【課題】検査結果データの目視による再確認を容易かつ有効的に行うことができる物品検査装置を提供すること。
【解決手段】物品検査装置１は、被検査物Ｗを検査して検出信号を出力する検査部３と、検査部３からの検出信号に基づいて被検査物Ｗの良否を判定する判定部５と、被検査物Ｗ毎の検査部３の検出信号、判定部５の良否判定結果および検査時刻を含む検査結果データと、装置の動作来歴データと、から構成される検査記録情報を蓄積する検査記録蓄積部９と、検査記録蓄積部９に蓄積された検査記録情報から目視再確認用の検査結果データを抽出するための抽出条件を複数記憶する記憶部７と、記憶部７に複数記憶された抽出条件から所望の抽出条件の選択操作を行う表示操作部４と、表示操作部４により選択された抽出条件を満たす検査結果データを検査記録蓄積部９から抽出する制御部８と、制御部８が抽出した検査結果データを表示する表示操作部４と、を備えた （もっと読む）

【課題】ガスの除湿および原子炉格納容器の外部へのサンプリングを必要としない水分濃度測定装置及びその測定方法を提供する。
【解決手段】実施形態の水分濃度測定装置３０では、原子炉格納容器７０内の陽電子源１から放出された陽電子と雰囲気に含まれる水分子とにより衝突して生ずる対消滅により発生するγ線を複数のγ線検出器３が検出する。原子炉格納容器７０外の同時計数回路５が複数のγ線検出器３により検出されたγ線を時系列的に計測して対消滅により発生した対となる２個のγ線を検出したγ線検出器の位置を特定する。第１の信号処理ユニット６ａが特定されたγ線検出器の位置から陽電子の飛程を算出して水分子の濃度と陽電子の飛程との相関関係に基づいて水分子の濃度を求める。 （もっと読む）

【課題】表面形状と内部構造との双方を計測する。
【解決手段】実施形態によれば、計測装置は、電磁波照射手段と検出手段とデータ処理手段と膜構造変換手段と膜構造計測手段とを持つ。電磁波照射手段は電磁波を生成して前記基体へ照射する。検出手段は、前記基体で散乱されまたは反射した電磁波の強度を測定する。データ処理手段は、前記検出手段からの信号を処理して散乱プロファイルを作成して解析し、前記周期構造の表面形状を算出する。膜構造変換手段は、前記周期構造の表面構造に関する仮想的膜構造を算出し、参照データから前記周期構造の内部構造に関する仮想的膜構造を算出する。膜構造計測手段は、前記仮想的膜構造から測定条件を設定し、該測定条件に従って前記周期構造について実測による反射率プロファイルを取得して解析し、前記周期構造を構成する各層の膜厚を算出し、算出された前記膜厚と前記仮想的膜構造とを用いて前記周期構造の形状を再構築する。 （もっと読む）

【課題】試料作製装置及び試料作製方法において、簡便な方法により加工対象の試料の膜厚を測定すること。
【解決手段】試料Sに第１の加速電圧の電子線EBを照射し、試料Sから発生する第１の二次信号Is₁を取得するステップと、試料Sに第２の加速電圧の電子線EBを照射し、試料Sから発生する第２の二次信号Is₂を取得するステップと、第２の二次信号Is₂と第１の二次信号Is₁との比Is₂／Is₁を算出するステップと、比Is₂／Is₁が試料Sの膜厚tに依存することを利用し、比Is₂／Is₁に基づいて膜厚tを算出するステップと、算出した試料Sの膜厚tに基づき、膜厚tが目標膜厚t₀となるのに要する試料Sの加工量を算出するステップと、試料SにイオンビームIBを照射して上記加工量だけ試料Sを加工して、膜厚tを目標膜厚t₀に近づけるステップとを有する試料作製方法による。 （もっと読む）

【課題】クリープ損傷を受ける金属の余寿命をＡパラメータ法によって診断するに際し、参照線を描く向きを精度よく定める。
【解決手段】
金属のレプリカを顕微鏡撮影することで、粒界の画像データを取得する画像取得ステップ（Ｓ３）と、画像データに向きが異なる仮想参照線データを複数本描く仮想参照線描画ステップ（Ｓ５，Ｓ６，Ｓ８）と、仮想参照線データのそれぞれについて、粒界データ上のボイド画像データを計数するボイド計数ステップ（Ｓ７、Ｓ８）と、ボイド画像データの数が最も多い仮想参照線データを、参照線データに決定する参照線決定ステップ（Ｓ９）とを含み、Ａパラメータ法を用いて前記金属の余寿命を診断する。 （もっと読む）

