【課題】レールの凹凸をレール長手方向に連続測定するレール凹凸測定装置を提供する。
【解決手段】測定レール（Ｒ１）上を走行可能な測定車両（１０）と、測定車両（１０）の進行距離を測定する距離センサ（３１）と、測定車両（１０）に取り付けられると共に測定レールの長手方向に不均等な間隔で順に直列に配置された第１、第２および第３の変位センサ（２１、２２、２３）からなる変位センサ群（２０）を有し、第１、第２および第３の変位センサ（２１、２２、２３）のうち少なくとも１つの変位センサは位置について変更可能である。 （もっと読む）

【課題】装置の高コスト化を抑えながら、被検面の形状を高精度に計測することができる技術を提供する。
【解決手段】被検物を保持する保持面を含む保持部と、被検面と被検面の形状を計測するための基準となる基準位置との間の距離を計測する距離計測部と、基準位置が被検面に沿うように距離計測部を駆動する駆動部と、駆動部によって駆動される距離計測部の基準位置を測定する位置測定部と、距離計測部によって計測された被検面と基準位置との間の距離と位置測定部によって測定された基準位置とに基づいて被検面の形状を算出する処理部と、を有し、位置測定部は、距離計測部に配置されて互いに異なる測定軸を有するレーザ干渉計と、レーザ干渉計のそれぞれからの光をそれぞれ反射する基準ミラーとを含み、レーザ干渉計の原点と基準ミラーとの間の距離を測定することで基準位置を測定し、基準ミラーの法線が保持面を含む面に交差するように配置される。 （もっと読む）

【課題】高速、かつ少ない振動およびエラーで部品表面の多数の座標ポイント取得できるようにする。
【解決手段】基準表面に対して可動サポートを位置決めするための１つ以上のアクチュエータとを含む測定システムであって、前記可動サポートが、サポートコネクタと、前記可動サポートと取り外し可能に接続された、前記基準表面に位置決めされたワークピースの表面の走査経路にある複数のポイントを測定するための走査プローブと、前記サポートコネクタと相互作用するように配置された、モジュラ回転取り付け具を前記可動サポートに接続させるための第１のコネクタ９０、およびプローブコネクタと相互作用するように配置された、前記走査プローブを前記モジュラ回転取り付け具に接続させるための第２のコネクタ４０を備えるモジュラ回転取り付け具と、前記第２のコネクタを前記第１のコネクタに対して回転させるためのアクチュエータ５８とを有す。 （もっと読む）

【課題】輸送制限の問題および精度低下の問題を解決できる測定機を提供すること。
【解決手段】ガイド部２と載置テーブル部５とが振動伝達部材６によって着脱可能に連結されるので、画像測定機をガイド部２、可動部３、および載置テーブル部５等に分割することが可能となり、各部材２，３，５を分割輸送することができる。そのため、輸送制限にかかることなく画像測定機を大型化することが可能となる。また、ガイド部２側で生じた振動も載置テーブル部５側で生じた振動も、振動伝達部材６を介して他方に伝達させることができるので、各側２，５に設けられた測定部と被測定物ｍとの間の相対振動を抑えることができ、相対振動による精度低下を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】
内外からの振動がプリント板へ伝達されるのを防ぎつつ、センサの測定精度を向上させることで、繰り返し安定して保持可能としプリント板に印刷されたはんだの形状を測定する技術を提供する。
【解決手段】
プリント板１が検査位置まで搬送されてきたとき前記プリント板の辺縁部１ａの下面を下から上へ押し上げることによって、前記辺縁部の上面をガイド部３の突出部３ａの下辺に押圧して位置を固定して支持するクランプ６とを備え、該クランプで支持された状態でプリント板に印刷されたはんだの形状を検査する印刷はんだ検査装置であって、
前記クランプ部が前記プリント板を押し上げるときに、該プリント板の辺縁部の下面と前記クランプ部との間に存する弾性体ベルト５諸共押し上げることで、前記辺縁部の下面を前記弾性体ベルトで押圧し前記プリント板を固定して支持することを特徴とする印刷はんだ検査装置。 （もっと読む）

