【課題】モアレのビジビリティ低下を抑制することができ、高画質な位相像や微分位相像を取得することが可能となるトモシンセシス撮像装置及びトモシンセシス画像の撮像方法を提供する。
【解決手段】被検査物内部の奥行き情報を取得するトモシンセシス撮像装置であって、
遮蔽格子は、透過部と遮蔽部とが周期的に配列され、これらの周期が互いに異なる周期を有する、少なくとも２つの部分遮蔽格子の積層によって構成され、
２つの部分遮蔽格子を周期の方向に移動させ、積層による部分遮蔽格子間の各遮蔽部の重なり状態を制御する制御手段を備え、
電磁波源の回転による電磁波源の入射方向に応じて、制御手段により各遮蔽部の重なり状態を制御し、
電磁波源から出射され遮蔽格子の透過部を透過する電磁波が、各遮蔽部による遮蔽を抑制する。 （もっと読む）

【課題】 被測定体（被測定物質）から試験片を切り出さなくても精度よく陽電子の消滅特性を測定する。
【解決手段】 陽電子消滅特性測定装置１０は、陽電子線源と、陽電子線源で生成された陽電子が消滅するときに発生する放射線を検出する放射線検出手段１４と、陽電子線源で生成された陽電子のうち被測定体に入射されなかった陽電子を検出する陽電子検出手段４０を有している。陽電子線源は、被測定体Ｓと陽電子検出手段とに挟まれた状態で配置されている。消滅特性算出手段５０は、放射線検出手段１４で検出される放射線のうち、陽電子検出手段４０で検出された陽電子が消滅したときに発生したと推定される放射線を除いて、被測定体Ｓ内における陽電子の消滅特性を算出する。 （もっと読む）

【課題】 硬Ｘ線やγ線等の放射線を高感度で検出することができ、位置分解能及び計数率特性に優れた、新規な放射線画像検出器を提供することを目的とする。
【解決手段】 入射した放射線を紫外線に変換するシンチレーターと、紫外線を電子に変換し、かかる電子をガス電子雪崩現象を利用して増幅し、検出するガス増幅型紫外線画像検出器とを組み合わせた放射線画像検出器であって、シンチレーターがＮｄ、Ｅｒ及びＴｍから選ばれる少なくとも１種の元素を含有するＬｉＬｕＦ_４結晶であり、ガス増幅型紫外線画像検出器が、ヨウ化セシウムやテルル化セシウムなどの紫外線を電子に変換する光電変換物質、電子をガス電子雪崩現象を利用して増幅するガス電子増幅器、及び増幅機能と検出機能を有するピクセル型電極より構成されることを特徴とする放射線画像検出器である。 （もっと読む）

【課題】支持基板上に複数枚の小格子を配列した回折格子を湾曲させた際に、湾曲の際の応力が集中する応力集中線によって支持基板が折れるのを防止する。
【解決手段】第２の回折格子１３を円筒状に湾曲させる際に応力が集中する支持基板２１の応力集中線Ｆに、少なくとも１枚の小格子が重なるように複数枚の小格子２２ａ〜２２ｄを配列する。これにより、応力集中線Ｆにおける支持基板２１の剛性が向上するので、応力集中線Ｆにおいて支持基板２１が折れるのを防止することができる。更に、小格子間の境界、例えば小格子２２ａ及び２２ｂの境界Ｕ１と、小格子２２ｃ及び２２ｄの境界Ｕ２とが応力集中線Ｆ方向において一致しないように、複数枚の小格子２２ａ〜２２ｄを支持基板２１上に配列することで、応力集中線Ｆ以外で支持基板２１が折れるのも防止することができる。 （もっと読む）

【課題】複数枚の回折格子を使用して位相コントラスト画像を撮影する放射線撮影システムにおいて、高精度な測定器を使用せずに各回折格子の位置や傾きを調整する。
【解決手段】１枚目の格子である第３の吸収型格子２５は、ＦＰＤ２０の検出面に直交するｚ軸上に配置され、第３の吸収型格子２５を通過するＸ線量に基づいて、ｚ軸に直交するｘ軸、ｙ軸上の回転位置θｘ、θｙが調整される。２枚目の格子である第１の吸収型格子２１は、モアレパターンが生じるようにｚ軸上に配置され、ＦＰＤ２０により検出したモアレパターンの周波数が面内において一律になるように、θｘ、θｙが調整される。３枚目の格子である第２の吸収型格子２２は、２枚目の格子である第１の吸収型格子２１と同様にモアレパターンに基づいてθｘ、θｙが調整され、その後にモアレパターンがＦＰＤ２０により検出されなくなるように、ｚ軸位置またはｚ軸周りのθｚが調整される。 （もっと読む）

