【課題】製造コストが低く、特性、膜厚分布及び形成膜の密着性が良好であり、格子形状の精度も高い光電エンコーダのスケール及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光電式エンコーダのスケールは、導電性で表面に光反射面が形成されたベース材と、ベース材の表面にめっき法によって形成され、ベース材に所定のピッチで配列された光吸収性の黒色格子とを備える。この発明によれば、製造コストが低く、特性、膜厚分布及び形成膜の密着性が良好であり、格子形状の精度も高い光電エンコーダのスケール及びその製造方法を提供できる。 （もっと読む）

【課題】スケールからの反射光による像のコントラストを高くし光検出器の誤検出を防ぐ。
【解決手段】下地部材に第１領域と第２領域とが交互に配置された反射型光学式スケールであって、下地部材に第１領域と第２領域とが交互に配置され、第１領域は、波長λの光の反射率が第２領域よりも高く、第１領域は、下地部材の上に配された反射部材と、反射部材の上に配された第１材料で構成された層と、第１材料で構成された層の上に配された第２材料で構成された層と、で構成され、第２領域は、下地部材の上に配された第２材料で構成された層で構成され、第１材料および第２材料は、光について透過性を有し、第１材料は、反射部材および第２材料よりも光の屈折率が低く、第２材料は、下地部材よりも光の屈折率が低く、第１材料および第２材料の光学膜厚は、第１領域の方が第２領域よりも光の反射率が大きくなるように設けられている。 （もっと読む）

【課題】迷光が回路要素に入射するのを防止できる光学リードヘッドを提供する。
【解決手段】リードヘッドとスケールトラックとの測定軸方向に沿った変位を測定するための光学リードヘッドは、スケールトラックへ光源光を出力するように構成された照明部と、モノリシック検出器構造と、を備える。モノリシック検出器構造はスケールトラックからのスケール光を受光するように構成された第１トラック光検出器部と、第１金属層と、第２金属層と、第１金属層と第２金属層との間に形成された複数のダミービア３７１と、を備える。複数のダミービア３７１は、第１金属層と第２金属層の間の層を通り抜ける光の伝達を遮るように配置され、かつ、複数のダミービア３７１はモノリシック検出器構造上の回路要素間を接続するための複数の有効ビアを製造する工程と同じ工程によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】リサージュ信号の検出を停止した場合にも、測定精度の低下を抑制可能なエンコーダを提供する。
【解決手段】エンコーダは、スケールと、前記スケールに光を照射すると共に供給される電流に応じて光量を変化させる光源と、前記スケールにより反射された光を受光すると共に位相のずれた２相正弦波状信号を出力する受光部とを備えるエンコーダであって、前記２相正弦波状信号によって形成されるリサージュ波形に含まれる理想的リサージュ波形からの振幅誤差を含む誤差を検出し、検出された誤差を累積演算して新たな補正値とすることで、動的に前記補正値を更新する誤差検出部と、前記振幅誤差に基づく補正値に応じて前記光源に供給する電流を調整する光源駆動処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】相対移動する摩耗側部品と対向側部品を配線等で接続したり、摩耗側部品に電子回路を設置したりすることなく、対向側部品に設置された制御装置により摩耗側部品の摩耗状態を適切に検知する。
【解決手段】本発明の摩耗検知装置は、摩耗側部品２に設けられ、一端部５１および他端部５２が対向側部品３に向けて配置される光ファイバ５を備え、摩耗側部品２の摺動面２１に沿って配置された先端部４１に光ファイバ５の被摩耗部５４が配置された摩耗ゲージ４と、対向側部品３において、摩耗側部品２の摺動中に光ファイバ５の一端部５１と対向可能な位置に設けられた発光素子７と、対向側部品３において、摩耗側部品２の摺動中に光ファイバ５の他端部５２と対向可能な位置に設けられた受光素子８と、対向側部品３に設けられ、受光素子８による受光状態に基づいて摩耗ゲージ４の摩耗状態を検知する制御装置９とを備える。 （もっと読む）