【解決課題】低コストな構成で、手ぶれ防止機能を有すると共に、精度よく姿勢角を計測することができるようにする。
【解決手段】加速度検知部によってデジタルカメラのｘ軸方向及びｚ軸方向に生じる加速度を検知し（１００）、検知された加速度のＡＣ成分とＤＣ成分とを抽出する（１０２）。また、抽出されたＤＣ成分のピーク値を検出して（１０４）、デジタルカメラの横方向が水平となっている状態におけるＤＣ成分値を検出する。そして、抽出されたＤＣ成分の値と検出されたＤＣ成分のピーク値との差分に基づいて、水平方向に対するデジタルカメラの横方向の姿勢角を計測し（１０６）、ＬＣＤに計測された姿勢角を表示する（１０８）。また、抽出された加速度のＡＣ成分に応じて、手ぶれ補正レンズを移動させて、手ぶれによる光軸のずれを打ち消し、手ぶれを防止した被写体像を示す画像データを取得する。 （もっと読む）

【課題】試料の振動を防止することができる走査型プローブ顕微鏡を備える顕微鏡装置を提供することである。
【解決手段】原子間力顕微鏡は、ＡＦＭスキャナおよび試料載置台を備える。試料載置台は、移動プレート、Ｚ方向移動機構およびＸＹ方向移動機構３０ｃを含む。ＸＹ方向移動機構３０ｃは、２つのモータＭａ，Ｍｂ、Ｙ方向移動機構３８０およびＸ方向移動機構３９０を有する。Ｙ方向移動機構３８０およびＸ方向移動機構３９０には、あり溝ガイド方式が用いられている。 （もっと読む）

【課題】微小変位を高精度に検出する変位センサを提供する。
【解決手段】測定子１１０の変位をエデンバネ機構４１１〜４４８を備えた変位拡大機構部４００によって拡大し、この拡大された変位を変位検出手段６００で検出して測定子１１０の変位量および変位方向を検出する。エデンバネ機構４１１〜４４８は、２枚の板バネ３１０、３２０を平行に近接配置した構成である。変位拡大機構部４００は、８つのエデンバネ機構４１１〜４４８を備える。８つのエデンバネ機構４１１〜４４８は、円周上に等間隔に配設されている。 （もっと読む）

【課題】測長干渉計の測定基準となる基準ミラーを保持する構造体に、ベースの変形や振動が伝播するのを防ぐ。
【解決手段】三次元形状測定のためのプローブ等を保持する移動ステージ７の三次元位置を測長干渉計１〜６によって計測する。測長干渉計１〜６に対向するＸ、Ｙ、Ｚ方向の基準ミラー８、９、１０は、一本の根幹支柱１４から三股に分岐する片持ち梁１１、１２、１３の先端に支持される。この構造体（１１、１２、１３、１４）は、根幹支柱１４とベース１５の接触面積が小さいため、ベース１５の変形や振動が基準ミラー８、９、１０に伝播するのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】 プローブの他端を鏡面として、鏡面の位置変化を干渉計で検出する表面形状測定機において、プローブの振れを簡単な構造で検出可能にする。
【解決手段】 ステージ7と、ステージの移動位置を検出する検出器9,11と、第３の軸方向に移動可能な移動台22と、移動台に対して第３の軸方向に移動可能に保持され、一端が被測定物の表面に接触し、他端に鏡面34を有するプローブ25と、プローブの鏡面と基準平面との距離を検出する距離検出器とを備える表面形状測定機において、鏡面に斜めに入射する平行ビームを出射するビーム源35,36と、反射ビームを分割するビーム分割手段38と、分割されたビームの一方が入射される第１のビーム位置検出器39と、他方が入射される集束手段40と、集束ビームが入射される第２のビーム位置検出器41と、第１及び第２のビーム位置検出器の検出信号から、鏡面34の傾斜を検出する演算回路とを備える。 （もっと読む）

【課題】 測定子を低接触力で接触させながら被測定物の表面形状を高精度に測定できる機上形状測定器を提供する。
【解決手段】 機上形状測定器３０は、測定開始前にサーボモータのロック状態等における機械振動成分を測定し（Ｓ１４）、振動成分を除去するノッチフィルタ６６を設定する（Ｓ１８）。測定開始後、リニアスケール４４の出力から、設定したノッチフィルタ６６によりサーボモータのロック状態等における機械振動成分を除去する（Ｓ２０）。このため、測定プローブ３２を低接触力で接触させることで、機械振動の影響を受け易い状態となっても、機械振動分を除去し、影響を打ち消すことで、高精度な形状測定を実現できる。 （もっと読む）

