【課題】既存の流量計に対して大幅な構成要素の追加無しに経年変化判定を実現する。
【解決手段】流量計は、測定管１を流れる流体の流量を所定の周期で測定する流量測定部２と、所定の流量保存期間における最低流量値を記憶する流量記憶部３と、流量記憶部３に記憶されている最低流量値よりも流量測定部２によって測定された最新の流量値の方が小さい場合には、この最新の流量値を最低流量値とする最低流量値更新部４と、流量保存期間が終了したときに、流量記憶部３に記憶されている最低流量値がゼロかどうかを判定する経年変化判定部６と、最低流量値がゼロでないときに、流量測定部２が測定する流量値のゼロ点を補正するゼロ点補正部７とを備える。 （もっと読む）

【課題】予め規定されたタスクを完了すべく、流量計を用いる工程についてユーザーを指導するシステム及び方法を提供すること。
【解決手段】システムは、コンピュータ・システム上で動作し、制御モジュール２０２と通信する指導者モジュール２０８であって、流量計２０４を用いて完了すべき複数の所定のタスクの中からの所定のタスクのユーザー選択を受け取り、所定のタスクを完了するために流量計２０４を用いるための一連の工程を表示し、一連の工程に対するユーザー応答を受け取り、ユーザー応答にしたがって流量計２０４を動作させて所定のタスクを完了するよう構成される。 （もっと読む）

【課題】ゼロ値補正が必要なときに、安全性を確保しつつゼロ値補正し、精度維時を行うことのできる流量計測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】流量計測部３で計測して得られた流量がゼロ流量でない第１所定範囲のとき、開閉部２で流路を閉止して、開閉部２で流路を閉止した後の流量計測部３によって計測された流体の流速の出力を、流量計測部３の流量がゼロ値とするように補正を行うようにしてあり、圧力の影響を受けずに、正確にゼロ値補正を行うことができるようになる。つまり、ガスが使用されていないと判断でき、かつ、ゼロ値でない流量を計測した第１所定範囲のときに、ゼロ値補正を行うようにしてあるので、機器によっては殆どゼロ値補正が生じないものや、何度も繰り返し行うものなど、機器に応じたゼロ値補正を行うことができるようになる。 （もっと読む）

【課題】ゼロ値補正が必要なときに、使用者が開始するようにしてあり、安全性を確保しつつ、精度維時を行うことのできる流量計測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ガスが使用されていないと判断でき、かつ、ゼロ値でない流量を計測した第１所定範囲例えば０．４〜０．８Ｌ／ｈのときに、ゼロ値補正を行うようにして、ゼロ値補正が必要なときに、使用者が開始するようにしてあるので、機器に応じたゼロ値補正を行うことができるとともに、ゼロ値補正は、補正警告表示部７の告知によって、使用者が補正開始手段９の操作を行うことで開始されるので、使用者がゼロ値補正を開始することを意識するようになり、使用者は機器の使用を中止してゼロ値補正を行うことができ、ゼロ値補正後の開閉部２で流路の開放によるガス漏れを防止することができるようになり、安全性を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】性能の経年変化を補うことのできる流体流量計及びＭＡＦ測定方法を提供する。
【解決手段】流路２内が隔壁４によって分割形成された主流路５及び副流路６と、主流路５と副流路６に配置された熱線流速計３ｍ，３ｓと、副流路６に接続され対象流体が流路２に流されないときに校正用流体を副流路６に導入する校正用流体導入機構７と、副流路６の熱線流速計３ｓで測定された校正用流体の測定質量流量が正しい質量流量となるよう副流路６の熱線流速計３ｓを校正し、主流路５における対象流体の測定質量流量から推定される流路２の総質量流量と副流路６における対象流体の測定質量流量から推定される流路２の総質量流量との差異がなくなるよう主流路５の熱線流速計３ｍを校正する校正演算部８とを備えた。 （もっと読む）

