【課題】４端子対法による計測が行える回路基板検査装置において、プローブのコンタクトチェックのための専用回路が不要であり、また、測定中においても適宜コンタクトチェックが行えるようにする。
【解決手段】高電位側電圧プローブＰ３および低電位側電圧プローブＰ４に接続される各同軸ケーブルＣの内部導体ＩＬと外部導体Ｓとの間に、高周波領域で定在波が発生しないように、インピーダンスマッチング用の抵抗素子Ｒ０とスイッチＳＷ２とを含む直列回路２２を接続し、スイッチＳＷ２がオフであるときの内部導体ＩＬと外部導体Ｓ間の第１の電圧値と、スイッチＳＷ２がオンであるときの内部導体ＩＬと外部導体Ｓ間の第２の電圧値とに基づいて、各電圧プローブＰ３，Ｐ４の接触状態の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】単位時間当たりの測定数を向上させた電子部品特性測定装置を提供する。
【解決手段】
第１及び第２回転テーブル（１１，５１）と、第１及び第２回転駆動手段（１７，５７）と、第１及び第２プローブ（２０，６０）と、第１及び第２進退駆動手段（２３，６２）と、測定手段（８０）と、制御手段（８２）と、を有し、第１前進開始動作（Ｍ１３）より後であって第１前進完了動作（Ｍ１４）より前に第１回転停止動作（Ｍ１２）が行われ、第１後退開始動作（Ｍ１５）より後であって第１後退完了動作（Ｍ１６）より前に第１回転開始動作（Ｍ１１）が行われ、第２前進開始動作（Ｍ２３）より後であって第２前進完了動作（Ｍ２４）より前に、第２回転停止動作（Ｍ２２）が行われ、第２後退開始動作（Ｍ２５）より後であって第２後退完了動作（Ｍ２６）より前に第２回転開始動作（Ｍ２１）が行われる電子部品特性測定装置。 （もっと読む）

【課題】一台で高抵抗薄膜の抵抗値と表面凹凸を正確に測定できる測定装置を提供する。
【解決手段】載置板１２をポリアセタール樹脂で構成し、裏面にガード電極５２を配置する。載置板１２上に配置した基板２３の表面に、円環電極４３と円盤電極４４とを接触させ、円盤電極４４を電流計４７を介してガード電極５２に接続し、ガード電極５２を接地させて、円環電極４３と円盤電極４４の間に電圧を印加し、電流計４７の検出結果から基板２３表面の高抵抗薄膜の抵抗値が測定される。ポリアセタール樹脂の抵抗値は高く、表面は平坦なので、基板２３の表面に触針を接触させながら移動させて、触針６３の変位を測定して基板２３の表面の凹凸も正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】 デルタ回路のような配線の測定対象部を測定する場合であっても、高周波の電圧源を用いて、短時間で且つ精度良く測定することができる測定方法及び測定装置を提供する。特に、上記の如く、従来技術に利用されるアンプを用いることなく測定を可能にする。
【解決手段】 測定対象となる第一測定部、第二測定部と第三測定部が三角結線にて形成される測定対象部の抵抗値を算出するための測定装置であって、二つの結線用接点と残り一つの結線用接点との間に電力を供給して算出される抵抗値を、夫々の場合に応じて算出し、その結果から、各測定部の抵抗値を算出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】Ｘ−Ｙ型回路基板検査装置で４端子対法による測定を行うにあたって、各可動アームを自由に動き得るようにする。
【解決手段】４端子対法による計測を行うため、電流プローブＰ１，Ｐ２および電圧プローブＰ３，Ｐ４の測定部に至る電気配線に同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４を用いるとともに、所定の導体１００に接触して互いに導通する第５，第６のプローブＰ５，Ｐ６をさらに備え、第１可動アーム３２側に第１電流プローブＰ１，第１電圧プローブＰ３および第５プローブＰ５を設けて、これらの各プローブＰ１，Ｐ３，Ｐ５をリード線５を介して接続し、第２可動アーム３１側に第２電流プローブＰ２，第２電圧プローブＰ４および第６プローブＰ６を設けて、これらの各プローブＰ２，Ｐ４，Ｐ６をリード線５を介して接続する。 （もっと読む）