【課題】測定時におけるセンサ移動に伴う振動を低減して測定精度の向上を図った耳ゴム付着量測定方法及びその装置を提供する。
【解決手段】スチールコーティング材料300による遮光量が非遮光時における全光量の約1/2となった位置で計測ユニット120A,120B及びレーザ光射出ユニット131A,131Bを停止し、受光器132A,132Bの受光量によってスチールコーティング材料300の側端位置を検出した後、磁気センサ164A,164Bを移動させてスチールコーティング材料300の最外側のスチールワイヤー部材301の位置を検知し、スチールコーティング材料300の側端位置とスチールコーティング材料の最外側のスチールワイヤー部材301の位置との間の距離を耳ゴム付着量として算出して表示する。 （もっと読む）

【課題】 本体部を確実に固定して、カンチレバーの振動状態に影響を与えないこと。
【解決手段】 先端に探針３を有すると共に基端側が平板状の本体部４に片持ち状態に支持されたカンチレバー５を、着脱自在に固定するものであって、本体部４を所定位置に位置決めした状態で載置する載置部１１を有するベース部材１２と、本体部４を載置部１１に載置した状態で該本体部４の表面４ａに少なくとも接触可能とされ、カンチレバー５の長手方向（軸線Ａ方向）に略直交する方向に延びた押さえ部材１３と、該押さえ部材１３の両端をベース部材１２に向けて所定の圧力で押圧し、押さえ部材１３を介して本体部４を載置部１１に固定すると共に、押圧を解いて押さえ部材１３を本体部４の表面４ａから離間可能な押圧手段１４とを備え、押さえ部材１３が、樹脂性材料から形成されているカンチレバーホルダ２を提供する。 （もっと読む）

【課題】
対象物体の上にプローブを安定して保持することができるプローブ保持装置及び、それを用いた研磨装置、測定装置及び光学装置並びに、安定して測定を行うことができる表面形状測定装置を提供すること。
【解決手段】
本発明の一態様にかかるプローブ保持装置は、対象物体３に対してオペレーションを行なうための研磨装置８において、オペレーションに供される加工プローブ１０１を対象物体の上に保持するプローブ保持装置２０１であって、対象物体３との間にエアギャップを設けるよう対象物体３に対して気体を噴出する噴出部２０３と、対象物体３との間に設けられたエアギャップから気体を吸引する吸引部２０２とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 高精度・高速で且つ安定な倣い測定を実現可能とする。
【解決手段】 三次元測定装置の倣い測定に用いられ、先端にスタイラス１８を装着してなるプローブにおいて、スタイラス１８の先端球３２の表面にＤＬＣ膜３５が形成され、その摩擦係数が０．１以下に設定されている。 （もっと読む）

【課題】 近接工事による構造物の変位を測定する装置において、基準線の揺れによる影響を無視できるようにした安価な構造物の変位測定装置を提供する。
【解決手段】 構造物７が工事の影響を受ける範囲を挟んだ外側に設定された固定点の間に張架する線材２と、工事の影響を受ける範囲内の変位測定点に対応する線材に取り付けた測定対象体３と、測定対象体３と構造物７の位置の変化を測定する構造物７に固定した変位計測センサ４ａ、４ｂと、前記測定対象体３の揺れを減衰させる減衰装置５とを備えた。
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【課題】 スタイラスの軸方向に対して有害な曲げ振動の発生を防止することで、微細な表面形状の測定を可能にするタッチセンサを提供する。
【解決手段】 スタイラス１は、その軸方向に略対称の構造である。スタイラス１とスタイラスホルダ５とを連結する支持部材６〜９のスタイラス側の支持部１０〜１３は、スタイラスの重心３に対してスタイラスの軸方向に対称となる複数個所で、更に、その各個所においてスタイラスの軸４に対称な複数個所である。スタイラスの軸方向同一個所における各組の支持部材の重心が略前記軸上にある。加振手段３１および検出手段３２の少なくとも一方は、重心３から等距離となる少なくともスタイラス上の２個所に橋渡しされるように設けられている。 （もっと読む）