【課題】被検査物に不均一な分布の吸収がある場合においても、該被検査物におけるＸ線の透過率分布の影響を低減し、画質の良い位相像の撮像が可能となるＸ線撮像装置を提供する。
【解決手段】透過するＸ線によってタルボ効果により周期的な明暗パターンを形成する第１の格子と、
明暗パターンが形成される位置に配置され、明暗パターンの一部を遮光する第２の格子と、
Ｘ線強度分布を検出するＸ線強度検出器と、
Ｘ線強度検出器により検出されたＸ線の強度からＸ線の位相情報を取得する演算装置と、を備え、
第２の格子は明暗パターンの周期方向に対してそれぞれ逆方向の第１の遮光パターンによる第１の領域と第２の遮光パターンによる第２の領域を有し、
第１の領域と第２の領域を透過しＸ線の強度情報を用いて、前記被検査物におけるＸ線の透過率分布の影響を低減する演算を行なう。 （もっと読む）

【課題】光ファイバーを用いずに伝送する光検出装置及び光伝送装置を提供する。
【解決手段】チャンバ２内の試料台５に試料４が載置される。電子線照射部１から楕円面鏡３の孔部３０を通過して試料４の試料面に電子線が照射される。照射スポットに位置する試料４の試料面の一部が励起して散乱光を発する。散乱光は、楕円面鏡３の内面での反射により楕円面鏡３の２焦点と異なる位置に集光されて非散乱光に変換される。非散乱光は、チャンバ２の開口部２４を気密封止しているコリメートレンズ２１を通過して平行化され、チャンバ２外の分光部７へ伝送される。分光部７は、伝送された光を検出する。 （もっと読む）

【課題】 異物起因のコントラストのみを明確に判別して過検出及び誤検出を防ぐこと。
【解決手段】 測定対象元素のＸ線吸収端より低いエネルギーの第１の特性Ｘ線を試料Ｓに照射する第１のＸ線管球１１と、元素のＸ線吸収端より高いエネルギーの第２の特性Ｘ線を試料に照射する第２のＸ線管球１２と、第１の特性Ｘ線及び第２の特性Ｘ線が試料を透過した際の第１の透過Ｘ線及び第２の透過Ｘ線を検出する第１のＸ線検出器１３及び第２のＸ線検出器１４と、第１の透過Ｘ線の第１の透過像と第２の透過Ｘ線の第２の透過像との差分からコントラスト像を得る演算部１５と、を備え、試料と第１のＸ線管球との間に第１の特性Ｘ線よりも高いエネルギーのＸ線吸収端を有する元素の第１のフィルタＦ１を配すると共に、試料と第２のＸ線管球との間に第２の特性Ｘ線よりも高いエネルギーのＸ線吸収端を有する元素の第２のフィルタＦ２を配する。 （もっと読む）

【課題】１回の電子線スキャンにより測定可能とする、試料損傷のないＥＰＭＡ分析におけるバックグラウンド補正方法。
【解決手段】マッピング領域に目的元素が存在しない部位を入れる第１のステップと、二つの同種の分光結晶のうち、一方を目的元素の特性Ｘ線波長λ_Aに、他方を近傍のバックグラウンド波長λ_Bに設定し、マッピング測定してＸ線カウントデータＩ_A,Ｉ_Bを得る第２のステップと、上記Ｘ線カウントデータＩ_A及びＩ_Bから、α＝Ｉ_A／Ｉ_Bの式から補正係数αを求める第３のステップとからなり、上記第１から第３のステップを経て、ＥＰＭＡ分析のバックグラウンド補正係数αを求め、全マッピング領域において、目的元素の特性Ｘ線波長λ_AについてのＸ線カウントデータＩ_Aに対して、Ｉ_A−Ｉ_B×αの式を用いて得られた値を目的元素のＸ線信号とし、更に、該Ｘ線信号のデータから、別に測定した検量線を用いて目的元素の濃度のマッピングデータを得る方法。 （もっと読む）