【課題】 イメージングプレートの取付け精度の良否によらず、測定対象物の残留応力を精度よく測定できるようにする。
【解決手段】 コントローラＣＴは、残留応力が０である基準物体ＢＯＢ及び測定対象物ＯＢに、Ｘ線出射器１３からのＸ線をそれぞれ照射して、イメージングプレート２８上に基準物体ＢＯＢ及び測定対象物ＯＢの回折環をそれぞれ撮像する。そして、コントローラＣＴは、前記撮像した両回折環の形状をそれぞれ検出し、測定対象物ＯＢの回折環の形状を、基準物体ＢＯＢの回折環の形状を用いて補正して、イメージングプレート２８のテーブル２７に対する取付け誤差の影響を少なくする。 （もっと読む）

【課題】Ｓ／ＴＥＭ分析のためにサンプルを抽出および取り扱うための改善された方法および装置を提供すること。
【解決手段】本発明の好適な実施形態は、ラメラを基板表面を有する基板から抽出するための装置であって、１以上のステージ・コントローラに接続された基板用の可動ステージと、マイクロプローブと、可動ステージ上に設けられて基板を保持する基板ホルダと、基板ホルダが基板を保持しているときに基板表面に対してある斜角で基板表面に光を当てるための斜照明と、基板を撮像する光学顕微鏡とを備える。 （もっと読む）

【課題】２段に重ねられた放射線検出器の画素間での対応がとれなくなったことを早期に知ることができる非破壊検査装置を提供すること。
【解決手段】非破壊検査装置１は、Ｘ線照射器２０、低エネルギ検出器３２、高エネルギ検出器４２、低エネルギ透過率算出部７２、高エネルギ透過率算出部７４及び検出部７６を備えている。低エネルギ透過率算出部７２は、被検査物Ｓを透過したＸ線の低エネルギ範囲における透過率を、低エネルギ検出器３２で検出された輝度データから算出し、高エネルギ透過率算出部７４は、被検査物Ｓを透過したＸ線の高エネルギ範囲における透過率を、高エネルギ検出器４２で検出された輝度データから算出する。検出部７６は、低エネルギ透過率算出部７２で算出された透過率と、高エネルギ透過率算出部７４で算出された透過率との比に基づいてＸ線照射器２０の位置ずれを検出する。 （もっと読む）

【課題】画像形成システムを用いて対象領域の三次元モデルを生成するための方法及び装置を提供する。
【解決手段】本発明は、ｘ線画像形成システムにおいて、ターゲット・オブジェクト上の対象領域の三次元表現を生成する方法を提供する。本方法は、既知の幾何学的形状の基準マーカーを使用する。対象領域及び基準マーカーが、複数の所定位置において画像形成される。各々の所定位置についての基準マーカーの予測される画像を計算し、各々の所定位置における基準マーカーのキャプチャされた画像と比較する。予測される画像とキャプチャされた画像との間の相違を用いて、各々の所定位置についての対象領域の修正された画像を生成し、これらの修正された画像を用いて、対象領域の三次元モデルを生成する。本方法は、高価な機械的位置決めシステムを必要とすることなく、ｘ線画像形成システムにおける対象領域の有用な三次元モデルを生成することを可能にする。 （もっと読む）

【課題】ＴＦＴアレイ検査装置において、基板内で絶縁破壊（ＥＳＤ）を生じさせることなく、基板に帯電した電荷を放電する。
【解決手段】プローバーを基板に配置し、プローバーを介して検査信号を基板に供給し、基板上に形成されたＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査装置において、ＴＦＴアレイ検査時にプローバーを基板に配置した際に、基板をプローバーを介して接地された高抵抗の放電用抵抗に接続することによって、基板に帯電する電荷をプローバーおよび放電用抵抗を介して放電させる。基板に帯電する電荷を、基板からプローバーを介して放電用抵抗に導くことによって、ＴＦＴアレイ検査装置内において格別な機構を設けることなく基板に帯電する電荷を放電することができる。 （もっと読む）

【課題】分析精度の高い分析装置を提供する。
【解決手段】イオンビームを試料１０に照射するイオン照射部と、試料から第１の方向１０６に散乱する散乱イオンを通過させるための第１の開口部３４ａと、試料から第１の方向と異なる第２の方向１１４に散乱する散乱イオンを通過させるための第２の開口部３４ｂとが形成された制限板２４と、制限板の第１の開口部を通過した散乱イオンと、制限板の第２の開口部を通過した散乱イオンとに対して磁場を印加する磁場印加部２８と、磁場印加部により偏向された各々の散乱イオンを検出するイオン検出部３０とを有している。 （もっと読む）

