【課題】外部からの外乱振動の影響を抑制し、かつ外乱振動によって生じる不要な回転力に起因するオフセットドリフトを低減する角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度検出素子１１を収納するパッケージ１０と、パッケージ１０に接続されたリード端子１７と、を有し、リード端子１７は、パッケージ１０に接続された第１の端部と、外部と接続するための第２の端部１３を有し、第１の端部と第２の端部１３の間に、所定の延在方向に伸びる延在面を有する板状の延長部１６を有し、リード端子１７の延在面は、第１の軸を含み、且つ、基部に対して直交する面に対して、直交している。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ確実に、優れた検出感度を発揮することができるセンサー素子、センサー素子の製造方法およびセンサーデバイスを提供すること、また、かかるセンサーデバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー素子は、基部２１と、駆動用振動腕２２１、２２２と、駆動用振動腕２２１、２２２の駆動振動に伴って振動する調整用振動腕２４１〜２４４と、駆動用振動腕２２１、２２２に加えられた物理量に応じて電荷を出力する検出用電極と、調整用振動腕２４１、２４２に設けられ、検出用電極に電気的に接続され、調整用振動腕２４１、２４２の振動に伴って電荷を出力する第１の調整用電極と、調整用振動腕２４３、２４４に設けられ、検出用電極に電気的に接続され、調整用振動腕２４３、２４４の振動に伴って、第１の調整用電極とは逆極性となる電荷を出力する第２の調整用電極とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ確実に、優れた検出感度を発揮することができるセンサー素子およびセンサーデバイスを提供すること、また、かかるセンサーデバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー素子は、基部２１と、通電により駆動振動する駆動用振動腕２２１、２２２と、駆動用振動腕２２１、２２２に加えられた物理量に応じて第１の方向に振動するとともに、駆動用振動腕２２１、２２２の駆動振動に伴って１の方向とは異なる第２の方向に振動する検出用振動腕２３１、２３２と、検出用振動腕２３１、２３２に設けられ、検出用振動腕２３１、２３２の第１の方向での振動に伴って電荷を出力する検出用電極と、検出用振動腕２３１、２３２に設けられ、検出用電極に逆極性となるように電気的に接続され、検出用振動腕２３１、２３２の第２の方向での振動に伴って電荷を出力する調整用電極とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ確実に、優れた検出感度を発揮することができるセンサー素子、センサー素子の製造方法およびセンサーデバイスを提供すること、また、かかるセンサーデバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー素子は、通電により駆動振動する駆動用振動腕２２１、２２２と、駆動用振動腕２２１、２２２の駆動振動に伴って振動する調整用振動腕２４１、２４２と、駆動用振動腕２２１、２２２に加えられた物理量に応じて電荷を出力する検出用電極と、調整用振動腕２４１、２４２に設けられ、検出用電極に電気的に接続され、調整用振動腕２４１、２４２の振動に伴って電荷を出力する第１電極と、調整用振動腕２４１、２４２に設けられ、１対の検出用電極に電気的に接続され、調整用振動腕２４１、２４２の振動に伴って、第１電極とは逆極性となる電荷を出力する１対の第２電極とを有する。 （もっと読む）