【課題】 分光可能な特性Ｘ線を発する元素及び分光可能な分光素子を一覧でき、容易に分析条件を選択できる分析条件選択支援装置及び分析条件選択支援方法を提供する。
【解決手段】分光素子のボタンを配列した分光素子選択部と元素のボタンを配列した元素選択部を有する分析条件選択画面を表示させる選択画面表示手段３１、元素が発する特性Ｘ線と分光素子の関係の情報を格納した分光範囲記憶装置２６、分光範囲記憶装置２６から情報を読み出し、分光素子選択部で指定された分光素子によって分光可能な元素のボタンに対し、特性Ｘ線の種類を元素のボタンに分類表示させる元素選択部表示手段３２、分光範囲記憶装置２６から情報を読み出し、指定された元素によって発せられる特性Ｘ線の種類を元素の特性Ｘ線を分光可能な分光素子のボタンに分類表示させる分光素子選択部表示手段３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＳＥＭ、ＴＥＭなどにも取り付け可能で、複数の元素を高感度、高分解能で同時に測定可能なＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】点／並行型である一本のマルチキャピラリＸ線レンズ１６の集束端側の焦点が試料１４上の電子線照射点１５に一致するように該レンズ１６を配設する。そして、該レンズ１６の平行端の外方で、レンズ１６の断面を二つに区画した各区画領域１６ａ、１６ｂの延長線上にそれぞれ平板分光結晶２０、２３を設置する。平板分光結晶２０で波長分散されたＸ線の中の特定波長のＸ線は超軽元素対応のＸ線検出器２２で検出され、他の平板分光結晶２３で波長分散されたＸ線の中の特定波長のＸ線は重元素対応のＸ線検出器２５で検出される。試料１４の近傍には一本のマルチキャピラリＸ線レンズ１６を配設すればよいのでスペースをとらず、試料１４から放出された特性Ｘ線を異なるＸ線検出器２２、２５で同時に検出できるので、異なる元素の同時測定が可能である。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線を発散するように出射するＸ線源を用いた場合においても、高精度かつ高コントラストの撮影画像を得ることが可能なＸ線撮影装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線撮影装置は、Ｘ線源と、第１周期の縞状の強度分布を生むタルボ効果を発現させる第１回折格子と、遮蔽部と透過部とが所定方向に第２周期で繰り返して縞状に配置され、かつ第１回折格子によって回折されたＸ線を更に回折する第２回折格子と、Ｘ線の強度の２次元分布を示す画像情報を得るＸ線検出手段とを備え、第２周期が、第１周期の約２倍であり、第２回折格子のうち、第１回折格子で回折されたＸ線が照射される面において、遮蔽部が占める面積の比率が１３％以上でかつ４１％以下であり、第２回折格子が、画像情報に係る画像にモアレ縞を発生させる。 （もっと読む）

【課題】屈折コントラストＸ線撮像法と同じ密度分解能及びダイナミックレンジで、測定時間が短く、経時的な観察が可能で、かつ入射Ｘ線強度が時間的に変動している場合でも高い感度で試料を観察できるＸ線撮像装置及び撮像方法を提供する。
【解決手段】試料によって生じたＸ線ビームの屈折角を、複数のアナライザー結晶１１，１２による複数回のＸ線回折を利用してＸ線検出器１８で同時に検出する。 （もっと読む）

結晶試料のＸ線回折（ＸＲＤ）分析と蛍光Ｘ線（ＸＲＦ）分析の両方を実行するための装置。試料ホルダが、排気可能チャンバ内に配置される。蛍光Ｘ線源と個別のＸ線回折源が、排気可能チャンバ内に取り付けられる。また、前記蛍光Ｘ線源からＸ線を照射した結果として結晶試料の表面から放出された二次Ｘ線を検出するためのＸＲＦ検出機構が提供される。次に、結晶試料によって回折された固有波長（特性波長）のＸ線を検出するためのＸＲＤ検出機構が提供される。ＸＲＤ源と試料ホルダ間の相対運動のためにＸＲＤ源を取り付けるように構成された第１の部分と、ＸＲＤ検出機構と試料ホルダの間の相対運動のためにＸＲＤ検出機構を取り付けるように構成された第２の部分とを有する可動式ＸＲＤ支持アッセンブリが提供される。
（もっと読む）