【課題】４探針プローブの移動及び移動速度を容易に制御することが可能な抵抗率測定装置を提供する。
【解決手段】 試料が載置される測定ステージと、４探針プローブと、回転軸を有するモーターと、前記モーターの前記回転軸に連結された偏心カムと、前記４探針プローブを保持するとともに、前記偏心カムの回転に従動して前記４探針プローブを前記測定ステージに対して接近する側及び離間する側にそれぞれ移動させる保持体と、前記モーターの回転及び回転速度により前記４探針プローブの移動及び移動速度を制御する制御部と、を備えた抵抗率測定装置。 （もっと読む）

【課題】測定対象のコンクリートの体積抵抗率を、このコンクリートを破壊せず、且つ容易な方法で測定し、この測定結果より、コンクリートの塩害による劣化のしやすさの診断を行うことができるコンクリートの体積抵抗率の測定方法及びその装置を提供する。
【解決手段】測定対象のコンクリート１０に対して、交流電流を流す２つの電流電極２Ａと、前記電流電極２Ａの間で交流電位差を測定する２つの電位差電極２Ｂを、直線状に且つ等間隔に設置し、前記コンクリート１０の体積抵抗率を測定する測定方法において、電流電極２Ａ及び電位差電極２Ｂの端部を、コンクリート１０に接触する接触ステップと、端部に設置した、導電性を有し且つ多孔質性を有する電極材料３に、電解質の溶液を供給する電解質溶液供給ステップと、電流電極２Ａに電流を流し、電位差電極２Ｂで交流電位差を測定する測定ステップを有する。 （もっと読む）

【課題】プローブとウェハの接触を均一化して抵抗率の測定精度を向上する４探針抵抗率測定装置を提供する。
【解決手段】ウェハ上の被検薄膜の抵抗率を検出する４探針プローブと、４探針プローブを鉛直方向に駆動する駆動部と、４探針プローブの鉛直方向の位置情報を検出する検出部と、ウェハを載置するためのステージを回転する回転駆動部と、ステージの回転角を検出する角度検出部と、駆動部、回転駆動部、検出部及び角度検出部を用いて、ウェハ上の複数箇所において４探針プローブがウェハに接触する鉛直方向の位置情報を検出して記憶し、ウェハ上の被検薄膜の抵抗率を測定する際に、記憶した複数の位置情報に基いて４探針プローブの鉛直方向の位置を補正した後に測定する制御部をもつ４探針抵抗率測定装置。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つの測定チャネル（１８，２０，２２，２４）と、少なくとも１つの測定チャネル（１８，２０，２２，２４）に電気的に接続され、電子回路内の電気測定対象物（４０，４２，４４，４６，４８）の電気信号線（５０）に非接触または接触接続するように設計された少なくとも１の測定プローブ（２８）とを有する測定装置（１０）を有する、基板（３８）上の電気測定対象物（４０，４２，４４，４６，４８）の散乱パラメータを決定する測定システムに関する。本発明によれば、第１の位置決め装置（３０）は、少なくとも１つの測定プローブ（２８）を備え、少なくとも１つのセンサ（３４）は、少なくとも１つの測定プローブ（２８）の位置を検出し、位置信号を出力する。
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【課題】プローブ間の離間距離を連続的に調節し、各プローブを試料に押当てる力の再現性を高めて導電率を精度良く測定可能な導電率測定装置を提供する。
【解決手段】試料支持面２ａ上に試料Ｓ１が固定される試料台２と、試料支持面に平行な面に沿って隣接配置される観察用プローブ３及び把持用プローブ４を有する２端子ピンセット１５と、試料台と２端子ピンセットとを試料支持面に平行な方向及び垂直な方向に移動させる移動手段と、観察用プローブを振動させる加振手段１０と、観察用プローブの変位を測定する変位測定手段と、観察用プローブに対して把持用プローブを接近又は離間する方向へ移動させてプローブ間の距離を調節するプローブ駆動手段１２と、２端子ピンセットをそれぞれ試料に接触させ、この状態で２端子ピンセット間に電流を流しそのときの２端子ピンセット間の電気的特性から試料上の２点間の導電率を測定する第１の測定手段３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】端子圧着部の長さが変化しても端子圧着部の接触抵抗の測定をほぼ正確に行うことができるようにする。
【解決手段】端子圧着部５と、その端子圧着部から一定長さの電線１とを含む区間Ｄの抵抗を四端子法で測定し、測定した抵抗値から、電線の前記一定長さの抵抗値を差し引いて端子圧着部の接触抵抗を求める方法であって、四端子法の一対の電圧端子のうち、端子金具３に接触させる第一の電圧端子７Ａの位置は固定とし、電線１に接触させる第二の電圧端子７Ｂの位置はマイクロメーター２９により電線長さ方向に調節可能とし、端子付き電線１７を所定の位置に位置決めした状態で、端子圧着部５の電線側端Ｔの位置に応じて、第二の電圧端子７Ｂが当該端子圧着部の電線側端Ｔから前記一定長さだけ離れた位置で電線１に接触するように、第二の電圧端子７Ｂの位置を調節した後に、抵抗測定を行う。 （もっと読む）