【課題】オフセット量を測定し、それ以降の流量計測から減算キャンセルすることにより流量計測精度の高い流量計測装置を提供する。
【解決手段】流量検出手段２の測定流量値が所定時間継続してガス使用機器の最小使用流量以下である場合には、流路開閉手段１を閉じて流量をゼロにした状態で流量検出手段２の測定流量値の変動より、漏洩またはオフセットの判定を行なう。これによって、適切なタイミングで漏洩及びオフセット量の計測が精度よく行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】小型でデッドボリュームが少なくて、しかも作動気体の圧力が低くても確実に全閉動作を行うことができる遮断弁装置を提供する。
【解決手段】内部に一時的に気体が溜る弁室３６を有する弁ブロック体８０と、弁室に対して気体を流入させる流入路３４と、弁室から気体を流出させる流出路４０と、流入路の流入口と流出路の流出口の内のいずれか一方よりなる弁口４２に設けられた弁座４４と、弁座に対向させて弁室を区画するように配置されると共に、弁座に屈曲可能に当接して弁口を遮断する金属製のダイヤフラム弁体３８と、ダイヤフラム弁体を押圧するための押圧手段８２とを備え、押圧手段は、弁室の反対側にダイヤフラム弁体に対向するように配置された弾性体よりなるアクチュエータ板８４と、アクチュエータ板により区画されて作動気体が給排される作動室８６と、作動室内へ作動気体を給排させる作動気体給排機構８８とにより構成される。 （もっと読む）

【課題】流体の流量を制御する熱式質量流量コントローラを提供する。
【解決手段】熱式質量流量コントローラは、流体を受けるように構成されている導管と、流体が導管内を通過する際に、流体の圧力を測定するように構成されている圧力センサと、流体の周囲温度を測定するように構成されている温度センサと、流体の流速を表す出力を発生するように構成されている熱センサとを含む。熱式質量流量コントローラは、更に、熱センサからの出力、圧力センサによって測定した圧力、および温度センサによって測定した周囲温度を監視し、熱吸引によって起こる熱センサの出力のずれを補償するように、導管内における流体の流量を規制するように構成されている制御システムを含む。 （もっと読む）

【課題】 液の流れが生じていないことを簡単な構造で確実、かつ自動的に検出して零点を自動的に補正すること。
【解決手段】流れにより振動形態が変化するチューブの振動を検出する振動測定手段１と、環境の温度を検出する温度検出手段２からの信号とをデジタル信号を処理して瞬時流量を算出するコリオリ質量流量計において、振動測定手段１と温度検出手段２とにより検出された瞬時流量に基づいて平均流量値を求め、前記平均流量値が、予め設定された平均流量閾値の範囲内の場合には流れが存在しないと判断して前記平均流量値を零点のオフセット量として零点を補正し、平均流量の算出、及び流量ゼロの識別と零点オフセット値の更新を稼動時は常時自動で継続的に実行する。 （もっと読む）

【課題】 基板処理時に実際に生じ得るサーマルサイフォン現象に基づくゼロ点シフト量を正確に検出して的確な補正をする。
【解決手段】 熱処理部１１０内にガスを供給するガス供給路２１０と，ガス供給路のガス流量を検出する検出部からの出力電圧と予め設定された設定流量に対応する設定電圧とを比較して，ガス供給路のガス流量が設定流量になるように制御するＭＦＣ２４０と，制御部３００とを備え，制御部は，基板処理を実行する前に予め，ＭＦＣ内を少なくとも基板処理時に使用するガスで置換してＭＦＣの上流側と下流側に設けられる遮断弁２３０，２５０を閉じた状態でＭＦＣからの出力電圧を検出して記憶手段に記憶しておき，基板処理を実行する際には基板処理時に使用するガスのガス流量に対応する設定電圧を記憶手段に記憶されたＭＦＣの出力電圧に基づいて補正し，補正した設定電圧をＭＦＣに設定する。 （もっと読む）