【課題】広範囲な医療用途などに対して適用することが可能な、高出力かつ高輝度で平行性に優れたＸ線を利用した画像測定方法及び画像測定装置を提供する。
【解決手段】ターゲットの表面に所定のエネルギー線源からエネルギー線を照射し、被写体の大きさ以上となるような照射面積を有するように前記ターゲットからＸ線を発生させ、次いで、前記Ｘ線を分光器に入射させ、前記Ｘ線から波長及び波長幅を選択するとともに、平行光となった平行Ｘ線を生成する。次いで、前記平行Ｘ線を前記被写体に対して照射し、前記被写体より得たＸ線画像を検知する。 （もっと読む）

【課題】それぞれ異なる分光結晶を搭載する複数のＸ線分光器を装備し各Ｘ線分光器毎に検出する波長を設定して複数の元素の同時分析を行う波長分散型のＸ線分析装置において、Ｘ線分光器に対する分析対象元素の割り当てを適切に行うことで測定回数を減らしながら正確な測定を行う。
【解決手段】複数の分析対象元素の中で濃度の低い順に、より高い感度での分析が可能な分光結晶と特性Ｘ線の種類の組合せを選択し（Ｓ２、Ｓ３）、選択した分光結晶が装置に装備されているか否か、既に他の分析対象元素に割り当てられているか否か、さらには選択された特性Ｘ線に他の元素の特性Ｘ線の重畳がないかどうか、をそれぞれチェックし（Ｓ４〜Ｓ７）、問題がなければ選択された分光結晶（Ｘ線分光器）に分析対象元素を登録する（Ｓ９）。これを濃度の低い順に繰り返して、全元素をＸ線分光器に割り当てる。 （もっと読む）

【課題】高次の回折Ｘ線やエスケープピークの発生を抑制し、分析を正確に精度よく行うことができる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】試料Ｓに１次Ｘ線２を照射するＸ線源１と、試料Ｓから発生した蛍光Ｘ線４を分光する周期長が１〜２ｎｍであり、その周期長に対し反射層とスペーサ層の境界面３４のラフネスσが２０％以上である多層膜分光素子３と、その多層膜分光素子３で分光された蛍光Ｘ線４の強度を測定する検出器５とを備える。 （もっと読む）

対象物（１）の検査領域（２）を撮像するための撮像方法は、エネルギービーム源（１０）によりエネルギー入力ビーム（３）を生成する工程と、エネルギー入力ビームの複数のエネルギー入力ビーム成分（４）を用いて複数の投射方向に沿って検査領域を照射する工程とを備え、複数のエネルギー入力ビーム成分はフレームマスク（４０）を用いて形成され、このフレームマスクは、エネルギー入力ビーム（１０）と対象物との間に配置され、複数のフレームマスク窓（４１）を有している。上記方法はさらに、フレームマスクの外側に配置された外部検出器デバイス（２１）を用いてエネルギー入力ビーム成分の第１積分減衰値を測定する工程と、フレームマスクの内面に配置されたフレームマスク検出器デバイス（２４）を用いてエネルギー入力ビーム成分の第２積分減衰値を測定する工程と、第１および第２積分減衰値に基づいて検査領域の画像を再構築する工程とを備えている。さらに、対象物の検査領域を撮像する撮像装置（１００）が開示される。
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本発明の一態様に従って、検出器は、或る閾値を超える光子に対してその数をカウントする多数の小さい画素で構成される検出素子を有し、この検出器の位置におけるエネルギー分布の再構成が最尤解析を用いて実行される。故に、再構成手法は測定における冗長性を使用し、それに従ってポアソン統計を処理する。
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【課題】
光学式異物検査装置とＸ線分光集光素子及び複数種の特性Ｘ線を使用する微小部蛍光Ｘ線分析装置との複合異物検査装置における各装置間の座標位置合わせを最適化する。
【解決手段】
Ｘ線分光集光素子を使用したＸ線光学系における最適測定高さへの位置合わせを行う高さ移動機構１１、及び複数種特性Ｘ線を使用した同数個のＸ線分析測定座標への位置移動を行うための水平移動機構３，４を備える。特に水平移動機構が回転ステージより構成される際はＸ線分析装置に別途一軸水平移動機構１２を備える。 （もっと読む）