【課題】原点検出精度を向上させた信頼性の高いエンコーダシステムを提供する。
【解決手段】エンコーダシステム１００は、複数のマークを備えた担持体１１と、担持体１１の移動方向に第１の距離だけ互いにずらして設けられ、複数のマークを読み取り可能なセンサ１２、１３と、センサ１２、１３の検出信号を演算処理する演算処理部１４とを有し、演算処理部１４は、担持体１１がセンサ１２、１３に対して相対移動している際に、複数のマークのうち一つのマークが第１の距離だけ移動するのに要する第１の時間、および、複数のマークのうち隣接する二つのマークがセンサ１２またはセンサ１３による検出位置を通過するのに要する第２の時間を演算し、第１の時間および第２の時間から算出された第１の指標が原点位置を特徴付ける第２の指標に相当する場合、第１の指標の算出に用いられたマークパターンを原点マークパターンであると判定する。 （もっと読む）

【課題】 遮光手段を用いずに光源からの発散光がパッケージの外界との境界面で全反射して、受光素子に入射することを防止する。
【解決手段】 光線Ｌ０は発光素子２３から出射した光線のうち、境界面５３で屈折して透過し反射スケール２１で反射し、最後に受光領域Ｓ２に導かれる光線群であり、この光路がセンサ信号を得るための有効光となる。光線Ｌａは境界面５３で全反射してパッケージ内を伝搬する光線であり、この光線Ｌａはセンサ信号光とは無関係なノイズ光であり、受光すべきでない光線である。この光線Ｌａが受光領域Ｓ２に入射すると、センサ信号のＳ／Ｎが低下してしまうことになる。また、光線Ｌｂは境界面５３を挿通し反射スケール２１に至ることなく、外方に出射してしまうので、精度等に対する影響は殆どない。不要な光線Ｌａが受光素子２４の受光領域Ｓ２に入射しないように、発光素子２３の発光領域Ｓ１を基準として、受光領域Ｓ２を決定する。 （もっと読む）

【課題】複合構造物の健全性を監視するシステム及び方法を提供する。
【解決手段】複合構造物１０は、複合材料及び複合材料内に配置された光ファイバー１６を含む。光ファイバー１６は、光ファイバー１６の非線形光学特性を高める複数の量子ドット１８を含む。量子ドット１８はコア内、金属被覆内、及び／又は光ファイバー１６の表面上に配置することができる。光ファイバー１６は、信号の伝播を支援し、複合材料内の欠陥を検出するように構成されている。量子ドット１８は、複合材料内の欠陥に応じて、二次効果などの非線形効果を引き起こす。量子ドット１８によってもたらされる非線形効果を含む信号の検出及び解析に基づいて、複合材料内の欠陥が検出されうる。 （もっと読む）

【課題】中心射影方式に基づく回転式位置測定装置について、検査光路上における個々の構成部材間の最適でない間隔についてより影響度を抑え、及び／又は検査すべき被検査物の汚れの影響を極力受けないようにすること。
【解決手段】光源１０と、被検査物２０を備えたスリット板と、検出装置３０とを備える構成とするとともに、スリット板を光源１０及び検出装置３０に対して回転軸Ｒを中心として回転可能とし、相対回転時に回転角度に応じた位置信号を検出装置３０によって検出可能であり、回転軸Ｒ上の光源１０を被検査物２０から第１の距離ｕだけ離間させて配置し、検出装置３０を、第１の距離ｕとは異なる第２の距離ｖだけ被検査物２０から離間させて配置した。 （もっと読む）

【課題】光学エンコーダの利得とオフセットを動的に調整する。
【解決手段】光学エンコーダにおける利得とオフセットを動的に調整する方法は、回折格子を含むエンコーダ・ディスクを提供する段階と、前記エンコーダ・ディスクに光を照射する段階と、前記回折格子から回折された光を検出しかつ第１の細カウント・チャネルを出力するように構成された検出器を提供する段階と、前記第１の細カウント・チャネルの第１のターゲット利得と第１のターゲット・オフセットを計算する段階と、前記第１のターゲット利得と第１のターゲット・オフセットに基づいて、前記第１の細カウント・チャネルからサンプリングされたデータに補正を適用する段階と、を含む。 （もっと読む）