【課題】測定時に部品が外れにくく、小さな部品でも部品特性の測定が容易である。
【解決手段】接触子１３４ａ、１４０ａを部品１０２に接触させて部品特性を測定するチップマウンタ１００の部品ベリファイ装置１３０において、前記接触子１３４ａ、１４０ａを側面に備えた複数のプローブ１３４、１４０と、前記部品１０２の電極１０２ａ間隔に前記接触子１３４ａ、１４０ａの間隔を調整して固定する固定手段（１４８）と、前記部品１０２を移動させると共に、上記固定手段（１４８）で固定された接触子１４０ａに前記部品１０２の電極１０２ａを接触させる部品接触手段（１０６、１０８）と、を設けた。 （もっと読む）

【課題】表面にレジスト層を有し、被検査電極の高さレベルがレジスト層の高さレベルより低い回路基板でも、所要の電気的接続が確実に達成され、高い精度の測定が可能な電気抵抗測定用コネクター、これを用いた回路基板の電気抵抗測定装置および方法の提供。
【解決手段】第１の電極シート、第１の異方導電性シート、第２の電極シート、第２の異方導電性シートおよび検査用回路基板がこの順で積重して配置され、第１の電極シートは、絶縁性シートの一面に形成された、貫通孔を包囲するリング状電極と、絶縁性シートの裏面に形成された中継電極とを有し、第２の電極シートは、被検査電極に対応する検査用コア電極と、中継電極に対応する接続用コア電極とを有し、検査用回路基板は、第２の電極シートのコア電極に対応する検査電極を有し、検査用コア電極に電気的に接続される検査電極は、接続用コア電極に電気的に接続される検査電極より突出して配置されている。 （もっと読む）

多点プローブ(multi-point)を用いて多重測定を行うことによって、非導電性エリアと、導電性または半導電性のテストエリアとを備えたテストサンプルの電気的特性を取得する方法。該方法は、テストエリアを垂直に通過する磁力線を有する磁界を供給するステップと、プローブをテストエリアの第１位置に運んで、プローブの導電チップをテストエリアと接触させるステップと、非導電性エリアとテストエリアの間にある境界に対する各チップの位置を決定するステップと、チップ間の距離を決定するステップと、チップの間に位置決めされ、テストサンプルでの電圧を決定するために用いられる電流ソースとなる１つのチップを選択するステップと、第１の測定を行うステップと、プローブを移動させるステップと、第２の測定を行うステップと、第１の測定および第２の測定に基づいて、テストエリアの電気的特性を計算するステップとを含む。
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【課題】大面積でサイズの極めて小さい被検査電極を有する回路基板でも、所要の電気的接続が確実に達成され、高い精度の測定が確実に行われ、小さいコストで製造可能な電気抵抗測定用コネクター、これを用いた回路基板の電気抵抗測定装置および方法の提供。
【解決手段】第１の電極シートと、第１の電極シートの裏面に配置された異方導電性エラストマーシートと、異方導電性エラストマーシートの裏面に配置された第２の電極シートとを有し、第１の電極シートは、被検査電極に対応して貫通孔が形成された柔軟な絶縁性シートと、絶縁性シートの表面に貫通孔を包囲するよう形成された複数のリング状電極と、絶縁性シートの裏面に形成された中継電極とを有し、第２の電極シートは、被検査電極に対応して配置された複数の検査用コア電極と、中継電極に対応して配置された複数の接続用コア電極とを有する。 （もっと読む）

