【課題】本発明は、互いに直交する３軸に対応する角速度をそれぞれ検出する多軸角速度センサユニットの製造方法に関し、多軸角速度センサユニットにおける検出レベルの測定工程を簡略化し生産性を高めることを目的とする。
【解決手段】本発明は、互いに直交する検出軸７，８，９として角速度を検出する多軸角速度センサユニットにおいて、パッケージ５の内部にセンサ素子１，２，３およびＩＣ４を配置した後に、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸で構成する座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）における（１，１，１）で示される軸を回転軸２４とし多軸角速度センサユニットを回転させて各センサ素子１，２，３の角速度を検出し、この検出結果を予めＩＣ４に格納しておいた基準値データと比較させ各センサ素子１，２，３の検出レベルの補正値を設定する。 （もっと読む）

【課題】小型化省電力化を図り、検出感度を向上させる。
【解決手段】一様な平面を備えたリング状振動体と、振動体を支持するレッグ部１５と、上層下層金属膜により圧電体膜を厚み方向に挟む電極１３ａ，１３ｓ，１３ｔ，１３ｈ及び固定電位電極１６とを備え、複数の電極は、ｃｏｓＮθの振動モードでその振動体の一次振動を励起する円周方向に（３６０／Ｎ）°離れた角度に配置された駆動電極と、電極各々から（１８０／Ｎ）°離れた角度に配置された電極とを含む一群の駆動電極１３aと、駆動電極１３ａから（９０／Ｎ）°離れた角度に配置され、角速度の二次振動を検出する第１検出電極１３ｓと、さらに（１８０／Ｎ）°離れた角度に配置され二次振動を検出する第２検出電極１３ｔとを含み、各駆動電極１３ａは、その振動体の外周縁からその外周縁の近傍か、振動体の内周縁からその内周縁の近傍に至るまでの領域とのいずれか又は両方の領域に配置される。 （もっと読む）

【課題】散乱波を低減できる弾性表面波角速度センサを提供する。
【解決手段】励振用ＩＤＴ７〜１０が駆動軸Ｄに対して線対称となるように配置する。これにより、励振用ＩＤＴ７、８の組と励振用ＩＤＴ９、１０の組でそれぞれ発生された駆動波の摂動錘６での散乱波の対称性が改善される。したがって、散乱波を低減することが可能となり、コリオリ力の検出をより精度良く行える角速度センサとすることが可能となる。さらに、検出用ＩＤＴ１３、１４と検出用ＩＤＴ１５、１６も駆動軸Ｄに対して線対称となるように配置すれば、これら検出用ＩＤＴ１３〜１６のペア性を向上することが可能となり、より散乱波の影響を低減することが可能となる。したがって、コリオリ力の検出をより精度良く行える角速度センサとすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】支持構造を容易にでき、周波数温度特性が良好で、精度の良い角速度検出が可能
な角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度センサは、回転Ｙカット水晶基板の主表面上にＹ’軸方向に突出され
Ｘ軸方向に延出された突起部を備え、この突起部の近傍の主表面上に駆動電極および検出
電極が形成されている。この駆動電極により水晶基板にＸ軸方向の厚みすべり振動を励振
させて突起部に振動を励起させる。そして、Ｙ’軸回りの回転に対応して突起部の振動に
対して直交する方向に作用するコリオリ力により突起部が屈曲させられ変位する。この突
起部の変位が応力となって水晶基板に加えられ、この応力の変化が検出電極にて検出され
て角速度センサに加わる角速度を検出する。 （もっと読む）

【課題】 小型に構成することができ、応答性に優れた角速度センサと、角速度センサ用のカンチレバーを提供すること。
【解決手段】 固定側に配された支軸部２３と、該支軸部に沿って揺動する揺動部２４と、該揺動部に保持され回転駆動される回転体３５とを備えており、前記支軸部２３と前記回転体の回転軸Ｍ１とが交差されており、前記揺動部２３と前記固定側との間に設けられ、前記支軸部と前記回転軸とに交差する軸の軸回りに作用する回転角速度が働くことにより生じる前記揺動を検出するための検出体３１と有する。 （もっと読む）

【課題】 磁歪素子の寸法変化の阻害、特性低下を招くことなく、高温、高圧に対する耐性、防錆性を確保することのできるコーティングを、容易かつ確実に施すことのできる、磁歪素子の製造方法等を提供することを目的とする。
【解決手段】 電着塗装法によりエポキシ樹脂を磁歪素子本体１１の表面に付着させることで樹脂コーティング層１２を形成し、磁歪素子本体１１に多数形成された空隙に確実にエポキシ樹脂を入り込ませて、磁歪素子本体１１全体を確実にコーティングする。これにより、樹脂コーティング層１２は、２０μｍ程度以内の厚さでありながら、高い耐久性を有し、磁歪素子本体１１の外周縁部においても均一な膜厚とする。 （もっと読む）

【課題】 角速度検出ジャイロスコープの精度と効率を改善するための構造と配列を開示する。
【解決手段】 電圧ピックオフ用導体が、ジャイロスコープが回転的に静止している場合に実質的にゼロの応力を受ける角速度検出ジャイロスコープの共振エレメントの表面に取付けられている。同じように、ジャイロスコープが回転的に静止している場合に実質的に均一なレベルの応力を受ける共振エレメントの領域によって規定される箇所に、アクチュエータ用導体が共振エレメントに取付けられている。圧電共振エレメントの電圧応答を改善する方法も開示されている。 （もっと読む）