【課題】特有の組成により、安定してスパッタ中の異常放電を防止できるスパッタリングターゲット材およびその製造方法を提供する。
【解決手段】酸化亜鉛質焼結体からなるスパッタリングターゲット材であって、密度が５．４×１０^３ｋｇ／ｍ^３以上５．６×１０^３ｋｇ／ｍ^３以下で、Ａｌ_２Ｏ_３換算で１重量％以上３重量％以下のＡｌを含み、酸化亜鉛粒子１０中に存在するＺｎＡｌ_２Ｏ_４粒子２０の粒子径は３μｍ以下であり、酸化亜鉛粒界中に存在するＺｎＡｌ_２Ｏ_４粒子２０の径は１０μｍ以下である。このように僅かにボイドが存在する緻密な焼結体であるため、放電回数を低減しつつ、スパッタ中の割れを防止できる。また、適度にＡｌが含まれていることから体積抵抗率を低減できる。また、ＺｎＡｌ_２Ｏ_４粒子２０が小さいため、抵抗の不均一相を小さくし、ＺｎＡｌ_２Ｏ_４粒子２０を起点とする異常放電を防止できる。 （もっと読む）

【課題】３Ａ族の酸化物をはじめとする焼結助剤は含有しておらず、研削加工を行っても表面粗さの小さい窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】耐食性を有する純度９９％以上の窒化アルミニウム焼結体であって、密度が３．２０×１０^３ｋｇ／ｍ^３以上であり、Ｃａを２００ｐｐｍ以上４００ｐｐｍ以下、Ｓｉを１０ｐｐｍ以上１００ｐｐｍ以下、Ｃを２２０ｐｐｍ以上１５００ｐｐｍ以下含有する。窒化アルミニウム焼結体は、３Ａ族の酸化物をはじめとする焼結助剤を含有せず、緻密化を促進する物質であるＣａと阻害する物質であるＳｉおよびＣを所定量含有する。これにより、研削面において窒化アルミニウム焼結体の表面粗さを小さくすることが可能となる。その結果、研削面の表面積が小さくなり、窒化アルミニウム焼結体の耐食性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】気相法を用いずに、低コストで高純度の炭化珪素からなる原料を得た後、この原料を用いて高強度の耐火物を製造する方法を提供する。
【解決手段】アチソン炉を用いて、粒子内にシリカとカーボンの各々が全体的に分布しており、かつ、Ｂ及びＰの各々の含有率が１ｐｐｍ以下である、シリカとカーボンからなる粒子を加熱して、炭化珪素からなる塊状物を得る、炭化珪素製造工程と、上記炭化珪素からなる塊状物を粉砕して、炭化珪素の粒状物からなる不定形耐火物を得る、不定形耐火物調整工程と、を含む、炭化珪素を含む不定形耐火物の製造方法。 （もっと読む）

【課題】水銀と有機汚染物質の両方のセメント製造装置からの排出量を包括的に効率よく低減する。
【解決手段】セメント焼成装置のプレヒータ３から排出されるガスＧ２にガス吸着材Ａを添加するガス吸着材添加装置７と、プレヒータの排ガスに含まれるダストを集塵する集塵装置８と、集塵したダストＤに含まれる水銀を回収する水銀回収装置９とを備えるセメントキルン排ガス処理システム１。集塵装置で集塵したダストを直接プレヒータへ戻す第１循環ルート１１と、集塵装置で集塵したダストを水銀回収装置を経由してプレヒータへ戻す第２循環ルート１２と、集塵装置で集塵したダストを直接セメントキルンの窯尻へ戻す第３循環ルート１３と、集塵装置で集塵したダストを水銀回収装置を経由してセメントキルンの窯尻へ戻す第４循環ルート１４とを備えることができる。 （もっと読む）

【課題】高純度の炭化珪素ウィスカーを提供する。
【解決手段】Ｂ及びＰの各々の含有率が１ｐｐｍ以下である高純度炭化珪素ウィスカー。
珪酸質原料と炭素質原料の混合物からなるペレットを、非酸化性雰囲気下で加熱して高純度炭化珪素ウィスカーを得る方法であって、上記ペレットのかさ密度を上記ペレットの真密度で除した値が０．５〜０．８となるように上記ペレットを集合させて、上記加熱を行う、高純度炭化珪素ウィスカーの製造方法。 （もっと読む）

【課題】排ガスに含まれる有機塩素化合物、特にダイオキシン類を低コストで効率よく吸着除去することができる吸着材、その製造方法及び使用方法を提供する。
【解決手段】多孔質の炭素質の粒子であって、比表面積が３０ｍ²／ｇ以上、メソ孔の細孔容積が０．０３ｍＬ／ｇ以上の構造を有する疎水性固体状未燃炭素を含むことを特徴とする排ガス中の有機塩素化合物を吸着する吸着材。疎水性固体状未燃炭素を含有する原料を、非極性有機溶媒と水を用いて液液抽出により、該非極性有機溶媒側に含まれる疎水性物質と水側に含まれる親水性物質とに分離し、該分離した疎水性物質を無機酸処理することにより疎水性固体状未燃炭素を含む吸着材を抽出する。該吸着材を、排ガスに添加して排ガス中の有機塩素化合物を吸着除去することができる。 （もっと読む）

【課題】セメントクリンカの製造コストの上昇を抑えながら、廃棄物の処理量を増加させることのできるセメント焼成装置を提供する。
【解決手段】セメントキルン２１と、セメントキルンに付設され、セメント原料Ｒを予熱及び仮焼する仮焼炉２２付きプレヒータ２３と、セメントキルンから排出される燃焼排ガスＧ２を冷却するため、空冷部３１ａ、３１ｂ及び水冷部３１ｃを有する冷却塔３１であって、セメントキルンから排出される燃焼排ガスの全量（Ｇ１＋Ｇ２）に対して１０％以上１００％以下の燃焼排ガスを冷却する冷却塔とを備えるセメント焼成装置１。廃棄物（可燃物Ｃ＋汚染物質Ｓ）の処理量に応じて、仮焼炉付きプレヒータ又は冷却塔へのセメントキルン排ガスの供給量を調整することで、セメントクリンカＰの製造コストと廃棄物の処理量のバランスを好適に維持しながらセメントクリンカを焼成することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、より多くの廃棄物等をクリンカ原料に用いることができ、流動性に優れ、流動性の経時変化が少なく、強度発現性に優れるセメント組成物等を提供する。
【解決手段】本発明は、Ｃ_３Ｓを６６．５〜７１質量％、Ｃ_２Ｓを６〜１１質量％、Ｃ_３Ａを８．５〜１１質量％、および、Ｃ_４ＡＦを９．０〜１２．０質量％、並びに、クリンカ１ｋｇに対しＭｏを３０ｍｇ以下含むセメントクリンカを提供する。また、前記セメントクリンカ１００質量部に対し、石膏をＳＯ_３換算で１．５〜５．０質量部含むセメント組成物を提供する。 （もっと読む）