【課題】電子校正装置とプローブとを接続することができ、同軸ケーブル及びプローブの校正に電子校正装置を利用することができる誤差基準値検出装置を提供する。
【解決手段】誤差基準値検出装置１００は、電子校正装置４０と、プローブ３０の信号用探針３１ａに当接する信号パターン６２及びグランド用探針３１ｂに当接するグランドパターン６３が誘電体基板６１上にそれぞれ配設される伝送路基板６０と、電子校正装置４０に接続する同軸ケーブル２２を固定する同軸コネクタ部５１が配設されると共に、同軸コネクタ部５１の内導体に対応するピン５１ｃを伝送路基板６０の信号パターン６２に当接させ、同軸コネクタ部５１の外導体に対応する外導体部５１ｅを伝送路基板６０のグランドパターン６３に当接させ、信号パターン６２及びグランドパターン６３を露出した状態で伝送路基板６０を係止する変換部５２を配設されてなるアダプタ５０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】半導体素子を搭載する高速信号ラインを含んだ半導体パッケージ等の配線回路基板の特性インピーダンスを保証するための電気特性検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】電気特性検査装置は、高周波プローブ１０と、接触式センサ２０と、高周波プローブ固定部品３１とから構成されており、接触式センサ２０にて、高周波プローブ１０と被測定線路（ＳＩＧＮＡＬ）５１の測定パッド５１ａとの接触位置を検出し、高周波プローブ１０と被測定線路（ＳＩＧＮＡＬ）５１の電極パッド５１ａとの接触圧が一定になるようにして、特性インピーダンスを測定し、高速信号ラインを含んだ半導体パッケージ等の配線回路基板の特性インピーダンスを保証する。 （もっと読む）

【課題】検査プローブをより確実に回路基板の被測定パターンに接触させて正確に検査することができる検査プローブ接触検知機構および回路基板検査装置の提供。
【解決手段】回路基板装置４１には、検査プローブ１２の被測定パターン５３への接触を電気的に検知する検査プローブ接触検知機構１１のほか、全体を統括制御する中央処理手段４２と、検査プローブ接触検知機構１１が検出した電気的信号に基づいてプロービング動作を制御するプロービング制御手段４３とを少なくとも具備させた。 （もっと読む）

【課題】高密度の配線パターンに対してもより効率よく四端子測定を行うことのできる基板検査装置を提供する。
【解決手段】そのための基板検査装置は、被検査基板の配線の被検査点に夫々接触し、一方が電圧測定用のプローブとして用いられ、他方が電流供給用のプローブとして用いられる第１及び第２プローブからなり、第１及び第２プローブが被検査点に接触する検査用プローブを複数用いて配線の抵抗値を算出する基板検査装置であって、電流供給用のプローブへ電流を供給する電流供給手段と、電圧測定用のプローブ間の電圧を測定する電圧測定手段と、電流供給手段により供給される電流値と電圧測定手段により測定される電圧値により配線の抵抗値を算出する処理手段と、複数の電流供給用のプローブと電流供給手段を導通可能に接続するとともに複数の前記電流供給用のプローブを電気的に相互に接続する、一体的に形成された導電性の接続部材を有する。 （もっと読む）

【課題】電線種類、太さによって長さが異なる圧縮接続管に対しても抵抗の測定が容易に行える圧縮接続管の抵抗測定治具を提供することである。
【解決手段】電線１３を圧着して接続する圧縮接続管１１の抵抗測定部位間の一方端に接触する接触端子２１の取付位置を調整可能にして、スライド棒２６に接触端子２１を取り付ける。スライド棒取付金具２７は、圧縮接続管１１の抵抗測定部位間の抵抗を測定する抵抗測定器１６の固定プローブ２０の先端部にスライド棒２６を取り付ける。そして、スライド棒固定ネジ部２８は、固定プローブ２０の長さ方向の双方向にスライド棒２６の向きを可変に調整してスライド棒２６をスライド棒取付金具２７に固定する。これにより、圧縮接続管１１の抵抗測定部位の長さに応じて抵抗測定器１６の電圧測定の接触端子の位置を調整する。 （もっと読む）