【課題】３軸物理量センサモジュールが、安価に、しかも、高精度に得られる物理量センサのサブマウントＭＩＤパッケージを提供する。
【解決手段】物理量センサのサブマウントＭＩＤパッケージ１０において、先細りに形成された略三角柱形状の本体１１と、本体１１における第１錐面１２に設けられた第１物理量センサ１３と、第１錐面１２に対して直交するとともに本体１１における第２錐面１４に設けられた第２物理量センサ１５と、第１錐面１２および第２錐面１４に対してそれぞれ直交する本体１１における第３錐面１６に設けられた第３物理量センサ１７と、を設けた。また、物理量センサのサブマウントＭＩＤパッケージは、直角三角柱形状の本体と、本体における鋭角稜線に挟まれた四角側面に設けられた物理量センサと、を備えて構成してもよい。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、電子部品の位置決めを簡単かつ正確に行うことができるセンサーデバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】センサーデバイス１は、角速度センサー７１１が実装された第１のリジッド基板２１と、角速度センサー７１２が実装された第３のリジッド基板２３とを有する実装基板２と、実装基板２を固定する台座３とを有している。また、台座３は、ｘ軸およびｙ軸に沿う第１固定面を有する基部３１と、基部３１上に設けられ、且つ、ｘ軸およびｙ軸に沿う第２固定面およびｙ軸およびｚ軸に沿う第３固定面の少なくとも一方を有した突出部４１〜４４と、を含み、リジッド基板２１、２２、２３の各々は、第１固定面、第２固定面または第３固定面に支持され、角速度センサー７１１、７１２は、検出軸が互いに交わっている。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、電子部品の位置決めを簡単かつ正確に行うことができる電子デバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】電子デバイス１は、実装基板２と、台座３と、蓋部材８とを有している。また、台座３は、実装基板２に含まれる第１のリジッド基板２１を支持する第１の支持部３２と、実装基板２に含まれる第２のリジッド基板２２をその厚さ方向が第１のリジッド基板２１の厚さ方向に対して直交するように支持する第２の支持部３３とを有している。また、蓋部材８は、その内側に実装基板２に含まれる第３のリジッド基板２３を支持する第３の支持部８２を有している。 （もっと読む）

【課題】センサー部やベース基板の損傷を抑制しつつ、製造時などにおけるベース基板とセンサー部との貼り付きを回避可能な物理量センサー、および物理量センサーの製造方法の提供。
【解決手段】物理量センサー１は、肉薄部６ａおよび肉厚部６ｂが設けられたベース基板６と、ベース基板６の肉薄部６ａの上方に揺動可能に配置されたセンサー部４と、を有し、ベース基板６には、平面視でセンサー部４の端部と重複する肉薄部６ａの少なくとも一部に導電膜９，１０が設けられ、導電膜９，１０が、肉厚部６ｂの表面の少なくとも一部まで延びていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】センサ素子の傾斜角度の精度が高く、製造コストが抑制され、かつ、センサ素子と他の素子との電気的接合の信頼性が高いセンサ装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】センサ装置は、台座４と、台座４の上面に実装される角速度センサ素子１とを備える。台座４の上面は、下面に対して傾斜する傾斜面４Ａを有する。角速度センサ素子１は、傾斜面４Ａに実装され、その天面上に形成された電極３０を有する。角速度センサ素子１の天面における傾斜面２０Ａは、台座４の下面に対する傾斜角度が小さくなるように傾斜しており、この傾斜面２０Ａに電極３０が形成される。 （もっと読む）

【課題】小型かつ簡易な構成の角速度センサ、半導体装置及び携帯機器を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様である角速度センサ１００は、リングオシレータ１１及び検出回路１３を有する。リングオシレータ１１及び検出回路１３は、半導体基板上に形成される。リングオシレータ１１は、インバータＩＶＶ１〜ＩＮＶ３からなる遅延パスを有する。検出回路１３は、リングオシレータ１１の発振周波数の変動量から、回転の角速度を検出する。 （もっと読む）

【課題】小型で信頼性の高いセンサーデバイス、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】センサーデバイス１は、第１の面１０ａに第１の電極１１を有する半導体装置としてのＩＣチップ１０と、基部２１、前記基部２１から延伸された振動部を有し、第１の面１０ａと対向する第２の面２０ａに第２の電極としての引き出し電極２９を有する振動片としての振動ジャイロ素子２０と、を備えている。第１の面１０ａには、絶縁樹脂からなり第１の電極１１と配線３６を介して電気的に接続された第３の電極３７の少なくとも一部を露出させる開口部３２ａを有する筒状支持部３２が設けられ、第１の面１０ａおよび開口部３２ａにより形成された凹部に導電性接着剤９８が埋設され、引き出し電極２９に設けられたバンプ１２が凹部内に配置されている。 （もっと読む）