【課題】十分に平行に配設された二つのプレート間で、高精度で干渉計方式により間隔測定するための機構を提供する。
【解決手段】光源３．１から発せられた光束が、第一プレート１にある分光器要素１．２に傾斜して当たり、そこで反射される参照光束と透過する測定光束に分割される。測定光束は第二プレート２にあるリフレクタ要素２．２に当たり、そこで第一逆反射を受ける。参照光束は第一屈折要素３．２ａを、測定光束は第二屈折要素３．２ｂを通過し、二つの光束は引き続いて、それぞれ関連配置された逆反射器３．３を通過して、測定光束は第三屈折要素３．２ｃを、参照光束は第四屈折要素３．２ｄを通過する。そして参照光束は第一プレート１で反射を、測定光束は第二プレート２のリフレクタ要素２．２で第二逆反射を受け、それにより二つの光束が、共直線で検知ユニット３の方向に伝播し、そこで位相がずれた複数の走査検知信号を生成することができる。 （もっと読む）

【課題】大型化し、検出精度等にも不都合が生じる磁気センサの使用をなくし、小型かつ安価なコストで、また５μｍ以下の分解能で１０ｍｍ以上の長距離検出を可能にする。
【解決手段】反射面ｓａと非反射面ｓｂを移動物の移動方向に交互に並べた反射板１２を設け、反射型フォトセンサ９の受光素子８には、移動物の移動方向でそれぞれ異なる受光領域を持つ複数の受光部８ａ，８ｂを設け、この２つの受光部８ａ，８ｂから位相差の異なる信号を出力し、これら２つの信号に対し例えばリニア値演算を施すことにより、反射板１２及び移動物の位置を検出する。また、３分割受光部から３つの信号の出力することで中点電位をも算出し、この中点電位を基準にしたリニア値演算を行ってもよい。上記受光部では、その受光領域の一部を遮光し、検出出力の直線性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】迷光／ノイズ問題に対処する反射型エンコーダを提供する。
【解決手段】光学エンコーダ及び光学エンコーダシステムであって、光源２０８に対して光検出器２１２を上方に配置し、光源２０８と光検出器２１２との相対的な高さの差により、反射迷光２３２の影響を阻止し、光学エンコーダ２０４が、光源２０８と光検出器２１２との間に別個の光バッフルを必要とすることなく、光検出器２１２におけるノイズを最小限にすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】被計測物の絶対位置を高精度に計測可能なエンコーダを提供する。
【解決手段】エンコーダ１００は、被計測物とともに移動可能に構成されたスケール１と、異なるピッチのパターンを有するトラック１１と、スケール１に対する相対的な変位を検出して第１および第２の２相正弦波信号を出力する第１および第２のセンサ２１、２２と、第１および第２の２相正弦波信号に基づいて前記第１および第２のセンサ２１、２２に対応する第１および第２の位相をそれぞれ算出する位相演算手段３１、３２、６１、６２と、第１および第２の位相の位相差に基づいて被計測物の粗位置を計測する粗位置計測手段４１と、被計測物の粗位置に基づいて第１および第２の２相正弦波信号に含まれる位相差誤差を補正する補正手段５１、５２と、補正手段５１、５２で補正された第１および第２の２相正弦波信号に基づいて被計測物の絶対位置を計測する位置計測手段７１とを有する。 （もっと読む）