【課題】 透析液の流量を正確に計測することが可能な腹膜透析用電磁流量計及び腹膜透析装置の提供を目的とする。
【解決手段】 本実施形態によれば、新規の計測パイプ２６にクランプ部４０を付け替えた場合には、透析液の供給又は排出を行う前に、腹膜透析装置１０がゼロ点調節モードになり、計測パイプ２６に備えた検出電極３３，３３とクランプ部４０に備えた電磁コイル３２との相対位置に応じた新たなゼロ点データが記憶・更新される。その後、透析液が送液パイプ２０内を流れたときには、ＭＰＵ３８が前記ゼロ点データに基づきゼロ点補正を行い、そのゼロ点補正された誘起電圧データに基づき流量を算出する。これにより、送液パイプ２０の交換に伴うクランプ部４０の付け替えにより、検出電極３３，３３と電磁コイル３２との相対位置が正規の位置からずれたとしても、透析液の流量を正確に計測することができる。 （もっと読む）

【課題】センサの特性曲線のできる限り精確なドリフト補正を可能にする、センサの信号を補正する方法及び装置を提供する。
【解決手段】センサ（１）の信号の少なくとも一つの特徴的なパラメータが基準値と比較され、センサ（１）の信号がその比較の結果に応じて補正される、センサ（１）の信号の補正方法において、基準値として、センサ（１）の信号から導き出された、センサ（１）の信号の少なくとも一つの特徴的なパラメータに関する値が形成される。 （もっと読む）

【課題】小型化、構造の簡略化、および低コスト化を図ることができる差圧測定用の均圧弁、および、差圧式流量計の提供。
【解決手段】差圧式流量計に組み込まれた均圧弁３５では、第１導入路３６１が弁棒３５１の軸方向に沿って延びており、弁棒３５１の軸周りに設けられたテーパ部３５１Ｈを軸方向に沿って進退させることで差圧状態から均圧状態へと切り替えられる。ここで、弁棒３５１の進退する区間が、均圧に用いられる弁通路３５２と互いに重なっているぶん、均圧弁３５の小型化を図ることができる。この小型化により、第１導出路３７１と第２導出路３７２との距離が短くなるので、これらの第１導出路３７１と第２導出路３７２との間の流れの遅延による圧力のムラを小さくできる。また、均圧弁３５の弁体は、テーパ部３５１Ｈのように簡略な構造であるため、組み立ても容易であって信頼性および低コスト化に寄与できる。 （もっと読む）

【課題】製造プロセスの最終工程にて特性調整を可能とすることにより、従来の調整後の製造プロセスにて生じる特性変化を防止し、高精度な検出装置を提供すること。
【解決手段】電源，グランド，出力等のターミナルの他に、調整端子を電子回路を内装保護するハウジングの外側に引き出し、調整端子に電気的な信号を印加することにより、検出装置の出力特性、あるいは、検出素子の制御量を調整可能とした。また、調整端子を電源，グランド，出力等のターミナルが内装されたコネクタハウジング内に設置することにより、検出装置が実際に使用されるときには相手側コネクタが装着されるため、調整端子への異物の接触を防止や防水による腐食防止を可能とした。 （もっと読む）

【課題】流体の物性変化時にゼロ点補正を行い、流量計測の精度を高くする。
【解決手段】流量検出手段１の信号から流量を算出する流量演算手段５と、流量検出手段１のゼロ値を検出し補正するゼロ点検定手段８とを備え、流体の物性変化を検出してゼロ点検定手段８を作動させたので、物性変化時のみ自動的にゼロ点補正を行い、不要なゼロ補正をなくし、微少な流量を正確に検出することができる。 （もっと読む）

本発明の実施形態は、姿勢非感応型流量装置のためのシステムおよび方法を提供する。本発明の１実施形態は、プロセッサと、プロセッサによって実行可能なコンピュータ命令セットを格納する、プロセッサによってアクセス可能なコンピュータ可読媒体とを備える流量装置を含み得る。コンピュータ命令は、方位を受け取るように、検知流量を受け取るように、および検知流量と方位とに基づいて流量装置を通る流量を決定するように実行可能な命令を含み得る。
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コリオリ流量計などの流量測定装置によって生成される流量情報を訂正する方法及び装置。開示される方法及び装置は、流量計の出力からの偽流量信号の印加を阻止することによって、低流量及び流量ゼロ期間に生成される流量情報を訂正する。
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