【課題】基板が含む検査対象に３次元的な変位が生じても、検査対象の正確な位置に基づいて検査を実行させる技術を提供する。
【解決手段】検査対象と測定点とを含む平面状の基板に対して互いに方向が異なる第１照射方向および第２照射方向に放射線が照射されるように、基板が保持される保持基準位置と放射線発生器の焦点位置との少なくとも一方を移動させる移動制御手段と、基板に対して第１照射方向に放射線を照射した場合における相対焦点位置と相対投影位置とを結ぶ直線と、基板に対して第２照射方向に放射線を照射した場合における相対焦点位置と相対投影位置とを結ぶ直線との交点の位置を測定点の位置として特定する測定点位置特定手段と、測定点の位置に基づいて特定した検査対象の位置について検査を実行する検査手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高エネルギーの荷電粒子ビームにより測定試料中の物質ごとに１μｍ〜０．１μｍ等といった高空間分解能で定量的に材料分析できるとともに、前述した高精度の材料分析を研究室規模の施設で可能とする材料分析装置を提供する。
【解決手段】パルスレーザを射出するパルスレーザ射出部１と、前記パルスレーザが照射される金属薄膜Ｆを有し、当該金属薄膜Ｆから荷電粒子ビームを生成する荷電粒子ビーム生成部２と、前記荷電粒子ビーム生成部２から射出された荷電粒子ビームＩＢを磁場又は電場により収束して、測定試料Ｓに照射する荷電粒子ビーム制御部３と、前記荷電粒子ビームＪＢが測定試料Ｓに照射された際に生じる放射線Ｒを測定する放射線測定部４と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】省スペースを実現するＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１０は、Ｘ線照射部と、Ｘ線検出部と、画像生成部と、本体１１と、表示部３０とを備える。Ｘ線照射部は、検査対象物にＸ線を照射する。Ｘ線検出部は、検査対象物を透過したＸ線を検出する。画像生成部は、Ｘ線検出部によって検出されたＸ線の強度に応じて、検査対象物のＸ線画像を生成する。本体は、Ｘ線照射部、Ｘ線検出部、および画像生成部を収容する。表示部は、本体に移動可能に取り付けられる。また、表示部は、画像生成部によって生成された検査対象物のＸ線画像を表示する。 （もっと読む）

【課題】簡素化された構成によりＸ線の照射範囲の調整を可能とし、部品点数や組立工数を減らすことで安価なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１０は、筐体１１と、Ｘ線源と、搬送部３０と、スリット形成部材２４と、Ｘ線ラインセンサ４０と、を備える。筐体１１には、Ｘ線により物品の検査が行われる検査空間Ｓｉの上に配される第１空間Ｓ１および検査空間の下方に配される第２空間Ｓ２が内部に形成される。筐体１１は、開口部を有し第１空間と検査空間とを仕切る仕切り板部材１３を有する。Ｘ線源は、第１空間に配置され、物品にＸ線を照射する。搬送部は、検査空間に配置され、物品を所定の方向へ搬送する。スリット形成部材は、仕切り板部材の開口部の検査空間側に配置され、物品の搬送方向に交差する方向に延びるスリットＡを形成する。Ｘ線ラインセンサは、第２空間に配置され、スリットを通って物品を透過したＸ線を検出する。 （もっと読む）

【課題】粗粒かつ微少試料であっても均一な回折リングを得ることができるＸ線回折試料揺動装置、Ｘ線回折装置及びＸ線回折パターンの測定方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線回折試料を保持する試料保持部３１をＸ線入射方向と平行にした第１の回転軸の周りに揺動可能な第１の揺動部２１と、前記第１の回転軸と直交する第２の回転軸の周りに揺動可能な第２の揺動部２２と、前記第１及び第２の回転軸と直交する第３の回転軸の周りに揺動可能な第３の揺動部２３を有するＸ線回折試料揺動装置１１を用いることによって前記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】車両のＸ線検査において、車両の搬送装置の台数を一台にしてＸ線検査に要するコストを下げる場合に、時間のロスを小さく抑えつつ、運転手の安全を確保できるようにする。
【解決手段】ステップＳ１で車両をＸ線検査室外においてＸ線検査室の入口近傍に停車させる。ステップＳ２〜Ｓ４により、車両を入口からＸ線検査室へ搬送する。ステップＳ５でＸ線検査室の入口を閉じた後、ステップＳ６で車両のＸ線検査を行う。ステップＳ７〜Ｓ９により、車両を出口からＸ線検査室外へ搬送し、搬送装置がＸ線検査室内へ戻り、出口を閉じる。ステップＳ１０で、搬送応答書類装置は入口側へ移動し入口を開ける。ステップＳ５の後であってステップＳ１０の前に、次の車両についてステップＳ１を行う。 （もっと読む）