【課題】安価で信頼性の高い信号処理装置を提供する。
【解決手段】被計測物の変位に応じた複数の周期信号に基づいて、前記変位に係る波数および位相の組み合わせを得る信号処理装置であって、前記複数の周期信号のサンプリング毎に該複数の周期信号から位相を得る第１手段と、サンプリング毎に前記第１手段により得られた位相に基づく波数および位相の組み合わせに対して回帰演算を行うことにより、サンプリング間隔における前記位相の変化量を得る第２手段と、第１サンプリングでの前記組み合わせに前記変化量を加算して第２サンプリングでの前記組み合わせを予測する第３手段と、前記第１手段により得られた前記第２サンプリングでの位相から、前記第３手段により予測された前記組み合わせの予測誤差を得る第４手段と、前記第３手段により予測された前記組み合わせに前記予測誤差を加算して前記第２サンプリングでの前記組み合わせを得る第５手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】軸受の複数のパラメータを検出する光ファイバ感知デバイスのための方法およびシステムを提供する。
【解決手段】光ファイバセンサシステムは、光ファイバケーブルと、１つまたは複数の分離タブ２１８によって互いに接合された第１の接続端と第２の接続端２０４を含むキャリア２００とを備え、第１の接続端は、光ファイバケーブルの遠位端を第１の接続端に固定するように構成された第１のファイバ取付け点２１０を含み、第２の接続端は、光ファイバケーブルを第２の接続端に固定するように構成された第２のファイバ取付け点２１２を含み、さらに１つまたは複数の分離タブは、キャリアおよび分離タブよりも構造的に弱いブレークエリアを使用して第１の接続端と第２の接続端に接合されている。 （もっと読む）

【課題】光学系の高さを低くするとともに、回折格子からの０次光の影響を低減して計測精度を向上する。
【解決手段】Ｘ軸のエンコーダ１０Ｘは、第１部材６に設けられ、Ｘ方向を周期方向とする回折格子１２Ｘと、可干渉性のある計測光ＭＸ１及び参照光ＲＸ１を供給するレーザ光源１６と、第２部材７に設けられ、計測光ＭＸ１を回折格子１２Ｘに向けてリトロー角から所定角度ずれた角度で反射する傾斜ミラー３２ＸＡと、回折格子１２Ｘからの回折光と参照光ＲＸ１との干渉光を検出する光電センサ４０ＸＡと、光電センサ４０ＸＡの検出信号を用いて第１部材６に対する第２部材７のＸ方向の相対移動量を求める計測演算部４２Ｘと、を備える。 （もっと読む）

【課題】受動読取ヘッドを有する光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】受動読取ヘッドは、接続ケーブルを有さず、ただの光学式読取ヘッドである。スケールに対する相対位置を示す測定位置情報は、遠隔随伴部に通じる見通し線によって遠隔的に読み取られる。遠隔随伴部は、光源と、検出部と、を備える。検出部は、遠隔レンズ部と、光検出機構部と、を有していてもよい。遠隔随伴部は、受動読取ヘッドから得られる像領域の輝度（明暗）を光学的に検知し、検知した輝度（明暗）に基づいて、測定位置を示す複数の信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】大型化を招来することなく、建設機械への搭載した場合にも高精度の計測が可能なロータリエンコーダを提供すること。
【解決手段】金属製の薄板によってパルスコードホイール７０を成形するとともに、所定の耐熱性及び剛性を備えた透光性を有する合成樹脂材によって２枚の板状を成す挟持板８０を成形し、これら２枚の挟持板８０の間にパルスコードホイール７０を挟持させ、かつパルスコードホイール７０の両面のスリット７３をそれぞれ挟持板８０によって覆った。 （もっと読む）

【課題】相対移動可能な２つの物体の位置を測定する光学式位置測定装置において、基準信号を適切に発生させる。
【解決手段】一方の物体と結合された目盛本体が、基準位置に、鏡像対称に配置された２つの部分区域を含む基準マークを含み、該区域はそれぞれ、目盛周期が変化し移動方向に配列する格子構造パターンで構成されている。他方の物体には走査ユニットが結合され、該ユニットは光源と、１又は複数の格子と、基準信号検出装置と備えている。基準信号検出装置は、検出器アレイ２２．１〜２２．４を有し、基準マークを走査して検出器アレイで検出して、第１の対の逆相関係にある部分基準信号、該部分基準信号からオフセットされている第２の対の逆相関係にある部分基準信号を形成する。検出器アレイに接続された後段の処理回路において、第１及び第２の対の部分基準信号を処理して、基準信号を生成する。 （もっと読む）