【課題】振動ジャイロ素子の角速度検出感度を維持し、かつ支持強度を確保し小型化を可能にする振動ジャイロ素子、振動ジャイロ素子の支持構造およびジャイロセンサを提供する。
【解決手段】基部１０と、基部１０から直線状に両側へ延出された１対の検出用振動腕１１ａ，１１ｂと、基部１０から両側へ検出用振動腕１１ａ，１１ｂに直交する方向に延出された１対の連結腕１３ａ，１３ｂと、各連結腕の先端部からそれと直交して両側へ延出された各１対の駆動用振動腕１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂと、基部１０から各検出用腕に沿って延出される２対の梁２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂと、同方向に延出された各梁が連結された１対の支持部２２ａ，２２ｂと、を同一平面に備え、支持部２２ａ，２２ｂを検出用振動腕の延出する方向であって検出用振動腕の外側かつ前記駆動用振動腕の間に配置する。 （もっと読む）

【課題】信頼性を高め、小型薄型で、且つ優れた検出精度を発揮することのできるモジュールおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】モジュール１は、センサー素子４と、実装面を複数備え、且つ隣接する実装面の間が折り曲げ可能な実装基板２と、固定面３１〜３５を複数備えた支持部材３と、を有し、センサー素子４は、実装面の少なくとも１つに実装され、実装面の各々は、固定面３１〜３５の各々に沿って配置され、センサー素子４が支持部材３側に配置されている。 （もっと読む）

【課題】繰り返しの応力に対して信頼性の高いアクチュエータを提供する。
【解決手段】配線１４を備えた可動部９と、この可動部９を捩れ運動または曲げ運動、もしくはその両方で駆動させるための駆動部１２と、からなり、配線１４は導電性有機高分子としたことを特徴とするアクチュエータである。このように、繰り返しの応力が印加される可動部９に設けた、下部電極、上部電極、配線などを金属でなく導電性有機高分子で形成することにより、マイグレーションが生じることはなく、また可動部の可撓性を高めることができるので、高い信頼性を有するアクチュエータを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】小型化可能で耐衝撃性に優れるととともに、製造効率の低下を抑制した実装構造体を有する物理量センサー、及びこれを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】キャビティ部（凹部２２）を有する実装基板１２と、平面視で前記キャビティ部に重複して配置されている支持基板２４と、前記実装基板１２に対向する前記支持基板１２の第１面（下面２８）であり且つ平面視で前記キャビティ部に重複する位置に配置され、前記支持基板２４を介して前記実装基板１２に電気的に接続されている物理量センサー素子４２と、前記物理量センサー素子４２及び前記支持基板２４を封止する封止材３４と、を有し、前記支持基板２４は、前記封止材３４より弾性係数の高い接合部材により前記実装基板１２に片持ち支持されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】多軸に対応したセンサーモジュール及びそれを備えたセンサーデバイスの提供。
【解決手段】センサーモジュール１は、互いに直交する３つの支持面１１，１２，１３を有する支持部材１０と、能動面２１側に接続端子２２、外部接続端子２３を有し、能動面２１に沿った非能動面２９側が支持部材１０の各支持面１１，１２，１３に取り付けられた３つのＩＣチップ２０と、基部３１と基部３１から延伸された各振動腕（３２ａ，３２ｂなど）と接続電極３９とを有する３つの振動ジャイロ素子３０と、ＩＣチップ２０の外部接続端子２３と接続されたフレキシブル配線基板４０，４０ａと、を備え、各振動ジャイロ素子３０は、各ＩＣチップ２０の能動面２１側に配置され、一方の主面３０ａが支持面１１，１２，１３に沿うように、接続電極３９が各ＩＣチップ２０の接続端子２２に取り付けられ、フレキシブル配線基板４０は、配線パターン層４３を有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で位相同期を行うことができるデジタル位相同期回路および物理量検出センサを提供する。
【解決手段】位相比較部は、サンプリング値の符号情報を示す符号クロックＣＬＫ１と分周器の分周クロックＣＬＫ２との位相差を算出する。このとき、位相比較部は、符号クロックＣＬＫ１による立上りタイミングからダウンカウントし、分周器の分周クロックＣＬＫ２による立下りタイミングにてアップカウントし、符号クロックＣＬＫ１による立上りタイミングにて得られたカウント値を位相比較カウント値として出力する。そして、加算器が、位相比較カウント値に位相補正部の位相補正値を加算してループフィルタに出力する。 （もっと読む）