温度における前記セラミックスの体積抵抗率が１０Ｅ＋０８Ω・ｃｍ以上である。 （もっと読む）